JP6819256B2 - 駆動回路及び該回路を含んでなる半導体モジュール - Google Patents

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Description

本発明は、モーター駆動用インバーターやDC-DCコンバータなどの電力変換装置用に適用される駆動回路及び該回路を含んでなる半導体モジュールに関する。
MOSFET(Metal-Oxide-Semiconductor Field-Effect Transistor:金属酸化膜半導体電界効果型トランジスタ)やIGBT(Insulated Gate Bipolar Transistor:絶縁ゲートバイポーラ・トランジスタ)などの単体電力用半導体、および、これらを一つの製品内に内蔵したモジュールやIPM(Intelligent Power Module)においては、電力用半導体素子(以下、主スイッチ)を駆動する駆動回路が用いられている。駆動回路は、例えば図5に示されているように、駆動回路70内のゲートドライバ72の出力端(Vout)73を主回路80の主スイッチ(M11)81のゲートに接続し、他端(駆動回路70の低電位側電源端(VL)74)を電力用半導体素子(主スイッチM11)81のソース(Vs)82に接続し、主スイッチ(M11)81のGS(ゲート・ソース)間の電位をコントロールすることで、主スイッチ(M11)81のオン/オフを制御している。モジュール化した製品では、この駆動回路が電力用半導体素子と一緒にモジュールに内蔵されている。なお、記号Vsはソース自体とソース電位の両方に適用している(以下同様)。
なおIGBTを主回路80の主スイッチとして使用する場合には、MOSFETのソースをエミッタに、MOSFETのドレインをコレクタに、上記したGS(ゲート・ソース)をGE(ゲート・エミッタ)に置き替えることで対応できる。さらに、後述する、主スイッチがMOSFETの場合のDS(ドレイン・ソース)は、CE(コレクタ・エミッタ)に置き替えることで対応する。
図5は、従来の駆動回路の一般的な構成例を示す図である。図5では、駆動回路70内のゲートドライバ72の出力端(Vout)73と主回路80の主スイッチ(M11)81のゲートがゲート抵抗(Rg)75を介して接続され、主スイッチ(M11)81のターンオン時およびターンオフ時の電流の急激変化(di/dt)を抑制するようにしている。
図6は、従来の駆動回路の動作(その1)を説明する図である。図6は図5に示される駆動回路におけるもので、主スイッチ(M11)81がターンオフすると主スイッチ(M11)81のソース側と基準電位との間に存在する配線などによる寄生インダクタンス成分、及び、主スイッチ(M11)81のターンオフ時の電流の急激変化(-di/dt)によって、主スイッチ(M11)81のソース電位(VS)82が基準電位より急減する現象が生じる。主スイッチ(M11)81のソース電位(VS)82が低電位となった場合に、回路内の主スイッチのソースと駆動回路70の低電位側電源端(VL)74とが低インピーダンスで接続されているため、基準電位から駆動回路の低電位側電源ラインを通してソース(VS)82に過大な電流が流れることで、駆動回路の低電位側電源ラインが焼損したり、駆動回路が誤動作したりする懸念がある。
図7は、従来の駆動回路の動作(その2)を説明する図である。図7は、上記図6の懸念に対応するため、下記特許文献1に示されるように、駆動回路70内のゲートドライバ72の出力端(Vout)73を主スイッチ(M11)81のゲート端子に直接接続し、他端(駆動回路70の低電位側電源端(VL)74)と主スイッチ(M11)81のソース82の間に制限抵抗(RR)76を挿入することで、上記した駆動回路の低電位側電源ラインの過大な電流による焼損や誤動作の対策としている。
図8は、従来の駆動回路の動作(その3)を説明する図である。図8は、図7の駆動回路をハイサイドに配置して、その駆動用電源にブートストラップ構成を採用して駆動回路を駆動させるものである。すなわち、
図8においては、図示右下のローサイド側主スイッチ2(M12)84がオンした場合に、図示上部左に示す駆動用電源110からの電流がブートストラップダイオード(D1)111を経由してブートストラップキャパシタ(C1)112に流れて電力が貯蔵される。
