TWI610382B - 用於操縱電子部件的操縱裝置的調節設備和方法 - Google Patents
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Abstract
本發明包括:旋轉裝置;成像裝置,該成像裝置位於旋轉裝置上並能夠借助旋轉裝置來定位;拾取頭,拾取頭圍繞所述旋轉裝置沿圓周佈置,每個拾取頭能夠操縱保持電子構件;基準標記,該基準標記相對於所述旋轉裝置位於固定位置處,從而使得所述旋轉裝置能夠相對於所述基準標記旋轉,所述基準標記的固定位置表示由相應的拾取頭保持的電子部件的佈置;用於操縱電子部件的操縱裝置,所述操縱裝置的位置能夠被調節以將所述至少一個操縱裝置與由所述拾取頭保持的電子部件的佈置對準;其中,成像裝置操作成捕獲包括所述基準標記和所述操縱裝置的至少一個圖像,以得出所述至少一個操縱裝置和由所述基準標記的固定位置所表示的電子部件的佈置之間的偏移。
Description
本發明公開內容總體上涉及用於操縱電子部件的設備以及調節用於操縱電子部件的設備的操縱裝置的位置的方法。
傳統的測試操縱器包括轉檯和聯接到轉檯的拾取頭,拾取頭用於保持半導體封裝。在操作期間,轉檯在各種功能的各種模組或者操縱裝置的上方旋轉,各種模組或者操縱裝置諸如為用於測試半導體封裝的性能的測試模組。保持半導體封裝的拾取頭移動到模組或者操縱裝置,以在半導體封裝上執行操縱裝置的功能。具體地,保持半導體封裝的拾取頭移動到測試模組以測試半導體封裝。具體地,測試模組必須相對於由相應的拾取頭保持的每個半導體封裝對準,以實現良好的機械穩定性、較高的功能測試產量以及較低的封裝損壞率。
當前,測試模組和半導體封裝之間的對準和位置調節通過使用諸如用於自由調節的人工判斷或者通過使用機械夾具來實現。由於人工判斷是主觀的並且需要測試操縱器的操作來視覺化,因此如果半導體封裝的尺寸非常小則難以執行或者不能執行人工調節。附加地,由於缺乏精確性所基於的資料,因此該方法需要相當大的人工技巧和人力勞動。
在一個現有技術方案中,視覺輔助模組對準方法利用安裝到轉檯的光學裝置以及多個成像裝置來首先對準基準標記並且其次對準操縱裝置的位置。然而,這樣的方案需要涉及多個成像裝置的若干對準步驟。另外,光學裝置增加了轉檯的重量並且因此降低了轉檯的操作速度。因此,系統生產量也被不期望地降低。
因此,存在旨在解決上述問題中的至少一個的用於操縱電子
部件的設備以及調節用於操縱電子部件的設備的至少一個操縱裝置的位置的方法的必要。
本發明的第一方面是一種用於操縱電子部件的設備。該設備包括:旋轉裝置;成像裝置,該成像裝置位於所述旋轉裝置上並且能夠借助所述旋轉裝置來定位;多個拾取頭,這多個拾取頭圍繞所述旋轉裝置沿圓周佈置,每個拾取頭均能夠操縱成保持電子構件;基準標記,該基準標記相對於所述旋轉裝置位於固定位置處,從而使得所述旋轉裝置能夠相對於所述基準標記旋轉,所述基準標記的固定位置表示由相應的拾取頭保持的電子部件的佈置;以及用於操縱電子部件的至少一個操縱裝置,所述至少一個操縱裝置的位置能夠被調節以將所述至少一個操縱裝置與由所述拾取頭保持的電子部件的佈置對準;其中,所述成像裝置操作成捕獲包括所述基準標記和所述至少一個操縱裝置的至少一個圖像,以得出所述至少一個操縱裝置和如由所述基準標記的固定位置所表示的電子部件的佈置之間的偏移。
