JP6831446B2 - 対基板作業装置および画像処理方法 - Google Patents
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Description
Claims (4)
- 基板を撮像する撮像装置と、
各種情報を記憶する記憶装置と、
所定作業の対象となる複数の前記基板のうち先頭の基板については、前記撮像装置により前記先頭の基板を撮像した先頭画像に対して前記所定作業に必要な所定の検出対象を検出するための画像処理を行うと共に前記検出対象を検出した前記先頭画像内の領域に関する領域情報を取得して前記記憶装置に記憶する先頭基板用処理を実行し、前記所定作業の対象となる複数の前記基板のうち前記先頭の基板以外の後続の基板については、前記撮像装置により前記後続の基板を撮像した後続画像において前記記憶装置に記憶された前記領域情報に基づいて部分的な処理領域を設定し、設定した前記処理領域に対して前記画像処理を行う後続基板用処理を実行する画像処理装置と、
を備え、
前記画像処理は、前記基板および前記撮像装置の位置を相対的にずらして撮像した複数の画像を用いて前記複数の画像よりも解像度の高い高解像画像を生成する超解像処理であり、
前記画像処理装置は、
前記先頭基板用処理では、前記先頭画像として第1画像および第2画像を含む前記複数の画像を用いて、前記複数の画像の相関をとることで得られた画像間の位置ずれ量に基づいて前記高解像画像を生成し、前記高解像画像から前記所定の検出対象を検出すると共に前記第1画像における前記領域情報を取得して前記記憶装置に記憶し、
前記後続基板用処理では、前記後続画像として第3画像および第4画像を含む前記複数の画像を取得し、前記第1画像と前記第3画像との相関をとることにより得られた両画像間の位置ずれ量と前記記憶装置に記憶した前記第1画像における前記領域情報とに基づいて前記第3画像における部分的な処理領域を設定し、前記複数の画像のうち設定した前記処理領域での相関をとることで得られた画像間の位置ずれ量に基づいて前記高解像画像を生成し、前記高解像画像から前記所定の検出対象を検出する
対基板作業装置。 - 請求項1に記載の対基板作業装置であって、
前記画像処理装置は、
前記先頭基板用処理では、前記第1画像および前記第2画像を含む前記複数の画像に所定の変換処理を施した画像データを用いて前記複数の画像の相関をとり、前記所定の変換処理済みの前記第1画像の画像データを前記記憶装置に記憶しておき、
前記後続基板用処理では、前記第1画像と前記第3画像との相関をとる際に、前記記憶装置に記憶された前記所定の変換処理済みの前記第1画像の画像データと前記第3画像に所定の変換処理を施した画像データとを用いる
対基板作業装置。 - 請求項1または2に記載の対基板作業装置であって、
前記所定の検出対象は、前記基板の上面に付されたマークである
対基板作業装置。 - 所定作業が行われる基板を撮像装置で撮像した画像に対する画像処理方法であって、
(a)前記所定作業の対象となる複数の前記基板のうち前記撮像装置により先頭の基板を撮像した先頭画像に対して前記所定作業に必要な所定の検出対象を検出するための画像処理を行うステップと、
(b)前記ステップ(a)で前記検出対象を検出した前記先頭画像内の領域に関する領域情報を取得するステップと、
(c)前記所定作業の対象となる複数の前記基板のうち前記先頭の基板以外の後続の基板を前記撮像装置により撮像した後続画像において前記ステップ(b)で取得した前記領域情報に基づいて部分的な処理領域を設定するステップと、
(d)前記後続画像のうち前記ステップ(c)で設定した処理領域に対して前記画像処理を行うステップと、
を含み、
前記画像処理は、前記基板および前記撮像装置の位置を相対的にずらして撮像した複数の画像を用いて前記複数の画像よりも解像度の高い高解像画像を生成する超解像処理であり、
前記ステップ(a)では、前記先頭画像として第1画像および第2画像を含む前記複数の画像を用いて、前記複数の画像の相関をとることで得られた画像間の位置ずれ量に基づいて前記高解像画像を生成し、前記高解像画像から前記所定の検出対象を検出し、
前記ステップ(b)では、前記第1画像における前記領域情報を取得し、
前記ステップ(c)では、前記後続画像として第3画像および第4画像を含む前記複数の画像を取得し、前記第1画像と前記第3画像との相関をとることにより得られた両画像間の位置ずれ量と前記第1画像における前記領域情報とに基づいて前記第3画像における部分的な処理領域を設定し、
前記ステップ(d)では、前記複数の画像のうち前記ステップ(c)で設定した前記処理領域での相関をとることで得られた画像間の位置ずれ量に基づいて前記高解像画像を生成し、前記高解像画像から前記所定の検出対象を検出する
画像処理方法。
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