次に、ローサイド側主スイッチ2(M12)84がオフし、ハイサイド側主スイッチ(M11)81がオンした場合、ブートストラップキャパシタ(C1)112に貯蔵された電力がハイサイド駆動用電源となって、駆動回路90内の制御部91の制御によりハイサイド駆動部95のゲートドライバ92を動作させる。
ゲートドライバ92の出力に制御されてハイサイド側主スイッチ1(M11)81がオンすると、ハイサイド側主スイッチ1(M11)81のソース側に接続される負荷(不図示)に主回路80からの電力が供給される。
なお、図8に示される制限抵抗(RR)113は、図7に示された制限抵抗(RR)76と同様であり、主スイッチのスイッチングに起因する過大な電流が駆動回路の低電位側電源ラインに流れないようにしている。またローサイド側主スイッチ2(M12)84のソースと主回路基準電位の間にも電源ライン等に起因する寄生インダクタンス83が存在する。またローサイド駆動部96は、ハイサイド駆動部と同様に図7の構成となるため省略している。
特開2001−069757号公報
制限抵抗(RR)を加えることにより、主スイッチのソースと駆動回路の低電位側電源端は制限抵抗(RR)を介して接続されることになるため、主スイッチのソース側に存在する寄生インダクタンス成分、及び、ターンオフ時の電流の急激変化(-di/dt)によってソース電位が駆動回路の基準電位より低電位となった場合においても、駆動回路の基準電位から駆動回路の低電位側電源ラインを通して主スイッチのソースに流れる電流を制限抵抗(RR)により抑制することが可能となる。
その結果、駆動回路の低電位側電源から負電位となった主スイッチのソース電位への電流の流れを抑制することができる。
ここで、主スイッチのターンオフの際に起こる電流の急激変化(di/dt)を抑制する為には制限抵抗(RR)の抵抗値を大きくする必要がある。しかしながら制限抵抗(RR)の抵抗値を大きくすると、逆に以下の問題が派生する。すなわち、
(1)制限抵抗(RR)の抵抗値を大きくした場合は、主スイッチのオン/オフに依らず、主スイッチのソースと駆動回路の低電位側電源端の間のインピーダンスが高くなるため、駆動回路内の他のスイッチ(不図示)のオン/オフまたは外来ノイズによって主スイッチが誤オン・誤オフが発生しやすくなる。
(2)複数の電力用半導体素子(主スイッチ)が上下アーム構成を成し、駆動回路内のゲートドライバがハイサイドの主スイッチの駆動を行う際には、ハイサイド駆動用電源をブートストラップ構成とすることが一般的である(図8参照)。しかし、ハイサイド駆動用電源となるブートストラップ用キャパシタ(C1)を充電する為にローサイドの主スイッチをオンした際、ブートストラップ用キャパシタ(C1)の充電経路に制限抵抗(RR)が存在することになるので、制限抵抗(RR)によってブートストラップ用キャパシタ(C1)の充電が阻害される。
そこで本発明の課題は、制限抵抗(RR)の抵抗値を過大にせずとも、電力用半導体素子のスイッチングに伴う電流の急激変化(di/dt)を抑制し、その急激変化(di/dt)に伴う駆動回路の低電位側電源ラインの過大な電流の発生を抑制する駆動回路を提供することである。またそのような駆動回路を含んでなる半導体モジュールを提供することである。
上記課題を解決するために本発明は、電力用半導体素子をスイッチングして変換した電力を供給する主回路部と、該主回路部の前記電力用半導体素子を駆動するゲートドライバおよび該ゲートドライバを制御する制御部を有する駆動回路部とを備え、前記ゲートドライバの出力前記電力用半導体素子のゲートに印加される駆動回路であって、前記ゲートドライバの低電位側電源端前記電力用半導体素子のソースに制限抵抗を介して接続され、前記電力用半導体素子のドレインと前記ゲートドライバの前記低電位側電源端の間にサプレス用のキャパシタ接続され、前記電力用半導体素子のターンオフ時には、前記主回路部の電源から前記サプレス用のキャパシタを介して流れ込む電流と、前記駆動回路部の低電位側電源ラインから流れ込む電流とが、前記ゲートドライバの前記低電位側電源端で合流して前記制限抵抗に流れることを特徴とする。
上記において、前記ゲートドライバは、ハイサイド側の駆動回路部内に設けられることを特徴とする。
上記において、さらに前記ゲートドライバが、ローサイド側の駆動回路部内に設けられることを特徴とする。
