JP6816254B2 - ノズル交換治具及びこれを用いたノズル交換システム - Google Patents

Description

本発明は、例えば表面実装機において部品吸着用の複数のノズルを収容するノズルストッカに前記ノズルを収容するために用いられるノズル交換治具、およびこれを用いたノズル交換システムに関する。

電子部品を基板に実装する表面実装機は、一般にヘッドユニットに装着される部品吸着用のノズルをストックするノズルストッカを備えている。前記ノズルは、吸着対象の部品によっては交換する必要があり、前記ノズルストッカには交換用のノズルが収容される。ヘッドユニットは、ノズル交換が必要な電子部品を搭載する場合、ノズルストッカにアクセスしてノズルを自動交換する。このため、前記ノズルストッカには、交換されるノズルを所定の配列パターンで予め収容しておく必要がある。また、前記ノズルストッカに収容されたノズル群を、洗浄のために一括して取り出し、洗浄後に戻す作業も必要である。

前記ノズルストッカに対してノズルを脱着する作業を人手で行ったのでは手間が掛かりすぎるため、例えば特許文献１に開示されているようなノズル交換治具が用いられている。ノズル交換治具は、前記ノズルストッカにおけるノズルの配列パターンに応じた配列状態で、複数のノズルを保持することが可能な治具である。作業員は、交換用ノズルを保持した前記ノズル交換治具を持って前記ノズルストッカへアクセスし、前記交換用ノズルを前記ノズルストッカへ移載させたり、空のノズル交換治具を持って前記ノズルストッカに収容されているノズルを取り出したりする。

しかしながら、特許文献１のノズル交換治具では、各ノズルを個別にクランプするノズル保持部が適用されている。前記ノズル保持部は、爪形状を備えた板バネからなるクランプ部材を含み、前記爪形状部分を前記ノズルに備えられたクランプ溝に係合させるものである。このため、前記ノズル保持部から前記ノズルを取り外すには相応の引き抜き力を要する。ノズル交換治具が保持するノズルの数が増えると、前記引き抜き力は重畳される。従って、前記ノズル交換治具から多くのノズルを前記ノズルストッカへ一括して移載させる場合に大きな力を要するため、作業員に大きな負担を掛ける、或いは、一括移載するノズル本数を減らす必要がある等、作業性が悪いという問題があった。

特許第４３５３１３５号公報

本発明の目的は、作業性の良いノズル交換治具を提供することにある。

上記目的を達成する本発明の一局面に係るノズル交換治具は、電子部品吸着用の複数のノズルを所定の配列パターンで収容可能なノズルストッカに、前記ノズルを収容するために用いられるノズル交換治具であって、前記ノズルストッカにおける前記配列パターンに応じた配列状態で、複数の前記ノズルをそれぞれ非固定的に位置決めする複数の位置決め部を備えた本体部と、前記位置決め部において前記ノズルが保持される第１状態と、前記保持が解除される第２状態との間で切り換える切り換え機構と、を備える。

本発明の他の目的は、上記のノズル交換治具を用い、ノズルストッカに対して確実にノズルを移載することができるノズル交換システムを提供することにある。

上記他の目的を達成する本発明の他の局面に係るノズル交換システムは、複数の電子部品吸着用のノズルを所定の配列パターンで収容可能なノズルストッカと、上記のノズル交換治具と、前記ノズルストッカの動作と前記ノズル交換治具の動作とを連動させる連動機構とを備え、少なくとも前記ノズル交換治具から前記ノズルストッカへ複数の前記ノズルが移載されるノズル交換システムであって、前記ノズルストッカは、前記所定の配列パターンで配列された複数のノズル収容孔と、複数の前記ノズルの各々を前記ノズル収容孔に収容された状態で支持する支持状態と、前記支持を解放する解放状態との間で状態変更可能な支持機構と、を含み、前記連動機構は、前記切り換え機構による前記第１状態から前記第２状態への切り換えと、前記支持機構による前記解放状態から前記支持状態への状態変更とを連動させる。

図１は、本発明の実施形態に係るノズル交換治具が適用される表面実装機の概略構成を示す平面図である。 図２は、表面実装機のヘッドユニット部分の概略構成を示す側面図である。 図３（Ａ）〜（Ｃ）は、吸着ノズルを示す図であって、図３（Ａ）はその上面図、図３（Ｂ）及び（Ｃ）は、それぞれ視線方向を変えた側面図である。 図４（Ａ）及び（Ｂ）は、ノズルを保持する第１状態のノズル交換治具を示し、図４（Ａ）はその側面図、図４（Ｂ）は底面図である。 図５（Ａ）及び（Ｂ）は、ノズルの保持を解除する第２状態のノズル交換治具を示し、図５（Ａ）はその側面図、図５（Ｂ）は底面図である。 図６は、図４（Ｂ）のＶＩ−ＶＩ線断面図である。 図７は、図５（Ｂ）のＶＩＩ−ＶＩＩ線断面図である。 図８は、図４（Ｂ）の要部拡大図である。 図９は、図５（Ｂ）の要部拡大図である。 図１０は、治具本体（本体部）の平面図である。 図１１（Ａ）〜（Ｃ）は、保持プレート（ノズル保持部）を示す図であって、図１１（Ａ）はその長手方向の側面図、図１１（Ｂ）は平面図、図１１（Ｃ）は短手方向の側面図である。 図１２（Ａ）及び（Ｂ）は、ノズルストッカ６を示す模式図であって、図１２（Ａ）は、ノズルを支持する支持状態を、図１２（Ｂ）は、ノズルの支持を解放する解放状態を、各々示している。 図１３（Ａ）〜（Ｃ）は、本実施形態のノズル交換治具を用いた、ノズル移載の手順の一例を示す図である。 図１４（Ａ）〜（Ｄ）は、本実施形態のノズル交換治具を用いた、ノズル移載の手順の他の例を示す図である。 図１５（Ａ）及び（Ｂ）は、変形例に係るノズル交換治具を示す模式図である。

