JP7268714B2 - ポンプ - Google Patents

Description

本発明は、圧電体を利用したポンプに関する。

従来、圧電体を利用して、流体を搬送するポンプが、特許文献１、特許文献２、および、特許文献３に示すように、各種考案されている。

特許文献１、特許文献２、特許文献３に示すポンプは、圧電体による振動を利用して、流体を搬送している。圧電体を用いることによって、特許文献１、特許文献２、特許文献３に記載のポンプは、小型化、低背化を実現している。

また、特許文献１、特許文献２、特許文献３に記載のポンプは、流体を一方向に搬送する整流機構を備えている。

国際公開第２０１６／１７５１８５号 特開２００９－７４４１８号公報 国際公開第２０１６／０１３３９０号

しかしながら、特許文献１、特許文献２、特許文献３に記載のポンプの構成では、ポンプ特性に、ある程度の限界があった。ポンプ特性とは、圧力、または、流量によって表され、圧力を高くできるほど、ポンプ特性は優れており、流量を大きくできるほど、ポンプ特性は優れている。

さらに、特許文献１、特許文献２、特許文献３に記載のポンプの構成では、整流機構によって、ポンプ特性が制限されることがあった。

したがって、本発明の目的は、整流機能を有し、且つ、優れたポンプ特性を有するポンプを提供することにある。

この発明のポンプは、板状部材、流路形成部材、ポンプ室、および、第１のフィルム弁を備える。板状部材は、一方主面に圧電素子が配置された振動板と、支持板と、振動板と支持板を連結し振動板を主面方向に振動可能に支持する複数の支持部材とを備え、複数の支持部材間に第１通気孔を備える。流路形成部材は、板状部材に対向して配置され、板状部材に対向する領域に第２通気孔を有する。ポンプ室は、板状部材と、流路形成部材と、板状部材および流路形成部材に接続する側壁部材とによって囲まれて形成され、第２通気孔に連通する中央領域と第１通気孔に連通する外縁領域とを有する。第１のフィルム弁は、ポンプ室内に配置されている。第１のフィルム弁の径方向の長さは、振動板と流路形成部材との間隔よりも長い。

この構成では、第２通気孔を吸入口とし、第１通気孔を吐出口とする態様において、吸入時の空隙側からポンプ室への流体の逆流入が抑制される。

また、この発明のポンプでは、次の構成であることが好ましい。第１のフィルム弁は、平面視において、第２通気孔が第１のフィルム弁の外端によって囲まれる領域内となる位置に配置され、外端側の領域が変形可能に振動板または流路形成部材に固定されている。

この構成では、上述の逆流入を抑制する構成を、簡素な構成で実現できる。

また、この発明のポンプでは、次の構成であることが好ましい。平面視して、振動板の中央領域は、一方主面から他方主面における厚みが振動板の外端よりも厚い厚部を有する。第１のフィルム弁は、環状であり、第１のフィルム弁の環状の内端は、厚部の外縁に沿って配置されている。

この構成では、第１のフィルム弁が、上述の動作を実現できる位置に、容易且つ高精度に設置される。

また、この発明のポンプでは、次の構成であってもよい。ポンプは、第２のフィルム弁を備える。第２のフィルム弁は、平面視において、第２通気孔の周縁で、第１のフィルム弁の配置位置よりも第２通気孔に近い位置に配置されている。第２のフィルム弁は、ポンプ室内における中央領域の圧力が外縁領域の圧力よりも高圧の時に、振動板と前記流路形成部材とに当接する。

この構成では、ポンプ室に貯められた流体を外縁の空隙に吐出する際に、吸入口である第２通気孔からの流体の漏洩がさらに抑制される。

また、この発明のポンプでは、第２のフィルム弁は、外端側の領域が変形可能に振動板または流路形成部材に固定されていることが好ましい。

この構成では、第２のフィルム弁を、上述の機能を実現しながら、簡素な構成によって実現できる。

また、この発明のポンプは、次の構成であってもよい。ポンプは、板状部材、流路形成部材、ポンプ室、および、第３のフィルム弁を備える。

板状部材は、一方主面に圧電素子が配置された振動板と、支持板と、振動板と支持板を連結し振動板を主面方向に振動可能に支持する複数の支持部材とを備え、複数の支持部材間に第１通気孔を備える。流路形成部材は、板状部材に対向して配置され、板状部材に対向する領域に第２通気孔を有する。

ポンプ室は、板状部材と、流路形成部材と、板状部材および流路形成部材に接続する側壁部材とによって囲まれて形成され、第２通気孔に連通する中央領域と第１通気孔に連通する外縁領域とを有する。第３のフィルム弁は、ポンプ室内に配置されている。第３のフィルム弁の径方向の長さは、振動板と流路形成部材との間隔よりも長い。

この構成では、第２通気孔を吐出口とし、第１通気孔を吸入口とする態様において、吐出時の空隙側への流体の漏洩が抑制される。

また、この発明のポンプでは、次の構成であることが好ましい。第３のフィルム弁は、平面視において、第２通気孔が第３のフィルム弁の外端によって囲まれる領域内となる位置に配置され、中央側の領域が変形可能に振動板または流路形成部材に固定されている。

この構成では、上述の漏洩を抑制する構成を、簡素な構成で実現できる。

また、この発明のポンプでは、次の構成であることが好ましい。平面視して、振動板の中央領域は、一方主面から他方主面における厚みが振動板の外端よりも厚い厚部を有する。第３のフィルム弁は、環状であり、第３のフィルム弁の環状の内端は、厚部の外縁に沿って配置されている。

この構成では、第３のフィルム弁が、上述の動作を実現できる位置に、容易且つ高精度に設置される。

また、この発明のポンプでは、次の構成であってもよい。ポンプは、第４のフィルム弁を備える。第４のフィルム弁は、平面視において、第２通気孔の周縁で、第３のフィルム弁の配置位置よりも第２通気孔に近い位置に配置されている。第４のフィルム弁は、ポンプ室内における中央領域の圧力が外縁領域の圧力よりも低圧の時に、振動板と流路形成部材とに当接している。

この構成では、ポンプ室に流体を外縁の空隙から吸入する際に、吐出口である第２通気孔からの流体の逆流入がさらに抑制される。

また、この発明のポンプでは、次の構成であることが好ましい。第４のフィルム弁は、中央側の領域が変形可能に、振動板または流路形成部材に固定されている。

この構成では、第４のフィルム弁を、上述の機能を実現しながら、簡素な構成によって実現できる。

また、この発明のポンプでは、次の構成であってもよい。ポンプは、平板状部材、流路形成部材、ポンプ室、第５のフィルム弁、第３通気孔、および、第４通気孔を備える。平板状部材は、一方主面に圧電素子が配置された振動板、支持板、および、振動板の外縁と支持板を連結し振動板を主面方向に振動可能に支持する支持部材を備える。流路形成部材は、平板状部材に対向して配置されている。ポンプ室は、平板状部材と、流路形成部材と、平板状部材および流路形成部材に接続する側壁部材とによって囲まれて形成されている。第５のフィルム弁は、平板状部材または流路形成部材に固定され、ポンプ室内の、平面視において振動板に重なる配置されている。第３通気孔は、平板状部材に形成され、第４通気孔は、流路形成部材に形成されている。第３通気孔と第４通気孔とは、平面視において、第５のフィルム弁を挟む位置に配置されている。第５のフィルム弁の径方向の長さは、振動板と流路形成部材との間隔よりも長い。このとき、第５のフィルム弁が平板状部材に固定されている場合、第５のフィルム弁は、振動板の振動に応じて、流路形成部材に当接する態様と、流路形成部材に当接しない態様とを切り替えることにより、第３通気孔と第４通気孔の間の流路抵抗を変化させる。第５のフィルム弁が流路形成部材に固定されている場合、第５のフィルム弁は、振動板の振動に応じて、平板状部材に当接する態様と、平板状部材に当接しない態様とを切り替えることにより、第３通気孔と第４通気孔の間の流路抵抗を変化させる。

この構成では、第５のフィルム弁がポンプ室内の流体の逆流を抑制する。したがって、ポンプ室の外縁領域から中央領域へ、または、中央領域から外縁領域へ、流体を搬送することができる。

この際、この発明のポンプでは、第５のフィルム弁が、ポンプ室の中央領域から外縁領域への流体の吐出を抑制し、外縁領域から中央領域への流体の流入を実現する構造であることが好ましい。この構成では、吐出時に、振動板と流路形成部材とが近接する。そのため、第５のフィルム弁が平板状部材に固定されている場合は、第５のフィルム弁が流路形成部材に当接し易く、且つ、第５のフィルム弁が流路形成部材に固定されている場合は、第５のフィルム弁が平板状部材に当接し易い。また、この構成では、吸入時に、振動板と流路形成部材とが離間する。そのため、第５のフィルム弁が平板状部材に固定されている場合は、第５のフィルム弁が流路形成部材に当接し難く、且つ、第５のフィルム弁が流路形成部材に固定されている場合は、第５のフィルム弁が流路形成部材に当接し難い。したがって、この発明のポンプは、流体の吐出時の逆流を抑制し易く、流体の吸入時の流入を促進し易い。

また、この発明のポンプでは、次のいずれかの構成であることが好ましい。流路形成部材は、平面視において、第５のフィルム弁に重なる位置に、振動板側に突出する突出部を備える。振動板は、平面視において、第５のフィルム弁に重なる位置に、流路形成部材側に突出する突出部を備える。

この構成では、第５のフィルム弁が平板状部材に固定されている場合、第５のフィルム弁が流路形成部材に当接する態様と当接しない態様との切り替えを、より素早く、且つ、確実に実現できる。また、第５のフィルム弁が流路形成部材に固定されている場合、第５のフィルム弁が平板状部材に当接する態様と当接しない態様との切り替えを、より素早く、且つ、確実に実現できる。したがって、第５のフィルム弁が平板状部材に固定されている場合と第５のフィルム弁が流路形成部材に固定されている場合とのどちらの場合においても、吐出時の逆流をさらに抑制し易く、吸入時の流入をさらに促進し易い。