本發明的第二方面是一種調節用於操縱電子部件的設備的至少一個操縱裝置的位置的方法,所述設備包括旋轉裝置和圍繞所述旋轉裝置沿圓周佈置的多個拾取頭。所述方法包括以下步驟:相對於基準標記定位位於所述旋轉裝置上的成像裝置,所述基準標記相對於所述旋轉位置位於固定位置處,從而使得所述旋轉裝置能夠相對於所述基準標記旋轉,所述基準標記的固定位置表示由相應的拾取頭保持的電子部件的佈置;利用所述成像裝置捕獲包括所述基準標記和所述至少一個操縱裝置的至少一個圖像;從由所述成像裝置捕獲的所述至少一個圖像得出所述基準標記和所述至少一個操縱裝置之間的偏移;以及基於所述偏移調節所述至少一個操縱裝置的位置,以將所述電子部件的佈置和所述至少一個操縱裝置對準。
100‧‧‧測試操縱器
104‧‧‧旋轉裝置
108‧‧‧拾取頭
112‧‧‧基準標記
116‧‧‧基準構件
120‧‧‧操縱裝置
124‧‧‧安裝構件
128‧‧‧成像裝置
200‧‧‧測試操縱器
204‧‧‧旋轉裝置
212‧‧‧基準標記
216‧‧‧基準構件
220‧‧‧操縱裝置
228‧‧‧成像裝置
304‧‧‧中心標記
404‧‧‧測試接觸器
408‧‧‧基準標記
504‧‧‧旋轉裝置
508‧‧‧拾取頭
512‧‧‧基準標記
516‧‧‧基準構件
528、532、536‧‧‧馬達
604‧‧‧旋轉裝置
608‧‧‧安裝構件
612‧‧‧成像裝置
僅通過示例從下面記載的說明並且結合附圖,本領域的普通技術人員將更好地理解並且容易清楚本發明的示例性實施方式,附圖中:圖1a是示例性實施方式中的用於操縱電子部件的設備的平面圖。
圖1b是用於操縱電子部件的設備的平面圖,在該設備上安裝有成像裝
置。
圖1c是用於操縱電子部件的設備的側視圖,在該設備上安裝有成像裝置。
圖2a是示例性實施方式中的用於操縱電子部件的設備的立體圖,在該設備上安裝有成像裝置。
圖2b是用於操縱電子部件的設備的立體圖,在該設備上安裝有成像裝置。
圖3是由示例性實施方式中的成像裝置捕獲的合成圖像的平面圖。
圖4a是由另一示例性實施方式中的成像裝置捕獲的圖像的平面圖。
圖4b是由該示例性實施方式中的成像裝置捕獲的另一圖像的平面圖。
圖5是包括機動操縱裝置的示例性實施方式中的用於操縱電子部件的設備的平面圖,在該設備上安裝有成像裝置。
圖6以旋轉裝置的局部放大視圖示出了附接到旋轉裝置的成像裝置。
圖7a是示例性實施方式中的用於操縱電子部件的設備的側視圖,在該設備上安裝有成像裝置。
圖7b是該示例性實施方式中的用於操縱電子部件的設備的平面圖,設備具有位於操縱裝置上方的成像裝置。
圖7c是示出了在該示例性實施方式中的位置調節過程中察看基準標記的圖。
圖7d是示出了在該示例性實施方式中的位置調節過程中察看操縱裝置的圖。
圖8是由示例性實施方式中的拾取頭保持的電子部件的平面圖。
圖9是示出了示例性實施方式中的調節用於操作電子部件的設備的至少一個操縱裝置的位置的方法的流程圖,該設備包括旋轉裝置和圍繞旋轉裝置沿圓周佈置的多個拾取頭。
示例性的非限制性實施方式可以提供用於操縱電子部件的設備以及調節用於操縱電子部件的設備的至少一個操縱裝置的位置的方法。
圖1a是示例性實施方式中的用於操縱電子部件的設備平面
