JP6873129B2 - 領域適応的欠陥検出を行うシステムおよび方法 - Google Patents
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Description
本出願は、Lauent Karsenti、Eliezer Rosengaus、John Jordan、およびRoni Millerを発明者とする2015年11月18日出願の米国仮特許出願第62/257,025号「AUTOMATED GENERALIZED REGION ADAPTIVE DEFECTIVE ENGINE(a−GRADE)」を米国特許法§119(e)の下で優先権主張するものであり、その全文を本明細書に引用している。
Claims (54)
- 基準画像を取得するステップと、
前記基準画像の目標領域を選択するステップと、
マッチング尺度に基づいて、前記目標領域に対応する前記基準画像の1個以上の比較対象領域を識別するステップと、
テスト画像を取得するステップと、
前記基準画像の前記目標領域および前記基準画像の前記1個以上の比較対象領域により前記テスト画像をマスキングしてマスクされたテスト画像を生成するステップと、
前記テスト画像内の前記1個以上の比較対象領域内のピクセルに対するピクセル値を含むピクセル値分布に基づいて欠陥閾値を画定するステップと、
前記マスクされたテスト画像におけるピクセル値分布を前記欠陥閾値と比較することによって前記テスト画像が欠陥を含むか否かを判定するステップとを含む欠陥検出方法。 - 前記マッチング尺度がピクセル値の選択された範囲を含み、前記基準画像の前記1個以上の比較対象領域を識別するステップが、
前記選択された範囲内にピクセル値を有する前記基準画像の1個以上の領域を識別するステップを含む、請求項1に記載の欠陥検出方法。 - 前記ピクセル値がグレイスケール値を含む、請求項2に記載の欠陥検出方法。
- 前記ピクセル値分布が、前記目標領域および前記テスト画像内の前記1個以上の比較対象領域におけるピクセルのピクセル値を含む、請求項2に記載の欠陥検出方法。
- 前記ピクセル値分布が、前記目標領域および前記テスト画像内の前記1個以上の比較対象領域におけるピクセルのピクセル値のヒストグラムを含む、請求項4に記載の欠陥検出方法。
- 前記ピクセル値分布の尾部に関連付けられた外れ値を識別すべく前記欠陥閾値を画定するステップを含む、請求項4に記載の欠陥検出方法。
- 前記マスクされたテスト画像におけるピクセル値分布を前記欠陥閾値と比較することによって前記テスト画像が欠陥を含むか否かを判定するステップが、
前記目標領域または前記テスト画像の前記1個以上の比較対象領域のいずれかが欠陥を含むか否かを前記欠陥閾値に基づき判定するステップを更に含む、請求項1に記載の欠陥検出方法。 - 前記目標領域が単一の目標ピクセルを含む、請求項1に記載の欠陥検出方法。
- 前記基準画像の前記1個以上の比較対象領域を識別するステップが、
ピクセルの画定された配置を含む近傍パターンを画定するステップと、
前記近傍パターンに従い配置された前記基準画像内での前記目標ピクセルを含む目標近傍を画定するステップであって、前記マッチング尺度が前記目標近傍のピクセル値分布を含むステップと、
前記マッチング尺度に基づいて前記近傍パターンに従い配置された前記基準画像の1個以上の比較対象近傍であって、前記1個以上の比較対象領域に含まれる1個以上の比較対象近傍を識別するステップと、を含む、請求項8に記載の欠陥検出方法。 - 前記基準画像の前記1個以上の比較対象近傍を識別するステップが、
局所性鋭敏型ハッチングに基づいて前記基準画像の1個以上の比較対象近傍を識別するステップを含む、請求項9に記載の欠陥検出方法。 - 前記基準画像の前記1個以上の比較対象近傍を識別するステップが、