また上記課題を解決するために本発明は、電力用半導体素子をスイッチングして負荷に電力を供給する主回路部と、該主回路部の電力用半導体素子を駆動するゲートドライバおよび該ゲートドライバを制御する制御部を有する駆動回路部とから成り、該駆動回路部は、前記ゲートドライバの出力を前記電力用半導体素子のゲートに印加し、前記ゲートドライバの低電位側電源端を前記電力用半導体素子のソース端に制限抵抗を介して接続し、
前記電力用半導体素子のドレインと前記ゲートドライバの低電位側電源端の間にサプレス用のキャパシタを接続して構成されるとともに、前記ゲートドライバの低電位側電源端と前記電力用半導体素子のソースとの間に接続される前記制限抵抗は、前記電力用半導体素子内に形成されることを特徴とする。
上記した前記駆動回路部と前記主回路部とを一つの製品内に内蔵してモジュールとして構成することを特徴とする。
また上記課題を解決するために本発明は、電力用半導体素子をスイッチングして負荷に電力を供給する主回路部と、該主回路部の電力用半導体素子を駆動するゲートドライバおよび該ゲートドライバを制御する制御部を有する駆動回路部とから成り、該駆動回路部は、前記ゲートドライバの出力を前記電力用半導体素子のゲートに印加し、前記ゲートドライバの低電位側電源端を前記電力用半導体素子のソースに制限抵抗を介して接続し、前記電力用半導体素子のドレインと前記ゲートドライバの低電位側電源他端の間にサプレス用のキャパシタを接続して構成され、前記駆動回路部と前記主回路部とを一つの製品内に内蔵してモジュールとして構成する半導体モジュールにおいて、
前記サプレス用のキャパシタは、前記駆動回路部と前記主回路部とを一つの製品内に内蔵してモジュールとして製作する際に容量素子を併置して形成することを特徴とする。
本発明に係る駆動回路によれば、制限抵抗の抵抗値を過大にせずとも、IGBTやMOSFETなどの電力用半導体素子のスイッチングに伴う電流の急激変化(di/dt)を抑制し、その急激変化(di/dt)に伴う駆動回路の低電位側電源ラインの過大な電流の発生を抑制することが可能となる。
本発明の実施形態に係る駆動回路の構成(その1)を示す図である。 本発明の実施形態に係る駆動回路の動作を説明する図である。 本発明の実施形態に係る駆動回路の構成(その2)を示す図である。 本発明の実施形態に係る主スイッチのオン/オフによって生じる電流の急激な変化(di/dt)を抑制するモデル化したローサイド回路の動作を説明する図である。 従来の駆動回路の一般的な構成例を示す図である。 従来の駆動回路の動作(その1)を説明する図である。 従来の駆動回路の動作(その2)を説明する図である。 従来の駆動回路の動作(その3)を説明する図である。
以下、本発明の実施の形態について、詳細に説明する。
図1は、本発明の実施形態に係る駆動回路の構成を示す図である。図1において本発明の実施形態に係る駆動回路は、駆動回路部10と主回路部20とに大別される。その場合、駆動回路部10と主回路部20を一つの製品内に内蔵して半導体モジュール100とすることができる。
図1に示す駆動回路部10は、ゲートドライバ2を制御・駆動する制御部1と、駆動用電源と基準電位間に第1のトランジスタT1と第2のトランジスタT2を直列接続し、T1とT2の接続点から出力(Vout)3を得るゲートドライバ2と、第2のトランジスタT2のソースであるゲートドライバ2の低電位側電源端(VL)4と電力用半導体素子(主スイッチM1)21のソースとの間に接続される制限抵抗(Rs)5と、ゲートドライバ2の低電位側電源端(VL)4と電力用半導体素子(主スイッチM1)21のドレインの間に接続されるサプレス用キャパシタ(Cs)6により構成される。
なお、図1に示す例では制御部1とゲートドライバ2とは個別の部品として描かれているが、これらを一つの製品に内蔵してモジュールとして構成する、もしくは同一半導体集積回路中に両者を集積することができる。
また図示例では制限抵抗(Rs)5とサプレス用キャパシタ(Cs)6は、上記の制御部1とゲートドライバ2とは別の部品として描かれているが、制御部1とゲートドライバ2とともに同一のモジュールとして構成しても良い。
そして電力用半導体素子(主スイッチM1)21を駆動するゲートドライバ2の出力(Vout)3を主スイッチ(M1)のゲートに接続し、ゲートドライバ2の低電位側電源端(VL)4を主スイッチ(M1)のソース(V)22に制限抵抗(Rs)5を介して接続するようにしている。
