JP6855884B2

JP6855884B2 - 排気浄化装置、内燃装置、発電装置及び自動車

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Description

本発明は、排気浄化装置、内燃装置、発電装置及び自動車に関するものである。

現在、排気に含まれるＰＭ（Particulate matter）等の微粒子を捕集する装置として、ＤＰＦ（Diesel Particulate Filter）が用いられた排気浄化装置が実用化されている。このような排気浄化装置は、使用によりＤＰＦにＰＭ等の微粒子が堆積するため、ＤＰＦを再生することが求められる。ＤＰＦを再生する方法としては、例えば、マイクロ波加熱装置から放射されたマイクロ波等の高周波電磁波を用いる方法が開示されている（例えば、特許文献１）。具体的には、この方法は、ＤＰＦにマイクロ波等の電磁波を照射することにより、ＤＰＦに堆積しているＰＭ等の微粒子を加熱し燃焼させて、ＤＰＦの再生を行う方法である。

特開２００６−１４００６３号公報特開２００１−９８９３６号公報特開２００３−２３９７２５号公報特開平５−２２２９２４号公報

ところで、上記のようなＤＰＦを再生する方法としては、排気が流入するＤＰＦの前段に、酸化触媒により形成されたＤＯＣ（Diesel Oxidation Catalyst）を設け、ＤＯＣによりＮＯ_２を生成し、このＮＯ_２を用いてＤＰＦに堆積したＰＭ等の微粒子を除去する方法がある。しかしながら、近年においてはエンジン等の効率が改良されており、排気温度が低くなる傾向にある。ＤＯＣはある程度以上の温度にならないと触媒が活性化しないため、エンジン等の効率が改良され、排気温度が低くなると、ＤＯＣの機能が十分に得ることができない。

このため、エンジン等の効率が改良され、排気温度が低くなった場合であっても、ＤＯＣの機能を十分に得ることのできる排気浄化装置が求められている。

本実施の形態の一観点によれば、排気に含まれる微粒子を捕集する微粒子捕集部と、前記微粒子捕集部の前段に設置され、担体の一部または全部はマイクロ波を吸収する材料により形成された酸化触媒部と、前記微粒子捕集部及び前記酸化触媒部が入れられる筐体部と、前記酸化触媒部に照射するマイクロ波を発生させるマイクロ波発生部と、を有し、前記排気の流れる方向と、前記マイクロ波発生部より前記酸化触媒部に照射されるマイクロ波の方向は、略同じ方向であることを特徴とする。

開示の排気浄化装置によれば、排気温度が低い場合であっても、ＤＯＣの機能を十分に得ることのできる排気浄化装置を提供することができる。

第１の実施の形態における排気浄化装置の構造図ＤＯＣの構造の説明図第１の実施の形態における排気浄化装置に用いられる整流部の説明図（１）第１の実施の形態における排気浄化装置に用いられる整流部の説明図（２）マイクロ波発生装置に用いられる半導体装置の構造図モノポールアンテナの説明図パッチアンテナの説明図第１の実施の形態における排気浄化装置の制御方法のフローチャート第１の実施の形態における排気浄化装置の他の制御方法のフローチャート第２の実施の形態における内燃装置の説明図第２の実施の形態における発電装置の説明図第２の実施の形態における自動車の説明図

実施するための形態について、以下に説明する。尚、同じ部材等については、同一の符号を付して説明を省略する。

〔第１の実施の形態〕
（排気浄化装置）
第１の実施の形態におけるび排気浄化装置１００について図１に基づき説明する。

本実施の形態における排気浄化装置１００は、微粒子捕集部１０、酸化触媒部１１、筐体部２０、マイクロ波発生部３０、温度測定部５０、制御部６０等を有している。

微粒子捕集部１０は、ＤＰＦ等により形成されている。ＤＰＦは、例えば、隣り合う通気口が交互に閉じられたハニカム構造により形成されており、排気は入口の通気口とは異なる通気口より排出される。