また、この発明のポンプの第３通気孔は、平板状部材に形成されていることが好ましい。

この構成では、圧電素子への駆動信号の導通経路を容易に形成できる。

また、この発明のポンプでは、次の構成であることが好ましい。第３通気孔は、平面視において、平板状部材における第５のフィルム弁の配置位置よりも外縁側に形成されている。第４通気孔は、平面視において、流路形成部材における第５のフィルム弁に重なる位置よりも中央側に形成されている。

この構成では、支持部材の可撓性が振動板よりも高いため、振動板を大きく振動することができる。そのため、この構成では、第５のフィルム弁の配置位置での変位量を大きくできる。したがって、第５のフィルム弁が平板状部材に固定されている場合、第５のフィルム弁が流路形成部材に当接する態様と当接しない態様との切り替えを、より素早く、且つ、確実に実現できる。また、第５のフィルム弁が流路形成部材に固定されている場合、第５のフィルム弁が平板状部材に当接する態様と当接しない態様との切り換えを、より素早く、且つ、確実に実現できる。

また、この発明のポンプでは、第４通気孔は、前記振動板の振動の節に重なっていることが好ましい。

この構成では、逆止弁を用いることなく、確実に逆流が抑制される。

また、この発明のポンプでは、第４通気孔は、振動板の中央の腹に重なっており、外部からポンプ室への逆流を防ぐ逆止弁を備えていてもよい。

この構成では、振動の腹と重なる部分からの吐出を行っても、逆流が抑制される。また、振動の腹を用いることによって、逆止弁の開閉をより素早く、且つ、確実に実現できる。

また、この発明のポンプでは、支持部材は、振動板より可撓性が高い材料または形状で形成されていることが好ましい。

この構成では、振動板の外縁が支持されていても、振動板の振動が促進される。

また、この発明のポンプでは、支持部材は、振動板の外縁に沿った梁の形状を有するとよい。

この構成では、容易な構造で、振動板の可撓性よりも支持部材の可撓性を高くできる。

また、この発明のポンプでは、第３通気孔は、支持部材の間の隙間によって形成されていることが好ましい。

この構成では、第５のフィルム弁の配置位置の変位量を特に大きくできる。したがって、第５のフィルム弁が平板状部材に固定されている場合、第５のフィルム弁が流路形成部材に当接する態様と当接しない態様との切り替えを、より素早く、且つ、確実に実現できる。また、第５のフィルム弁が流路形成部材に固定されている場合、第５のフィルム弁が平板状部材に当接する態様と当接しない態様との切り換えを、より素早く、且つ、確実に実現できる。

また、この発明のポンプでは、次の構成であってもよい。第３通気孔は、平面視において、振動板における第５のフィルム弁に重なる位置よりも中央側に形成されている。第４通気孔は、平面視において、流路形成部材における支持部材に重なる位置に形成されている。

この構成では、流路形成部材側から流体を吸入し、振動板側に吐出する構成を実現できる。

この発明によれば、整流機能を有するポンプにおいて、優れたポンプ特性を実現できる。

図１は本発明の第１の実施形態に係るポンプ１０の分解斜視図である。 図２は本発明の第１の実施形態に係るポンプ１０とバルブ２０の複合モジュールの構成を示す断面図である。 図３（Ａ）および図３（Ｂ）は、フィルム弁１３の動作を示す拡大断面図である。 図４はポンプ１０の動作を模式的に示した図である。 図５はＰ－Ｑ特性の比較結果を示すグラフである。 図６は本発明の第２の実施形態に係るポンプ１０Ａの構成を示す断面図である。 図７（Ａ）および図７（Ｂ）は、フィルム弁１３Ａの動作を示す拡大断面図である。 図８は本発明の第３の実施形態に係るポンプ１０Ｂの構成を示す断面図である。 図９は本発明の第４の実施形態に係るポンプ１０Ｃの構成を示す断面図である。 図１０（Ａ）および図１０（Ｂ）は、フィルム弁１３Ｃの動作を示す拡大断面図である。 図１１は本発明の第５の実施形態に係るポンプ１０Ｄの分解斜視図である。 図１２は本発明の第６の実施形態に係るポンプ１０Ｅの構成を示す断面図である。 図１３（Ａ）および図１３（Ｂ）は、フィルム弁１３，１３１の動作を示す拡大断面図である。 図１４は本発明の第７の実施形態に係るポンプ１０Ｆの構成を示す断面図である。 図１５（Ａ）および図１５（Ｂ）は、フィルム弁１３Ｃ，１３１Ｃの動作を示す拡大断面図である。 図１６は本発明の第８の実施形態に係るポンプ１０Ｇの構成を示す断面図である。 図１７は本発明の第９の実施形態に係るポンプ１０Ｈの構成を示す断面図である。 図１８は第９の実施形態に係るポンプ１０Ｈの振動板１１Ｈの平面図である。 図１９（Ａ）は、流体の吐出時のポンプ１０Ｈの状態を示す側面断面図であり、図１９（Ｂ）は、流体の吸入時のポンプ１０Ｈの状態を示す側面断面図である。 図２０は本発明の第１０の実施形態に係るポンプ１０Ｉの構成を示す断面図である。 図２１は本発明の第１１の実施形態に係るポンプ１０Ｊの構成を示す断面図である。 図２２は本発明の第１１の実施形態における第１の変形例に係るポンプ１０Ｊ１の構成を示す断面図である。 図２３は本発明の第１１の実施形態における第２の変形例に係るポンプ１０Ｊ２の構成を示す断面図である。 図２４は本発明の第１１の実施形態における第２の変形例に係る、支持部材、圧電素子、振動板の接合部を示す断面拡大図である。 図２５はフィルム弁１３の派生例の一例を示す斜視図である。 図２６は本発明の変形例に係るポンプ１０Ｋの構成を示す断面図である。

本発明の第１の実施形態に係るポンプについて、図を参照して説明する。図１は、本発明の第１の実施形態に係るポンプ１０の分解斜視図である。図２は、本発明の第１の実施形態に係るポンプ１０とバルブ２０の複合モジュールの構成を示す断面図である。なお、以下の各実施形態を示す各図においては、説明を分かり易くするために、それぞれの構成要素の形状を部分的または全体として誇張して記載している。

図１、図２に示すように、ポンプ１０は、振動板１１、圧電素子１２、フィルム弁１３、接合部材１４、流路形成部材１５、流路形成部材１６、カバー部材１７、および、側壁部材１８を備える。

振動板１１は、円板である。振動板１１は、圧電素子１２の変形（歪み）によって、ベンディング振動が可能な材料および寸法で形成されている。ベンディング振動とは、板状部材面に直交する方向を振動方向とする振動である。また、振動板１１は、所定の共振周波数で振動する材料および寸法で形成されている。

振動板１１は、薄部１１１と厚部１１２とからなる。厚部１１２は、薄部１１１の一方主面から突出する形状であり、他方主面からは突出していない。薄部１１１の平面視の外形形状と厚部１１２の平面視の外形形状は、ともに円形である。厚部１１２の径は、薄部１１１の径よりも小さい。厚部１１２は、平面視において、薄部１１１の中央の領域に配置されている。平面視における厚部１１２の中心と薄部１１１の中心とは略一致している。厚部１１２と薄部１１１とは、一体形成されている。

振動板１１の外周には、振動板１１から離間して、支持板１１３が配置されている。振動板１１と支持板１１３との間には、空隙１１４がある。振動板１１は、空隙１１４に形成された支持部材１１５によって、支持板１１３に接続されている。支持部材１１５は、バネ性を有する。これにより、振動板１１は、支持部材１１５を介して、支持板１１３に振動可能に保持される。振動板１１、支持板１１３、および、支持部材１１５からなる部材が、本発明の「板状部材」に対応する。また、空隙１１４が、本発明の「第１通気孔」に対応する。

圧電素子１２は、圧電体と駆動用電極とを備える。圧電体は、円板である。駆動用電極は、圧電体の両主面に形成されている。圧電体は、駆動用電極に印加される駆動電圧によって、形状が歪む。すなわち、圧電素子１２は、駆動電圧の印加によって歪む。

圧電素子１２は、振動板１１における厚部１１２が突出する面と反対側の面に当接している。これにより、圧電素子１２に駆動電圧が印加され、圧電素子１２が歪むと、この応力が振動板１１に作用し、振動板１１は、上述のベンディング振動を生じる。

フィルム弁１３は、可撓性を有する材料からなる。フィルム弁１３は、軽量で低剛性の材料によって実現される。例えば、フィルム弁１３は、金属箔、樹脂フィルム等によって実現される。なお、フィルム弁１３は、ポリイミド膜であるとよりよい。フィルム弁１３は、本発明の「第１のフィルム弁」に対応する。例えば、フィルム弁１３の厚みは、５μｍであり、外径（直径）は５．９ｍｍである。

フィルム弁１３は、平面視において、フィルム弁１３の外端によって囲まれる領域内に孔１５１が入る位置に、配置されている。

フィルム弁１３は、振動板１１における厚部１１２が突出する側の面に配置されている。フィルム弁１３は、円環形状である。フィルム弁１３は、円環形状の接合部材１４を用いて、振動板１１に接合されている。より具体的には、フィルム弁１３における円環形の内端側の所定幅の部分は、接合部材１４によって振動板１１に接合されており、外端側の領域は接合されていない。これにより、フィルム弁１３は、外端側の所定面積の領域が振動可能な状態で、振動板１１に接合されている。例えば、接合部材１４の厚みは１７μｍであり、外径（直径）は５．５ｍｍである。