圖。在該示例性實施方式中,用於操縱電子部件的設備示出為測試操縱器100。電子部件可以是諸如半導體封裝的半導體部件(在圖8中,其中一個半導體部件由附圖標記804表示並且由拾取頭筒夾808保持)。
測試操縱器100包括旋轉裝置104、圍繞旋轉裝置104沿圓周佈置的多個拾取頭108以及基準標記112,使得旋轉裝置104能夠相對於基準標記112旋轉。基準標記112不隨旋轉裝置104旋轉。例如,基準標記112由位於旋轉裝置104外部的基準構件116提供。測試操縱器100還包括諸如接觸器的操縱裝置120,以操縱電子部件。旋轉裝置104還包括安裝構件124,成像裝置(圖1a中未示出)能夠以可拆卸的方式安裝到該安裝構件。
圖1b是用於操縱電子部件的設備的平面圖,在該設備上安裝有成像裝置。圖1c是用於操縱電子部件的設備的側視圖,在該設備上安裝有第一成像裝置。
在該示例性實施方式中,成像裝置128通過使用安裝構件124在兩個相鄰的拾取頭108之間的位置處以可拆卸的方式安裝到旋轉裝置104。成像裝置128能夠由旋轉裝置104定位。在圖1b中,旋轉裝置104旋轉,從而使得成像裝置128佈置在由基準構件116提供的基準標記112上方或者之上。
在該示例性實施方式中,包括基準標記112的基準構件116位於預定位置處,該預定位置表示當電子部件由相應的拾取頭108保持時電子部件的佈置。即,基準標記112相對於旋轉裝置104位於固定位置處,從而使得旋轉裝置104能夠相對於基準標記112旋轉。成像裝置128操作成捕獲包括由位於旋轉裝置104外部的基準構件116提供的基準標記112以及至少一個操縱裝置120的至少一個圖像,以得出至少一個操縱裝置120和如由基準標記112的固定位置所表示的電子部件的佈置之間的偏移。至少一個操縱裝置120的位置能夠被調節以將操縱裝置120與由拾取頭108保持的電子部件的佈置對準。
在該示例性實施方式中,旋轉裝置104可以是轉檯。每個拾取頭108均能操作成保持電子部件(圖1a至1c中未示出)。成像裝置128可以是照相機。安裝構件可以是但不局限於一個或多個螺栓、鉚釘、卡合元件、夾子或者其它緊固部件,以將成像裝置128安裝到旋轉裝置104。
在該示例性實施方式中,至少一個操縱裝置120以可移動的方式安裝在旋轉裝置104的下方。
在該示例性實施方式中,基準標記112是能夠容易由成像裝置128檢查的圖像。基準標記112可以是但不局限於十字形圖案或者棋盤圖案。包括基準標記112的基準構件116安裝在旋轉裝置104下方的預定位置處。例如,基準構件116可以被安裝在旋轉裝置104下方的靜止平臺上。基準標記112被用作用於將至少一個操縱裝置120對準到由相應的拾取頭108保持的電子部件的共用的基準標記。
現在將描述設置在外部基準構件116上以進行操縱裝置(諸如接觸器)的位置調節的基準標記112的使用。
圖2a是示例性實施方式中的用於操縱電子部件的設備的立體圖,在該設備上安裝有成像裝置。在該示例性實施方式中,設備是測試操縱器200,該測試操縱器的功能與參照圖1a至1c描述的測試操縱器100大體上相同,並且該測試操縱器包括大體上相同的部件。測試操縱器200的成像裝置228被示出為定位在由位於旋轉裝置204外部的基準構件216提供的基準標記212之上。
成像裝置228操作成捕獲包括基準標記212的至少一個圖像。在其它示例性實施方式中,可以檢查或者察看基準標記以對準成像裝置或者記下成像裝置的光學中心與基準標記之間的偏移。