酸化触媒部１１は、ＤＯＣ等の酸化触媒により形成されている。酸化触媒部１１を形成しているＤＯＣは、図２に示されるように、ハニカム状の担体の表面に酸化触媒が形成されており、ハニカム状の担体の開口部には目封じが設けられていない構造のものである。尚、図２（ａ）は、酸化触媒部１１を形成しているＤＯＣを吸気側から見た斜視図であり、図２（ｂ）は、排気側から見た斜視図である。

酸化触媒部１１の担体は、一般的には、コージライト等により形成されているが、本実施の形態においては、ＳｉＣ等のマイクロ波を吸収する材料により形成されている。ＤＯＣにおける酸化触媒は、温度が低いと触媒としての機能が十分に発揮されないため、触媒として活性化させるためには、ある程度の温度まで加熱する必要である。従来は、エンジン等からの排気ガス等の温度が高く、排気ガス等により、ＤＯＣの酸化触媒が活性化する温度まで加熱されていた。しかしながら、近年の技術開発により、エンジンの効率が改善され、排気ガス等の温度も低下する傾向にあり、このため、排気ガス等では、ＤＯＣにおける酸化触媒が活性化する温度まで、加熱することができなくなりつつある。

本実施の形態における排気浄化装置では、マイクロ波発生部３０において発生したマイクロ波を酸化触媒部１１に照射することにより、酸化触媒部１１における酸化触媒が活性化する温度、例えば、２５０℃〜３００℃まで加熱することができるものである。このため、酸化触媒部１１の担体は、マイクロ波を吸収する材料であるＳｉＣ等により形成されている。マイクロ波を吸収する材料としては、ＳｉＣ以外にもスポンジ状の金属である発泡Ｎｉ基材等の発泡金属等が挙げられる。酸化触媒部１１の担体の一部がマイクロ波を吸収する材料により形成されていてもよいが、効率的に加熱するためには、酸化触媒部１１の担体の全部が、マイクロ波を吸収する材料により形成されているものが好ましい。

筐体部２０は、ステンレス等の金属材料により形成されており、酸化触媒部１１及び微粒子捕集部１０の周囲を覆う筐体本体部２０ａ、筐体本体部２０ａに接続されている吸入部２０ｂ及び排出部２０ｃを有している。吸入部２０ｂには、吸入側接続管２１の一方の側が接続されており、吸入側接続管２１の他方の側はマイクロ波発生部３０が接続されている。従って、吸入側接続管２１は、吸入部２０ｂとマイクロ波発生部３０との間に設けられている。吸入側接続管２１の途中には吸入管２２が接続されており、排出部２０ｃには排気管２３が接続されている。

本実施の形態における排気浄化装置においては、エンジン等からの排気ガス等の排気は、破線矢印Ａに示される方向より、吸入管２２より入り、吸入側接続管２１を通り、吸入部２０ｂから筐体部２０内に入る。筐体部２０内に入った排気ガス等の排気は、筐体本体部２０ａ内に設置されている酸化触媒部１１及び微粒子捕集部１０を通ることにより浄化され、排出部２０ｃを介し、排気管２３より破線矢印Ｂに示される方向に排出される。

筐体部２０内においては、排気ガス等の排気の流れる方向、即ち、吸入部２０ｂより排出部２０ｃに向かって、酸化触媒部１１、微粒子捕集部１０の順に配置されている。酸化触媒部１１では、吸入部２０ｂより入った排気ガスに含まれる成分を酸化するものであり、例えば、排気ガスに含まれているＮＯをより酸化力の強いＮＯ_２にする。微粒子捕集部１０では、ＰＭ等の微粒子が捕集されるが、捕集されたＰＭ等の微粒子を燃焼させて除去する際に、酸化触媒部１１において生成されたＮＯ_２が用いられる。微粒子捕集部１０において捕集されるＰＭ等の微粒子は、すす等でありＣ（炭素）を多く含んでいる。微粒子捕集部１０において捕集されたＰＭ等の微粒子を燃焼させて除去する際に、ＮＯ_２を流すことによりＣとＮＯ_２とが化学反応しＣＯ_２が生成される。これにより、微粒子捕集部１０において捕集されたＰＭ等の微粒子を効率よく除去することができる。