フィルム弁１３の内端は、厚部１１２の外周よりも外側で、且つ、外周に略当接している。この構成によって、フィルム弁１３を配置する際に、厚部１１２を基準に配置でき、フィルム弁１３の配置を容易且つ高精度に実現できる。

フィルム弁１３の径方向の長さは、接合部材１４に接合する領域を除いて、振動板１１と流路形成部材１５との間隔よりも長い。このことによって、フィルム弁１３は、流路形成部材１５に当接しやすくなる。より好ましくは、振動板１１が振動状態で、振動板１１が流路形成部材１５から最も離間した状態において、フィルム弁１３は、外端から中心へ所定長さの部分が流路形成部材１５に当接する形状をとることで、フィルム弁１３は、確実に流路形成部材１５に当接しやすくなる。

流路形成部材１５は板状部材である。流路形成部材１５は、高い剛性を有する材料からなる。流路形成部材１５は、平面視した略中央に、孔１５１を有する。孔１５１は、流路形成部材１５を厚み方向に貫通する貫通孔である。例えば、孔１５１の径は、約０．８ｍｍである。孔１５１が、本発明の「第２通気孔」に対応する。

流路形成部材１５は、振動板１１における厚部１１２が突出する側の面から所定距離離間して配置されている。この際、流路形成部材１５は、フィルム弁１３からも離間して配置されている。

流路形成部材１６は板状部材である。流路形成部材１６は、高い剛性を有する材料からなる。流路形成部材１６は、流路用の開口部１６１を有する。流路用の開口部１６１は、流路形成部材１６を厚み方向に貫通している。流路用の開口部１６１は、平面視して円形の中央領域と、複数の線状領域とからなる。複数の線状領域の延びる方向の一方端は、中央領域に連通しており、他方端は、流路形成部材１６におけるそれぞれに異なる外端付近に達している。

カバー部材１７は、板状部材である。カバー部材１７は、複数の孔１７１を有する。複数の孔１７１は、カバー部材１７を厚み方向に貫通している。複数の孔１７１は、カバー部材１７におけるそれぞれに異なる外端付近に形成されている。

流路形成部材１５、流路形成部材１６、および、カバー部材１７は、この順で積層され、それぞれに接合されている。この構成では、孔１５１、流路用の開口部１６１、および、複数の孔１７１は、順に連通することによって、振動板１１における厚部１１２の突出する側の流路が形成される。

側壁部材１８は、筒状であり、高い剛性を有する。側壁部材１８は、支持板１１３と流路形成部材１５とに接続している。

この構成によって、ポンプ１０は、振動板１１、支持板１１３、流路形成部材１５、および、側壁部材１８によって囲まれる中空領域からなるポンプ室１０１を有する。そして、フィルム弁１３は、このポンプ室１０１内に配置されている。また、ポンプ室１０１は、孔１５１に連通するとともに、空隙１１４に連通している。例えば、ポンプ室１０１のデフォルト時（振動板１１が振動していない状態）での高さは、約１０μｍから約２０μｍである。

そして、ポンプ１０は、振動板１１の振動を利用することで、ポンプ室１０１の圧力を変化させ、流体を搬送する。なお、ポンプ１０の具体的な動作は後述する。

概略的には、ポンプ１０は、振動板１１の変位によってポンプ室１０１の体積を大きくすることで、ポンプ室１０１の圧力を外部よりも低くする。これにより、ポンプ１０は、孔１７１、流路用の開口部１６１および孔１５１を介して、ポンプ室１０１内に流体を吸引する。

一方、ポンプ１０は、振動板１１の変位によってポンプ室１０１の体積を小さくすることで、ポンプ室１０１の圧力を外部よりも高くする。これにより、ポンプ１０は、ポンプ室１０１内の流体を、空隙１１４を介して吐出する。

吐出された流体は、バルブ２０に入る。図２に示すように、バルブ２０は、第１ケース部材２１、第２ケース部材２２、ダイヤフラム２３、接合膜２４、補強膜２５、接着部材２６を備える。概略的には、第１ケース部材２１と第２ケース部材２２とは、バルブ室を形成する。第１ケース部材２１は、吸入口２０１を有し、吸入口２０１は、バルブ室に連通している。第２ケース部材２２は、吐出口２０２と排出口２０３とを有し、吐出口２０２および排出口２０３は、バルブ室に連通している。

ダイヤフラム２３は、接合膜２４を用いて、補強膜２５に接合されている。そして、この膜状体は、バルブ室内に配置され、バルブ室を、吸入口２０１に連通する第１バルブ室と、吐出口２０２および排出口２０３に連通する第２バルブ室に分ける。膜状体には、整流機能を実現するための複数の孔が設けられている。

接着部材２６は、第１ケース部材２１、第２ケース部材２２、および、膜状体を接着する。

このようなバルブ２０は、連結部材２７を介して、ポンプ１０に接続されている。連結部材２７は、筒状であり、第１ケース部材２１と支持板１１３とを接続している。

このような構成では、ポンプ１０の空隙１１４から吐出された流体は、バルブ２０の吸入口２０１を介して、バルブ室内に流入する。この流体の流入によって、ダイヤフラム２３、接合膜２４、および、補強膜２５からなる膜状体は、吐出口２０２側に変位するように変形し、吸入口２０１と吐出口２０２とは、連通状態になる。したがって、吸入口２０１から流入した流体は、吐出口２０２から外部に吐出される。一方、吐出口２０２から流体が流入する時には、ダイヤフラム２３、接合膜２４、および、補強膜２５からなる膜状体は、吸入口２０１側に変位するように変形し、吸入口２０１と吐出口２０２とは、非連通状態になる。そして、吐出口２０２と排出口２０３とは連通状態になる。したがって、吐出口２０２から流入した流体は、排出口２０３から外部へ排出される。

このような構成において、フィルム弁１３は、次に示すように動作（挙動）をする。図３（Ａ）および図３（Ｂ）は、フィルム弁１３の動作を示す拡大断面図である。なお、図３（Ａ）、図３（Ｂ）では、振動板１１の変位の図示を省略している。

（中央領域：相対的高圧、外縁領域：相対的低圧）
振動板１１が変位し、振動板１１の中央が流路形成部材１５に近くなると、図３（Ａ）に示すように、平面視におけるポンプ室１０１の中央領域、すなわち、フィルム弁１３の配置位置よりも中央の領域が、ポンプ室１０１の外縁領域よりも高圧（相対的高圧）になる。

この場合、図３（Ａ）に示すように、フィルム弁１３の外縁側の領域（自由端側の領域）は、振動板１１側に湾曲し、振動板１１の表面に当接する。これにより、ポンプ室１０１の中央領域と外縁領域とは連通し、中央領域に貯められた流体は、外縁領域に搬送され、空隙１１４から吐出される。この際、フィルム弁１３は、振動板１１の表面に当接しているので、流体の搬送を阻害せず、流量の低下が生じない。

（中央領域：相対的低圧、外縁領域：相対的高圧）
振動板１１が変位し、振動板１１の中央が流路形成部材１５から離れると、図３（Ｂ）に示すように、平面視におけるポンプ室１０１の中央領域、すなわち、フィルム弁１３の配置位置よりも中央の領域が、ポンプ室１０１の外縁領域よりも低圧（相対的低圧）になる。

この場合、図３（Ｂ）に示すように、フィルム弁１３の外縁側の領域（自由端側の領域）は、流路形成部材１５側に湾曲し、流路形成部材１５の表面に当接する。これにより、ポンプ室１０１の中央領域と外縁領域との連通が遮断される。したがって、外縁側から中央領域への流体の逆流が抑制される。

（連続動作）
振動板１１が振動を繰り返すことによって、フィルム弁１３は、図４に示すような動作を繰り返す。図４は、ポンプの動作を模式的に示した図である。

ステートＳＴ１は、ポンプ１０が流体を吸入して吐出に至る過程において、振動板１１がデフォルト位置にある状態を示している。この場合、フィルム弁１３は、略デフォルトの状態、すなわち、変形の無い状態となる。

ステートＳＴ２では、ステートＳＴ１に対して、振動板１１の中央領域は、流路形成部材１５に近づいている。この場合、ステートＳＴ１と比較して、中央領域の圧力は高くなり、外縁領域よりも相対的に高圧になる。これにより、流体は、中央領域から外縁に向けて押し出される。これに応じて、フィルム弁１３の外縁側の領域も、振動板１１側に湾曲する。

ステートＳＴ３では、ステートＳＴ２に対して、振動板１１の中央領域は、流路形成部材１５にさらに近づいている。この場合、ステートＳＴ２と比較して、中央の圧力は更に高くなり、外縁領域よりも相対的に更に高圧になる。これにより、流体は、中心領域から外縁に向けて、更に押し出される。これに応じて、フィルム弁１３の外縁側の領域も、振動板１１側にさらに湾曲し、振動板１１の表面に当接する。

ステートＳＴ４では、ステートＳＴ３に対して、振動板１１の中央領域は、流路形成部材１５から離れる。この場合、ステートＳＴ３と比較して、中央領域の圧力は低くなるが、外縁領域よりも相対的に高圧になる。これにより、フィルム弁１３の外縁側の領域は、振動板１１の表面から離間し、デフォルト状態に近づく。

ステートＳＴ５は、ポンプ１０が流体を吐出した後に、振動板１１がデフォルト位置にある状態を示している。この場合、フィルム弁１３は、略デフォルトの状態、すなわち、変形の無い状態となる。

ステートＳＴ６では、ステートＳＴ５に対して、振動板１１の中央領域は、流路形成部材１５から離れる。この場合、ステートＳＴ５と比較して、中央領域の圧力は低くなり、孔１５１を含む流路および外縁領域よりも相対的に低圧になる。これにより、流体は、孔１５１を介して中央領域に引き込まれる。これに応じて、フィルム弁１３の外縁側の領域は、流路形成部材１５側に湾曲する。このフィルム弁１３により、外縁領域から中央領域への流体の逆流が抑制される。

