JP6845022B2 - 加工装置 - Google Patents
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Description
そして、該チャックテーブルは、該保持面と該円環状溝とが、該チャックテーブルの中心を中心とした同心円に沿って円周方向に等間隔に複数配設されると好ましい。
また、該チャックテーブルは、保持するウエーハを切削送りして切削ブレードを切削送り方向に直線状に切り込ませ、該小径ウエーハの外周を該切削ブレードで切り欠いて該小径ウエーハの円周方向におけるマークの形成を可能とするように該保持面と該円環状溝とが配置されると好ましい。
また、本発明に係る加工装置においては、チャックテーブルが、保持面と円環状溝とが、チャックテーブルの中心を中心とした同心円に沿って円周方向に等間隔に複数配設されていることで、コアドリルがチャックテーブルに接触することなく、また、加工費用を増加させることもなく、かつ、チャックテーブルを回転させて、又は、チャックテーブルをウエーハの径方向に移動させて小径ウエーハのくり抜き加工を連続的に行っていくことが可能になる。
また、本発明に係る加工装置においては、チャックテーブルが、保持するウエーハを切削送りして切削ブレードを切削送り方向に直線状に切り込ませ、小径ウエーハの外周を切削ブレードで切り欠いて小径ウエーハの円周方向におけるマークの形成を可能とするように保持面と円環状溝とが配置されることで、チャックテーブルに保持したウエーハの外周領域に、結晶方位の判別を容易にするために用いられるオリエンテーションフラット等のマークを形成することが可能となる。
本発明に係る図1、2に示すチャックテーブル30は、例えば、汎用エンプラ又は合金等の材料からなり外形が円形状に形成されたチャック部30Aと、チャック部30Aを支持する有底円形枠体状の枠体部30Bとを備えている。なお、図1においては、チャック部30Aを簡略化して示しており、後述する円環状溝301及び保持面300等を省略して示している。例えば、図2に示すように、チャック部30Aの外周領域には、周方向に一定の間隔をおいて複数(例えば90度間隔で4つ)のボルト挿通穴309が厚み方向(Z軸方向)に向かって貫通形成されており、ボルトをボルト挿通穴309に通して枠体部30Bのネジ穴に螺合させることにより、チャック部30Aを枠体部30Bに固定することができる。ボルトのネジ頭はチャック部30Aの上面から突出しないように、ボルト挿通穴309内に埋設された状態となることで、枠体部30Bに固定された状態のチャック部30Aの上面は平坦な状態が保たれる。なお、チャック部30Aの枠体部30Bへの固定は、チャック部30Aの外周面および下面の一部が適宜のボンド剤を介して枠体部30Bに接着されることでなされるものとしてもよい。また、チャックテーブル30は、チャック部30Aと枠体部30Bとが一体的に構成されたものであってもよい。
チャック部30Aの上面において最も中心側に形成された環状吸引溝304bと、その1つ径方向外側に形成され中心から数えて二番目となる環状吸引溝304bと、この二つの環状吸引溝304bとにそれぞれ連通する6本の放射状吸引溝304aとで区画された6つの領域に、保持面300と円環状溝301とが1つずつ形成されている。例えば、上記6つの領域にそれぞれ1つずつ形成された各円環状溝301の周方向における間隔は、各円環状溝301が60度ずつ離間していることで一定になっている。
チャック部30Aの上面において中心側から数えて二番目の環状吸引溝304bと、その1つ径方向外側に形成された中心から三番目となる環状吸引溝304bと、この二つの環状吸引溝304bとにそれぞれ連通する4本の放射状吸引溝304aとで区画された4つの領域に、保持面300と円環状溝301とがそれぞれ3つずつ形成されている。上記4つの領域にそれぞれ3つずつ形成された各円環状溝301の周方向における間隔は、各円環状溝301が30度ずつ離間していることで一定になっている。
このように、保持面300と円環状溝301とは、例えば、チャックテーブル30の中心を中心とした同心円に沿って円周方向に等間隔で、チャック部30の上面において計5周に渡って形成されている。チャックテーブル30の中心から径方向外側に向かって4番目の周に位置する計20個の円環状溝301の周方向における間隔は、各円環状溝301が18度ずつ離間していることで一定になっている。また、チャックテーブル30の中心側から径方向外側に向かって5番目の周(最外周)に位置する計25個の円環状溝301の周方向における間隔は、各円環状溝301が14.4度ずつ離間していることで一定になっている。したがって、チャック部30Aの上面には、例えば、計64個の保持面300と計64個の円環状溝301とが形成されている。
例えば、アライメント手段は、くり抜き手段7の近傍(例えば、図1に示すホルダ54の側面)に配設されており、カメラにより保持面300及び円環状溝301を撮像した画像に基づき、パターンマッチング等の画像処理によって保持面300及び円環状溝301の座標位置検出することができる。そして、アライメント手段は、検出した保持面300及び円環状溝301の座標位置情報を制御手段9に検出信号として送信する。