［表面実装機について］
以下、本発明の実施形態を図面に基づいて詳細に説明する。先ずは、本発明の実施形態に係るノズル交換治具が適用される表面実装機について説明する。図１は、表面実装機１の概略構成を示す平面図、図２は、表面実装機１のヘッドユニット４部分の概略構成を示す側面図である。表面実装機１は、各種の電子部品を基板Ｐに実装する装置である。図１及び図２においてＸＹＺの方向表示が付され、他の図においても同様な方向表示が付されている図がある。以下の説明において、Ｘ方向を左右方向（基板Ｐの移動方向）、Ｙ方向を前後方向、Ｚ方向を上下方向という場合がある。

＜表面実装機の全体構造＞
表面実装機１は、ベース部１０と、このベース部１０上に配置された基板搬送部２、部品供給部３、電子部品吸着用の複数の吸着ノズル５（ノズル）を備えたヘッドユニット４、及び、交換用の吸着ノズル５を収容するノズルストッカ６とを備えている。ヘッドユニット４には、一対の基板認識カメラ４２及びスキャンユニット４３も搭載されている。そして、ノズルストッカ６に交換用の吸着ノズル５を収容する作業のために、作業員はノズル交換治具７を用いる。

基板搬送部２は、電子部品３２（図２）が実装される基板Ｐを搬送する。基板搬送部２は、ベース部１０上において、基板Ｐを左右方向へ搬送する一対のコンベア２１、２２を有している。コンベア２１、２２は、基板Ｐを図１の右側から表面実装機１の機内に搬入し、所定の作業位置（図１に示す基板Ｐの位置）まで左方へ搬送して一旦停止させる。この作業位置において、電子部品３２が基板Ｐに実装される。前記作業位置の下方領域には、実装作業中に基板Ｐをバックアップピンにより支持する基板支持装置（図示省略）が配置されている。実装作業後、コンベア２１、２２は基板Ｐを左方へ搬送し、表面実装機１の左側から機外へ搬出する。

部品供給部３は、実装される電子部品３２を供給する。部品供給部３は、基板搬送部２の前後方向両側に配置されている。各部品供給部３は、左右方向に配列された複数のテープフィーダ３１を備えている。各テープフィーダ３１は、集積回路（ＩＣ）、トランジスタ、抵抗、コンデンサ等の小片状の電子部品３２を所定間隔で収容、保持したテープが巻回されたリールを保持している。テープフィーダ３１は、前記リールからテープを間欠的に繰り出し、フィーダ先端の部品供給位置に電子部品を供給する。

ヘッドユニット４は、部品供給部３から電子部品３２を取り出し、これを基板Ｐに実装する。ヘッドユニット４は、ベース部１０の上空にＸＹ方向に移動可能に配置され、前記部品供給位置においてテープフィーダ３１から電子部品を取り出し、前記作業位置において前記電子部品を基板Ｐの所定位置に実装する。ベース部１０の上方には、Ｘ方向に延びる支持ビーム２３が立設されている。ヘッドユニット４は、支持ビーム２３に固定されたＸ軸固定レール２４に移動可能に支持されている。また、支持ビーム２３は、両端部がＹ方向に延びるＹ軸固定レール２５に支持され、このＹ軸固定レール２５に沿ってＹ方向に移動可能である。Ｘ軸固定レール２４に対して、Ｘ軸サーボモータ２６及びボールねじ軸２７が配置され、Ｙ軸固定レール２５に対して、Ｙ軸サーボモータ２８及びボールねじ軸２９が配置されている。ヘッドユニット４は、Ｘ軸サーボモータ２６によるボールねじ軸２７の回転駆動によってＸ方向に移動し、Ｙ軸サーボモータ２８によるボールねじ軸２９の回転駆動によってＹ方向に移動する。

ヘッドユニット４には、電子部品３２を保持して搬送するための複数のヘッド４１が搭載されている。本実施形態では、合計６本のヘッド４１がＸ方向に一列に配置されている例を示している。各ヘッド４１は、Ｚ方向（上下方向）に延びる駆動シャフトと、該駆動シャフトの下端に取り付けられ電子部品３２を吸着する吸着ノズル５とを含む。吸着ノズル５は、前記駆動シャフトの内部通路及び切換弁（図略）等を介して負圧発生装置（図略）に接続されている。部品吸着時には、前記負圧発生装置から吸着ノズル５の先端に負圧吸引力が与えられ、これにより電子部品３２の吸着が可能とされている。なお、部品実装時には前記負圧吸引力は解消され、吸着ノズル５に吸着された電子部品３２がリリースされる。吸着ノズル５の具体例については、図３に基づき後述する。

各ヘッド４１は、ヘッドユニット４に対して昇降及びノズル中心軸（Ｒ軸）回りの回転が可能とされている。ヘッド４１の前記昇降及び回転のため、ヘッドユニット４は昇降駆動機構及び回転駆動機構を備える。前記昇降駆動機構は、電子部品の吸着若しくは実装を行う際の下降位置と、電子部品の搬送や撮像を行う際の上昇位置との間で、ヘッド４１を昇降させる。前記回転駆動機構は、ヘッド４１を必要に応じて回転させるための機構であり、部品実装時に電子部品をＲ軸方向に回転させて当該電子部品の姿勢を調整する。これらの駆動機構は、サーボモータと所定の動力伝達機構とで構成されている。