ステートＳＴ７では、ステートＳＴ６に対して、振動板１１の中央領域は、流路形成部材１５からさらに離れる。この場合、ステートＳＴ６と比較して、中央の圧力は更に低くなり、孔１５１を含む流路および外縁領域よりも相対的に更に低圧になる。これにより、流体は、孔１５１を介して中央領域に更に引き込まれる。これに応じて、フィルム弁１３の外縁側の領域は、流路形成部材１５側に更に湾曲し、流路形成部材１５の表面に当接する。この結果、フィルム弁１３によって、外縁領域と中央領域とが分離され、外縁領域から中央領域への流体の逆流が更に効果的に抑制される。

ステートＳＴ８では、ステートＳＴ７に対して、振動板１１の中央領域は、流路形成部材１５に近づく。この場合、ステートＳＴ７と比較して、中央領域の圧力は高くなるが、外縁領域よりも相対的に低圧になる。これにより、フィルム弁１３の外縁側の領域は、流路形成部材１５の表面から離間し、デフォルト状態に近づく。

そして、ポンプ１０は、ステートＳＴ１に戻り、上述の動作が繰り返される。

このように、ポンプ１０の構成を用いることによって、流体の吸入時の外縁領域、すなわち、空隙１１４を介した流体の逆流を抑制できる。さらに、流体を中央領域から外縁領域へ搬送、すなわち、空隙１１４から流体を吐出する際に、フィルム弁１３が流体の搬送を阻害しない。

これにより、ポンプ１０は、ポンプ性能が向上する。図５は、Ｐ－Ｑ特性の比較結果を示すグラフである。図５において、横軸は圧力であり、縦軸は流量である。図５において、実線は本願構成を示し、破線は比較構成を示す。比較構成は、上述のフィルム弁１３を備えない構成である。

図５に示すように、本願構成（ポンプ１０）を用いることによって、Ｐ－Ｑ特性が向上する。すなわち、ポンプ特性は、向上する。

なお、上述の説明において、接合部材１４によるフィルム弁１３の接合位置は、振動板１１の振動のノード位置に重なるようにするとよい。これにより、振動板１１の振動による応力が接合部材１４に加わることを抑制できる。したがって、フィルム弁１３の剥がれを抑制できる。

次に、本発明の第２の実施形態に係るポンプについて、図を参照して説明する。図６は、本発明の第２の実施形態に係るポンプ１０Ａの構成を示す断面図である。

図６に示すように、第２の実施形態に係るポンプ１０Ａは、第１の実施形態に係るポンプ１０に対して、フィルム弁１３Ａが流路形成部材１５に設置される点で異なる。また、ポンプ１０Ａは、振動板１１Ａを備える点においてポンプ１０と異なる。ポンプ１０Ａの他の構成は、ポンプ１０と同様であり、同様の箇所の説明は省略する。

フィルム弁１３Ａの形状は、ポンプ１０で示したフィルム弁１３の形状と同様であり、接合部材１４Ａの形状は、ポンプ１０で示した接合部材１４の形状と同様である。

フィルム弁１３Ａは、接合部材１４Ａを用いて、流路形成部材１５におけるポンプ室１０１側の面に接合されている。この際、フィルム弁１３Ａは、平面視において、外端に囲まれる領域内に孔１５１が入る位置に配置されている。

フィルム弁１３Ａにおける円環形の内端側の所定幅の部分は、接合部材１４Ａによって流路形成部材１５に接合されており、外端側の領域は接合されていない。これにより、フィルム弁１３Ａは、外端側の所定面積の領域が振動可能な状態で、流路形成部材１５に接合されている。

振動板１１Ａは、厚みが一定の平板である。なお、振動板１１Ａは、ポンプ１０で示した振動板１１と同様の形状であってもよい。

このような構成において、フィルム弁１３Ａは、次に示すように動作（挙動）をする。図７（Ａ）および図７（Ｂ）は、フィルム弁１３Ａの動作を示す拡大断面図である。なお、図７（Ａ）、図７（Ｂ）では、振動板１１Ａの変位の図示を省略している。

（中央領域：相対的高圧、外縁領域：相対的低圧）
振動板１１Ａが変位し、振動板１１Ａの中央が流路形成部材１５に近づくと、図７（Ａ）に示すように、平面視におけるポンプ室１０１の中央領域、すなわち、フィルム弁１３Ａの配置位置よりも中央の領域が、ポンプ室１０１の外縁領域よりも高圧（相対的高圧）になる。

この場合、図７（Ａ）に示すように、フィルム弁１３Ａの外縁側の領域（自由端側の領域）は、流路形成部材１５側に湾曲し、流路形成部材１５の表面に当接する。これにより、ポンプ室１０１の中央領域と外縁領域とは連通し、中央領域に貯められた流体は、外縁領域に搬送され、空隙１１４から吐出される。この際、フィルム弁１３Ａは、流路形成部材１５の表面に当接しているので、流体の搬送を阻害せず、流量の低下が生じない。

（中央領域：相対的低圧、外縁領域：相対的高圧）
振動板１１Ａが変位し、振動板１１Ａの中央が流路形成部材１５から離れると、図７（Ｂ）に示すように、平面視におけるポンプ室１０１の中央領域、すなわち、フィルム弁１３Ａの配置位置よりも中央の領域が、ポンプ室１０１の外縁領域よりも低圧（相対的低圧）になる。

この場合、図７（Ｂ）に示すように、フィルム弁１３Ａの外縁側の領域（自由端側の領域）は、振動板１１Ａ側に湾曲し、振動板１１Ａの表面に当接する。これにより、ポンプ室１０１の中央領域と外縁領域との連通が遮断される。したがって、外縁側から中央領域への流体の逆流が抑制される。

このような構成によって、ポンプ１０Ａは、ポンプ１０と同様の作用効果を奏することができる。

また、流路形成部材１５は、振動しない、もしくは、殆ど振動しない。したがって、接合部材１４Ａに、振動による応力が加わることを抑制でき、フィルム弁１３Ａの剥がれを抑制できる。

次に、本発明の第３の実施形態に係るポンプについて、図を参照して説明する。図８は、本発明の第３の実施形態に係るポンプ１０Ｂの構成を示す断面図である。

図８に示すように、第３の実施形態に係るポンプ１０Ｂは、第１の実施形態に係るポンプ１０に対して、フィルム弁１３Ｂを備える点で異なる。ポンプ１０Ｂの他の構成は、ポンプ１０と同様であり、同様の箇所の説明は省略する。

フィルム弁１３Ｂは、円形である。フィルム弁１３Ｂは、振動板１１における厚部１１２の表面に接合されている。この際、フィルム弁１３Ｂにおける中央の所定面積の領域は、厚部１１２に接合されており、外端側の領域は接合されていない。これにより、フィルム弁１３Ｂは、外端側の所定面積の領域が振動可能な状態で、振動板１１に接合されている。

このような構成によって、ポンプ１０Ｂは、ポンプ１０と同様の作用効果を得ることができる。

次に、本発明の第４の実施形態に係るポンプについて、図を参照して説明する。図９は、本発明の第４の実施形態に係るポンプ１０Ｃの構成を示す断面図である。

図９に示すように、第４の実施形態に係るポンプ１０Ｃは、第１の実施形態に係るポンプ１０に対して、フィルム弁１３Ｃの固定構造において異なる。ポンプ１０Ｃの他の構成は、ポンプ１０と同様であり、同様の箇所の説明は省略する。

フィルム弁１３Ｃは、フィルム弁１３と同様の構成からなる。フィルム弁１３Ｃにおける円環形の外端側の所定幅の部分は、接合部材１４Ｃによって振動板１１に接合されており、内端側の領域は接合されていない。これにより、フィルム弁１３Ｃは、内端側の所定面積の領域が振動可能な状態で、振動板１１に接合されている。フィルム弁１３Ｃが、本発明の「第３のフィルム弁」に対応する。

このような構成において、フィルム弁１３Ｃは、次に示すように動作（挙動）をする。図１０（Ａ）および図１０（Ｂ）は、フィルム弁１３Ｃの動作を示す拡大断面図である。なお、図１０（Ａ）、図１０（Ｂ）では、振動板１１の変位の図示を省略している。

（中央領域：相対的高圧、外縁領域：相対的低圧）
振動板１１が変位し、振動板１１の中央が流路形成部材１５に近くなると、図１０（Ａ）に示すように、平面視におけるポンプ室１０１の中央領域、すなわち、フィルム弁１３Ｃの配置位置よりも中央の領域が、ポンプ室１０１の外縁領域よりも高圧（相対的高圧）になる。

この場合、図１０（Ａ）に示すように、フィルム弁１３Ｃの内端側の領域（自由端側の領域）は、流路形成部材１５側に湾曲し、流路形成部材１５の表面に当接する。これにより、ポンプ室１０１の中央領域と外縁領域との連通が遮断され、中央領域に貯められた流体は、孔１５１から吐出される。すなわち、ポンプ１０Ｃでは、孔１５１が吐出口となる。この際、フィルム弁１３Ｃは、流路形成部材１５の表面に当接しているので、中央領域から外端側への流体の漏洩が抑制される。

（中央領域：相対的低圧、外縁領域：相対的高圧）
振動板１１が変位し、振動板１１の中央が流路形成部材１５から離れると、図１０（Ｂ）に示すように、平面視におけるポンプ室１０１の中央領域、すなわち、フィルム弁１３Ｃの配置位置よりも中央の領域が、ポンプ室１０１の外縁領域よりも低圧（相対的低圧）になる。

この場合、図１０（Ｂ）に示すように、フィルム弁１３Ｃの内端側の領域（自由端側の領域）は、振動板１１側に湾曲し、振動板１１の表面に当接する。これにより、ポンプ室１０１の中央領域と外縁領域とは連通する。したがって、空隙１１４から外縁領域を介して中央領域へ流体が吸入される。この際、フィルム弁１３Ｃは、振動板１１の表面に当接しているので、流体の搬送を阻害せず、流量の低下が生じない。