本発明に係る図5に示すチャックテーブル35は、例えば、汎用エンプラ又は合金等の材料からなり外形が円形状に形成されたチャック部35Aと、チャック部35Aを支持する円形板状の枠体部35Bとを備えている。図7に示すように、チャック部35Aの枠体部35Bへの固定は、チャック部35Aの下面の一部が適宜のボンド剤を介して枠体部35Bの上面に接着されることでなされる。
すなわち、例えば、図5に示すように、チャックテーブル35の中心を通りX軸方向に延びる一本の直線上に各保持面300の中心が位置するようにして、保持面300及び円環状溝301がそれぞれ計9個X軸方向に並んでいる。
チャックテーブル30の中心を通りX軸方向に延びる直線上に9個の保持面300及び円環状溝301が並ぶ一列から、所定距離だけ−Y方向側にずれた位置には、保持面300及び円環状溝301の各中心のY座標位置を合わせて、保持面300及び円環状溝301がそれぞれ計8個X軸方向に並んでいる。また、チャックテーブル35の中心を通りX軸方向に延びる直線上に9個の保持面300及び円環状溝301が並ぶ一列から、所定距離だけ+Y方向側にずれた位置には、保持面300及び円環状溝301の各中心のY座標位置を合わせて、保持面300及び円環状溝301がそれぞれ計8個X軸方向に並んでいる。
上記のような、チャック部35A上の任意のY座標位置においてX軸方向に平行に延びる直線上に複数の保持面300及び円環状溝301の中心が位置しX軸方向に並ぶ規則性に基づいて、チャック部35Aの上面には、例えば、保持面300及び円環状溝301がそれぞれ計61個配設されている。
なお、切削ブレード60による小径ウエーハW1の外周の一部分の切削は、フルカットでもよく、この場合、保持面300はフルカットされた破片も吸引保持する。その為、切削中に吸引保持力が低下しないようにウエーハWには表面Wa全面に水を行き渡らせ水シールを形成するとよい。
5:くり抜き送り手段50:ボールネジ 51:ガイドレール 52:モータ 53:昇降板 54:ホルダ
30:チャックテーブル
30A:チャック部 300:保持面 300a:吸引孔 300b:吸引路 300c:吸引空間
301:円環状溝 302:第2の保持面
304a:放射状吸引溝 304b: 環状吸引溝 309:ボルト挿通穴
30B:枠体部 308:取り付け孔 307:貫通孔
31:保持手段 310:ケーシング 311:回転部 311a:回転軸 311b:モータ 312:停止部
37:吸引源 370:吸引管 39:防水カバー 391:蛇腹カバー
2:位置決め手段 20:ボールネジ 21:ガイドレール 22:モータ 23:可動ブロック 24:保持台
7:くり抜き手段 70:回転軸 71:ハウジング 72:モータ 73:マウント
74:コアドリル 740:基体部 741:砥石
9:制御手段
W:ウエーハ A:着脱領域 B:加工領域
35:チャックテーブル 35A:チャック部 35B:枠体部 306:第2の保持面
6:切削手段 60:切削ブレード 61:スピンドル 6A:検出手段
35C:チャック部
Claims (3)
- ウエーハから小径ウエーハをくり抜き加工する加工装置であって、
ウエーハから複数枚の該小径ウエーハを円環状の砥石でくり抜く加工を可能にするとともにくり抜かれて穴が形成されたウエーハとくり抜かれて作製された該小径ウエーハとを吸引保持でき、該小径ウエーハより僅かに小さい面積の円状の保持面と、該保持面の中心と中心を同一とし該保持面を囲み該小径ウエーハの直径より僅かに小さい内径を備える円環状溝と、ウエーハの該小径ウエーハがくり抜かれた部分以外の領域を吸引保持する第2の保持面と、を備えるチャックテーブルが装着された保持手段と、
該チャックテーブルが保持したウエーハから該小径ウエーハをくり抜くコアドリルが装着されたくり抜き手段と、
該チャックテーブルが保持するウエーハの径方向に該保持手段と該くり抜き手段とを相対的に移動させる位置決め手段とを備え、
該保持手段は、該チャックテーブルの中心を軸に該チャックテーブルを回転させる回転部と、所定の角度で該回転部を停止させる停止部とを備え、
該位置決め手段でウエーハの径方向位置を位置決めし、該停止部が所定の角度で停止させた該チャックテーブルが保持するウエーハに該コアドリルを切り込ませウエーハをくり抜き該小径ウエーハを形成する加工装置。 - 前記チャックテーブルは、前記保持面と前記円環状溝とが、該チャックテーブルの中心を中心とした同心円に沿って円周方向に等間隔に複数配設される請求項1記載の加工装置。
- 前記チャックテーブルは、保持するウエーハを切削送りして切削ブレードを切削送り方向に直線状に切り込ませ、前記小径ウエーハの外周を該切削ブレードで切り欠いて該小径ウエーハの円周方向におけるマークの形成を可能とするように前記保持面と前記円環状溝とが配置される請求項1記載の加工装置。
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