在成像裝置228捕獲基準標記212的至少一個圖像之後,旋轉裝置204旋轉過一定角度以將成像裝置228佈置在操縱裝置220的頂部上方,操縱裝置220的位置待與成像裝置的位置對準。在圖2b中,旋轉裝置204被示出為旋轉,從而使得以可拆卸的方式安裝的成像裝置228被佈置在操縱裝置220的位置的上方。
現在將描述操縱裝置的位置調節。
圖3是該示例性實施方式中的由成像裝置228捕獲的合成圖像的平面圖。該平面圖示出了操縱裝置220和其中心標記304的圖像以及基準標記212的圖像。合成圖像被分析以得出基準標記212的位置和操縱裝置220的位置之間的偏移。之後,基於該偏移手動或者自動地調節操縱裝置220,以將操縱裝置220的中心標記304與基準標記212的圖像的位置對準或者重
疊。重新定位的操縱裝置220因此相對於由相應的拾取頭保持的電子部件的位置佈置對準。
利用該示例性實施方式,即使在諸如測試接觸器的操縱裝置上不設置中心標記,如以下所述,操縱裝置也仍然可以與基準標記對準。
圖4a和4b是由另一示例性實施方式中的成像裝置捕獲的圖像的平面圖。在該示例性實施方式中,該平面圖示出了不具有物理中心標記的測試接觸器404的圖像。該平面圖還示出了基準標記408的圖像。即使在測試接觸器404上不設置物理標記以表示測試接觸器404的中心時,也能夠使用參照圖3描述的位置調節的方法。所捕獲的測試接觸器404和基準標記408的圖像被分析以定位基準標記408的位置和測試接觸器404的對稱中心412(如圖4a所示)。之後,測試接觸器404被手動或自動地調節以將測試接觸器404的對稱中心412與基準標記408的圖像的位置對準或者重疊(如圖4b所表示)。被重新定位的測試接觸器404因此相對於由相應的拾取頭保持的電子部件的位置佈置對準。
圖5是示例性實施方式中的包括機動操縱裝置的用於操縱電子部件的設備的平面圖,成像裝置安裝在設備的旋轉裝置504上。呈接觸器520的形式的操縱裝置任選地包括馬達528、532、536,以相對於由相應的拾取頭508保持的電子部件的運動路徑提供切向、徑向和θ相對運動。在從由成像裝置524捕獲的一個或多個圖像得出由基準構件516提供的基準標記512和機動接觸器520之間的偏移之後,主處理器向馬達528、532、536發送相應的指示信號,以補償該偏移,諸如關於基準標記512和機動接觸器520之間的距離-角度差,以調節機動接觸器520相對於如由基準標記512的固定位置所表示的用於操縱的每個電子部件的佈置的位置。設備的自動對準因此可以通過使用來自成像裝置524的測量回饋資訊和機動接觸器520上的馬達的設置來實現。
在下面說明中,描述旋轉裝置的安裝構件。
圖6以旋轉裝置的局部放大圖示出了附接到旋轉裝置的成像裝置。安裝構件608被用於將成像裝置612以可拆卸的方式安裝到旋轉裝置604。安裝構件608包括一個或多個螺栓、鉚釘、卡合元件、夾子或者任何其它類型的緊固部件。安裝構件608還包括設置在旋轉裝置604上的相應的
軌道、孔或者其它容置部以接收相應的螺栓、鉚釘、卡合元件、夾子或者任何其它類型的緊固部件。
安裝構件608可以集成到旋轉裝置604或者可以是旋轉裝置604的分離部件。在其中安裝構件608集成到旋轉裝置604的示例性實施方式中,安裝構件608可以包括從旋轉裝置604延伸的臂以及用於接收一個或多個螺栓或鉚釘的軌道或者凹槽。成像裝置612可以諸如通過調節一個或多個螺栓、鉚釘、卡合元件、或者夾子直到成像裝置位於檢查/察看或者清楚地捕獲基準標記的至少一個圖像的位置處而被調節。