カーネル化された局所性鋭敏型ハッチングに基づいて前記基準画像の1個以上の比較対象近傍を識別するステップを含む、請求項9に記載の欠陥検出方法。 - 前記基準画像の前記1個以上の比較対象近傍を識別するステップが、
パターンマッチング技術に基づいて前記基準画像の1個以上の比較対象近傍を識別するステップを含む、請求項9に記載の欠陥検出方法。 - 前記基準画像の前記1個以上の比較対象近傍を識別するステップが、
設計データに基づいて前記基準画像の1個以上の比較対象近傍を識別するステップを含む、請求項9に記載の欠陥検出方法。 - 前記1個以上の比較対象近傍の1個以上の位置をデータベースに保存するステップを更に含む、請求項9に記載の欠陥検出方法。
- 前記データベースが索引付きデータベースを含む、請求項14に記載の欠陥検出方法。
- 前記テスト画像内の前記1個以上の比較対象領域に基づいて前記テスト画像内の前記目標領域に対する欠陥閾値を画定するステップが、
前記テスト画像の前記1個以上の比較対象近傍の1個以上のピクセル値分布を計算するステップと、
前記テスト画像の前記1個以上の比較対象近傍の前記ピクセル値分布に基づいて前記テスト画像の前記目標近傍におけるピクセル値分布を推定するステップと、
前記目標近傍における前記推定されたピクセル値分布に基づいて前記目標ピクセルに対する欠陥閾値を画定するステップを含む、請求項9に記載の欠陥検出方法。 - 前記テスト画像が欠陥を含むか否かを判定するステップが、
前記推定されたピクセル値分布と、前記テスト画像内の前記目標近傍の実際のピクセル値分布との比較に基づいて、前記テスト画像の前記目標領域が欠陥を含むか否かを判定するステップを含む、請求項16に記載の欠陥検出方法。 - 前記近傍パターンのサイズが、前記目標領域の生成に用いる測定ツールの相互作用機能に基づいている、請求項9に記載の欠陥検出方法。
- 前記近傍パターンのサイズが、前記目標領域の生成に用いる測定ツールの解像度に基づいている、請求項9に記載の欠陥検出方法。
- 基準データが、基準画像または設計データの少なくとも一方を含む、請求項1に記載の欠陥検出方法。
- 前記基準画像が最適金型に基づいている、請求項20に記載の欠陥検出方法。
- 前記基準画像が少なくとも1個の基準金型に基づいている、請求項20に記載の欠陥検出方法。
- 前記基準画像が中央値基準金型を含む、請求項20に記載の欠陥検出方法。
- 前記設計データがネットリストデータまたは1個以上の構造の設計配置の少なくとも一方を含む、請求項20に記載の欠陥検出方法。
- 照射ビームを生成する照射光源と、
前記照射ビームを試料へ誘導する照射光学部品の組と、
前記試料から発せられた照射光を収集する検出器とを含む
検査サブシステムと、
前記検出器と通信可能に結合され、メモリ装置と1個以上のプロセッサを備えたコントローラと、
を備え、
前記1個以上のプロセッサに、
基準画像を取得し、
前記基準画像の目標領域を選択し、
マッチング尺度に基づいて、前記目標領域に対応する前記基準画像内の1個以上の比較対象領域を識別し、
テスト画像を取得し、
前記基準画像の前記目標領域および前記基準画像の1個以上の比較対象領域によりテスト画像をマスクしてマスクされたテスト画像を生成し、
前記テスト画像内の前記1個以上の比較対象領域内のピクセルに対するピクセル値を含むピクセル値分布に基づいて、欠陥閾値を画定し、
前記マスクされたテスト画像におけるピクセル値分布を前記欠陥閾値と比較することによって前記テスト画像が欠陥を含むか否かを判定させるように構成されたプログラム命令を実行すべく構成された、欠陥検出システム。 - 前記マッチング尺度がピクセル値の選択された範囲を含み、前記基準画像の前記1個以上の比較対象領域を識別するステップが、
