JP6885440B2 - 電気光学装置の製造方法、電気光学装置および電子機器 - Google Patents
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Description
本発明の電気光学装置の一例として、アクティブマトリクス方式の液晶装置を例に説明する。
図1は、好適な実施形態に係る電気光学装置100の平面図である。図2は、図1中のA−A線断面図である。なお、以下では、説明の便宜上、互いに直交するX軸、Y軸およびZ軸を適宜用いて説明する。また、X軸に沿う一方向をX1方向といい、X1方向とは反対の方向をX2方向という。同様に、Y軸に沿う一方向をY1方向といい、Y1方向とは反対の方向をY2方向という。Z軸に沿う一方向をZ1方向といい、Z1方向とは反対の方向をZ2方向という。
図3は、素子基板2の電気的な構成を示す等価回路図である。図3に示すように、素子基板2には、n本の走査線244とm本のデータ線246とn本の容量線245とが設けられる。nおよびmはそれぞれ2以上の整数である。
図4は、電気光学装置100の一部を示す断面図である。図4に示す第1基体21は、透光性および絶縁性を有する平板で構成される。第1基体21は、例えば、ガラスまたは石英等で構成される。第1基体21には、遮光性および導電性を有する遮光体241が設けられる。遮光体241は、トランジスター23ごとに設けられる。なお、遮光体241は、第1基体21に設けられる凹部内に配置される。遮光体241の構成材料としては、例えば、タングステン(W)、チタン(Ti)、クロム(Cr)、鉄(Fe)およびアルミニウム(Al)等の金属、金属窒化物ならびに金属シリサイド等が挙げられる。これらの中でも、タングステンを用いることで、遮光体241によってトランジスター23への光の入射を特に効果的に防ぐことができる。また、遮光体241は、トランジスター23が有するゲート電極に電気的に接続され、バックゲートとして用いられてもよい。
図5は、電気光学装置100の製造方法の流れを示す図である。図5では、電気光学装置100の製造工程のうち、主に導光層20の製造工程が代表的に示される。なお、電気光学装置100のうち導光層20以外の構造は、公知の方法により製造することができる。
素子基板2に生じる反りを抑えることができる。したがって、後述の工程で第1透光層261a等を研磨する際、素子基板2の反りに起因する研磨装置内での搬送不具合、レンズ層26およびその下層を含む素子基板2に割れ等の不具合が発生することを解消できる。
以上に例示した実施形態は多様に変形され得る。前述の実施形態に適用され得る具体的な変形の態様を以下に例示する。以下の例示から任意に選択された2以上の態様は、相互に矛盾しない範囲で適宜に併合され得る。
電気光学装置100は、各種電子機器に用いることができる。
Claims (9)
- 基板と、前記基板上に設けられた画素電極と、前記画素電極と前記基板との間の層に設
けられ、前記画素電極と電気的に接続されるトランジスターと、前記トランジスターが設
けられた層と前記画素電極との間に配置された絶縁層に設けられたレンズを備えた電気光
学装置の製造方法であって、
前記絶縁層に凹面を形成し、
前記凹面上に、透光性の第1透光層を形成し、
前記第1透光層上に、前記第1透光層の材料と異なる材料で前記第1透光層に接触する
第1犠牲層を形成し、
前記第1透光層および前記第1犠牲層を研磨することにより、前記第1透光層の残部で
ある第1層と前記第1犠牲層の残部である犠牲層残部とを形成し、
前記犠牲層残部をエッチングにより除去し、
前記第1層上に、透光性の第2透光層を形成し、
前記第2透光層上に、前記第2透光層の材料と異なる材料で前記第2透光層に接触する
第2犠牲層を形成し、
前記第2透光層および前記第2犠牲層を研磨することにより前記第2透光層から第2層
を形成することで、前記第1層と前記第2層とを含むレンズ層を形成することを特徴とす
る電気光学装置の製造方法。 - 前記第1層の材料と前記第2層の材料とは、同一である請求項1に記載の電気光学装置
の製造方法。 - 前記第1犠牲層および前記第2犠牲層は、それぞれ、高密度プラズマCVD法により形
成される請求項1または2に記載の電気光学装置の製造方法。 - 前記犠牲層残部は、ウェットエッチングにより除去される請求項1から3のいずれか1
項に記載の電気光学装置の製造方法。 - 前記ウェットエッチングにおける前記第1犠牲層のエッチングレートは、前記ウェット
エッチングにおける前記第1透光層のエッチングレートよりも速い請求項4に記載の電気
光学装置の製造方法。 - 前記第1層の材料および前記第2層の材料は、それぞれ、酸窒化ケイ素である請求項1
から5のいずれか1項に記載の電気光学装置の製造方法。 - 前記第1犠牲層の材料および前記第2犠牲層の材料は、それぞれ、酸素およびケイ素を
含む無機材料である請求項1から6のいずれか1項に記載の電気光学装置の製造方法。 - 基板と、
前記基板上に設けられた画素電極と、
前記画素電極と前記基板との間の層に設けられ、前記画素電極と電気的に接続されるト
ランジスターと、
前記トランジスターが設けられた層と前記画素電極との間に配置された第1の絶縁層と
、
前記第1の絶縁層と前記画素電極との間に配置され、金属材料よりなる配線と、
前記配線と前記画素電極との間に配置された第2の絶縁層と、
前記第2の絶縁層と前記画素電極との間に配置され、第1の凹面を有する第3の絶縁層
と、
前記第3の絶縁層と前記画素電極との間に配置され、前記第1の凹面の内側を埋めるレ
ンズ層と、を備え、
前記レンズ層は、第1層と、第2層とを有し、
前記第1層は、断面視で前記第1の凹面の全てを埋めない厚さを有し、前記第1の凹面
側が、前記第1の凹面に接して配置され、前記第1の凹面の反対側が、前記第1の凹面を
転写した第2の凹面と、平面視で前記第2の凹面と前記第2の凹面に隣り合う凹面との境
界に位置する第1の平坦面とを有し、
前記第2層は、前記第2の凹面と前記第1の平坦面側が、前記第2の凹面と前記第1の
平坦面とに接して配置され、前記第2の凹面と前記第1の平坦面の反対側が、断面視で前
記第2の凹面と前記第1の平坦面とに重なる位置に連続する第2の平坦面を有することを
特徴とする電気光学装置。 - 請求項8に記載の電気光学装置と、
前記電気光学装置の動作を制御する制御部と、を有する、
電子機器。
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