應理解的是,無需使成像裝置的光學中心與基準標記的光學中心對準,只要操縱裝置的光學中心和基準標記的光學中心之間的平均偏移能夠被確定即可。
以上的示例性實施方式描述了捕獲標記和操縱裝置的圖像。以下描述其中僅一個圖像被捕獲以用於位置調節過程的示例性實施方式。
圖7a是示例性實施方式中的用於操縱電子部件的設備的側視圖,在該設備上安裝有成像裝置。在該示例性實施方式中,用於操縱電子部件的設備是與測試操縱器100大體上相同的測試操縱器700。安裝在旋轉裝置704上的成像裝置728定位成檢查或者察看基準標記(圖7a中未示出)的圖像。基準標記被設置成使得旋轉裝置704能夠相對於該基準標記旋轉。例如,基準標記設置在位於旋轉裝置704外部的基準構件716上。
在檢查之後,成像裝置728的光學中心與基準標記的光學中心對準。然而,應理解的是,無需將成像裝置728的光學中心與基準標記的光學中心對準,只要能夠確定成像裝置728的光學中心與基準標記的光學中心之間的平均偏移從而使得該偏移能夠被補償即可。
接下來,旋轉裝置704旋轉過一定角度以將成像裝置728佈置/設置在待被對準的操縱裝置720的上方,如圖7b中的平面圖所表示的那樣。
成像裝置728定位成捕獲操縱裝置720的圖像。接著,將操縱裝置720的圖像的位置與成像裝置728或者基準標記712的光學中心的位置對比。然後基於成像裝置728和基準標記712的中心之間的已知偏移(如果有)而手動或自動地調節操縱裝置720的位置。
例如,如圖7c所表示,在察看基準標記712期間,通過計算基
準標記712的偏移,來將成像裝置的光學中心732與基準標記712的光學中心對準。接下來,如圖7d所表示,由於已知基準構件的位置(或者其偏移),因此可以利用通過成像裝置拍攝的操縱裝置的圖像來對準操縱裝置的光學中心736。
圖8是由示例性實施方式中的拾取頭保持的電子部件的平面圖。如圖所表示,電子部件804(諸如半導體部件或者封裝)由拾取頭的拾取頭筒夾808(諸如圖1a至1c的108或者圖2a至2b的208或者圖7的708)保持。
圖9是示出了調節示例性實施方式中的用於操縱電子部件的設備的至少一個操縱裝置的位置的方法的流程900,該設備包括旋轉裝置和圍繞該旋轉裝置沿圓周佈置的多個拾取頭。在步驟902處,將位於旋轉裝置上的成像裝置相對於基準標記定位,該基準標記相對於旋轉裝置位於固定位置處,從而使得旋轉裝置能夠相對於基準標記旋轉,基準標記的固定位置表示由相應的拾取頭保持的電子部件的佈置。在步驟904處,成像裝置捕獲包括基準標記和至少一個操縱裝置的至少一個圖像。在步驟906處,從由成像裝置捕獲的至少一個圖像得出基準標記和至少一個操縱裝置之間的偏移。在步驟908處,基於所述偏移調節至少一個操縱裝置的位置,以將至少一個操縱裝置相對於電子部件的佈置對準。
對於所述的示例性實施方式,在完成操縱裝置相對於電子部件的佈置的對準之後,在用於操縱電子部件的設備的生產運行之前,可以將成像裝置從旋轉裝置拆卸或者移除。