前記選択された範囲内にピクセル値を有する前記基準画像の1個以上の領域を識別するステップを含む、請求項25に記載の欠陥検出システム。 - 前記ピクセル値がグレイスケール値を含む、請求項26に記載の欠陥検出システム。
- 前記ピクセル値分布が、前記目標領域および前記テスト画像内の前記1個以上の比較対象領域におけるピクセルのピクセル値を含む、請求項26に記載の欠陥検出システム。
- 前記ピクセル値分布が、前記目標領域および前記テスト画像内の前記1個以上の比較対象領域内におけるピクセルのピクセル値のヒストグラムを含む、請求項28に記載の欠陥検出システム。
- 前記ピクセル値分布に基づいて前記目標領域に対する欠陥閾値を画定するステップが、
前記ピクセル値分布の尾部に関連付けられた外れ値を識別すべく前記目標領域に対する欠陥閾値を画定するステップを含む、請求項28に記載の欠陥検出システム。 - 前記マスクされたテスト画像におけるピクセル値分布を前記欠陥閾値と比較することによって前記テスト画像が欠陥を含むか否かを判定するステップが、
前記目標領域または前記テスト画像の前記1個以上の比較対象領域のいずれかが欠陥を含むか否かを前記欠陥閾値に基づき判定するステップを更に含む、請求項28に記載の欠陥検出システム。 - 前記目標領域が単一の目標ピクセルを含む、請求項25に記載の欠陥検出システム。
- 前記基準画像の前記1個以上の比較対象領域を識別するステップが、
ピクセルの画定された配置を含む近傍パターンを画定するステップと、
前記近傍パターンに従い配置された前記基準画像内での目標近傍を、前記目標近傍が前記目標ピクセルを含み、且つ前記マッチング尺度が前記目標近傍のピクセル値分布を含むように画定するステップと、
前記マッチング尺度に基づいて前記近傍パターンに従い配置された前記基準画像の1個以上の比較対象近傍であって、前記1個以上の比較対象領域に含まれる1個以上の比較対象近傍を識別するステップを含む、請求項32に記載の欠陥検出システム。 - 前記基準画像の前記1個以上の比較対象近傍を識別するステップが、
局所性鋭敏型ハッチングに基づいて前記基準画像の1個以上の比較対象近傍を識別するステップを含む、請求項33に記載の欠陥検出システム。 - 前記基準画像の前記1個以上の比較対象近傍を識別するステップが、
カーネル化された局所性鋭敏型ハッチングに基づいて前記基準画像の1個以上の比較対象近傍を識別するステップを含む、請求項33に記載の欠陥検出システム。 - 前記基準画像の前記1個以上の比較対象近傍を識別するステップが、
パターンマッチング技術に基づいて前記基準画像の1個以上の比較対象近傍を識別するステップを含む、請求項33に記載の欠陥検出システム。 - 前記基準画像の前記1個以上の比較対象近傍を識別するステップが、
設計データに基づいて前記基準画像の1個以上の比較対象近傍を識別するステップを含む、請求項33に記載の欠陥検出システム。 - 前記1個以上の比較対象近傍の1個以上の位置をデータベースに保存するステップを更に含む、請求項33に記載の欠陥検出システム。
- 前記データベースが索引付きデータベースを含む、請求項38に記載の欠陥検出システム。
- 前記テスト画像内の前記1個以上の比較対象領域に基づいて前記テスト画像内の前記目標領域に対する欠陥閾値を画定するステップが、
前記テスト画像の前記1個以上の比較対象近傍の1個以上のピクセル値分布を計算するステップと、
前記テスト画像の前記1個以上の比較対象近傍の前記ピクセル値分布に基づいて前記テスト画像の前記目標近傍におけるピクセル値分布を推定するステップと、
前記目標近傍における前記推定されたピクセル値分布に基づいて前記目標ピクセルに対する欠陥閾値を画定するステップを含む、請求項33に記載の欠陥検出システム。 - 前記テスト画像の前記目標領域が欠陥を含むか否かを判定するステップが、