このように、ポンプ１０Ｃは、ポンプ１０に対して吸入口と吐出口とが逆に配置される構成となる。

そして、ポンプ１０Ｃの構成を用いることによって、流体の吐出時の外縁領域、すなわち、空隙１１４を介した流体の漏洩を抑制できる。さらに、流体を外縁領域から中央領域へ搬送、すなわち、空隙１１４から流体を吸入する際に、フィルム弁１３Ｃが流体の搬送を阻害しない。これにより、ポンプ１０Ｃは、ポンプ性能が向上する。

次に、本発明の第５の実施形態に係るポンプについて、図を参照して説明する。図１１は、本発明の第５の実施形態に係るポンプ１０Ｄの分解斜視図である。

図１１に示すように、第５の実施形態に係るポンプ１０Ｄは、第１の実施形態に係るポンプ１０に対して、振動板１１Ｄの形状、圧電素子１２Ｄの形状において異なる。ポンプ１０Ｄの他の構成は、ポンプ１０と同様であり、同様の箇所の説明は省略する。

図１１に示すように、振動板１１Ｄは、薄部１１１Ｄが矩形である。また、圧電素子１２Ｄは矩形である。

このような構成であっても、ポンプ１０Ｄは、ポンプ１０と同様の作用効果を得ることができる。

次に、本発明の第６の実施形態に係るポンプについて、図を参照して説明する。図１２は、本発明の第６の実施形態に係るポンプ１０Ｅの構成を示す断面図である。

図１２に示すように、第６の実施形態に係るポンプ１０Ｅは、第１の実施形態に係るポンプ１０に対して、フィルム弁１３１、および、接合部材１４１を追加した点において異なる。ポンプ１０Ｅの他の構成は、ポンプ１０と同様であり、同様の箇所の説明は省略する。

ポンプ１０Ｅは、フィルム弁１３１、および、接合部材１４１を備える。

フィルム弁１３１は、平面視において、フィルム弁１３よりも中央側に配置されている。フィルム弁１３１は、円形であり、中央に貫通孔を有する。

フィルム弁１３１は、貫通孔が孔１５１に重なる状態で、接合部材１４１を介して流路形成部材１５に接合されている。この際、フィルム弁１３１における貫通孔に当接する内端側の所定幅の部分は、接合部材１４１によって流路形成部材１５に接合されており、外端側の領域は接合されていない。これにより、フィルム弁１３１は、外端側の所定面積の領域が振動可能な状態で、流路形成部材１５に接合されている。フィルム弁１３１が、本発明の「第２のフィルム弁」に対応する。

このように、ポンプ１０Ｅでは、フィルム弁１３とフィルム弁１３１とは、中心と外縁とを結ぶ方向において、固定端部（接合部材によって固定される端部）と自由端（接合部材によって固定されていない端部）との位置関係が同じになる。

このような構成において、フィルム弁１３は、次に示すように動作（挙動）をする。図１３（Ａ）および図１３（Ｂ）は、フィルム弁の動作を示す拡大断面図である。なお、図１３（Ａ）、図１３（Ｂ）では、振動板１１の変位の図示を省略している。

（中央領域：相対的高圧、外縁領域：相対的低圧）
振動板１１が変位し、振動板１１の中央が流路形成部材１５に近くなると、図１３（Ａ）に示すように、平面視におけるポンプ室１０１の中央領域、すなわち、フィルム弁１３の配置位置よりも中央の領域が、ポンプ室１０１の外縁領域よりも高圧（相対的高圧）になる。

この場合、図１３（Ａ）に示すように、フィルム弁１３の外縁側の領域（自由端側の領域）は、振動板１１側に湾曲し、振動板１１の表面に当接する。これにより、ポンプ室１０１の中央領域と外縁領域とは連通し、中央領域に貯められた流体は、外縁領域に搬送され、空隙１１４から吐出される。この際、フィルム弁１３は、振動板１１の表面に当接しているので、流体の搬送を阻害せず、流量の低下が生じない。

さらに、図１３（Ａ）に示すように、フィルム弁１３１の外縁側の領域（自由端側の領域）は、振動板１１側に湾曲し、振動板１１の表面に当接する。これにより、ポンプ室１０１の中央領域と孔１５１との間の連通は遮断され、中央領域に貯められた流体が孔１５１から漏洩することが抑制される。これにより、さらに効率的に、流体を吐出できる。

（中央領域：相対的低圧、外縁領域：相対的高圧）
振動板１１が変位し、振動板１１の中央が流路形成部材１５から離れると、図１３（Ｂ）に示すように、平面視におけるポンプ室１０１の中央領域、すなわち、フィルム弁１３の配置位置よりも中央の領域が、ポンプ室１０１の外縁領域よりも低圧（相対的低圧）になる。

この場合、図１３（Ｂ）に示すように、フィルム弁１３の外縁側の領域（自由端側の領域）は、流路形成部材１５側に湾曲し、流路形成部材１５の表面に当接する。これにより、ポンプ室１０１の中央領域と外縁領域との連通が遮断される。したがって、外縁側から中央領域への流体の逆流入が抑制される。

また、図１３（Ｂ）に示すように、フィルム弁１３１の外縁側の領域（自由端側の領域）は、流路形成部材１５側に湾曲し、流路形成部材１５の表面に当接する。これにより、ポンプ室１０１の中央領域と孔１５１とは連通し、孔１５１から中央領域に流体が吸入される。このように、フィルム弁１３１は、孔１５１からの流体の吸入を阻害しない。

次に、本発明の第７の実施形態に係るポンプについて、図を参照して説明する。図１４は、本発明の第７の実施形態に係るポンプ１０Ｆの構成を示す断面図である。

図１４に示すように、第７の実施形態に係るポンプ１０Ｆは、第４の実施形態に係るポンプ１０Ｃに対して、フィルム弁１３１Ｃ、および、接合部材１４１Ｃを追加した点において異なる。ポンプ１０Ｆの他の構成は、ポンプ１０Ｃと同様であり、同様の箇所の説明は省略する。

ポンプ１０Ｆは、フィルム弁１３１Ｃ、および、接合部材１４１Ｃを備える。

フィルム弁１３１Ｃは、平面視において、フィルム弁１３Ｃよりも中央側に配置されている。フィルム弁１３１Ｃは、円形であり、中央に貫通孔を有する。

フィルム弁１３１Ｃは、貫通孔が孔１５１に重なる状態で、接合部材１４１Ｃを介して流路形成部材１５に接合されている。この際、フィルム弁１３１Ｃにおける外端側の所定幅の部分は、接合部材１４１Ｃによって流路形成部材１５に接合されており、内端側の領域は接合されていない。これにより、フィルム弁１３１Ｃは、内端側の所定面積の領域が振動可能な状態で、流路形成部材１５に接合されている。フィルム弁１３１Ｃが、本発明の「第４のフィルム弁」に対応する。

このように、ポンプ１０Ｆでは、フィルム弁１３Ｃとフィルム弁１３１Ｃとは、中心と外縁とを結ぶ方向において、固定端部（接合部材によって固定される端部）と自由端（接合部材によって固定されていない端部）との位置関係が同じになる。

このような構成において、フィルム弁１３Ｃは、次に示すように動作（挙動）をする。図１５（Ａ）および図１５（Ｂ）は、フィルム弁の動作を示す拡大断面図である。なお、図１５（Ａ）、図１５（Ｂ）では、振動板１１の変位の図示を省略している。

（中央領域：相対的高圧、外縁領域：相対的低圧）
振動板１１が変位し、振動板１１の中央が流路形成部材１５に近くなると、図１５（Ａ）に示すように、平面視におけるポンプ室１０１の中央領域、すなわち、フィルム弁１３Ｃの配置位置よりも中央の領域が、ポンプ室１０１の外縁領域よりも高圧（相対的高圧）になる。

この場合、図１５（Ａ）に示すように、フィルム弁１３Ｃの内端側の領域（自由端側の領域）は、流路形成部材１５側に湾曲し、流路形成部材１５の表面に当接する。これにより、ポンプ室１０１の中央領域と外縁領域との連通が遮断され、中央領域に貯められた流体は、孔１５１から吐出される。すなわち、ポンプ１０Ｆでは、孔１５１が吐出口となる。この際、フィルム弁１３Ｃは、流路形成部材１５の表面に当接しているので、中央領域から外端側への流体の漏洩が抑制される。

さらに、図１５（Ａ）に示すように、フィルム弁１３１Ｃの内端側の領域（自由端側の領域）は、流路形成部材１５側に湾曲し、流路形成部材１５の表面に当接する。これにより、ポンプ室１０１の中央領域と孔１５１とは連通し、中央領域に貯められた流体が孔１５１から吐出される。この際、フィルム弁１３１Ｃは、流路形成部材１５の表面に当接しているので、流体の吐出を阻害せず、流量の低下が生じない。

（中央領域：相対的低圧、外縁領域：相対的高圧）
振動板１１が変位し、振動板１１の中央が流路形成部材１５から離れると、図１５（Ｂ）に示すように、平面視におけるポンプ室１０１の中央領域、すなわち、フィルム弁１３Ｃの配置位置よりも中央の領域が、ポンプ室１０１の外縁領域よりも低圧（相対的低圧）になる。

この場合、図１５（Ｂ）に示すように、フィルム弁１３Ｃの内端側の領域（自由端側の領域）は、振動板１１側に湾曲し、振動板１１の表面に当接する。これにより、ポンプ室１０１の中央領域と外縁領域とは連通する。したがって、空隙１１４から外縁領域を介して中央領域へ流体が吸入される。この際、フィルム弁１３Ｃは、振動板１１の表面に当接しているので、流体の搬送を阻害せず、流量の低下が生じない。