基板認識カメラ４２は、ヘッドユニット４の左右両側に固定的に搭載され、コンベア２１、２２により表面実装機１の前記作業位置に搬入された基板Ｐの表面（上面）に付設されている各種マークを撮像する。図１では、前記マークの一例として、矩形の基板Ｐの対角線上に付設された一対のフィデューシャルマークＦＭを示している。フィデューシャルマークＦＭは、搬入された基板Ｐの前記作業位置の原点座標に対する位置ズレ量を検知するためのマークである。

スキャンユニット４３は、ヘッドユニット４に対してＸ方向（吸着ノズル５の配列方向）に移動可能に、当該ヘッドユニット４の下端付近に搭載され、吸着ノズル５に吸着された電子部品３２を撮像する。スキャンユニット４３は、吸着ノズル５による電子部品３２の吸着状態を画像認識するためのユニットである。スキャンユニット４３は、ヘッドユニット４が吸着ノズル５に吸着された電子部品３２を前記部品供給位置から前記作業位置まで搬送している間に、所定の撮像動作を行う。この撮像動作では、スキャンユニット４３は、ヘッドユニット４に付設されたＸ方向に延びるボールねじ軸４４に沿ってＸ方向に移動しながら、吸着ノズル５に吸着された電子部品３２を下面側から撮像する。

ノズルストッカ６は、ヘッドユニット４（ヘッド４１）に装着される吸着ノズル５をストックするポートである。吸着ノズル５は、吸着対象の電子部品３２によっては交換する必要があるため、ノズルストッカ６には交換用の吸着ノズル５が収容される。ヘッドユニット４は、基板Ｐに搭載すべき電子部品３２が現状で搭載されている吸着ノズル５で吸着できない場合或いは吸着に適さない場合等に、ノズルストッカ６にアクセスして吸着ノズル５を自動交換する。このため、ノズルストッカ６においては、交換される吸着ノズル５が、所定の配列パターン、つまりヘッド４１の配列ピッチに応じた配列パターンで、予め収容されている。

ノズル交換治具７は、ノズルストッカ６における吸着ノズル５の配列パターンに応じた配列状態で、複数の吸着ノズル５を保持することが可能な治具である。ノズル交換治具７は、ノズルストッカ６への吸着ノズル５の装填作業、及び、ノズルストッカ６からの吸着ノズル５の取り出し作業に用いられる。作業員は、交換用の吸着ノズル５を保持したノズル交換治具７を持ってノズルストッカ６へアクセスし、当該吸着ノズル５をノズルストッカ６へ移載させたり、空のノズル交換治具７を持ってノズルストッカ６に収容されている吸着ノズル５を取り出したりする。なお、取り出された吸着ノズル５と共にノズル交換治具７をノズル洗浄機に装填し、汚濁した吸着ノズル５を洗浄に供する場合もある。

＜吸着ノズルの構造＞
図３（Ａ）〜（Ｃ）は、吸着ノズル５を示す図であって、図３（Ａ）はその上面図、図３（Ｂ）は側面図、図３（Ｃ）は、図３（Ｂ）に対して視線方向を軸方向に９０°回転させた側面図である。吸着ノズル５は、テープフィーダ３１からの電子部品３２の吸着時及び基板Ｐへの電子部品３２の実装時において、電子部品３２や基板Ｐに加わる衝撃を緩和するバッファリング機能を有するノズルである。吸着ノズル５は、ノズル本体部５１と、ノズル本体部５１を上下動可能に保持するホルダ部５２と、ノズル本体部５１とホルダ部５２との間に介在される付勢バネ５３とを含む。

ノズル本体部５１は、ノズル先端部５１１と、ノズル先端部５１１の上方に連なるノズル筒部５１２と、ノズル先端部５１１とノズル筒部５１２との連接部に配置されたノズルフランジ５１３とを含む。ノズル先端部５１１は、電子部品３２を吸着する吸引開口を備え、ノズル筒部５１２は、前記吸引開口に連なる吸引管路を内部に備えている。ノズルフランジ５１３は、ノズル先端部５１１及びノズル筒部５１２よりも径方向外側に突出した円柱型の部分である。

ホルダ部５２は、大略的に円筒型の部材であり、シリンダ部５４と、該シリンダ部５４の上方の基部５５とを含む。シリンダ部５４は、内部に円筒空間からなる摺動孔５４１を備える。この摺動孔５４１にノズル本体部５１のノズル筒部５１２の上方側が収容され、上下方向に摺動する。また、シリンダ部５４は、その下端付近に径方向外側に突出したシリンダフランジ５４２を備える。付勢バネ５３はコイルバネであり、このシリンダフランジ５４２と上述のノズルフランジ５１３との間に割り入れられ、ノズル本体部５１を下方へ付勢している。

基部５５は、内部に円筒空間からなる大径孔５５１を備える。大径孔５５１は、摺動孔５４１に連接され、ノズル筒部５１２の前記吸引管路と連通している。大径孔５５１は、上述の負圧発生装置に連なる管路と接続される。基部５５の側周面には、吸着ノズル５の軸回りの位置を決めるためのＤカット面５６が備えられている。また、基部５５の下部には、シリンダ部５４との径差に基づく段差面である下端面５７（ノズルの一部分）が存在している。この下端面５７が、ノズル交換治具７によって保持される部分である。