また主回路部20の主スイッチ(M1)のドレインとゲートドライバ2を構成する第2のトランジスタT2のソース、すなわちゲートドライバ2の低電位側電源端4の間に所定容量のサプレス(電流の急激変化抑制)用のキャパシタ(Cs)6を接続するようにしている。
このように構成することで、制限抵抗(Rs)5の抵抗値を大きな値にしなくてもサプレス用キャパシタ(Cs)6の容量値を増加させることで、電力用半導体素子(主スイッチM1)21のターンオフ時に発生する電流の急激変化(di/dt)を抑制することができる。これについては後述する。
また、制限抵抗(Rs)5により駆動回路部10の基準電位(例えば、グランド)、低電位側電源端(VL)4を経て、主スイッチ(M1)のターンオフで負電位となる電力用半導体素子(主スイッチM1)21のソース22に流れる電流を抑制するとともに、主スイッチ(M1)のターンオフ時に発生する電流の急激変化(di/dt)をサプレス用キャパシタ(Cs)6により抑制することが可能となる。これについても後述する。
図2は、本発明の実施形態に係る駆動回路の動作を説明する図である。図2を用いて、以下の項目について説明する。
<1>電流の急激変化(di/dt)抑制
図2において、制御部1がゲートドライバ2を構成するトランジスタT1,T2のゲートを制御することで、ゲートドライバ2から所定の出力(Vout)3を主スイッチ(M1)21のゲートに印加する。ゲートドライバ2の出力(Vout)3により主回路部20のスイッチ(M1)21のゲート電圧が上昇すると、スイッチ(M1)21のVGS(ゲート・ソース間電圧)も上昇する。
そしてスイッチ(M1)21のVGSがスイッチ(M1)21の動作閾値を上回ると、スイッチ(M1)21はオフからオンの状態に遷移(ターンオン)し、また、スイッチ(M1)21のVGSがその動作閾値を下回るとスイッチ(M1)21はオンからオフの状態に遷移(ターンオフ)する。
この遷移の際、スイッチ(M1)21のVDS(ドレイン・ソース間電圧)を流れていた電流IDSは急激な変化(di/dt)を起こす。これについては、図4で詳しく説明する。
<2>主スイッチの低電位端の負電圧抑制
スイッチ(M1)21のターンオフに伴い、主スイッチ(M1)21のVDS(ドレイン・ソース間電圧)を流れる電流IDSは遮断される。この際に急激な電流の変化(di/dt)と、主スイッチ(M1)21のソースと駆動回路の基準電位の間に存在する配線インダクタンスなどの寄生インダクタンス(L)23により、主スイッチ(M1)21のソース電位(VS)22は、図7に示したと同様に基準電位に対して負の電位となる。
この場合、図6において説明したように、駆動回路部10の低電位側電源端(VL)4と主スイッチ(M1)21のソース22との間に制限抵抗がない場合は、駆動回路部10の低電位側電源端(VL)4はソース22の電位(Vs)と同一電位となり、駆動回路部10側の基準電位から低電位側電源ラインを通して負電圧となったソース22に大きな電流が流れる。
図3は、本発明の実施形態に係る駆動回路の構成(その2)を示す図である。図3に示す駆動回路は、駆動回路部30と主回路部40とに大別される。駆動回路部30は、ハイサイドとローサイドのそれぞれに図1に示した駆動回路部の構成を適用するとともに、ハイサイド駆動用電源にブートストラップ構成を採用している。本構成においても、駆動回路部30と主回路部40を一つの製品内に内蔵して半導体モジュール200とすることができる。
図3において、ローサイド側主スイッチ2(M2)43がオンした場合に、図示上部左に示す駆動用電源50から電流がブートストラップダイオード(D1)51を経由してブートストラップ用キャパシタ(C1)52に流れて電気的なエネルギーが貯蔵される。
次に、ローサイド側主スイッチ2(M2)43がオフした場合、ブートストラップ用キャパシタ(C1)52に貯蔵された電気的なエネルギーがハイサイド駆動用電源となる。そして、ブートストラップ用キャパシタ(C1)52を電源とした駆動回路部30内の制御部31の制御により、ハイサイド駆動部のゲートドライバ32を動作させる。
ゲートドライバ32の出力端(Vout)33がハイサイド側主スイッチ1(M1)41のゲートに接続され、ゲートドライバ32の出力がハイレベルになって主スイッチ1(M1)41のゲート電圧が動作閾値を超えると、ハイサイド側主スイッチ1(M1)41がオンする。これによりハイサイド側主スイッチ1(M1)41のソース側に接続される負荷(不図示)に主回路部40からの電力が供給される。