マイクロ波発生部３０は、３００ＭＨｚ〜３ＧＨｚの電磁波、例えば、２．４５ＧＨｚのマイクロ波を発生させることができる。マイクロ波発生部３０では、酸化触媒部１１を加熱するために必要な高い出力のマイクロ波を発生させるため、窒化物半導体により形成された半導体素子が用いられている。

本実施の形態においては、マイクロ波発生部３０は、酸化触媒部１１及び微粒子捕集部１０において排気ガスが流れる方向の延長線上であって、酸化触媒部１１よりも上流側に設けられている。即ち、マイクロ波発生部３０と微粒子捕集部１０との間に、酸化触媒部１１が挟まれるように設けられており、マイクロ波発生部３０、酸化触媒部１１、微粒子捕集部１０は、一点鎖線１Ｃで示される同一線上に並ぶように設置されている。従って、筐体部２０内において排気ガス等が流れる破線矢印Ｄに示す方向と、マイクロ波発生部３０において発生したマイクロ波が放射される破線矢印Ｅで示す方向とが、略同じ方向となるように配置されている。

このような位置にマイクロ波発生部３０を設置することにより、酸化触媒部１１に偏りなく均一にマイクロ波を照射することができるため、酸化触媒部１１を偏りなく均一に加熱することができる。また、この構造では、酸化触媒部１１を透過したマイクロ波は、微粒子捕集部１０にも照射されるため、微粒子捕集部１０に堆積しているＰＭ等の微粒子の除去にも寄与する。従って、微粒子捕集部１０を形成しているＤＰＦの担体もＳｉＣ等のマイクロ波を吸収する材料により形成されていることが好ましい。

本実施の形態においては、吸入部２０ｂとマイクロ波発生部３０との間に設けられている吸入側接続管２１の内部には、マイクロ波発生部３０に排気ガス等が流入しないように、マイクロ波透過板４０が設けられている。マイクロ波発生部３０の側に排気ガス等が流入すると、排気ガス等により、マイクロ波発生部３０がダメージを受け、故障等の原因になる場合がある。本実施の形態においては、吸入側接続管２１の内部であって、吸入側接続管２１に吸入管２２が接続されている接続部分２１ａとマイクロ波発生部３０との間にマイクロ波透過板４０を設けることにより、マイクロ波発生部３０の側への排気ガスの流入を防いでいる。マイクロ波透過板４０は、排気ガス等の流入を遮ることができるものであって、マイクロ波を透過するセラミックス等の材料により形成されている。具体的には、マイクロ波透過板４０は、コージライト、アルミナ、チタニア、酸化ジルコニア等により形成されている。

温度測定部５０は、筐体部２０に取り付けられており、筐体部２０内における微粒子捕集部１０や酸化触媒部１１の温度を測定する。温度測定部５０は、放射温度計等であってもよく、微粒子捕集部１０や酸化触媒部１１における温度分布を測定することのできるものであってもよい。制御部６０は、本実施の形態における排気浄化装置の制御を行う。また、本実施の形態においては、微粒子捕集部１０に堆積しているＰＭ等の微粒子の量を測定するため微粒子堆積量測定部８０が設けられている。微粒子堆積量測定部８０は、微粒子捕集部１０の前後に設けられた圧力センサ８１、８２と接続されており、圧力センサ８１における圧力と圧力センサ８２における圧力との圧力差に基づき、微粒子捕集部１０に堆積しているＰＭ等の微粒子の量を測定する。微粒子捕集部１０に堆積しているＰＭ等の微粒子の量が多いと、圧力センサ８１と圧力センサ８２との圧力差が大きく、堆積しているＰＭ等の微粒子の量が少ないと、圧力センサ８１と圧力センサ８２との圧力差が小さくなる。