［ノズル交換治具の詳細］
以下、ノズル交換治具７について詳述する。図４及び図５は、ノズル交換治具７の外観を示す図である。図４は、吸着ノズル５を保持する第１状態のノズル交換治具７を示し、図４（Ａ）はその側面図、図４（Ｂ）は底面図である。図５は、吸着ノズル５の保持を解除する第２状態のノズル交換治具７を示し、図５（Ａ）はその側面図、図５（Ｂ）は底面図である。図６は、図４（Ｂ）のＶＩ−ＶＩ線断面図、図７は、図５（Ｂ）のＶＩＩ−ＶＩＩ線断面図である。また、図８は、図４（Ｂ）の要部拡大図、図９は、図５（Ｂ）の要部拡大図である。

ノズル交換治具７は、治具本体７１（本体部）と切り換え機構７２とを備える。治具本体７１は、ノズルストッカ６における吸着ノズル５の配列パターンに応じた配列状態で、複数の吸着ノズル５をそれぞれ非固定的に位置決めする複数のノズル配列孔７１１（位置決め部）を備える。切り換え機構７２は、ノズル配列孔７１１に収容され位置決めされた吸着ノズル５が、当該ノズル配列孔７１１において保持される第１状態と、前記保持が解除される第２状態との間で切り換える。

＜治具本体＞
図１０は、治具本体７１を−Ｚ側から見た平面図である。治具本体７１は、平面視でＸ方向に長い矩形形状を有し、吸着ノズル５の基部５５のＺ方向長さよりも長いＺ方向の厚みを有している。治具本体７１は、上面（＋Ｚ側の面）及び下面（−Ｚ側の面）と、４つの側面、すなわち短辺側の−Ｘ側面７１５及び＋Ｘ側面７１６と、長辺側の−Ｙ側面７１７及び＋Ｙ側面７１８とを備える。ノズル配列孔７１１は、治具本体７１の下面に開口し、治具本体７１のＺ方向厚さの半分程度の深さを有している。ここでは、Ｘ方向に１０個、Ｙ方向に４個のノズル配列孔７１１が、治具本体７１にマトリクス配列されている例を示している。ノズル配列孔７１１は、基部５５のサイズに応じた円筒型の孔であり、基部５５を収容する。

ノズル配列孔７１１の内径は基部５５の外径よりも僅かに大きい程度であり、ノズル配列孔７１１に基部５５が嵌め込まれることで、吸着ノズル５のＸ方向及びＹ方向の移動は制限される。但し、ノズル配列孔７１１自体は、吸着ノズル５のＺ方向の移動を拘束していない。すなわち、吸着ノズル５のＸＹ方向の位置は決めるもののＺ方向にはフリーとしているという意味において、ノズル配列孔７１１は吸着ノズル５を非固定的に位置決めする。

各ノズル配列孔７１１には、筒体７１２が配置されている。筒体７１２は、ノズル配列孔７１１と同心に配置され、治具本体７１のＺ方向厚さと同じ長さを有する円筒体である。ノズル配列孔７１１に基部５５が嵌め込まれる際、大径孔５５１に筒体７１２が挿入される。治具本体７１の上面には、貫通孔７１４を備えた上板７１３が取り付けられている。貫通孔７１４は、筒体７１２の位置に合わせて穿孔されている。吸着ノズル５を保持したノズル交換治具７がノズル洗浄作業に供される際、貫通孔７１４及び筒体７１２を通して、吸着ノズル５の内部通路（摺動孔５４１、ノズル本体部５１の吸引管路及びノズル先端部５１１の吸引開口）が洗浄されることになる。

図１０において一部破断して示されているように、各ノズル配列孔７１１には、位置合わせピン７１９が組み付けられている。位置合わせピン７１９は、Ｚ方向に延びる円柱型のピンであり、２個がＸ方向に並ぶ態様で、各ノズル配列孔７１１の＋Ｙ側方位の内周壁に配置されている。一対の位置合わせピン７１９は、その一部がノズル配列孔７１１の内周壁から径方向内側に突出している。各吸着ノズル５の基部５５が各ノズル配列孔７１１に挿入される際、この位置合わせピン７１９の突出部分にＤカット面５６が位置合わせされる。これにより、吸着ノズル５の軸回り方向の位置が決定される。

治具本体７１の−Ｙ側面７１７及び＋Ｙ側面７１８には、各々の側面から−Ｙ方向、＋Ｙ方向にそれぞれ突出するガイドピン７１Ａが取り付けられている。図１０には、ガイドピン７１Ａが嵌め込まれるピン孔７１Ｂが示されている。ガイドピン７１Ａは、後述する保持プレート７３のＸ方向のスライド移動をガイドするために設けられている。

＜切り換え機構＞
切り換え機構７２は、複数の吸着ノズル５について、前記第１状態と前記第２状態とを一括して切り換えるための機構である。本実施形態において切り換え機構７２は、保持プレート７３（ノズル保持部）、コイルバネ７５（第１維持機構）及び保持磁石７６（第２維持機構）を含む。前記一括の切り換えのため、保持プレート７３は治具本体７１に対して、前記第１状態を形成する第１位置と、前記係合が解除されて前記第２状態を形成する第２位置との間でＸ方向に位置変更する。