またローサイド駆動部は、常に駆動用電源50により駆動される。なお、キャパシタ(C2)53は、駆動用電源50のラインに付加したデカップリングキャパシタである。ローサイド駆動部の動作は、上記したハイサイド駆動部の動作と同様なのでその説明を省くことにする。
なお、図3に示される制限抵抗(RS1)35および制限抵抗(RS2)65は、ともに図7に示された制限抵抗(RR)76に相当する抵抗であり、それぞれハイサイド側主スイッチ1(M1)41のソース(VS1)42とゲートドライバHi32の低電位側電源端(VL1)34との間、および、ローサイド側主スイッチ2(M2)43のソース(VS2)44とゲートドライバLo62の低電位側電源端(VL2)64との間に接続されている。サプレスキャパシタ(CS1)36およびサプレスキャパシタ(CS2)66は、ともに図1に示されたサプレスキャパシタ(CS)6に相当する。また、45はローサイド側主スイッチ2(M2)43のソース(VS2)に接続されている寄生インダクタンスを示している。
図4は、本発明の実施形態に係る主スイッチのオン/オフによって生じる電流の急激な変化(di/dt)を抑制するモデル化したローサイド回路の動作を説明する図である。その際、図3に示した駆動回路の構成(その2)を参照することができる。なお、ターンオンによって生じる電流の急激な変化(di/dt)については同様であるため省略する。
図4(A)は、ローサイド側に設けられた主スイッチTr(122)がオンしているときの電流の流れの様子を示す図である。
図4(A)において、ローサイド駆動回路の基準電位(例.グランド)に対する電位を確定させるために、制限抵抗Rs(124)の左端をグランドに接続している。
図4(A)に示した主スイッチTr(122)がオンして定常状態となっているときは、di/dtがほぼゼロと見做せるため主スイッチTr(122)のソースVsはローサイド駆動回路の基準電位(グランド)に対して略0vとなるので、制限抵抗Rs(5)の両端に電位差がなく、Rs(5)に電流は流れない。
したがって、主回路部の電源VDDから負荷121を経て流れる電流iは、オンした主スイッチTr(122)のドレイン(D)、ソース(S)を経て寄生インダクタンスL(125)およびグランドに流れる。この動作により寄生インダクタンスL(125)には電気的なエネルギーが蓄積される。なお負荷121は、ローサイド側から見てハイサイド側構成についてのトータルのインピーダンスを表すものとしている。
一方、図4(B)は、主スイッチTr(122)がオンからオフに遷移したときの電流の流れの様子を示す図であり、ローサイド側における駆動回路の主スイッチTr(122)のターンオフによって生じる寄生インダクタンスL(125)に流れる電流の急激な変化(di/dt)、およびこの(di/dt)により主スイッチTr(122)のソースVsに発生する大きな負電圧を抑制する動作を説明するものである。
図4(B)において、主スイッチTr(122)がターンオフすると、主スイッチTr(122)のソースVsは負になり、Rs(5)に電流が流れる。
この電流は、主回路部の電源VDDから負荷121を経て流れる電流iがサプレス用キャパシタCs(123)の両端を経て流れるものと、制限抵抗Rs(124)の左端でグランドから環流してきた電流、すなわち駆動回路の低電位側電源ラインから供給される電流iとが合流して電流iとして制限抵抗Rs(124)に流れる。その電流iは寄生インダクタンスL(125)にも流れる。
この状態における、図示の制限抵抗Rs(124)、寄生インダクタンスL(125)を含む回路の過渡応答を解析すると、
i=i+i・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・(1)
Rs×i+L(di/dt)=0・・・・・・・・・・・・(2)
(di/dt)=−(Rs/L)×i・・・・・・・・・(3)
一方、ターンオフ時のiは、ターンオン時のiの過渡応答となるため、
i=iexp(−t/(L/Rs))・・・・・・・・(4)
(di/dt)=−(Rs/L)×iexp(−t/(L/Rs))・・・・・(5)
となる。
これより、制限抵抗Rs(124)が小さいほど、時定数が大きく、(di/dt)が小さくなり、ソース電位Vsの低下も小さくなる。逆に、制限抵抗Rs(124)が大きいほど、時定数が小さく、(di/dt)が大きくなり、ソース電位Vsの低下も大きくなる。
