JP6882954B2 - ラインセンサの位置調整方法 - Google Patents
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(1)検査装置
本発明に係るラインセンサの位置調整方法に使用される検査装置1は、図1に示すように、検査装置1は、被検査物を保持する保持テーブル20と、X方向に直線状に延在する撮像部3を備えたラインセンサ2と、ラインセンサ2をX方向に移動可能に支持するX方向移動手段7と、X方向移動手段7をY方向に移動可能に支持するY方向移動手段14とを備えている。X方向移動手段7は、X軸方向に延びる棒状部材8と、棒状部材8に沿ってX軸方向に移動する移動部材9とを有する。ラインセンサ2は、Z方向移動手段10を介してX方向移動手段7の移動部材9に支持されている。ラインセンサ2の撮像部3の長さは、保持面21の半径の半分程度である。
以下に、ラインセンサ2の位置調整方法の各工程について説明する。
図4に示すように、保持テーブル20の保持面21にマーク19を配置する。この工程は、マーク19が付された円板治具18を保持面21に載置することによりなされる。円板治具18は、保持面21と同じ径寸法の薄厚の円板であり、円板治具18の上面にマーク19が付されている。マーク19は、円板治具18を保持面21に互いに同心となるように載置することにより、保持面21の中心Oから径方向にわずかにずれた位置に配置される。保持面21の中心Oとマーク19との間の距離dは、ラインセンサ2の撮像部3の長さの半分以下の距離である。
マーク配置工程の後、本工程では、ラインセンサ2を保持面21に沿う方向(X軸方向及びY軸方向)に移動させてラインセンサ2の撮像部3を保持テーブル20の保持面21の中心Oの直上に位置づけるとともに、ラインセンサ2をZ軸方向に移動させて撮像部3の焦点を円板治具18の上面18aに位置づける。ラインセンサ2は、図5に示すように、その撮像部3の長さ方向のほぼ中央部が保持面21の中心Oの直上に位置づけられるように位置調整される。
準備工程の後、本工程では、まず保持テーブル20を回転させ、保持テーブル20とともに回転する円板治具18の上面18aをラインセンサ2で撮像する。保持テーブル20の保持面21の中心(回転軸心)Oを軸にして回転する円板治具18の上面18aを、その直上に撮像部3が位置づけられたラインセンサ2で撮像することにより、保持テーブル20のマーク19が撮像部3の2箇所で撮像される。その結果、図6に示すように、マーク19が撮像画の2箇所に撮像される。
y=x/{2tan(θ/2)} ・・・式(1)
上記式(1)において、距離(x)は、撮像された画像上の2つのマーク19の間のピクセル数をカウントすることにより求められる。また、角度(θ)は、検出部5(図2参照)により検出される。
算出工程の後、本工程では、算出工程で算出したズレ距離(y)分だけラインセンサ2をY方向に移動させて、保持テーブル20の保持面21の中心O上を撮像部3が撮像可能とする位置調整を行う。
位置調整工程の後、保持テーブル20を回転させるとともに、ラインセンサ2を保持面21の中心O側から外側に向けて一定の速度でX軸方向に移動させる。これにより、保持面21の半径の半分程度の長さの撮像部3でウェーハWの被研削面Wa全体が渦巻き状に撮像される。また、保持テーブル20が1回転するごとにラインセンサ2をX方向にインデックス送りすることにより同心円状の画像を複数取得し、これらを合成してウェーハWの全面の画像を形成するようにしてもよい。こうして撮像により取得した画像によって、被研削面Waの粗さ、きず、ごみ、汚れ等を検査する。
図7に示す検査装置30は、第1実施形態の検査装置1におけるX方向移動手段7をY軸方向に移動させるY方向移動手段14の代わりに、保持テーブル20をY軸方向に移動させるためのY方向移動手段31を備えている。
図7に示すように、保持テーブル20の保持面21にマーク19を配置する。この工程は、第1実施形態と同様に、マーク19が付された円板治具18を保持面21に載置することによりなされる。
マーク配置工程を実施した後、本工程では、図8に示すように、ラインセンサ2の撮像部3を保持テーブル20の保持面21の中心Oの直上に位置づけるとともに、ラインセンサ2をZ軸方向に移動させて撮像部3の焦点を円板治具18の上面18aに位置づける。ラインセンサ2は、その撮像部3の長さ方向のほぼ中央部が保持面21の中心Oの直上に位置づけられるように位置調整される。
準備工程を実施した後、第1実施形態と同様に、算出工程を実施する。そして、算出工程において算出されたずれ距離(y)分のラインセンサ2のY方向の移動を、Y方向移動手段31によって行う。その後、第1実施形態と同様に、撮像工程を行い、取得した画像により、被研削面Waの粗さ、きず、ごみ、汚れ等を検査する。
(X2−X1)/2=保持面の中心OまでのX方向の調整距離
6:照明 7:X方向移動手段 8:棒状部材 9:移動部材
10:Z方向移動手段 11:棒状部材 12:移動部材
14:Y方向移動手段 15:棒状部材 16:移動部材 18:円板治具
18a:上面 19:マーク 20:保持テーブル 21 :保持面
30:検査装置 31:Y方向移動手段 d:距離
O:保持面の中心(回転軸心) T:保護テープ
W:ウェーハ(被検査物) Wa:被研削面 Wb:デバイス形成面 Z1:軸
Claims (1)
- X方向に直線状に延在する撮像部を備えたラインセンサにより、保持テーブルの保持面の中心を軸に該保持テーブルを回転させる回転駆動部と回転させた該軸の回転角度を検出する検出部とを有する回転手段によって該保持テーブルを回転させ、該保持面が保持した板状の被検査物の上面中心を該撮像部が撮像可能とするラインセンサの位置調整方法であって、
該保持面の中心から径方向にわずかにずれた位置の該保持面上にマークを配置するマーク配置工程と、
該保持テーブルを1回転させると該マークが該ラインセンサの該撮像部の直下を横断して該マークが撮像画の2箇所に撮像されるように該ラインセンサと該保持テーブルとを相対的に該保持面に沿う方向に移動させ撮像準備する準備工程と、
該準備工程後に該保持テーブルを回転させ、該撮像部が該マークを2箇所で撮像し該検出部が検出した該保持テーブルの回転軸心を中心とする2つのマーク間の角度(θ)と、該撮像部が該マークを2箇所で撮像した該2つのマークのX方向の距離(x)と、から、該回転軸心と該撮像部とが該保持面に沿う方向でX方向に直交するY方向のズレ距離(y)を
y=x/{2tan(θ/2)}
の式により算出する算出工程と、
該ラインセンサと該保持テーブルとを相対的にY方向に該算出工程で算出した該ズレ距離分移動させ、該回転軸心上を該撮像部が撮像可能とする位置調整工程と、
を備えるラインセンサの位置調整方法。
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