CN117307453A - 流体控制装置 - Google Patents

Abstract

本发明提供一种流体控制装置。流体控制装置(10)具备第一主板(20)、压电元件(30)、第二主板(40)、侧板(50)、第一膜(61)以及第二膜(62)。流体控制装置(10)的泵室(100)由被第一主板(20)、第二主板(40)以及侧板(50)围起来的空间实现。整流部用基座部件(80)配置在第一主板(20)与上述第二主板(40)之间。第一膜(61)配置于第一主板(20)且为可动部相对于固定端成为侧板(50)侧的形状。第二膜(62)配置于整流部用基座部件(80)的主面(802)，且为可动部相对于固定端成为与侧板(50)相反侧的形状。

Description

流体控制装置

本申请为专利申请号为202080048411.1(申请日：2020年05月14日，发明名称为“流体控制装置”)的发明专利申请的分案申请。

技术领域

本发明涉及利用压电体的流体控制装置。

背景技术

以往，针对利用压电体来输送流体的流体控制装置，如专利文献1所示，进行了各种设计。

专利文献1所示的流体控制装置具备泵室和阀室。阀室具备阀顶板、阀底板以及膜。在阀顶板和阀底板，在各自不重叠的位置形成有贯通孔。阀室通过设置于阀底板的贯通孔而与泵室连通。

膜配置在阀顶板与阀底板之间。在膜形成有贯通孔。膜的贯通孔的位置与阀顶板的贯通孔重叠。由此，在流体从泵室(阀底板的贯通孔)流入时，流体经过膜的贯通孔及阀顶板的贯通孔向外部送出。另一方面，在流体从阀顶板的贯通孔流入的情况下，由于膜堵塞阀底板的贯通孔，因此流体不会回流到泵室。由此，专利文献1所示的流体控制装置实现整流功能。

专利文献1：日本特开2017-72140号公报

然而，在专利文献1所记载的流体控制装置中，在阀室内，流体的流路多次屈曲。因此，不容易获得高流量。

发明内容

因此，本发明的目的在于提供一种获得高流量的流体控制装置。

本发明的流体控制装置具备第一主板、第二主板、侧板以及泵室。第一主板具有第一主面和第二主面。第二主板具有第三主面和第四主面，第三主面与第一主面对置。侧板将第一主板与第二主板连接。泵室是由第一主板、第二主板以及侧板围起来的空间。

第一主板具备中央部、配置于中央部的外周的框部、与框部及中央部连接并将中央部支承为可振动的支承部、以及第一开口。第一开口形成在中央部与框部之间，使泵室与第二主面侧的外部连通。第二主板具备第二开口。第二开口使泵室与第四主面侧的外部连通，配置于与支承部或框部至少部分地重叠的位置。流体控制装置具备压电元件，该压电元件配置于中央部并使中央部振动。流体控制装置具备整流部用基座部件、第一整流部件以及第二整流部件。

整流部用基座部件为从侧板的内壁突出的形状，配置在第一主板与第二主板之间。第一整流部件配置在第一主板与整流部用基座部件之间，根据中央部的振动，控制第一主板与整流部用基座部件之间的空间中的流体的流动的有无。第二整流部件配置在第二主板与整流部用基座部件之间，根据中央部的振动，与第一整流部件的控制相反地控制第二主板与整流部用基座部件之间的空间中的流体的流动的有无。

在该结构中，根据第一主板的中央部的振动，切换使泵室与第一开口侧连通而与第二开口侧不连通(断开、分离)的形态、和使泵室与第二开口侧连通而与第一开口侧不连通(断开、分离)的形态。此时，流体不通过复杂地屈曲的路径，因此流量不易降低。