さらに、図１５（Ｂ）に示すように、フィルム弁１３１Ｃの内端側の領域（自由端側の領域）は、振動板１１側に湾曲し、振動板１１の表面に当接する。これにより、ポンプ室１０１の中央領域と孔１５１との間の連通は遮断され、中央領域への孔１５１からの流体の逆流入が抑制される。

次に、本発明の第８の実施形態に係るポンプについて、図を参照して説明する。図１６は、本発明の第８の実施形態に係るポンプ１０Ｇの構成を示す断面図である。なお、図１６では、ポンプとして必要最小限の構成のみを記載しており、その他の部分の記載は省略している。

図１６に示すように、第８の実施形態に係るポンプ１０Ｇは、第１の実施形態に係るポンプ１０に対して、振動板１１Ｇ、フィルム弁１３Ｇ、および、接合部材１４Ｇにおいて異なる。ポンプ１０Ｇの他の構成は、ポンプ１０と同様であり、同様の箇所の説明は省略する。

図１６に示すように、ポンプ１０Ｇは、振動板１１Ｇにおける一方主面に、壁１１６を備える。壁１１６は、振動板１１Ｇの一方主面から流路形成部材１５側（ポンプ室１０１側）に突出する形状であり、平面視において環状である。

ポンプ１０Ｇを平面視した状態において、壁１１６によって囲まれる内側の領域は、流路形成部材１５の孔１５１に重なっている。

フィルム弁１３Ｇは、平面視において円形である。フィルム弁１３Ｇの中央部分は、壁１１６によって形成される中央の開口部に配置されている。そして、フィルム弁１３Ｇの中央部分は、接合部材１４Ｇによって、振動板１１Ｇの一方主面に接合されている。

この構成によって、フィルム弁１３Ｇは、外端側の領域が変形可能に、振動板１１Ｇに固定される。したがって、ポンプ１０Ｇは、第１の実施形態に係るポンプ１０と同様の作用効果を奏することができる。

次に、本発明の第９の実施形態に係るポンプについて、図を参照して説明する。図１７は、本発明の第９の実施形態に係るポンプ１０Ｈの構成を示す断面図である。なお、図１７では、ポンプとして必要最小限の構成のみを記載しており、その他の部分の記載は省略している。

図１７に示すように、第９の実施形態に係るポンプ１０Ｈは、第４の実施形態に係るポンプ１０Ｃに対して、振動板１１Ｈへのフィルム弁１３Ｈの配置態様、流路形成部材１５Ｈの形状において異なる。ポンプ１０Ｈの他の構成は、ポンプ１０Ｃと同様であり、同様の箇所の説明は省略する。

ポンプ１０Ｈは、振動板１１Ｈ、圧電素子１２、フィルム弁１３Ｈ、接合部材１４Ｈ、流路形成部材１５Ｈ、および、側壁部材１８を備える。

図１８は、第９の実施形態に係るポンプ１０Ｈの振動板１１Ｈの平面図である。図１８に示すように、振動板１１Ｈは、平面視において円板である。振動板１１Ｈは、一定の厚みを有する。振動板１１Ｈの外周には、振動板１１Ｈから離間して、支持板１１３が配置されている。支持板１１３は、例えば、平面視において方形である。振動板１１Ｈと支持板１１３とは、複数の支持部材１１５によって接続されている。支持部材１１５は、第１梁部１１５１、第２梁部１１５２、および、第３梁部１１５３を備える。第１梁部１１５１は、振動板１１Ｈの外縁に接続されており、支持板１１３には接続されていない。第２梁部１１５２は、支持板１１３に接続されており、振動板１１Ｈの外縁には接続されていない。第２梁部１１５２は、振動板１１Ｈの外縁に沿う方向において、第１梁部１１５１を挟んで２個配置されている。第３梁部１１５３は、振動板１１Ｈの外縁に沿う方向に延びる形状であり、第１梁部１１５１と２個の第２梁部１１５２とを接続している。このように、支持部材１１５は、支持板１１３に対して振動板１１Ｈを支持する梁である。支持部材１１５は、３個形成されており、３個の支持部材１１５は、振動板１１Ｈの外縁に沿う方向において、離間して配置されている。例えば、図１８の例では、３個の支持部材１１５は、振動板１１Ｈの中心を基準点として１２０°の成す角を生じるように配置されている。

そして、この振動板１１Ｈと支持板１１３との間における支持部材１１５が形成されていない部分が、空隙１１４である。

一例として、各部材の寸法は次のとおりである。円形の振動板１１Ｈは厚み０．６ｍｍ、直径φ１５ｍｍである。円形の圧電素子１２は厚み０．１５ｍｍ、直径１０．６ｍｍである。振動板１１Ｈとフィルム弁１３Ｈとが接合された領域と変形可能な領域の境界部は、ポンプ室１０１の中心から７．０ｍｍの位置にある。振動板１１Ｈは、２６．８ｋＨｚの周波数で振動する。あるいは、振動板１１Ｈの厚みを０．７ｍｍとし、その他の寸法を変化させない場合は３０．６ｋＨｚの周波数で振動する。

このような構成により、支持部材１１５は、振動板１１Ｈと比較して可撓性が高い。したがって、支持部材１１５が振動板１１Ｈを拘束する力は弱い。このため、振動板１１Ｈは、大きな変位で振動することが可能になる。そして、この構成により、振動板１１Ｈは、中央に腹を有し、中央から外縁の途中位置に節を有し、外縁もしくはその近傍に腹を有する第１種ベッセル関数で表される共振の振動が可能になる。ここで、振動板１１Ｈ、支持板１１３、および、支持部材１１５からなる部分が、本発明の「平板状部材」に対応し、空隙１１４が、本発明の「第３通気孔」に対応する。

圧電素子１２は、振動板１１Ｈにおける一方主面に配置されている。

フィルム弁１３Ｈは、可撓性を有する材料からなる。フィルム弁１３Ｈは、円環形である。フィルム弁１３Ｈは、振動板１１Ｈにおける外縁の近傍に配置されている。なお、フィルム弁１３Ｈは、振動板１１Ｈの振動の節よりも外縁側に配置されていればよく、外縁の腹に近い方が好ましい。このフィルム弁１３Ｈが、本発明の「第５のフィルム弁」に対応する。

フィルム弁１３Ｈは、円環形の接合部材１４Ｈによって、振動板１１Ｈに接合されている。この際、フィルム弁１３Ｈは、中央側の領域が変形可能に接合されている。

流路形成部材１５Ｈは、板状部材である。流路形成部材１５Ｈは、円環形の突出部１５２を有する。円環形の突出部１５２は、平面視において、フィルム弁１３Ｈに、少なくとも一部が重なっている。突出部１５２の中心と、フィルム弁１３Ｈの中心とは略一致している。

流路形成部材１５Ｈは、突出部１５２の形成面が振動板１１Ｈに対向するように配置されている。

流路形成部材１５Ｈは、複数の孔１５１Ｈを有する。複数の孔１５１Ｈは、流路形成部材１５Ｈを厚み方向に貫通している。複数の孔１５１Ｈは、円周状に互いに離間して配置されている。複数の孔１５１Ｈは、振動板１１Ｈの振動の節に重なっていることが好ましい。これら複数の孔１５１Ｈが、本発明の「第４通気孔」に対応する。

側壁部材１８は、筒状であり、高い剛性を有する。側壁部材１８は、支持板１１３と流路形成部材１５Ｈとに接続している。

この構成によって、ポンプ１０Ｈは、振動板１１Ｈ、支持板１１３、流路形成部材１５Ｈ、および、側壁部材１８によって囲まれる中空領域からなるポンプ室１０１を有する。そして、フィルム弁１３Ｈは、このポンプ室１０１内に配置されている。また、ポンプ室１０１は、孔１５１Ｈに連通するとともに、空隙１１４に連通している。

このような構成からなるポンプ１０Ｈは、図１９（Ａ）、図１９（Ｂ）に示すように挙動し、流体の吸入と吐出を繰り返す。図１９（Ａ）は、流体の吐出時のポンプ１０Ｈの状態を示す側面断面図であり、図１９（Ｂ）は、流体の吸入時のポンプ１０Ｈの状態を示す側面断面図である。

上述のように、振動板１１Ｈが第１種ベッセル関数で表される振動を生じることで、振動板１１Ｈの振動によるポンプ室１０１の体積の変化は、中央領域よりも外縁領域の方が大きくなる。すなわち、振動の節よりも内側の領域の体積変化と比較して、外側の体積変化は大きくなる。

このため、図１９（Ａ）に示すように、振動板１１Ｈの中心の腹が流路形成部材１５Ｈから遠ざかり、外縁側の腹が流路形成部材１５Ｈに近づく時、ポンプ室１０１の体積は縮小して正圧になる。したがって、ポンプ室１０１内の流体は、孔１５１Ｈから吐出される。この際、外縁側の腹に付近に配置されたフィルム弁１３Ｈは、流路形成部材１５Ｈの突出部１５２の表面に当接する。このため、ポンプ室１０１内の流体が外縁側の空隙１１４に逆流することを抑制できる。

一方、図１９（Ｂ）に示すように、振動板１１Ｈの中心の腹が流路形成部材１５Ｈに近づき、外縁側の腹が流路形成部材１５Ｈから遠ざかる時、ポンプ室１０１の体積は膨張して負圧になる。したがって、流体は、空隙１１４からポンプ室１０１内に流入する。この際、流路形成部材１５Ｈと振動板１１Ｈとの距離も大きくなることで、流路が大きくなるとともに、フィルム弁１３Ｈが流路形成部材１５Ｈから大きく離間する。これにより、空隙１１４から流入する流体の流量の低下を抑制できる。