在所述的示例性實施方式中,提供基準標記以使得旋轉裝置能夠相對於基準標記旋轉有利地去除了在旋轉裝置上設置基準標記支承構件並且因此減小了旋轉裝置上的重量。該重量的減小在旋轉裝置操作時增大了旋轉裝置的旋轉速度並且因此有利地提高了輸出產量。有利地,在完成操縱裝置相對於電子部件的佈置的對準之後以及在用於操縱電子部件的設備的生產運行之前,成像裝置可以從旋轉裝置拆卸或者移除。因此,在生產運行期間,無來自成像裝置或者基準標記支承構件的附加重量施加在旋轉裝置上。由於基準標記的位置在設備的製造期間已被預先確定,因此對準或調節過程也被有利地簡化。而且,利用預先確定的基準標記來對準操縱裝置可以提供高精度的對準過程,這是因為可以消除了在每個對準過
程期間使用者介入調節基準/參考點的位置的需要。
此外,在對準過程期間通過使用成像裝置來捕獲包括基準標記和操縱裝置的至少一個圖像,在該對準過程期間,在電子部件、拾取頭、成像裝置和/或操縱裝置之間無需進行接觸。這有利地防止了在對準過程期間對電子部件、拾取頭、成像裝置和/或操縱裝置造成的損害。
另外,由成像裝置捕獲的至少一個圖像提供了清晰的可視畫面以使對準過程容易進行。
此外,來自視覺或成像系統的測量回饋允許操縱裝置的位置基於基準標記和操縱裝置之間的偏移被調節。對對準結果的定量測量因此能夠被實現。在一些示例性實施方式中,測量回饋與設置在操縱裝置上的馬達一起允許操縱裝置的位置被自動地調節。因此,對準過程能夠自動化。在操縱裝置通過使用諸如用於自由調節的人工判斷或者通過使用例如用於帶和卷軸模組的對準的機械夾具而難以執行對準的情況下,該自動對準過程能夠被實施在操縱裝置上。
在所描述的示例性實施方式中,至少一個操縱裝置是測試接觸器,但應理解的是,能夠存在涉及電子部件的生產/測試的其它操縱裝置。
在一些示例性實施方式中,基準標記描述為由旋轉裝置外部的基準構件提供。應理解的是,示例性實施方式不局限於此。只要基準標記相對於旋轉裝置位於固定位置從而使得旋轉裝置能夠相對於基準標記旋轉,則有利地去除待被放置在旋轉裝置上的基準標記支撐構件的常規需要。
在一些示例性實施方式中,基準標記的圖像重疊(疊加)在由成像裝置捕獲的操縱裝置的圖像上。操縱裝置的圖像可以包括表示操縱裝置的位置的任何圖像,並且可以包括操縱裝置的一個或多個部分和/或從操縱裝置得到的標記。
在對準過程期間,可以存在提供為用於確保操縱裝置與基準標記對準的容差度或者規定標準。即,示例性實施方式不局限於將操縱裝置與基準標記的圖像嚴格定位。在一些示例性實施方式中,操縱裝置的光學中心與基準標記對準。然而,應理解的是,無需將操縱裝置的光學中心與基準標記對準,只要滿足提供為用於確保操縱裝置與基準標記的對準的容差度或者規定標準即可。
應理解的是,儘管一些示例性實施方式描述了利用基準標記的圖像和操縱裝置的圖像,但是示例性實施方式不局限於此。只要獲得至少一個圖像,就可以利用該至少一個圖像使視覺或者成像系統執行對準。
本領域技術人員應理解的是,在不脫離如總體所述的本發明的範圍的情況下,可以對具體的實施方式進行其它變形和修改。因此當前實施方式在所有方面都被當作是示意性的和非限制性的。
200‧‧‧測試操縱器
204‧‧‧旋轉裝置
212‧‧‧基準標記
216‧‧‧基準構件
220‧‧‧操縱裝置
228‧‧‧成像裝置
Claims (14)