根据本发明，能够实现获得高流量的流体控制装置。

附图说明

图1是第一实施方式所涉及的流体控制装置的分解立体图。

图2(A)是表示第一实施方式所涉及的流体控制装置的结构的剖视图，图2(B)是实现整流功能的部分的放大剖视图。

图3(A)、图3(B)是表示第一主板的中央部以及第一膜的行为的侧面剖视图。

图4是表示第二实施方式所涉及的流体控制装置的结构的剖视图。

图5是表示第三实施方式所涉及的流体控制装置的结构的剖视图。

图6(A)是表示第四实施方式所涉及的流体控制装置的结构的剖视图，图6(B)是实现整流功能的部分的放大剖视图。

图7(A)、图7(B)、图7(C)、图7(D)以及图7(E)是表示支承部及其周边的构造的第一主板的俯视图。

图8是表示流体控制装置的派生例的结构的剖视图。

具体实施方式

(第一实施方式)

参照附图对本发明的第一实施方式所涉及的流体控制装置进行说明。图1是第一实施方式所涉及的流体控制装置的分解立体图。图2(A)是表示第一实施方式所涉及的流体控制装置的结构的剖视图。图2(B)是实现整流功能的部分的放大剖视图。图3(A)、图3(B)是表示第一主板的中央部以及第一膜的行为的侧面剖视图。此外，在以下各实施方式所示的各图中，为了使说明容易理解，将各个构成要素的形状局部或整体上夸大地记载。另外，为了容易阅读附图，对于能够唯一推断的构成要素，部分地省略附图标记。

(流体控制装置10的结构)

如图1、图2(A)、图2(B)所示，流体控制装置10具备第一主板20、压电元件30、第二主板40、侧板50、第一膜61、第二膜62、固定部件71、固定部件72以及整流部用基座部件80。侧板50具备侧板51和侧板52。

第一主板20是俯视观察时的形状为圆形的平板。第一主板20具有圆形的第一主面211和第二主面212。第一主面211与第二主面212相互对置。

第一主板20具备中央部21、框部22、支承部23以及第一开口230。中央部21的俯视观察时的形状为圆形。框部22为圆环形。框部22沿着中央部21的外周包围中央部21。

支承部23和第一开口230沿着中央部21的外周端形成，配置在中央部21与框部22之间。第一开口230是贯通第一主板20的第一主面211与第二主面212之间的槽。

支承部23将中央部21的外周端与框部22的内周端连接。支承部23例如为多个，如果是图1的例子，则沿着中央部21的外周以90°的角度间隔配置。在流体控制装置10中，支承部23通过在第一开口230的沿着外周的中途的部位将槽(第一开口230)断开来实现。这里，通过适当地设定支承部23的宽度、形状，中央部21能够相对于框部22振动。换言之，支承部23将中央部21支承为相对于框部22可振动。

此外，中央部21的形状优选为圆形，但也可以为椭圆等大致圆形、多边形。另外，框部22的外形，即第一主板20的外形不限于圆形，能够根据流体控制装置10的外形形状的设计而适当设定。

另外，第一主板20例如由金属等构成。第一主板20只要是通过后述的压电元件30的应变而使中央部21产生弯曲振动的部件即可。弯曲振动是指，如图3(A)、图3(B)所示，在观察中央部21的侧面时，第一主面211及第二主面212呈波状位移的振动。

压电元件30具备圆板的压电体和驱动用的电极。驱动用的电极形成于圆板的压电体的两个主面。

压电元件30配置于第一主板20的中央部21的第二主面212。此时，在俯视观察时，压电元件30的中心与中央部21的中心大致一致。压电元件30通过驱动用的电极被施加驱动信号而应变。由于该应变，中央部21如上述那样振动。

第二主板40是俯视观察时的形状为圆形的平板。第二主板40优选由几乎不产生弯曲振动的材料、厚度等构成。第二主板40的外形形状是包含第一主板20的外形形状的大小。第二主板40具有圆形的第三主面401和第四主面402。第三主面401与第四主面402相互对置。