さらに、ポンプ１０Ｈでは、複数の孔１５１Ｈが振動板１１Ｈの振動（圧力変動）の節に重なっている。このため、ポンプ室１０１内と外部との圧力差は大きくない。したがって、ポンプ室１０１に空隙１１４から流入した流体の流量と孔１５１Ｈから吐出される流体の流量は略同等となり、逆止弁を用いることなく、孔１５１Ｈによる逆流を抑制できる。

また、ポンプ１０Ｈでは、突出部１５２とフィルム弁１３Ｈとが平面視において重なっているので、フィルム弁１３Ｈと突出部１５２との静止時の距離を短くでき、フィルム弁１３Ｈによる流路の封止を素早く行える。

次に、本発明の第１０の実施形態に係るポンプについて、図を参照して説明する。図２０は、本発明の第１０の実施形態に係るポンプ１０Ｉの構成を示す断面図である。なお、図２０では、ポンプとして必要最小限の構成のみを記載しており、その他の部分の記載は省略している。

図２０に示すように、第１０の実施形態に係るポンプ１０Ｉは、第９の実施形態に係るポンプ１０Ｈに対して、孔１５１Ｉ、および、逆止弁３０の構成において異なる。なお、振動板１１Ｉは振動板１１Ｈと同様であり、フィルム弁１３Ｉはフィルム弁１３Ｈと同様であり、接合部材１４Ｉは接合部材１４Ｈと同様である。また、流路形成部材１５Ｉは、孔１５１Ｉを有し、孔１５１Ｈを有さない点を除いて、流路形成部材１５Ｈと同様である。

ポンプ１０Ｉは、流路形成部材１５Ｉを備える。流路形成部材１５Ｉは、孔１５１Ｉを有する。孔１５１Ｉは、流路形成部材１５Ｉを厚み方向に貫通している。孔１５１Ｉは、流路形成部材１５Ｉの中心に配置されている。

逆止弁３０は、孔１５１Ｉに配置されており、ポンプ室１０１から外部への流体の流れを許可し、外部からポンプ室１０１への流体の流れを阻止する。

このような構成であっても、ポンプ１０Ｉは、ポンプ１０Ｈと同様の作用効果を奏することができる。

次に、本発明の第１１の実施形態に係るポンプについて、図を参照して説明する。図２１は、本発明の第１１の実施形態に係るポンプ１０Ｊの構成を示す断面図である。なお、図２１では、ポンプとして必要最小限の構成のみを記載しており、その他の部分の記載は省略している。

図２１に示すように、第１１の実施形態に係るポンプ１０Ｊは、第９の実施形態に係るポンプ１０Ｈに対して、流路形成部材１５Ｊにおける孔１５１Ｊの形成位置、支持部材１１５Ｊ、および、孔１１７Ｊにおいて異なる。なお、フィルム弁１３Ｊはフィルム弁１３Ｈと同様であり、接合部材１４Ｊは接合部材１４Ｈと同様である。また、流路形成部材１５Ｊは、孔１５１Ｊを有し、孔１５１Ｈを有さない点を除いて、流路形成部材１５Ｈと同様である。

振動板１１Ｊは、複数の孔１１７Ｊを有する。複数の孔１１７Ｊは、振動板１１Ｊを厚み方向に貫通している。複数の孔１１７Ｊは、円周状に互いに離間して配置されている。複数の孔１１７Ｊは、振動板１１Ｊの振動の節に重なっていることが好ましい。この複数の孔１１７Ｊが、本発明の「第３通気孔」に対応する。

支持部材１１５Ｊは、ポリイミド、液晶ポリマ、ＰＥＴ等の樹脂フィルムを主原料として形成され、弾性を有し、且つ、空隙を有さない。

このような材料を用いることによって、支持部材１１５Ｊの弾性率が低いため、振動板１１Ｊより可撓性が高い。したがって、支持部材１１５Ｊが振動板１１Ｊを拘束する力は弱いため、振動板１１Ｊは大きな変位で振動することが可能である。

流路形成部材１５Ｊは、複数の孔１５１Ｊを有する。複数の孔１５１Ｊは、円周状に互いに離間して配置されている。複数の孔１５１Ｊは、突出部１５２よりも外縁側に配置されている。この複数の孔１５１Ｊが、本発明の「第４通気孔」に対応する。

このような構成であっても、ポンプ１０Ｊは、ポンプ１０Ｈと同様の作用効果を奏することができる。

なお、第１１の実施形態において、支持部材１１５Ｊが振動板１１Ｊと同一の材料であっても、厚みが振動板１１Ｊより薄ければ、支持部材１１５Ｊの可撓性は振動板１１Ｊより高くなるため、同様の作用効果を奏することができる。

また、第９から第１１の実施形態において、第５のフィルム弁は１３Ｈ、１３Ｉ、１３Ｊは、ポンプ室の中央領域から外縁領域への流体の吐出を抑制し、外縁領域から中央領域へは流体が吸入される構成であった。だが逆に、ポンプ室の外縁領域から中央領域への流体の吸入を抑制し、中央領域から外縁領域へは流体が吐出する構成であってもよい。この場合、フィルム弁の内外を通過する流体によってフィルム弁が当接または離間し、流路を開閉する。

次に、本発明の第１１の実施形態における第１の変形例に係るポンプ１０Ｊ１について、図を参照して説明する。図２２は、本発明の第１１の実施形態における第１の変形例に係るポンプ１０Ｊ１の構成を示す断面図である。なお、図２２では、ポンプとして必要最小限の構成のみを記載しており、その他の部分の記載は省略している。

図２２に示すように、孔１１７Ｊは流路形成部材１５Ｊに形成されている。複数の孔１１７Ｊは、振動板１１Ｊの振動の節に重なっていることが好ましい。しかしながら、孔１１７Ｊは、流路形成部材１５Ｊの中央付近に形成されていてもよい。

また、孔１１７Ｊは、流路形成部材１５Ｊに複数形成されている構成を示したが、１つのみ形成されている構成であってもよい。

図２２の構成では、孔１１７Ｊと孔１５１Ｊは、同一面に形成されている。すなわち、ポンプ１０Ｊ１を遮蔽するには複雑な機構を要する。しかしながら、図２２に示す構成を備えることで、図２１に示すポンプ１０Ｊと同様の効果を奏する。

次に、本発明の第１１の実施形態における第２の変形例に係るポンプ１０Ｊ２について、図を参照して説明する。図２３は、本発明の第１１の実施形態における第２の変形例に係るポンプ１０Ｊ２の構成を示す断面図である。図２４は、本発明の第１１の実施形態における第２の変形例に係る、支持部材、圧電素子、振動板の接合部を示す断面拡大図である。なお、図２３では、ポンプとして必要最小限の構成のみを記載しており、その他の部分の記載は省略している。

図２３に示すように、孔１１７Ｊが流路形成部材１５Ｊに形成され、かつ支持部材１１５Ｊが圧電素子１２への導通経路を有する構成であってもよい。この構成であっても、図２１と同様の作用効果を奏する。

図２４は、図２３の構成における支持部材、圧電素子、振動板との接合部を開示するための断面拡大図である。

支持部材１１５ＪＡは、絶縁性を有する基材１５０１、導体パターン１５０２、および、導体パターン１５０３とから構成される。導体パターン１５０２は、基材１５０１の一方主面に形成され、導体パターン１５０３は、基材１５０１の他方主面に形成される。なお、導体パターン１５０２、および、導体パターン１５０３は、互いに絶縁されていればどのような形状でも良い。例えば、基材１５０１の全面を覆っていても、基材１５０１の一部が露出している構造であってもよい。

圧電素子１２は、圧電体１２Ｐ、駆動用電極１２Ｄ１、および、駆動用電極１２Ｄ２から構成される。駆動用電極１２Ｄ１は、主として圧電体１２Ｐの一方主面に形成され、一部が圧電体１２Ｐの側面を介して、他方主面まで延びている。駆動用電極１２Ｄ２は、圧電体１２Ｐの他方主面に形成され、駆動用電極１２Ｄ１とは離間している。

導体パターン１５０２は、圧電体１２Ｐの他方主面に形成された駆動用電極１２Ｄ１に当接して、接続される。導体パターン１５０３は、導電性の振動板１１Ｊに当接し、振動板１１Ｊを介して、圧電素子１２の駆動用電極１２Ｄ２に接続される。

なお、上述の各実施形態では、１枚の平膜状のフィルム弁を用いる態様を示したが、フィルム弁は、図２５に示すような構成であってもよい。

図２５は、フィルム弁の派生例の一例を示す斜視図である。図２５に示すように、フィルム弁１３は、円環形であり、複数のスリットＳＬを有する。複数のスリットＳＬは、フィルム弁１３の放射方向に延びる形状である。複数のスリットＳＬは、フィルム弁１３の外端に到達しているが、フィルム弁１３の内端には到達していない。このような構成であっても、上述の内端側を固定する態様のポンプに適用することができる。

なお、外端側を固定する態様のポンプに対しては、図示を省略するが、複数のスリットＳＬを、フィルム弁１３の内端に到達させ、フィルム弁１３の外端に到達させない形状とすればよい。

また、フィルム弁１３は、複数の扇形のフィルムを部分的に重ねて、全周に亘るように配置する態様であってもよい。

（変形例）
図２６は、本発明の第１の実施形態の変形例に係るポンプ１０Ｋの構成を示す断面図である。第１の実施形態にかかるポンプ１０に対し、コーティング剤３００が塗布されている点で異なる。ポンプ１０Ｋの他の構成は、ポンプ１０と同様であり、同様の箇所の説明は省略する。

図２６に示すように、コーティング剤３００は、フィルム弁１３の可動域と対向する領域に塗布されている。より具体的には、コーティング剤３００は、フィルム弁１３の可動域と対向するように、流路形成部材１５の一方主面、および振動板１１における薄部１１１の一方主面に塗布されている。