また、本実施の形態においては、筐体部２０内において、酸化触媒部１１の前段には、図３に示されるような、板状の整流部７０が設けられている。即ち、筐体部２０内においける吸入側接続管２１と酸化触媒部１１との間には、板状の整流部７０が設けられている。尚、図３（ａ）は、この整流部７０の側面図であり、図３（ｂ）は、正面図である。整流部７０は、コージライト、アルミナ、チタニア、酸化ジルコニア等により形成されており、複数の穴７１が設けられている。このような整流部７０を酸化触媒部１１の前段に設けることにより、筐体部２０の吸入部２０ｂより流入した排気ガス等を、酸化触媒部１１の全体に均等に流れるようにすることができる。

具体的には、エンジンからの排気ガス等は、吸入側接続管２１より筐体部２０に流れるが、筐体部２０に設置されている酸化触媒部１１はある程度大きさを有しているため、筐体部２０の吸入部２０ｂにおいて径が広がっている。従って、吸入側接続管２１の径と筐体部２０の径とが異なるため、エンジンからの排気ガス等は、筐体部２０内に設置されている酸化触媒部１１の中央部分に流れやい。本実施の形態においては、酸化触媒部１１の前段に整流部７０を設けることにより、吸入部２０ｂより流入した排気ガス等を、酸化触媒部１１の全体に均等に流れるようにすることができる。このため、整流部７０は、図４に示されるように、中央部分が厚く周辺部分が薄い形状のものがより好ましい。図４（ａ）は、この整流部７０の側面図であり、図４（ｂ）は、正面図である。このような図４に示されるような整流部７０は、中央部分は周辺部分に比べて、経路長が長くなっているため、構造上、吸入部２０ｂより流入した排気ガス等を、酸化触媒部１１の全体に均等に流れやすくなる。尚、図１に示される排気浄化装置１００には、図４に示される整流部７０が用いられている。

本実施の形態においては、マイクロ波発生部３０におけるマイクロ波発生源は、高い出力のマイクロ波を発生させるため、半導体素子、具体的には、窒化物半導体を用いたＨＥＭＴ等が用いられている。窒化物半導体を用いたＨＥＭＴは、図５に示されるように、ＳｉＣ等の基板２１０の上に、窒化物半導体層を積層することにより形成されている。即ち、基板２１０の上に、ＡｌＮやＧａＮ等により形成されたバッファ層２１１、電子走行層２１２、電子供給層２１３が順に積層されている。電子走行層２１２は、ＧａＮにより形成されており、電子供給層２１３は、ＡｌＧａＮまたはＩｎＡｌＮにより形成されている。これにより、電子走行層２１２において、電子供給層２１３との界面近傍には２ＤＥＧ２１２ａが生成される。ゲート電極２３１、ソース電極２３２、ドレイン電極２３３は、電子供給層２１３の上に形成される。

また、マイクロ波発生部３０のマイクロ波を放射する部分には、図６に示すようなモノポールアンテナ２６０や、図７に示すようなパッチアンテナ２７０と呼ばれる平面アンテナが用いられている。本実施の形態における排気浄化装置は高温になりやすいが、これらのアンテナは構造が単純であり、信頼性も高いため長期間の使用するのに適している。図６に示すモノポールアンテナ２６０は、グランド面２６１と、グランド面２６１の中央に形成された開口部２６１ａより長さが１／４波長のアンテナ部２６２が出ている構造のものであり、マイクロ波発生部３０におけるマイクロ波発生源３１に接続されている。また、図７に示すパッチアンテナ２７０は、誘電体基板２７１の一方の面に放射面２７２が設けられており、他方の面にグランド面２７３が設けられている構造のものであり、マイクロ波発生部３０におけるマイクロ波発生源３１に接続されている。パッチアンテナ２７０の放射面２７２は、一辺の長さが１／２波長の略正方形で形成されている。図７（ａ）はパッチアンテナ２７０の上面図であり、図７（ｂ）は側面図である。