- 一種用於操縱電子部件的設備,該設備包括:旋轉裝置;成像裝置,該成像裝置位於所述旋轉裝置上並且能夠借助所述旋轉裝置來定位;多個拾取頭,這多個拾取頭圍繞所述旋轉裝置沿圓周佈置,每個拾取頭均能夠操縱保持電子構件;基準標記,該基準標記相對於所述旋轉裝置位於固定位置處,從而使得所述旋轉裝置能夠相對於所述基準標記旋轉,所述基準標記的固定位置表示由相應的拾取頭保持的電子部件的佈置;以及用於操縱電子部件的至少一個操縱裝置,所述至少一個操縱裝置的位置能夠被調節以將所述至少一個操縱裝置與由所述拾取頭保持的電子部件的佈置對準,其中,所述成像裝置操作成捕獲包括所述基準標記和所述至少一個操縱裝置的至少一個圖像,以得出所述至少一個操縱裝置和如由所述基準標記的固定位置所表示的電子部件的佈置之間的偏移。
- 根據請求項1所述的設備,其中,所述操縱裝置能夠基於所得出的所述成像裝置和所述基準標記之間的偏移被調節,以使該操縱裝置與所述基準標記對準。
- 根據請求項1所述的設備,其中,所述基準標記包括在位於所述旋轉裝置外部的基準構件中。
- 根據請求項1所述的設備,其中,所述成像裝置是照相機。
- 根據請求項1所述的設備,其中,所述至少一個操縱裝置被機動化並且能夠操作成相對於如由所述基準標記的固定位置所表示的電子部件的佈置自動地對準所述至少一個操縱裝置。
- 根據請求項1所述的設備,該設備還包括位於所述旋轉裝置上的安裝構件,所述成像裝置能夠以可拆卸的方式安裝到該安裝構件。
- 根據請求項1所述的設備,其中,所述成像裝置操作成捕獲包括所述基準標記的第一圖像和包括所述至少一個操縱裝置的第二圖像。
- 一種調節用於操縱電子部件的設備的至少一個操縱裝置的位置的方 法,所述設備包括旋轉裝置和圍繞所述旋轉裝置沿圓周佈置的多個拾取頭,所述方法包括以下步驟:相對於基準標記定位位於所述旋轉裝置上的成像裝置,所述基準標記相對於所述旋轉位置位於固定位置處,從而使得所述旋轉裝置能夠相對於所述基準標記旋轉,所述基準標記的固定位置表示由相應的拾取頭保持的電子部件的佈置;利用所述成像裝置捕獲包括所述基準標記和所述至少一個操縱裝置的至少一個圖像;從由所述成像裝置捕獲的所述至少一個圖像得出所述基準標記和所述至少一個操縱裝置之間的偏移;以及基於所述偏移調節所述至少一個操縱裝置的位置,以將所述電子部件的佈置和所述至少一個操縱裝置對準。
- 根據請求項8所述的方法,該方法還包括將所述成像裝置以可拆卸的方式安裝到安裝構件以將所述成像裝置定位在所述旋轉裝置上的步驟。
- 根據請求項8所述的方法,其中,所述基準標記被包括在位於所述旋轉裝置外部的基準構件中。
- 根據請求項8所述的方法,其中,調節所述至少一個操縱裝置的位置的步驟還包括調節所述操縱裝置以使得該操縱裝置的光學中心與所述基準標記的光學中心對準的步驟。
- 根據請求項8所述的方法,其中,所述至少一個操縱裝置被機動化並且調節所述至少一個操縱裝置的位置的步驟基於所述偏移被自動地執行。
- 根據請求項8所述的方法,其中,利用所述成像裝置捕獲包括所述基準標記和所述至少一個操縱裝置的至少一個圖像的步驟包括捕獲所述基準標記的第一圖像和所述至少一個操縱裝置的第二圖像的步驟。
- 根據請求項8所述的方法,其中,調節所述至少一個操縱裝置的位置的步驟包括基於所得出的所述成像裝置和所述基準構件之間的偏移來調節所述至少一個操縱裝置的步驟。
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