第二主板40具备多个第二开口400。多个第二开口400是贯通第一主板20的第三主面401与第四主面402之间的筒状的贯通孔。多个第二开口400排列在以第二主板40的中心为原点的圆周上。

多个第二开口400大致形成于第二主板40的外周端的附近。例如，在俯视观察流体控制装置10(沿与第一主板20及第二主板40的各主面正交的方向观察)时，多个第二开口400与第一主板20的框部22或者支承部23和第一开口230的形成部重叠。比该多个第二开口400靠中心侧为第二主板40的中央部41，外终端侧为第二主板40的外缘部42。

第二主板40配置为相对于第一主板20，相互的主面平行。此时，第二主板40的第三主面401与第一主板20的第一主面211对置。另外，第二主板40的俯视观察时的中心与第一主板20的中央部21的俯视观察时的中心大致一致。

此外，第二主板40的外形也与第一主板20同样地，不限于圆形，能够根据流体控制装置10的外形形状的设计而适当设定。

侧板51及侧板52是环状的柱体。侧板51及侧板52优选由几乎不产生弯曲振动的材料、厚度等构成。

侧板51及侧板52配置在第一主板20与第二主板40之间。侧板51的高度方向的一端与第一主板20的框部22的第一主面211连接。侧板51的高度方向的另一端经由后述的整流部用基座部件80与侧板52的高度方向的一端连接。侧板52的高度方向的另一端与第二主板40的外缘部42的第三主面401连接。与第二主板40的第三主面401连接。

根据该结构，流体控制装置10具备由第一主板20、第二主板40以及侧板50(更准确地说，也包括整流部用基座部件80)围起来的空间。该空间成为流体控制装置10的泵室100。

整流部用基座部件80为圆环形的平板。整流部用基座部件80具有相互对置的主面801和主面802。整流部用基座部件80优选由几乎不产生弯曲振动的材料、厚度等构成。整流部用基座部件80的内端(内周)的直径(内径)比侧板51及侧板52的内径小，且比第一主板20的中央部21的直径大。整流部用基座部件80的外端(外周)的直径(外径)例如与侧板51及侧板52的外径大致相同。

整流部用基座部件80被侧板51与侧板52夹持。整流部用基座部件80的主面801与侧板51连接，整流部用基座部件80的主面802与侧板52连接。此时，整流部用基座部件80在整周上，整流部用基座部件80的内端比侧板51及侧板52的内端向内侧(泵室100)侧突出。

第一膜61为圆环形。第一膜61由具有挠性的材料构成，受到外力而弯曲。第一膜61的内端(内周)的直径(内径)比第一主板20的中央部21的直径小。第一膜61的外端(外周)的直径(外径)比第一主板20的中央部21的直径大。

固定部件71为圆环形。固定部件71的内径与第一膜61的内径大致相同。固定部件71的外径比第一膜61的外径小，且比第一主板20的中央部21的直径小。

第一膜61经由固定部件71固定于第一主板20的第一主面211。第一膜61固定于中央部21。第一膜61的中心与中央部21的中心大致一致。

此时，第一膜61的内端侧的规定面积的部分经由固定部件71固定于第一主板20。因此，第一膜61的未与固定部件71连接的外端侧的部分成为第一膜61的可动部。即，第一膜61的内端成为第一膜61的固定端，比固定端靠外端侧的圆环部成为第一膜61的可动部。而且，第一膜61的外端(可动端)位于第一主板20的中央部21的外周端以及比整流部用基座部件80的内端靠侧板51侧(外侧)。

第二膜62为圆环形。第二膜62由具有挠性的材料构成，受到外力而弯曲。第二膜62的内端(内周)的直径(内径)比第二主板40的中央部41的直径小。第二膜62的外端(外周)的直径(外径)比第二主板40的中央部41的直径大。