図１１（Ａ）〜（Ｃ）は、保持プレート７３を示す図であって、図１１（Ａ）はその長手方向の側面図、図１１（Ｂ）は平面図、図１１（Ｃ）は短手方向の側面図である。保持プレート７３は、例えば磁性を有する板金部材からなり、矩形平板状の底板７３１と、底板７３１の長辺である＋Ｙ及び−Ｙ端縁から＋Ｚ方向に立ち上がる一対の長辺側板７３２と、底板７３１の短辺である−Ｘ及び＋Ｘ端縁から各々＋Ｚ方向に立ち上がる−Ｘ側板７３３及び＋Ｘ側板７３４とを含む。

底板７３１は、平面視において、治具本体７１よりもやや大きいサイズの矩形形状を有し、治具本体７１の下面に当接乃至は近接する部分である。底板７３１には、−Ｘ側板７３３の近傍から＋Ｘ側板７３４の近傍に亘ってＸ方向に延びる長孔７４が４本、平行に穿孔されている。長孔７４は、治具本体７１におけるノズル配列孔７１１の４行×１０列の配列の、行配列にマッチするように穿孔されている。長孔７４は、Ｘ方向に交互に配置された底板７３１のノズル通過部７４１と係合部７４２とによって区画されている。

ノズル通過部７４１は、吸着ノズル５の基部５５の外周面形状に沿った円弧型の開口縁部である。ノズル通過部７４１の部分において、長孔７４のＹ方向最大幅（一対のノズル通過部７４１で形成される仮想円の直径）は、円筒型の基部５５の外径よりも僅かに大きく設定されている。ノズル通過部７４１は、治具本体７１のノズル配列孔７１１の個数（１０個）及びそれらの配列ピッチに合わせて、各長孔７４に１０個ずつ設けられている。

係合部７４２は、ノズル通過部７４１の各ピッチ間に配置された突出部分である。互いに向かい合う一対の係合部７４２の部分において、長孔７４のＹ方向幅は、基部５５の外径よりも小さく、シリンダ部５４の外径よりもやや大きく設定されている。従って、係合部７４２は、長孔７４を通してノズル配列孔７１１に吸着ノズル５が収容されている状態において、保持プレート７３がＸ方向にスライドされた場合、基部５５の下端面５７（ノズルの一部分）の下に入り込む（係合する）ことができる。つまり、係合部７４２は、吸着ノズル５を下端面５７において支持することが可能である。

−Ｙ及び＋Ｙの長辺側板７３２は、底板７３１と同じＸ方向幅を有し、底板７３１に対して鉛直上方に折り曲げられた部分である。各長辺側板７３２には、等間隔でＸ方向に並ぶ３つのガイド孔７３２Ａ（ガイド部）が穿孔されている。−Ｙ、＋Ｙ長辺側板７３２は、それぞれ治具本体７１の−Ｙ側面７１７、＋Ｙ側面７１８と対向する。ガイド孔７３２Ａは、治具本体７１のガイドピン７１Ａが嵌め込まれる孔であり、Ｚ方向幅はガイドピン７１Ａの外径と略同一であるが、Ｘ方向幅はガイドピン７１Ａの外径よりも長い長孔である。

ガイド孔７３２Ａへのガイドピン７１Ａの挿入により、保持プレート７３が治具本体７１に組み付けられた状態となる。このとき、図６、図７に示すように、治具本体７１の下面に底板７３１が当接乃至は近接する。また、保持プレート７３は、ガイドピン７１Ａにガイド孔７３２Ａがガイドされる態様で、治具本体７１に対してＸ方向にスライド移動することができる。このスライド移動の幅は、少なくとも長孔７４のノズル通過部７４１（係合部７４２）のＸ方向配列ピッチの１／２に相当する幅が必要である。

−Ｘ側板７３３及び＋Ｘ側板７３４は、底板７３１よりも短いＹ方向幅を有し、底板７３１に対して鉛直上方に折り曲げられた部分である。−Ｘ、＋Ｘ側板７３３、７３４は、長辺側板７３２よりも長いＺ方向幅を有している。−Ｘ、＋Ｘ側板７３３、７３４は、それぞれ治具本体７１の−Ｘ、＋Ｘ側面７１５、７１６と対向する。

図６、図７を参照して、コイルバネ７５及び保持磁石７６は、治具本体７１の＋Ｘ側面７１６と保持プレート７３の＋Ｘ側板７３４との間に配置されている。コイルバネ７５は、一コイル端が＋Ｘ側面７１６に、他コイル端が＋Ｘ側板７３４に各々当接している。治具本体７１を不動とした場合、コイルバネ７５は、＋Ｘ側板７３４を通して保持プレート７３を＋Ｘ方向へ付勢する。

保持磁石７６は、治具本体７１の＋Ｘ側面７１６に取り付けられている。保持プレート７３が治具本体７１に対して最も＋Ｘ側に移動した状態（コイルバネ７５が伸長した状態）では、保持磁石７６と保持プレート７３の＋Ｘ側板７３４との間にはギャップが存在する（図６）。一方、保持プレート７３が治具本体７１に対して−Ｘ側に所定距離だけ移動した状態（コイルバネ７５が圧縮された状態）では、＋Ｘ側板７３４は保持磁石７６に吸着される（図７）。

［ノズル交換治具の動作］
続いて、ノズル交換治具７による吸着ノズル５の保持及びその解除動作について説明する。上述の通り、保持プレート７３はＸ方向にスライド移動し、このスライド移動によって、ノズル配列孔７１１に収容された吸着ノズル５の状態が、当該ノズル配列孔７１１において保持される第１状態と、前記保持が解除される第２状態との間で切り換えられる。前記第１状態では、吸着ノズル５はノズル配列孔７１１の位置において固定され、治具本体７１から離脱できない状態となる。一方、前記第２状態では、吸着ノズル５はノズル配列孔７１１から離脱可能な状態となる。