このように構成にすることで、フィルム弁１３が流路形成部材１５、振動板１１の薄部１１１と接触することによる損傷を抑えられる。

なお、コーティング剤３００の主成分は、シリコーンゴム、ＰＴＦＥのように、流路形成部材１５、振動板１１における薄部１１１よりヤング率の低い樹脂であれば良い。これらのコーティング剤は、ヤング率が低いため、フィルム弁が流路形成部材１５、または振動板１１における薄部１１１に接触する際の衝撃を緩和し、フィルム弁１３の損傷を抑制することができる。

なお、コーティング剤３００は、フッ素もしくは２硫化モリブデンを主成分とするものがさらに好ましい。これらのコーティング剤の表面は、潤滑性を有するため、フィルム弁１３が流路形成部材１５、振動板１１における薄部１１１との摩擦による損傷も抑制できる。

なお、コーティング剤３００は、流路形成部材１５、振動板１１における薄部１１１の一方に塗布されている場合も同様の効果が得られる。

なお、上述の各実施形態の構成は、適宜組合せが可能であり、それぞれの組合せに応じた作用効果を奏することができる。

１０、１０Ａ、１０Ｂ、１０Ｃ、１０Ｄ、１０Ｅ、１０Ｆ、１０Ｇ、１０Ｈ、１０Ｉ、１０Ｊ、１０Ｋ：ポンプ
１１、１１Ａ、１１Ｄ、１１Ｇ、１１Ｈ、１１Ｉ、１１Ｊ：板状部材
１２、１２Ｄ：圧電素子
１２Ｐ：圧電体
１３、１３Ａ、１３Ｂ、１３Ｃ、１３Ｇ、１３Ｈ、１３Ｉ、１３Ｊ：フィルム弁
１４、１４Ａ、１４Ｃ、１４Ｇ、１４Ｈ、１４Ｉ、１４Ｊ：接合部材
１５、１５Ｈ、１５Ｉ、１５Ｊ、１６：流路形成部材
１７：カバー部材
１８：側壁部材
２０：バルブ
２１：第１ケース部材
２２：第２ケース部材
２３：ダイヤフラム
２４：接合膜
２５：補強膜
２６：接着部材
２７：連結部材
１０１：ポンプ室
１１１、１１１Ｄ：薄部
１１２：厚部
１１３：支持板
１１４：空隙
１１５、１１５Ｊ：支持部材
１１７Ｊ：孔
１３１、１３１Ｃ：フィルム弁
１４１、１４１Ｃ：接合部材
１５１、１５１Ｈ、１５１Ｉ、１５１Ｊ：孔
１６１：開口部
１７１：孔
２０１：吸入口
２０２：吐出口
２０３：排出口
３００：コーティング剤
１１５１：第１梁部
１１５２：第２梁部
１１５３：第３梁部
１５０１：基材
１５０２、１５０３：導体パターン
ＳＬ：スリット

Claims (20)

1. 一方主面に圧電素子が配置された振動板と、支持板と、前記振動板と前記支持板を連結し前記振動板を主面方向に振動可能に支持する複数の支持部材とを備え、前記複数の支持部材間に第１通気孔を備えた板状部材と、
   前記板状部材に対向して配置され、前記板状部材に対向する領域に第２通気孔を有する流路形成部材と、
   前記板状部材と、前記流路形成部材と、前記板状部材および前記流路形成部材に接続する側壁部材とによって囲まれて形成され、前記第２通気孔に連通する中央領域と前記第１通気孔に連通する外縁領域とを有するポンプ室と、
   前記ポンプ室内に配置された第１のフィルム弁と、
   を備え、
   前記第１のフィルム弁の径方向の長さは、前記振動板と前記流路形成部材との間隔よりも長く、
   前記第１のフィルム弁は、平面視において、前記第２通気孔が前記第１のフィルム弁の外端によって囲まれる領域内となる位置に配置され、外端側の領域が変形可能に前記振動板または前記流路形成部材に固定されている、
   ポンプ。
2. 平面視して、前記振動板の中央領域は、前記一方主面から他方主面における厚みが前記振動板の外端よりも厚い厚部を有し、
   前記第１のフィルム弁は、環状であり、
   前記第１のフィルム弁の環状の内端は、前記厚部の外縁に沿って配置されている、
   請求項１に記載のポンプ。
3. 平面視において、前記第２通気孔の周縁で、前記第１のフィルム弁の配置位置よりも前記第２通気孔に近い位置に配置された第２のフィルム弁を備え、
   前記第２のフィルム弁は、
   前記ポンプ室内における前記中央領域の圧力が前記外縁領域の圧力よりも高圧の時に、前記振動板と前記流路形成部材とに当接する、
   請求項１又は請求項２に記載のポンプ。
4. 前記第２のフィルム弁は、外端側の領域が変形可能に、前記振動板または前記流路形成部材に固定されている、
   請求項３に記載のポンプ。
5. 一方主面に圧電素子が配置された振動板と、支持板と、前記振動板と前記支持板を連結し前記振動板を主面方向に振動可能に支持する複数の支持部材とを備え、前記複数の支持部材間に第１通気孔を備えた板状部材と、
   前記板状部材に対向して配置され、前記板状部材に対向する領域に第２通気孔を有する流路形成部材と、
   前記板状部材と、前記流路形成部材と、前記板状部材および前記流路形成部材に接続する側壁部材とによって囲まれて形成され、前記第２通気孔に連通する中央領域と前記第１通気孔に連通する外縁領域とを有するポンプ室と、
   前記ポンプ室内に配置された第３のフィルム弁と、
   を備え、
   前記第３のフィルム弁の径方向の長さは、前記振動板と前記流路形成部材との間隔よりも長く、
   前記第３のフィルム弁は、平面視において、前記第２通気孔が前記第３のフィルム弁の外端によって囲まれる領域内となる位置に配置され、中央側の領域が変形可能に前記振動板または前記流路形成部材に固定されている、
   ポンプ。
6. 平面視して、前記振動板の中央領域は、前記一方主面から他方主面における厚みが前記振動板の外端よりも厚い厚部を有し、
   前記第３のフィルム弁は、環状であり、
   前記第３のフィルム弁の環状の内端は、前記厚部の外縁に沿って配置されている、
   請求項５に記載のポンプ。
7. 平面視において、前記第２通気孔の周縁で、前記第３のフィルム弁の配置位置よりも前記第２通気孔に近い位置に配置された第４のフィルム弁を備え、
   前記第４のフィルム弁は、
   前記ポンプ室内における前記中央領域の圧力が前記外縁領域の圧力よりも低圧の時に、前記振動板と前記流路形成部材とに当接する、
   請求項５又は請求項６に記載のポンプ。
8. 前記第４のフィルム弁は、中央側の領域が変形可能に、前記振動板または前記流路形成部材に固定されている、
   請求項７に記載のポンプ。
9. 一方主面に圧電素子が配置された振動板、支持板、および、前記振動板の外縁と前記支持板を連結し前記振動板を主面方向に振動可能に支持する支持部材を備える平板状部材と、
   前記平板状部材に対向して配置された流路形成部材と、
   前記平板状部材と、前記流路形成部材と、前記平板状部材および前記流路形成部材に接続する側壁部材とによって囲まれて形成されたポンプ室と、
   前記平板状部材または前記流路形成部材に固定され、前記ポンプ室内の、平面視において、前記振動板に重なる配置された第５のフィルム弁と、
   前記平板状部材、または前記流路形成部材に形成された第３通気孔と、
   前記流路形成部材に形成された第４通気孔と、
   を備え、
   前記第３通気孔と前記第４通気孔とは、平面視において、前記第５のフィルム弁を挟む位置に配置され、
   前記第５のフィルム弁の径方向の長さは、前記振動板と前記流路形成部材との間隔よりも長く、
   前記流路形成部材は、平面視において、前記第５のフィルム弁に重なる位置に、前記振動板側に突出する突出部を備える、
   ポンプ。
10. 前記振動板は、平面視において、前記第５のフィルム弁に重なる位置に、前記流路形成部材側に突出する突出部を備える、
    請求項９に記載のポンプ。
11. 前記第３通気孔は、前記平板状部材に形成されている、請求項９又は請求項１０に記載のポンプ。
12. 前記第３通気孔は、平面視において、前記平板状部材における前記第５のフィルム弁の配置位置よりも外縁側に形成され、
    前記第４通気孔は、平面視において、前記流路形成部材における前記第５のフィルム弁に重なる位置よりも中央側に形成されている、
    請求項９乃至請求項１１のいずれかに記載のポンプ。
13. 前記第４通気孔は、前記振動板の振動の節に重なっている、
    請求項１２に記載のポンプ。
14. 前記第４通気孔は、前記振動板の中央の腹に重なっており、外部から前記ポンプ室への逆流を防ぐ逆止弁を備える、
    請求項１０に記載のポンプ。
15. 前記支持部材は、前記振動板より可撓性が高い材料または形状で形成されている、請求項９乃至請求項１４のいずれかに記載のポンプ。
16. 前記支持部材は、前記振動板の外縁に沿った梁の形状を有する、
    請求項９乃至請求項１５のいずれかに記載のポンプ。
17. 前記第３通気孔は、前記支持部材の間の隙間によって形成されている、
    請求項１１乃至請求項１６のいずれかに記載のポンプ。
18. 前記第３通気孔は、平面視において、前記振動板における前記第５のフィルム弁に重なる位置よりも中央側に形成されており、
    前記第４通気孔は、平面視において、前記流路形成部材における前記支持部材に重なる位置に形成されている、
    請求項９又は請求項１０に記載のポンプ。
19. 前記流路形成部材または前記振動板における前記第１のフィルム弁の可動域と対向する領域にはコーティング剤が塗布されている、請求項１に記載のポンプ。
20. 前記コーティング剤のヤング率は、前記流路形成部材および前記振動板のヤング率よりも低い、請求項１９に記載のポンプ。

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