JP6829446B2 - 光回路及び光学装置 - Google Patents
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Description
第1面を有する基板と、
半導体材料からなる第1コアを有し、前記基板の前記第1面上の導波路と、
前記導波路から出射された光を前記基板の前記第1面から離れる方向に向けて反射するミラーと、
を備え、
前記ミラーは、凹面ミラーであり、
前記ミラーの表面は、前記導波路と前記ミラーとの間を伝搬する光の光軸を通過して前記第1面に垂直な第1断面と、前記ミラーの中心における法線を通過して前記第1断面に垂直な第2断面と、の双方において湾曲しており、
前記導波路は、前記第1コアから前記ミラーに伝搬する光のスポットサイズを拡大させるスポットサイズコンバータを有する光回路が提供される。
光回路と、
前記光回路の外側にある素子と、
を備え、
前記光回路は、
第1面を有する基板と、
半導体材料からなる第1コアを有し、前記基板の前記第1面上の導波路と、
前記導波路から出射された光を前記基板の前記第1面から離れる方向に向けて反射するミラーと、
を備え、
前記ミラーで反射した光は、前記素子に入力され、
前記ミラーは、凹面ミラーであり、
前記ミラーの表面は、前記導波路と前記ミラーとの間を伝搬する光の光軸を通過して前記第1面に垂直な第1断面と、前記ミラーの中心における法線を通過して前記第1断面に垂直な第2断面と、の双方において湾曲しており、
前記導波路は、前記第1コアから前記ミラーに伝搬する光のスポットサイズを拡大させるスポットサイズコンバータを有する光学装置が提供される。
図1は、実施形態1に係る光回路10を示す平面図である。図2は、図1のA−A´断面図である。なお、図1では、説明のため、封止層400(図2)を取り除いており、第1コア層210及び第2コア層240を破線で示している。図2を用いて後述するように、第1コア層210の上面は、第2コア層240によって覆われ、第2コア層240の上面は、クラッド層230によって覆われている。
図13は、実施形態2に係る光回路10を示す平面図であり、実施形態1の図1に対応する。図14は、図13のA−A´断面図であり、実施形態1の図2に対応する。本実施形態に係る光回路10は、以下の点を除いて、実施形態1に係る光回路10と同様である。
図15は、実施形態3に係る光回路10を示す平面図であり、実施形態2の図13に対応する。図16は、図15のA−A´断面図であり、実施形態2の図14に対応する。本実施形態に係る光回路10は、以下の点を除いて、実施形態2に係る光回路10と同様である。
図17は、実施形態4に係る光回路10を示す断面図であり、実施形態3の図16に対応する。本実施形態に係る光回路10は、以下の点を除いて、実施形態3に係る光回路10と同様である。
図27及び図28は、図3に示した光学装置30の各種パラメータを説明するための図である。図27のP−P´は、ミラー312の中心における表面の法線を示し、図28は、P−P´に沿った断面を示している。図27に示した断面におけるミラー312の表面は、曲率半径R1で湾曲しており、図28に示した断面におけるミラー312の表面は、曲率半径R2で湾曲しており、導波路202の端部とミラー312の表面は、距離daを置いて互いに離れている。
Wb:素子20のスポットサイズ
db:素子20の表面とミラー312の表面の間の距離(なお、封止層400を異なる屈折率を有する媒質の領域が素子20の表面とミラー312の表面の間に位置する場合、その領域の光学的距離は、封止層400における光学的距離に換算する。)
λeff:封止層400中での光の波長
2α:導波路202の端部とミラー312の表面の間を伝搬するビームの光軸と素子20の表面とミラー312の表面の間を伝搬するビームの光軸のなす角度
以下、参考形態の例を付記する。
1. 第1面を有する基板と、
半導体材料からなる第1コアを有し、前記基板の前記第1面上の導波路と、
前記導波路から出射された光を前記基板の前記第1面から離れる方向に向けて反射するミラーと、
を備える光回路。
2. 1.に記載の光回路において、
前記ミラーは、凹面ミラーである光回路。
3. 1.又は2.に記載の光回路において、
前記導波路は、前記第1コアから前記ミラーに伝搬する光のスポットサイズを拡大させるスポットサイズコンバータを有する光回路。
4. 1.〜3.のいずれか一つに記載の光回路において、
前記基板の前記第1面は、第1領域と、第2領域と、を有し、
前記導波路は、前記第1面の前記第1領域上に位置し、
前記ミラーは、前記第1面の前記第2領域上に位置し、
前記第1面の第2領域は、前記第1面の前記第1領域よりも低い位置にある光回路。
5. 1.〜4.のいずれか一つに記載の光回路において、
前記半導体材料は、シリコンである光回路。
6. 5.に記載の光回路において、
前記第1コアの厚さは、500nm以下である光回路。
7. 1.〜4.のいずれか一つに記載の光回路において、
前記半導体材料は、化合物半導体である光回路。
8. 7.に記載の光回路において、
前記第1コアの厚さは、500nm以下である光回路。
9. 光回路と、
前記光回路の外側にある素子と、
を備え、
前記光回路は、
第1面を有する基板と、
半導体材料からなる第1コアを有し、前記基板の前記第1面上の導波路と、
前記導波路から出射された光を前記基板の前記第1面から離れる方向に向けて反射するミラーと、
を備え、
前記ミラーで反射した光は、前記素子に入力される光学装置。
Claims (7)
- 第1面を有する基板と、
半導体材料からなる第1コアを有し、前記基板の前記第1面上の導波路と、
前記導波路から出射された光を前記基板の前記第1面から離れる方向に向けて反射するミラーと、
を備え、
前記ミラーは、凹面ミラーであり、
前記ミラーの表面は、前記導波路と前記ミラーとの間を伝搬する光の光軸を通過して前記第1面に垂直な第1断面と、前記ミラーの中心における法線を通過して前記第1断面に垂直な第2断面と、の双方において湾曲しており、
前記導波路は、前記第1コアから前記ミラーに伝搬する光のスポットサイズを拡大させるスポットサイズコンバータを有する光回路。 - 請求項1に記載の光回路において、
前記基板の前記第1面は、第1領域と、第2領域と、を有し、
前記導波路は、前記第1面の前記第1領域上に位置し、
前記ミラーは、前記第1面の前記第2領域上に位置し、
前記第1面の第2領域は、前記第1面の前記第1領域よりも低い位置にある光回路。 - 請求項1又は2に記載の光回路において、
前記半導体材料は、シリコンである光回路。 - 請求項3に記載の光回路において、
前記第1コアの厚さは、500nm以下である光回路。 - 請求項1又は2に記載の光回路において、
前記半導体材料は、化合物半導体である光回路。 - 請求項5に記載の光回路において、
前記第1コアの厚さは、500nm以下である光回路。 - 光回路と、
前記光回路の外側にある素子と、
を備え、
前記光回路は、
第1面を有する基板と、
半導体材料からなる第1コアを有し、前記基板の前記第1面上の導波路と、
前記導波路から出射された光を前記基板の前記第1面から離れる方向に向けて反射するミラーと、
を備え、
前記ミラーで反射した光は、前記素子に入力され、
前記ミラーは、凹面ミラーであり、
前記ミラーの表面は、前記導波路と前記ミラーとの間を伝搬する光の光軸を通過して前記第1面に垂直な第1断面と、前記ミラーの中心における法線を通過して前記第1断面に垂直な第2断面と、の双方において湾曲しており、
前記導波路は、前記第1コアから前記ミラーに伝搬する光のスポットサイズを拡大させるスポットサイズコンバータを有する光学装置。
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