固定部件72为圆环形。固定部件72的外径与第二膜62的外径大致相同。固定部件72的内径比第二膜62的内径以及整流部用基座部件80的内径大。

第二膜62经由固定部件72固定于整流部用基座部件80的主面802。第二膜62的中心与整流部用基座部件80的中心大致一致。

此时，第二膜62的外端侧的规定面积的部分经由固定部件72固定于整流部用基座部件80。因此，第二膜62的未与固定部件72连接的内端侧的部分成为第二膜62的可动部。即，第二膜62的外端成为第二膜62的固定端，比固定端靠内端侧的圆环部成为第二膜62的可动部。而且，第二膜62的内端(可动端)位于比第二主板40的中央部41的外周端靠侧板51侧(外侧)。

(整流功能的具体说明)

在上述结构中，若中央部21振动，则流体控制装置10大致重复图3(A)所示的第一形态和图3(B)所示的第二形态。

1.流体从外部向泵室内流入

在图3(A)所示的第一形态中，中央部21的比节点N21靠中央侧的部分位移以便远离第二主板40。另一方面，中央部21的比节点N21靠外周侧的部分位移以便接近第二主板40。由此，中央部21的中央侧的空间相对于流体控制装置10的外部成为低压(负压)。

中央部21的中央侧的空间成为低压(负压)，由此流体从流体控制装置10的第二主板40侧的外部经过第二开口400及第一开口230流入泵室100。

这里，如上述那样，第二膜62具备外端被固定，内端侧成为可动部的构造。因此，如图3(A)所示，在流体从第二开口400流入时，第二膜62向整流部用基座部件80侧屈曲。因此，第二开口400与泵室100的中央部(比第二膜62靠中央侧的空间)连通。由此，流体从流体控制装置10的第二主板40侧的外部经过第二开口400流入泵室100。

另一方面，如上述那样，第一膜61具备内端被固定，外端侧成为可动部的构造。因此，如图3(A)所示，在流体从第一开口230流入时，第一膜61屈曲以便远离第一主板20，并与整流部用基座部件80的主面801接触、抵接。因此，第一开口230与泵室100的中央部不连通。换言之，第一开口230与泵室100的中央部在空间上被断开、分离。由此，能够抑制流体从流体控制装置10的第一主板20侧的外部经过第一开口230流入泵室100。

2.流体从泵室内向外部排出

在图3(B)所示的第二形态中，中央部21的比节点N21靠中央侧的部分位移以便接近第二主板40。另一方面，中央部21的比节点N21靠外周侧的部分位移以便远离第二主板40。由此，中央部21的中央侧的空间相对于流体控制装置10的外部成为高压(正压)。

中央部21的中央侧的空间成为高压(正压)，由此流体从流体控制装置10的泵室100经过第一开口230及第二开口400向流体控制装置10的外部流出。

这里，如上述那样，第一膜61具备内端被固定，外端侧成为可动部的构造。因此，如图3(B)所示，在流体朝向第一开口230流出时，第一膜61向第一主板20侧屈曲。因此，泵室100的中央部(比第一膜61靠中央侧的空间)与第一开口230连通。由此，流体从泵室100经过第一开口230向流体控制装置10的第一主板20侧的外部排出。

另一方面，如上述那样，第二膜62具备外端被固定，内端侧成为可动部的构造。因此，如图3(B)所示，在流体朝向第二开口400流出时，第二膜62与第二主板40的中央部41的第三主面401接触、抵接。因此，泵室100的中央部与第二开口400不连通。换言之，泵室100的中央部与第二开口400在空间上被断开、分离。由此，能够抑制流体从泵室100向流体控制装置10的第二主板40侧的外部排出。

这样，流体控制装置10能够使用由第一膜61和固定部件71构成的第一整流部件、以及由第二膜62和固定部件72构成的第二整流部件，使流体从第二主板40侧的外部流向第一主板20侧的外部。而且，通过具备流体控制装置10的结构，流体不经由复杂的屈曲路径而被输送。因此，流体的输送时的损失得到抑制，流体控制装置10能够实现高流量。

