JP6912004B2 - 流体制御装置 - Google Patents
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Description
本発明の第1の実施形態に係る流体制御装置について、図を参照して説明する。図1は、本発明の第1の実施形態に係る流体制御装置10の分解斜視図である。図2は、本発明の第1の実施形態に係る流体制御装置10の構成を示す断面図である。なお、以下の各実施形態に示す各図においては、説明を分かり易くするために、それぞれの構成要素の形状を部分的または全体として誇張して記載している。
振動板16がポンプ室125側に移動中、すなわち、振動板16と第1主板11が接近中の期間は、第1通気孔111付近の圧力が上昇する。そのため、図3(A)に示すように、平面視におけるバルブ室115の中央領域が、バルブ室115の外縁領域よりも高圧(相対的高圧)になる。
振動板16がポンプ室125側と逆側に移動中、すなわち、振動板16と第1主板11とが離間中の期間は、第1通気孔111付近の圧力が低下する。そのため、図3(B)に示すように、平面視におけるバルブ室115の中央領域が、バルブ室115の外縁領域よりも低圧(相対的低圧)になる。
このように、第2通気孔121においては、図3(A)の期間の流出量が多く、図3(B)の期間の流入量は少ない。そのため、図3(A)の期間と図3(B)の期間との繰り返しによる連続動作によって、第2通気孔121からは流体が流出する。
本発明の第2の実施形態に係る流体制御装置について、図を参照して説明する。図5は、本発明の第2の実施形態に係る流体制御装置10Aの構成を示す断面図である。
振動板16がポンプ室125側に移動中、すなわち、振動板16と第1主板11が接近中の期間は、第1通気孔111付近の圧力が上昇する。そのため、図6(A)に示すように、平面視におけるバルブ室115の中央領域が、バルブ室115の外縁領域よりも高圧(相対的高圧)になる。
振動板16がポンプ室125側と逆側に移動中、すなわち、振動板16と第1主板11とが離間中の期間は、第1通気孔111付近の圧力が低下する。そのため、図6(B)に示すように、平面視におけるバルブ室115の中央領域が、バルブ室115の外縁領域よりも低圧(相対的低圧)になる。
このように、第2通気孔121においては、図6(A)の期間の流出量が少なく、図6(B)の期間の流入量は多い。そのため、図6(A)の期間と図6(B)の期間との繰り返しによる連続動作によって、流体は、第2通気孔121から流入する。
本発明の第3の実施形態に係る流体制御装置について、図を参照して説明する。図7は、本発明の第3の実施形態に係る流体制御装置10Bの構成を示す断面図である。
振動板16がポンプ室125側に移動中、すなわち、振動板16と第1主板11が接近中の期間は、第1通気孔111B付近の圧力が上昇する。そのため、図8(A)に示すように、平面視におけるバルブ室115の外縁領域が、バルブ室115の中央領域よりも高圧(相対的高圧)になる。
振動板16がポンプ室125側と逆側に移動中、すなわち、振動板16と第1主板11とが離間中の期間は、第1通気孔111B付近の圧力が低下する。そのため、図8(B)に示すように、平面視におけるバルブ室115の中央領域が、バルブ室115の外縁領域よりも高圧(相対的高圧)になる。
このように、第2通気孔121Bにおいては、図8(A)の期間の流出量が多く、図8(B)の期間の流入量は少ない。そのため、図8(A)の期間と図8(B)の期間との繰り返しによる連続動作によって、流体は第2通気孔121Bから流出する。
図12は、本発明の第1の実施形態の変形例に係る流体制御装置10Cの構成を示す断面図である。第1の実施形態にかかる流体制御装置10に対し、コーティング剤200が塗布されている点で異なる。流体制御装置10Cの他の構成は、流体制御装置10と同様であり、同様の箇所の説明は省略する。
10、10A、10B、10C…流体制御装置
11…第1主板
12…第2主板
13…第1側板
14、14A、14B…フィルム弁
15、15A、15B…接合部材
16…振動板
17…圧電素子
18…第2側板
110…バルブ
111、111B…第1通気孔
115…バルブ室
120…ポンプ
121、121B…第2通気孔
125…ポンプ室
161…第3通気孔
200…コーティング剤
Claims (8)
- 第1主板、前記第1主板の一方主面に対向する一方主面を有する第2主板、および、前記第1主板と前記第2主板とを接続する第1側板を備え、前記第1主板、前記第2主板および前記第1側板により形成されたバルブ室を有し、前記第1主板は前記バルブ室の内外を連通する第1通気孔を有し、前記第2主板は前記バルブ室の内外を連通する第2通気孔を有する、バルブと、
前記第1主板の他方主面に対向して配置され、圧電素子が配置された振動板と、前記第1主板と前記振動板とを接続する第2側板とを備え、前記第1主板と前記振動板と前記第2側板により形成されたポンプ室を有し、前記ポンプ室は前記第1通気孔を介して前記バルブ室と連通する、ポンプと、
前記バルブ室内に配置された弁体と、
を備え、
前記第1主板の一方主面から前記第2主板の一方主面を正面視して、
前記バルブ室は、中央領域と、該中央領域を囲む外縁領域とを有し、
前記第1通気孔が前記中央領域に位置し、前記第2通気孔が前記外縁領域に位置する、または、前記第1通気孔が前記外縁領域に位置し、前記第2通気孔が前記中央領域に位置し、