また、負荷121を流れていた電流iの一部は、主スイッチTr(122)がオフしてもサプレス用キャパシタCs(123)側に電流iとして流れることになるので、その分駆動回路の低電位側電源ラインから供給される電流iを小さくすることができる。つまり、駆動回路への余計な電流を小さくできる。なお、一般的に負荷121は寄生インダクタンスを含む何らかのインダクタンス成分を有しているので、当該インダクタンス成分の影響が大きいほど電流iのより大きな部分が電流iとして流れる。
また、本実施の形態では、上記とは別の(di/dt)抑制効果を有している。上記の解析は、図4(A)の状態から図4(B)の状態変化するタイミングで主スイッチTr(122)に流れる電流を瞬間的に遮断するということを前提としていたが、本実施の形態では瞬間的に電流を遮断する動作、すなわち主スイッチTr(122)に流れる電流の(di/dt)を抑制することができる。
主スイッチTr(122)のゲート電位Vを低下させて主スイッチTr(122)をオフさせようとすると、上記のように主スイッチTr(122)のソース電位Vsが負電位となる。すると、Vsが負なので、主スイッチTr(122)のゲート・ソース間電圧VGS=V−Vsは増大する方向となる。すなわち、主スイッチTr(122)をオフさせるためにゲート電位Vを低下させると、それを抑制する方向でゲート・ソース間電圧VGSにフィードバックがかかるので、結果として主スイッチTr(122)に流れる電流の変化をより穏やかなものにすることができる。また、これにより寄生インダクタンスに流れる電流の(di/dt)も抑制することができる。
図4におけるモデル化した回路は、ローサイド回路の例であるが、ハイサイド回路(不図示)の例にあっては負荷が主スイッチのソースとソースVsの間に接続されるようになるのを除いて同様であるためその説明を省く。
本発明の駆動回路は、モーター駆動用のインバーターやDC−DCコンバータなどのスイッチング電源(電力変換装置)に限らず、コンピュータ、通信機器などの電源(電力変換装置)にも適用することが可能である。
1,31 制御部
2,32 ゲートドライバ
3,33 ゲートドライバ出力又は出力端(Vout
4,34,64 ゲートドライバの低電位側電源端
5,35,65 制限抵抗
6,36,66 サプレス用キャパシタ
10,30 駆動回路部
20,40 主回路部
21,41 主スイッチ又は主スイッチ1(Ml)
22 主スイッチのソース又はソース電位(VS
23,45 寄生インダクタンス(L)
42 主スイッチ1のソース又はソース電位(VS1
43 主スイッチ又は主スイッチ2(M2)
44 主スイッチ2のソース又はソース電位(VS2
50 駆動用電源
51 ブートストラップダイオード(Dl)
52 ブートストラップ用キャパシタ
53 キャパシタ
100,200 半導体モジュール
T1〜T4 トランジスタ

Claims (4)

  1. 電力用半導体素子をスイッチングして変換した電力を供給する主回路部と、該主回路部の前記電力用半導体素子を駆動するゲートドライバおよび該ゲートドライバを制御する制御部を有する駆動回路部とを備え、前記ゲートドライバの出力前記電力用半導体素子のゲートに印加される駆動回路であって
    前記ゲートドライバの低電位側電源端前記電力用半導体素子のソースに制限抵抗を介して接続され
    前記電力用半導体素子のドレインと前記ゲートドライバの前記低電位側電源端の間にサプレス用のキャパシタ接続され、
    前記電力用半導体素子のターンオフ時には、前記主回路部の電源から前記サプレス用のキャパシタを介して流れ込む電流と、前記駆動回路部の低電位側電源ラインから流れ込む電流とが、前記ゲートドライバの前記低電位側電源端で合流して前記制限抵抗に流れることを特徴とする駆動回路。
  2. 請求項1記載の駆動回路において、
    前記ゲートドライバは、ハイサイド側の駆動回路部内に設けられることを特徴とする駆動回路。
  3. 請求項1または2記載の駆動回路において、
    前記ゲートドライバが、ローサイド側の駆動回路部内に設けられることを特徴とする駆動回路。
  4. 前記請求項1ないしのいずれか一項に記載の駆動回路における前記駆動回路部と前記主回路部とを一つの製品内に内蔵してモジュールとして構成することを特徴とする半導体モジュール。
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