前記推定されたピクセル値分布と、前記テスト画像内の前記目標近傍の実際のピクセル値分布との比較に基づいて、前記テスト画像の前記目標領域が欠陥を含むか否かを判定するステップを含む、請求項40に記載の欠陥検出システム。 - 前記近傍パターンのサイズが、前記目標領域の生成に用いる測定ツールの相互作用機能に基づいている、請求項33に記載の欠陥検出システム。
- 前記近傍パターンのサイズが、前記目標領域の生成に用いる測定ツールの解像度に基づいている、請求項33に記載の欠陥検出システム。
- 基準データが、基準画像または設計データの少なくとも一方を含む、請求項25に記載の欠陥検出システム。
- 前記基準画像が最適金型に基づいている、請求項44に記載の欠陥検出システム。
- 前記基準画像が少なくとも1個の基準金型に基づいている、請求項44に記載の欠陥検出システム。
- 前記基準画像が中央値基準金型を含む、請求項44に記載の欠陥検出システム。
- 前記設計データが、ネットリストデータまたは1個以上の構造の設計配置の少なくとも一方を含む、請求項44に記載の欠陥検出システム。
- 前記照射ビームが、光子ビームまたは粒子ビームの少なくとも一方を含む、請求項25に記載の欠陥検出システム。
- 前記粒子ビームが、電子またはイオンビームの少なくとも一方を含む、請求項49に記載の欠陥検出システム。
- 前記照射光学部品の組が、光子光学部品または粒子光学部品の少なくとも一方を含む、請求項25に記載の欠陥検出システム。
- 前記検出器が、光子検出器または粒子検出器の少なくとも一方を含む、請求項25に記載の欠陥検出システム。
- 照射ビームを生成する照射光源と、
前記照射ビームを試料へ誘導する照射光学部品の組と、
前記試料から発せられた照射光を収集する検出器とを含む
検査サブシステムと、
前記検出器と通信可能に結合されたコントローラであって、メモリ装置と1個以上のプロセッサとを含むコントローラと、
を備え、
前記1つ以上のプロセッサに、
基準画像を取得し、
前記基準画像の目標領域を選択し、
ピクセルの画定された配置を含む近傍パターンを画定し、
前記近傍パターンに従い配置された前記基準画像内の目標近傍を、前記目標近傍が目標ピクセルを含むように画定し、
前記目標近傍のピクセル値分布を含むマッチング尺度に基づいて、前記目標領域に対応する前記基準画像内の1個以上の比較対象領域を識別し、
テスト画像を取得し、
前記基準画像の前記目標領域および前記基準画像の1個以上の比較対象領域によりテスト画像をマスクし、
前記テスト画像の前記1個以上の比較対象近傍の1個以上のピクセル値分布を計算し、
前記テスト画像の前記1個以上の比較対象近傍のピクセル値分布に基づいて、前記テスト画像の前記目標近傍におけるピクセル値分布を評価し、
前記目標近傍における推定されたピクセル値分布に基づいて前記目標ピクセルに対する欠陥閾値を画定し、
前記欠陥閾値に基づいて前記テスト画像の目標ピクセルが欠陥を含むか否かを判定させるように構成されたプログラム命令を実行すべく構成された、欠陥検出システム。 - 基準画像を取得するステップと、
前記基準画像の目標領域を選択するステップと、
マッチング尺度に基づいて、前記目標領域に対応する前記基準画像の1個以上の比較対象領域を識別するステップと、
テスト画像を取得するステップと、
前記基準画像の前記目標領域および前記基準画像の前記1個以上の比較対象領域により前記テスト画像をマスキングしてマスクされたテスト画像を生成するステップと、
前記テスト画像内の前記1個以上の比較対象領域内のピクセルに対するピクセル値を含むピクセル値分布に基づいて欠陥閾値を画定するステップと、
前記マスクされたテスト画像におけるピクセル値分布を前記欠陥閾値と比較することによって前記テスト画像が欠陥を含むか否かを判定するステップとを含む欠陥検出方法。
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