前記弁体は、前記第1通気孔と前記第2通気孔との間に位置し、
前記弁体は、前記外縁領域側の端部または前記中央領域側の端部が振動可能な状態で、前記第1主板または前記第2主板に固定され、前記弁体が固定されていない主板に当接する態様と当接しない態様とを切り替えられる形状である、
流体制御装置。 - 第1主板または第2主板における弁体の可動域と対向する領域にはコーティング剤が塗布されている、請求項1に記載の流体制御装置。
- 前記コーティング剤のヤング率は、前記第1主板および前記第2主板のヤング率よりも低い、請求項2に記載の流体制御装置。
- 前記弁体は、
前記バルブ室の圧力変動によって、前記振動可能な端部が、前記弁体が固定されていない主板に当接する態様と当接しない態様とを切り替えられる形状である、
請求項1乃至請求項3のいずれかに記載の流体制御装置。 - 前記弁体の前記振動可能な部分における、前記中央領域と前記外縁領域とを結ぶ方向の長さは、前記第1主板と前記第2主板との距離よりも長い、
請求項4に記載の流体制御装置。 - 前記第1通気孔は、前記中央領域に位置し、前記第2通気孔は、前記外縁領域に位置する、
請求項1乃至請求項5のいずれかに記載の流体制御装置。 - 前記弁体は、前記中央領域と前記外縁領域のうち、前記第2通気孔が位置する側の領域側の端部が振動可能な状態で、前記第1主板または前記第2主板に固定されている、
請求項1乃至請求項6のいずれかに記載の流体制御装置。 - 前記弁体は、環状である、
請求項1乃至請求項7のいずれかに記載の流体制御装置。
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TW202217146A (zh) * | 2020-10-20 | 2022-05-01 | 研能科技股份有限公司 | 薄型氣體傳輸裝置 |
JP2024015457A (ja) * | 2020-12-08 | 2024-02-02 | ソニーグループ株式会社 | 流体制御装置、及び電子機器 |
WO2023283448A2 (en) * | 2021-07-09 | 2023-01-12 | Frore Systems Inc. | Anchor and cavity configuration for mems-based cooling systems |
CN114228966B (zh) * | 2021-12-15 | 2022-10-28 | 杭州电子科技大学 | 一种高质量流量的压电脉冲推动器及水下机器人 |
Family Cites Families (42)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0249221B2 (ja) * | 1981-10-03 | 1990-10-29 | Daikin Ind Ltd | Hinenchakudanseibarubu |
DK155233C (da) * | 1986-10-14 | 1989-07-10 | Kosan Teknova As | Gasflaskeventil |
KR910008284A (ko) * | 1989-10-17 | 1991-05-31 | 야마무라 가쯔미 | 마이크로 펌프 |
JPH0519751U (ja) * | 1991-08-27 | 1993-03-12 | エヌオーケー株式会社 | チエツクバルブ |
DE4132930A1 (de) * | 1991-10-04 | 1993-04-08 | Teves Gmbh Alfred | Pumpe |
DE69431994T2 (de) * | 1993-10-04 | 2003-10-30 | Res Int Inc | Mikro-bearbeitetes fluidbehandlungsvorrichtung mit filter und regelventiler |
US5816780A (en) * | 1997-04-15 | 1998-10-06 | Face International Corp. | Piezoelectrically actuated fluid pumps |
DE19720482C5 (de) * | 1997-05-16 | 2006-01-26 | INSTITUT FüR MIKROTECHNIK MAINZ GMBH | Mikromembranpumpe |
US6682500B2 (en) * | 1998-01-29 | 2004-01-27 | David Soltanpour | Synthetic muscle based diaphragm pump apparatuses |
WO2002097865A2 (en) * | 2001-05-31 | 2002-12-05 | Rochester Institute Of Technology | Fluidic valves, agitators, and pumps and methods thereof |
CN1179127C (zh) * | 2002-09-03 | 2004-12-08 | 吉林大学 | 多腔压电薄膜驱动泵 |
JP2004353638A (ja) * | 2003-05-26 | 2004-12-16 | Honda Motor Co Ltd | マイクロポンプ |
US20070065308A1 (en) * | 2003-08-04 | 2007-03-22 | Mitsuru Yamamoto | Diaphragm pump and cooling system with the diaphragm pump |