保持プレート７３は、係合部７４２が吸着ノズル５の一部分（本実施形態では基部５５の下端面５７）と係合して前記第１状態を形成する第１位置（図４、図６、図８）と、前記係合が解除されて前記第２状態を形成する第２位置（図５、図７、図９）との間で位置変更するように、治具本体７１に対して移動する。この移動は、ガイドピン７１Ａとガイド孔７３２Ａとの係合によって、Ｘ方向のスライド移動に制限されている。

前記第１位置は、保持プレート７３がコイルバネ７５の付勢力によって相対的に＋Ｘ側に移動した位置である。これにより、治具本体７１の＋Ｘ側面７１６と保持プレート７３の＋Ｘ側板７３４との間は離間する一方、−Ｘ側面７１５と−Ｘ側板７３３とは近接する。そして、長孔７４の係合部７４２が基部５５の下端面５７の下側に入り込み（Ｚ方向に重なる位置に移動し）、係合部７４２が下端面５７を支持するようになる。このような係合部７４２と下端面５７との係合により、吸着ノズル５はノズル配列孔７１１から抜け出せない状態となる。コイルバネ７５は、その付勢力によって、保持プレート７３を前記第１位置に静止させて前記第１状態を維持させる機能を果たしている。

前記第２位置は、保持プレート７３が保持磁石７６の磁気吸着力によって相対的に−Ｘ側に移動した位置である。これにより、治具本体７１の＋Ｘ側面７１６と保持プレート７３の＋Ｘ側板７３４との間は、保持磁石７６を挟んで接近する一方、−Ｘ側面７１５と−Ｘ側板７３３とは離間する。コイルバネ７５は圧縮された状態となり、Ｘ方向に伸長する付勢力を内在した状態となる。

前記第２位置においては、上述の係合部７４２と下端面５７との係合は解除される。図９の拡大図を示すように、係合部７４２は、吸着ノズル５の基部５５とＺ方向に重なり合わない位置に移動している。つまり、隣接するノズル配列孔７１１のピッチ間に、係合部７４２が退避した状態となる。一方、保持プレート７３のノズル通過部７４１とノズル配列孔７１１とは、Ｘ方向に同じピッチで配列されている。従って、係合部７４２がノズル配列孔７１１のピッチ間に移動すると、自ずとノズル通過部７４１とノズル配列孔７１１とがＺ方向に重なるようになる。これにより、吸着ノズル５はノズル配列孔７１１から抜け出せる状態となる。保持磁石７６は、その磁気吸着力によって、保持プレート７３を前記第２位置に静止させて前記第２状態を維持させる機能を果たしている。

保持プレート７３の前記第１位置（図６）と前記第２位置（図７）との間の位置変更は、作業員の手動操作で行うことができる。前記第１位置から前記第２位置への位置変更の際には、作業員はコイルバネ７５の付勢力に抗して、保持プレート７３を−Ｘ方向へ移動させ、＋Ｘ側板７３４を保持磁石７６に吸着させれば良い。逆に、前記第２位置から前記第１位置への位置変更の際には、作業員は保持磁石７６から＋Ｘ側板７３４を引き剥がし、コイルバネ７５の付勢力を作用させて保持プレート７３を＋Ｘ方向へ移動させれば良い。勿論、ソレノイドアクチュエータ等の駆動源をノズル交換治具７に搭載して、保持プレート７３を自動移動させるようにしても良い。

このようなノズル交換治具７によれば、前記第１状態（保持プレート７３が第１位置）では治具本体７１のノズル配列孔７１１において吸着ノズル５が保持されるが、切り換え機構７２により前記第２状態（保持プレート７３が第２位置）に切り換えられると、前記保持が解除される。作業員は、ノズルストッカ６への吸着ノズル５の移載の際に、切り換え機構７２を前記第１状態から前記第２状態へ切り換え操作するだけ、つまり保持プレート７３を前記第１位置から前記第２位置へ移動させるだけで済む。従って、前記移載の際に大きな力は不要であり、移載させる吸着ノズル５の数が多数となったとしても、作業性を向上させることができる。

また、切り換え機構７２は、複数の吸着ノズル５について、前記第１状態と前記第２状態とを一括して切り換えることができる。すなわち治具本体７１のノズル配列孔７１１と、保持プレート７３のノズル通過部７４１（係合部７４２）とは、Ｘ方向に同じピッチで配列されている。このため、保持プレート７３をＸ方向にスライド移動させると、全てのノズル配列孔７１１に収容されている各吸着ノズル５に対して、前記第１状態と前記第２状態とが一括して切り換わる。また、そのために必要な作業員の操作は、保持プレート７３のスライド移動だけである。従って、ノズル交換治具７に保持された吸着ノズル５の全てを、一括して容易にノズルストッカ６へ移載させることが可能となり、一層作業性を向上させることができる。

［ノズルストッカへの移載動作］
続いて、ノズル交換治具７に保持された吸着ノズル５の、ノズルストッカ６への移載動作の具体例について説明する。まず、ノズルストッカ６の概略構成について、図１２（Ａ）及び（Ｂ）の模式図に基づいて説明する。図１２（Ａ）は、ノズルストッカ６が吸着ノズル５を支持する支持状態を、図１２（Ｂ）は、吸着ノズル５の支持を解放する解放状態を、各々示している。