（排気浄化装置の制御１）
次に、本実施の形態における排気浄化装置の制御について、図８に基づき説明する。尚、本実施の形態における排気浄化装置の制御は、制御部６０により行われる。

最初に、ステップ１０２（Ｓ１０２）では、微粒子堆積量測定部８０により、微粒子捕集部１０に堆積しているＰＭ等の微粒子の堆積量Ｍを測定する。

次に、ステップ１０４（Ｓ１０４）では、ステップ１０２において測定された微粒子捕集部１０に堆積しているＰＭ等の微粒子の堆積量Ｍが、所定の堆積量Ｍａを超えているか否かを判断する。堆積量Ｍが所定の堆積量Ｍａを超えている場合には、ステップ１０６に移行し、堆積量Ｍが所定の堆積量Ｍａを超えていない場合には、ステップ１０２に移行し、ステップ１０２を繰り返す。

ステップ１０６（Ｓ１０６）では、マイクロ波発生部３０より、酸化触媒部１１に向けてマイクロ波を照射し、マイクロ波の照射時間ｔのカウントを開始する。

次に、ステップ１０８（Ｓ１０８）では、マイクロ波の照射時間ｔが所定のマイクロ波の照射時間ｔａを超えたか否かを判断する。マイクロ波の照射時間ｔが所定のマイクロ波の照射時間ｔａを超えている場合には、ステップ１１０に移行し、マイクロ波の照射時間ｔが所定のマイクロ波の照射時間ｔａを超えていない場合には、ステップ１０８を繰り返す。

ステップ１１０（Ｓ１１０）では、マイクロ波発生部３０におけるマイクロ波の発生を停止し、この後、ステップ１０２に移行する。

以上の工程により、図８に示される排気浄化装置の制御が行われる。

（排気浄化装置の制御２）
次に、本実施の形態における排気浄化装置の他の制御について、図９に基づき説明する。尚、本実施の形態における排気浄化装置の制御は、制御部６０により行われる。

最初に、ステップ２０２（Ｓ２０２）では、酸化触媒部１１の温度Ｔを温度測定部５０において測定する。

次に、ステップ２０４（Ｓ２０４）では、ステップ２０２において測定された酸化触媒部１１の温度Ｔが所定の温度Ｔａ未満であるか否かを判断する。所定の温度Ｔａは、酸化触媒部１１における触媒が十分に活性化する温度である。温度Ｔが所定の温度Ｔａ未満である場合には、ステップ２０６に移行し、温度Ｔが所定の温度Ｔａ未満ではない場合には、ステップ２０２に移行する。

ステップ２０６（Ｓ２０６）では、マイクロ波発生部３０より、酸化触媒部１１に向けてマイクロ波の照射を開始する。

次に、ステップ２０８（Ｓ２０８）では、再び酸化触媒部１１の温度Ｔを温度測定部５０において測定する。

次に、ステップ２１０（Ｓ２１０）では、ステップ２０８において測定された酸化触媒部１１の温度Ｔが所定の温度Ｔａ以上であるか否か判断する。温度Ｔが所定の温度Ｔａ以上である場合には、ステップ２１２に移行し、温度Ｔが所定の温度Ｔａ以上ではない場合には、ステップ２０８に移行する。

ステップ２１２（Ｓ２１２）では、マイクロ波発生部３０におけるマイクロ波の発生を停止し、この後、ステップ２０２に移行する。

以上の工程により、図９に示される排気浄化装置の制御が行われる。

〔第２の実施の形態〕
次に、第２の実施の形態について説明する。本実施の形態は、第１の実施の形態における排気浄化装置１００を用いた内燃装置、発電装置、自動車等である。

図１０は、本実施の形態における内燃装置である。この内燃装置は、内燃機関であるディーゼルエンジン等のエンジン３００の排気口には吸入管２２が接続されている。エンジン３００の排気ガスは、吸入管２２より流入し破線矢印Ｆに示すように、排気浄化装置１００の筐体部２０内に流れ、排気ガスが浄化されて排出される。