EP1515043B1 (en) * | 2003-09-12 | 2006-11-22 | Samsung Electronics Co., Ltd. | Diaphram pump for cooling air |
GB0508194D0 (en) * | 2005-04-22 | 2005-06-01 | The Technology Partnership Plc | Pump |
WO2008055652A2 (en) * | 2006-11-07 | 2008-05-15 | Saxonia Biotec Gmbh | Supply system for cell culture module |
US8308453B2 (en) | 2007-01-23 | 2012-11-13 | Nec Corporation | Diaphragm pump |
TW200903975A (en) * | 2007-07-09 | 2009-01-16 | Micro Base Technology Corp | Piezoelectric miniature pump and its driving circuit |
JP4957480B2 (ja) | 2007-09-20 | 2012-06-20 | 株式会社村田製作所 | 圧電マイクロポンプ |
JP5493961B2 (ja) * | 2009-02-24 | 2014-05-14 | 株式会社村田製作所 | 逆止弁、流体装置およびポンプ |
GB201202346D0 (en) * | 2012-02-10 | 2012-03-28 | The Technology Partnership Plc | Disc pump with advanced actuator |
GB2515239B (en) * | 2012-04-19 | 2018-12-19 | Murata Manufacturing Co | Valve and fluid control apparatus |
JP5686224B2 (ja) * | 2012-06-22 | 2015-03-18 | 株式会社村田製作所 | 送液装置 |
GB201220974D0 (en) * | 2012-11-22 | 2013-01-02 | Cefai Joseph J | Micro valve |
WO2014148103A1 (ja) * | 2013-03-22 | 2014-09-25 | 株式会社村田製作所 | 圧電ブロア |
CN203892161U (zh) * | 2014-05-04 | 2014-10-22 | 吉林大学 | 一种多振子压电泵 |
CN106460828B (zh) * | 2014-05-20 | 2018-09-04 | 株式会社村田制作所 | 鼓风机 |
JP6103151B2 (ja) | 2014-07-25 | 2017-03-29 | 株式会社村田製作所 | 気体制御装置 |
WO2016063710A1 (ja) * | 2014-10-21 | 2016-04-28 | 株式会社村田製作所 | バルブ、流体制御装置および血圧計 |
CN107076137B (zh) | 2014-10-23 | 2020-06-30 | 株式会社村田制作所 | 阀与流体控制装置 |
JP6380075B2 (ja) * | 2014-12-15 | 2018-08-29 | 株式会社村田製作所 | ブロア |
JP6726166B2 (ja) * | 2015-02-17 | 2020-07-22 | 大研医器株式会社 | ポンプユニット及びその製造方法 |
JP6046856B1 (ja) * | 2015-03-10 | 2016-12-21 | 株式会社イワキ | 容積ポンプ |
CN107735573B (zh) * | 2015-04-27 | 2020-10-27 | 株式会社村田制作所 | 泵 |
WO2017038565A1 (ja) * | 2015-08-31 | 2017-03-09 | 株式会社村田製作所 | ブロア |
JP7086936B2 (ja) * | 2016-08-16 | 2022-06-20 | フィリップ・モーリス・プロダクツ・ソシエテ・アノニム | エアロゾル発生装置 |
CN206071839U (zh) * | 2016-09-08 | 2017-04-05 | 济南大学 | 一种柔性阀压电微泵 |
CN206477983U (zh) * | 2017-02-20 | 2017-09-08 | 研能科技股份有限公司 | 微型气体传输装置 |
CN107387378B (zh) * | 2017-08-16 | 2020-08-21 | 广州大学 | 内置柔顺结构无阀压电泵 |
TWI656517B (zh) * | 2017-08-21 | 2019-04-11 | 研能科技股份有限公司 | 具致動傳感模組之裝置 |
TWM556292U (zh) * | 2017-09-29 | 2018-03-01 | 研能科技股份有限公司 | 流體系統 |
CN107575365B (zh) * | 2017-09-30 | 2023-05-26 | 苏州攀特电陶科技股份有限公司 | 压电泵及电子产品 |
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