ノズルストッカ６は、吸着ノズル５を保持するストッカ本体６１と、ストッカ本体６１に対してＸ方向にスライド移動可能なシャッター部材６２（支持機構）とを含む。ストッカ本体６１は、所定の配列パターンで配列された複数のノズル収容孔６３を備える。ノズル収容孔６３は、吸着ノズル５を収容可能な、ストッカ本体６１の上面に開口する孔であり、ヘッド４１の配列ピッチに応じた配列パターンで配列されている。

シャッター部材６２は、複数の吸着ノズル５の各々をノズル収容孔６３に収容された状態で支持する支持状態と、前記支持を解放する解放状態との間で状態変更させる支持機構として機能する。具体的にはシャッター部材６２は、ストッカ本体６１の上面に添設され、Ｘ方向にスライド移動する平板状の部材からなる。シャッター部材６２は、複数のノズル挿通開口６４及び係合部６５（支持部）を有し、図１１に示した保持プレート７３と同様な部材である。ノズル挿通開口６４は、吸着ノズル５を通過させることが可能な開口部分である。係合部６５は、吸着ノズル５の一部分と係合して当該吸着ノズル５を支持する部分である。

シャッター部材６２の−Ｘ方向端部には、作動板６６が延設されている。この作動板６６には、ソレノイド型アクチュエータからなる駆動部６７の作動ロッドが連結されている。駆動部６７の動作によって、シャッター部材６２はＸ方向にスライド移動する。このスライド移動によってシャッター部材６２は、図１２（Ａ）に示すように、複数の吸着ノズル５の各々をノズル収容孔６３に収容された状態で係合部６５によって支持する支持位置（支持状態）と、図１２（Ｂ）に示すように、係合部６５による前記支持を解放する解放位置（解放状態）との間で位置変更可能である。シャッター部材６２が前記支持位置にあるとき、吸着ノズル５はノズル収容孔６３において固定された状態となり、前記解放位置にあるとき、吸着ノズル５はノズル収容孔６３に対して着脱できる状態となる。

図１３（Ａ）〜（Ｃ）は、本実施形態のノズル交換治具７を用いた、ノズルストッカ６への吸着ノズル５の一括移載の手順の一例を示す図である。ここでは、ノズル交換治具７について、保持プレート７３が吸着ノズル５を保持する第１位置にある状態を「閉」、前記保持を解除する第２位置にある状態を「開」で示す。また、ノズルストッカ６について、シャッター部材６２が前記支持位置にある状態を「閉」、前記解放位置にある状態を「開」で示す。

作業員は、吸着ノズル５を保持したノズル交換治具７を持って、ノズルストッカ６にアクセスする。このとき、図１３（Ａ）に示すように、吸着ノズル５の保持のためノズル交換治具７は「閉」とされ、吸着ノズル５の受け入れのためノズルストッカ６は「開」とされる。前記アクセスの際、作業員は各吸着ノズル５をノズル収容孔６３に位置合わせして、ノズル交換治具７をノズルストッカ６の上に載せる。

次に、図１３（Ｂ）に示すように、作業員は保持プレート７３を操作して、ノズル交換治具７を「開」とする。一方、表面実装機１側では、駆動部６７によりシャッター部材６２を移動させて、ノズルストッカ６が「閉」とされる。これにより、全ての吸着ノズル５がノズル交換治具７からノズルストッカ６へ一括して受け渡される。この受け渡しの際、保持プレート７３は吸着ノズル５を拘束していないので、作業員は何ら力作業を要しない。

その後、図１３（Ｃ）に示すように、作業員はノズル交換治具７を、「開」の状態を維持したまま、上方に持ち上げる。全ての吸着ノズル５は、ノズルストッカ６に保持された状態となる。このとき、保持プレート７３による吸着ノズル５の保持解除と、シャッター部材６２による吸着ノズル５の保持が行われるので、吸着ノズル５は中途半端にノズル交換治具７に残存することなく、確実にノズルストッカ６へ受け渡される。従って、ノズル交換治具７が持ち上げられた際に、受け渡しに失敗した吸着ノズル５が落下するというような不具合を防止することができる。

［ノズル交換システム］
続いて、上述のノズルストッカ６及びノズル交換治具７に加えて、ノズルストッカ６の動作とノズル交換治具７の動作とを連動させる連動機構を備えるノズル交換システムの実施形態を例示する。図１４（Ａ）〜（Ｄ）は、本実施形態のノズル交換システムにおける、ノズル交換治具７からノズルストッカ６への吸着ノズル５の一括移載の手順の一例を示す図である。この図１４でも、図１３と同様にして、ノズル交換治具７及びノズルストッカ６による吸着ノズル５の保持状態を「開」、「閉」で示している。

前記連動機構は、ノズル交換治具７における切り換え機構７２（保持プレート７３）による前記第１状態から前記第２状態への切り換え、すなわち「閉」から「開」への切り換えと、ノズルストッカ６における支持機構（シャッター部材６２）による前記解放状態から前記支持状態への状態変更とを連動させる機構である。

ここでは、前記連動機構として、ノズル交換治具７の保持プレート７３が係合片７３５を備え、ノズルストッカ６のシャッター部材６２が係合孔６２１を具備している例を示す。係合片７３５は、係合孔６２１に嵌まり込むことが可能であり、この嵌まり込みにより、保持プレート７３とシャッター部材６２とが連動してスライド移動する。