另外，流体控制装置10在中央部21的比振动的节点N21靠外周侧配置有第一膜61。由此，在将第一开口230与泵室100的中央部断开的形态下，中央部21的配置有第一膜61的部分位移以便接近整流部用基座部件80。因此，第一膜61容易与整流部用基座部件80的主面801抵接。其结果，流体控制装置10能够更可靠地抑制流体从第一开口230侧逆流入。

另一方面，在使第一开口230与泵室100的中央部连通的形态下，中央部21的配置有第一膜61的部分位移以便远离整流部用基座部件80。因此，第一膜61与整流部用基座部件80的间隔变宽，连通的面积变大。由此，排出时的流量增加。

这样，通过使用上述结构，流体控制装置10能够实现更高的流量。

另外，在流体控制装置10中，整流部用基座部件80的内端位于比第一主板20的中央部21的外端靠外侧(侧板侧)。由此，中央部21即使振动，也不会与整流部用基座部件80接触。由此，流体控制装置10能够实现高可靠性和高流量双方。

(第二实施方式)

参照附图对第二实施方式所涉及的流体控制装置进行说明。图4是表示第二实施方式所涉及的流体控制装置的结构的剖视图。

如图4所示，第二实施方式所涉及的流体控制装置10A相对于第一实施方式所涉及的流体控制装置10，在第一主板20A的中央部21A的形状不同。流体控制装置10A的其他结构与流体控制装置10相同，省略相同部位的说明。

第一主板20A的中央部21A具有第一部分251和第二部分252。第二部分252的厚度比第一部分251的厚度大。第二部分252通过从第一部分251的第二主面212侧突出的形状来实现厚度之差。此时，中央部21A形成为比振动的节点N21靠内侧的部分的平均厚度大于比节点N21靠外侧的部分的平均厚度。此外，压电元件30配置于第二部分252。此外，节点N21的位置能够通过利用了多普勒效应的激光位移仪等来检测。

通过这样的结构，能够控制中央部21A的振动的波形(中央部21A的变形形状)。更具体而言，由振动引起的中央部21A的外周附近的位移变大。由此，促进第一膜61的变形，从而流体控制装置10A的整流效率提高。其结果，流体控制装置10A能够实现更高的流量。

(第三实施方式)

参照附图对第三实施方式所涉及的流体控制装置进行说明。图5是表示第三实施方式所涉及的流体控制装置的结构的剖视图。

如图5所示，第三实施方式所涉及的流体控制装置10B相对于第二实施方式所涉及的流体控制装置10A，在第二主板40的结构不同。流体控制装置10B的其他结构与流体控制装置10A相同，省略相同部位的说明。此外，流体控制装置10B的中央部21B与流体控制装置10A的中央部21A相同。

第二主板40具有凹部411。凹部411是将第二主板40的中央部41的第三主面401侧作为开口面凹陷的形状。由凹部411形成的空间为圆柱形。凹部411形成为与泵室100连通。

通过这样的结构，能够抑制中央部21B在振动时，与第二主板40接触。由此，流体控制装置10B能够提高耐久性及静音性。

(第四实施方式)

参照附图对第四实施方式所涉及的流体控制装置进行说明。图6(A)、图6(B)是表示第四实施方式所涉及的流体控制装置的结构的剖视图。

如图6(A)、图6(B)所示，第四实施方式所涉及的流体控制装置10C相对于第一实施方式所涉及的流体控制装置10，在第一膜61C及第二膜62C的形状以及固定的方式不同。流体控制装置10C的其他结构与流体控制装置10相同，省略相同部位的说明。

流体控制装置10C具备第一膜61C、第二膜62C、固定部件71C以及固定部件72C。

第一膜61C为圆环形。第一膜61C由具有挠性的材料构成，受到外力而弯曲。第一膜61C的内端(内周)的直径(内径)比第一主板20的中央部21的直径小。第一膜61的外端(外周)的直径(外径)比第一主板20的中央部21的直径以及整流部用基座部件80的内径大，且比侧板51及侧板52的内径小。