図１１は、本実施の形態における発電装置である。この発電装置は、内燃機関であるディーゼルエンジン等のエンジン３０１に、発電機３１０が接続されており、エンジン３０１において発生した力により発電機３１０を回して発電をすることができる。ディーゼルエンジン等のエンジン３０１の排気口には吸入管２２が接続されており、エンジン３００の排気ガスは、吸入管２２より流入し破線矢印Ｆに示すように、排気浄化装置１００の筐体部２０内に流れ、排気ガスが浄化されて排出される。

図１２は、本実施の形態における自動車６６０であり、第１の実施の形態における排気浄化装置１００が取り付けられている。本実施の形態における自動車６６０では、自動車６６０のディーゼルエンジン等のエンジン６６１において発生した排気ガスを排気浄化装置１００により浄化することができる。

尚、第１の実施の形態における排気浄化装置１００は、上記以外にも、船舶、農業用機械、その他ディーゼル機関を有する装置等に用いることが可能である。

以上、実施の形態について詳述したが、特定の実施形態に限定されるものではなく、特許請求の範囲に記載された範囲内において、種々の変形及び変更が可能である。

上記の説明に関し、更に以下の付記を開示する。
（付記１）
排気に含まれる微粒子を捕集する微粒子捕集部と、
前記微粒子捕集部の前段に設置され、担体の一部または全部はマイクロ波を吸収する材料により形成された酸化触媒部と、
前記微粒子捕集部及び前記酸化触媒部が入れられる筐体部と、
前記酸化触媒部に照射するマイクロ波を発生させるマイクロ波発生部と、
を有し、
前記排気の流れる方向と、前記マイクロ波発生部より前記酸化触媒部に照射されるマイクロ波の方向は、略同じ方向であることを特徴とする排気浄化装置。
（付記２）
マイクロ波を吸収する材料は、ＳｉＣまたは発泡金属を含むものであることを特徴とする付記１に記載の排気浄化装置。
（付記３）
前記マイクロ波発生部、前記酸化触媒部及び前記微粒子捕集部は、同一線上に配置されていることを特徴とする付記１または２に記載の排気浄化装置。
（付記４）
前記筐体部は、前記微粒子捕集部及び前記酸化触媒部を覆う筐体本体部と、前記筐体本体部に接続されている前記排気の吸入部及び排出部とが設けられており、
前記筐体部の前記吸入部と前記マイクロ波発生部との間には接続管が設けられており、
前記接続管には、前記排気が吸入される吸入管が接続されていることを特徴とする付記１から３のいずれかに記載の排気浄化装置。
（付記５）
前記接続管において、前記接続管と前記吸入管との接続部分と前記マイクロ波発生部との間には、マイクロ波透過板が設けられていることを特徴とする付記４に記載の排気浄化装置。
（付記６）
前記筐体部内において、前記接続管と前記酸化触媒部との間には、前記吸入管より吸入された排気の流れを整流する穴を有する整流部が設けられていることを特徴とする付記４または５に記載の排気浄化装置。
（付記７）
前記整流部は、中央部分が周辺部分よりも厚いことを特徴とする付記６に記載の排気浄化装置。
（付記８）
前記マイクロ波発生部は、モノポールアンテナ、または、平面アンテナを有していることを特徴とする付記１から７のいずれかに記載の排気浄化装置。
（付記９）
前記微粒子捕集部に堆積した微粒子が所定量を超えた場合には、前記マイクロ波発生部より前記酸化触媒部に向けてマイクロ波を照射する制御を行う制御部を有することを特徴とする付記１から８のいずれかに記載の排気浄化装置。
（付記１０）
前記酸化触媒部の温度を測定する温度測定部を有し、
前記温度測定部の温度が、所定の温度未満の場合には、前記マイクロ波発生部より前記酸化触媒部に向けてマイクロ波を照射する制御を行う制御部を有することを特徴とする付記１から８のいずれかに記載の排気浄化装置。
（付記１１）
付記１から１０のいずれかに記載の排気浄化装置が接続されている内燃装置。
（付記１２）
内燃機関と、
前記内燃機関に接続された発電機と、
前記内燃機関に接続された付記１から１０のいずれかに記載の排気浄化装置と、
を有する発電装置。
（付記１３）
付記１から１０のいずれかに記載の排気浄化装置を有する自動車。