固定部件71C为圆环形。固定部件71C的内径比第一膜61C的内径以及整流部用基座部件80的内径大。固定部件71C的外径与第一膜61C的外径大致相同。

第一膜61C经由固定部件71C固定于整流部用基座部件80的主面801。

此时，第一膜61C的外端侧的规定面积的部分经由固定部件71C固定于整流部用基座部件80。因此，第一膜61C的未与固定部件71C连接的内端侧的部分成为第一膜61C的可动部。即，第一膜61C的外端成为第一膜61C的固定端，比固定端靠内端侧的圆环部成为第一膜61C的可动部。而且，第一膜61C的内端(可动端)位于比第一主板20的中央部21的外周端靠中央侧。

第二膜62C为圆环形。第二膜62C由具有挠性的材料构成，受到外力而弯曲。第二膜62C的内端(内周)的直径(内径)比第二主板40的中央部41的直径小。第二膜62C的外端(外周)的直径(外径)比第二主板40的中央部41的直径以及整流部用基座部件80的内径大。

固定部件72C为圆环形。固定部件72C的内径与第二膜62的内径大致相同。固定部件72C的外径比第二膜62C的外径、第二主板40的中央部41的外径以及整流部用基座部件80的内径小。

第二膜62C经由固定部件72C固定于第二主板40的中央部41的第三主面401。第二膜62C的中心与第二主板40的中央部41的中心大致一致。

此时，第二膜62C的内端侧的规定面积的部分经由固定部件72C固定于第二主板40的中央部41。因此，第二膜62C的未与固定部件72C连接的外端侧的部分成为第二膜62的可动部。即，第二膜62的内端成为第二膜62C的固定端，比固定端靠外端侧的圆环部成为第二膜62C的可动部。而且，第二膜62C的外端(可动端)位于比整流部用基座部件80的内端靠侧板52侧(外侧)。

通过这样的结构，在使流体流入时，第一膜61C不与第一主板20抵接，第二膜62C与整流部用基座部件80抵接。由此，流体控制装置10C使流体从第一主板20侧的外部流入泵室100内。

而且，在使流体排出时，第二膜62C远离整流部用基座部件80，第一膜61C与第一主板20的中央部21的第一主面211抵接。由此，流体控制装置10C将流体从泵室100向第二主板40侧的外部排出。

这样，流体控制装置10C能够实现与第一实施方式所涉及的流体控制装置10相反方向的整流。而且，流体控制装置10C与流体控制装置10同样，能够实现高流量。

(支承部的具体形状例)

在上述说明中，没有对支承部的形状详细地进行记载，例如能够采用图7(A)、图7(B)、图7(C)、图7(D)以及图7(E)所示的结构。图7(A)、图7(B)、图7(C)、图7(D)以及图7(E)是表示支承部及其周边的构造的第一主板的俯视图。

图7(A)所示的第一主板20是上述图1所示的结构，支承部23具有与中央部21连接的第一部分、与框部22连接的第二部分以及将第一部分与第二部分连接的第三部分。第一部分及第二部分是沿着以最短距离连结中央部21的外周端和框部的方向延伸的形状。第二部分相对于一个第一部分存在两个。两个第二部分以沿着第一部分的延伸方向的轴为基准对称地配置。第三部分是沿着中央部21的外周延伸的形状。第三部分的延伸方向的两端与两个第二部分连接。第三部分的延伸方向的中间位置与第一部分连接。

图7(B)所示的第一主板20DE1相对于图7(A)所示的第一主板20，在框部22的形状不同。框部22在与支承部23的两个第二部分的连接部之间具有切口部220。此外，切口部220的位置只要不是与支承部23的第二部分连接的部分，则也可以是框部22的其他部位。

图7(C)所示的第一主板20DE2相对于图7(A)所示的第一主板20，在支承部23DE2的形状不同。支承部23DE2具有相对于支承部23，省略了一个第二部分的结构。

图7(D)所示的第一主板20DE3相对于图7(A)所示的第一主板20，在第一开口230DE3、支承部23DE3的形状不同。第一开口230DE3由直径不同的两个槽实现。两个槽沿着厚度方向贯通第一主板20。即，两个槽将第一主面211侧与第二主面212侧连通。两个槽分别在圆周上的中途的多个部位被分割成多个槽。内侧的槽的断开位置与外侧的槽的断开位置不同。支承部23DE3由该两个槽的被断开的部分形成。

图7(E)所示的第一主板20DE4相对于图7(A)所示的第一主板20，在第一开口230DE4、支承部23DE4的形状不同。第一开口230DE4由在圆周上排列的多个贯通孔实现。而且，支承部23DE4由该多个贯通孔之间的部分形成。

此外，在上述各实施方式中，示出了使用整流部用基座部件的方式。然而，也可以将整流部件直接固定于侧壁。图8是表示流体控制装置的派生例的结构的剖视图。

如图8所示，流体控制装置10D相对于第一实施方式所涉及的流体控制装置10，在第二膜62及固定部件72的构成构造不同。流体控制装置10D的其他结构与流体控制装置10相同，省略相同部位的说明。

流体控制装置10D具备侧板50D。侧板50D与第一主板20和第二主板40连接。侧板50D具有内壁面500D。

第二膜62的外周侧的端部附近通过固定部件72固定于侧板50D的内壁面500D。

即使是这样的结构，也能够起到与上述实施方式相同的作用效果。

此外，在上述各实施方式中，即使是第一膜或第二膜具有以固定端为基准向与可动部相反侧突出的部分的构造，该结构也包括在本申请发明的结构中，具有与本申请发明相同的作用效果。

另外，上述各实施方式的结构能够适当组合，能够起到与各个组合相应的作用效果。

附图标记说明

10、10A、10B、10C、10D…流体控制装置；20、20A、20DE1、20DE2、20DE3、20DE4…第一主板；21、21A、21B…中央部；22…框部；23、23DE2、23DE3、23DE4…支承部；30…压电元件；40…第二主板；41…中央部；42…外缘部；50、51、52、50D…侧板；61、61C…第一膜；62、62C…第二膜；71、71C、72、72C…固定部件；80…整流部用基座部件；100…泵室；211…第一主面；212…第二主面；230、230DE3、230DE4…第一开口；251…第一部分；252…第二部分；400…第二开口；401…第三主面；402…第四主面；411…凹部；500D…内壁面；801、802…主面；N21…节点。

Claims (2)

1.一种流体控制装置，其中，具备：

第一主板，具有第一主面及第二主面；

第二主板，具有与所述第一主面对置的第三主面、和与所述第三主面相反侧的第四主面，并具有将所述第三主面与所述第四主面之间贯通且供流体通过的第一孔；

驱动体，配置于所述第二主面，使所述第一主板振动；

框体，设置于比所述第一主板的外缘靠外侧；

支承部，将所述框体与所述第一主板连接，并将所述第一主板支承为相对于所述框体可振动；

侧壁部件，连接于所述第二主板和所述框体，并在所述第一主面与所述第三主面之间形成泵室；

阀部件，具备挠性的阀膜、以及将所述阀膜的内端侧固定于所述第一主面的固定部件，内端为固定端，外端为可动端；以及

第二孔，被所述第一主板的外缘、所述框体以及相邻的两个所述支承部包围，使所述泵室的内外连通，供所述流体通过，

所述阀部件的外端的直径大于所述第一主板的直径。

2.根据权利要求1所述的流体控制装置，其中，

所述阀部件为圆环状，所述阀部件的内端的直径小于所述第一主板的直径。