１０微粒子捕集部
１１酸化触媒部
２０筐体部
２０ａ筐体本体部
２０ｂ吸入部
２０ｃ排出部
２１吸入側接続管
２１ａ接続部分
２２吸入管
２３排気管
３０マイクロ波発生部
４０マイクロ波透過板
５０温度測定部
６０制御部
７０整流部
８０微粒子堆積量測定部
８１圧力センサ
８２圧力センサ
１００排気浄化装置

Claims

排気に含まれる微粒子を捕集する微粒子捕集部と、
前記微粒子捕集部の前段に設置され、担体の一部または全部はマイクロ波を吸収する材料により形成された酸化触媒部と、
前記微粒子捕集部及び前記酸化触媒部が入れられる筐体部と、
前記酸化触媒部に照射するマイクロ波を発生させるマイクロ波発生部と、
を有し、
前記排気の流れる方向と、前記マイクロ波発生部より前記酸化触媒部に照射されるマイクロ波の方向は、略同じ方向であり、
前記マイクロ波発生部と前記酸化触媒部の間に、前記酸化触媒部へと流れる前記排気の流れを整流する複数の穴を有する整流部が設けられており、前記整流部は、周辺部分よりも中央部分の厚さが厚いことを特徴とする排気浄化装置。
前記整流部の前記中央部分での孔の径または密度は、前記周辺部分での孔の径または密度よりも小さいことを特徴とする請求項１に記載の排気浄化装置。
マイクロ波を吸収する材料は、ＳｉＣまたは発泡金属を含むものであることを特徴とする請求項１または２に記載の排気浄化装置。
前記マイクロ波発生部、前記酸化触媒部及び前記微粒子捕集部は、マイクロ波照射側からこの順に同軸上に配置されていることを特徴とする請求項１から３のいずれかに記載の排気浄化装置。
前記筐体部は、前記微粒子捕集部及び前記酸化触媒部を覆う筐体本体部と、前記筐体本体部に接続されている前記排気の吸入部及び排出部とが設けられており、
前記筐体部の前記吸入部と前記マイクロ波発生部との間には接続管が設けられており、
前記接続管には、前記排気が吸入される吸入管が接続されていることを特徴とする請求項１から４のいずれかに記載の排気浄化装置。
前記接続管において、前記接続管と前記吸入管との接続部分と前記マイクロ波発生部との間には、マイクロ波透過板が設けられていることを特徴とする請求項５に記載の排気浄化装置。
前記マイクロ波発生部は、モノポールアンテナ、または、平面アンテナを有していることを特徴とする請求項１から６のいずれかに記載の排気浄化装置。
前記微粒子捕集部に堆積した微粒子が所定量を超えた場合には、前記マイクロ波発生部より前記酸化触媒部に向けてマイクロ波を照射する制御を行う制御部を有することを特徴とする請求項１から７のいずれかに記載の排気浄化装置。
前記酸化触媒部の温度を測定する温度測定部を有し、
前記温度測定部の温度が、所定の温度未満の場合には、前記マイクロ波発生部より前記酸化触媒部に向けてマイクロ波を照射する制御を行う制御部を有することを特徴とする請求項１から７のいずれかに記載の排気浄化装置。
請求項１から９のいずれかに記載の排気浄化装置が接続されている内燃装置。
内燃機関と、
前記内燃機関に接続された発電機と、
前記内燃機関に接続された請求項１から９のいずれかに記載の排気浄化装置と、
を有する発電装置。
請求項１から９のいずれかに記載の排気浄化装置を有する自動車。