作業員は、吸着ノズル５を保持したノズル交換治具７を持って、ノズルストッカ６にアクセスする。このとき、図１４（Ａ）に示すように、吸着ノズル５の保持のためノズル交換治具７は「閉」とされ、吸着ノズル５の受け入れのためノズルストッカ６は「開」とされる。前記アクセスの際、作業員は各吸着ノズル５をノズル収容孔６３に位置合わせし、さらに、係合片７３５を係合孔６２１に位置合わせして、ノズル交換治具７をノズルストッカ６の上に載せる。これにより、図１４（Ｂ）に示すように、各吸着ノズル５は各ノズル収容孔６３に収容され、係合片７３５は係合孔６２１に嵌まり込んで保持プレート７３とシャッター部材６２とが連動可能な状態となる。

次に、図１４（Ｃ）に示すように、表面実装機１側で、駆動部６７によりシャッター部材６２を移動させて、ノズルストッカ６を「閉」とする。すると、シャッター部材６２の移動に連動して保持プレート７３も移動し、ノズル交換治具７が「開」の状態となる。これにより、全ての吸着ノズル５がノズル交換治具７からノズルストッカ６へ一括して受け渡される。

その後、図１４（Ｄ）に示すように、作業員はノズル交換治具７を、「開」の状態を維持したまま、上方に持ち上げる。この際、保持プレート７３は吸着ノズル５を拘束していないので、作業員は何ら力作業を要しない。これにより、全ての吸着ノズル５は、ノズルストッカ６に保持された状態となる。

このノズル交換システムによれば、保持プレート７３による吸着ノズル５の保持解除（「閉」から「開」の動作）と、シャッター部材６２による吸着ノズル５の保持（「開」から「閉」の動作）とが同期して行われる。このため、ノズル交換治具７及びノズルストッカ６の双方が「開」となって、吸着ノズル５が脱落し易い状態になることを防止できる。さらに、図１３の例と同様に、吸着ノズル５が中途半端にノズル交換治具７に残存することなく、確実にノズルストッカ６へ受け渡される。従って、ノズル交換治具７が持ち上げられた際に、受け渡しに失敗した吸着ノズル５が落下するというような不具合を防止することができる。

［切り換え機構の変形例］
図１５（Ａ）及び（Ｂ）は、変形例に係るノズル交換治具７Ａを示す模式図である。上記実施形態では、保持プレート７３と吸着ノズル５とが機械的に結合することによって、吸着ノズル５が保持されるノズル交換治具７を例示した。この変形例では、マグネットクランプの原理を利用し、磁気結合によって吸着ノズル５を保持するノズル交換治具７Ａを示す。

本変形例では、磁性体からなる吸着ノズル５が用いられる。ここでの磁性体は、磁気結合によって永久磁石などに強固に吸着される強磁性体であり、鉄や磁性ＳＵＳなどを例示することができる。ノズル交換治具７Ａは、治具本体７１０（本体部）と切り換え機構７２０とを含む。治具本体７１０は、吸着ノズル５を位置決めする複数のノズル配列孔７１１を有すると共に、各ノズル配列孔７１１の上方に非磁性部材７７を備えている。切り換え機構７２０は、保持プレート７３０（ノズル保持部）、コイルバネ７５及び保持磁石７６を備える。保持プレート７３０は、各ノズル配列孔７１１の配置ピッチにマッチさせて配置された、複数のマグネット７８（磁石部材）を備えている。マグネット７８は、吸着ノズル５の少なくとも一部と磁気結合可能である。

保持プレート７３０は、マグネット７８が吸着ノズル５の一部分と磁気結合して吸着ノズル５を保持する第１状態を形成する第１磁性状態と、前記磁気結合が解除されて前記保持を解除する第２状態を形成する第２磁性状態との間で状態変更する。図１５（Ａ）は、前記第１状態を示す。このとき、マグネット７８はノズル配列孔７１１の真上に位置している。非磁性部材７７は、吸着ノズル５の外径よりも狭幅の部材であり、マグネット７８と吸着ノズル５との間に位置している。この状態では、非磁性部材７７の介在によって、マグネット７８のＮ極から吸着ノズル５の基部５５（図３）を通り、Ｓ極へ至る磁路Ｍ１が形成される。従って、吸着ノズル５はマグネット７８に磁気的に結合され、ノズル配列孔７１１において保持された状態となる。

図１５（Ｂ）は、前記第２状態を示す。保持プレート７３０は、保持磁石７６に吸着されて、前記第１状態の位置から、ノズル配列孔７１１の配置ピッチの半ピッチだけスライド移動されている。このため、マグネット７８は非磁性部材７７及び吸着ノズル５の配列ライン上から外れる。この場合、マグネット７８のＮ極からＳ極へ短絡的に至る磁路Ｍ２が形成されてしまい、マグネット７８と吸着ノズル５とは磁気結合しなくなる。従って、吸着ノズル５に対する磁気吸着力は解除され、吸着ノズル５はノズル配列孔７１１から抜け出せる状態となる。このように、マグネット７８を用いた磁気結合を利用して、前記第１状態と前記第２状態との切り換えを行わせることができる。

この他、本発明は上述の実施形態に限定されるものではなく、種々の変形実施形態を取り得る。例えば、上記の切り換え機構７２は、全ての吸着ノズル５について同時に一括して前記第１状態と前記第２状態との状態切り換えを行う例を示した。これに代えて、ノズル交換治具７に切り換え機構７２を複数設け、所定の吸着ノズル５群の単位で、前記状態切り換えを行うようにしても良い。

なお、上述した具体的実施形態には以下の構成を有する発明が主に含まれている。

本発明の一局面に係るノズル交換治具は、電子部品吸着用の複数のノズルを所定の配列パターンで収容可能なノズルストッカに、前記ノズルを収容するために用いられるノズル交換治具であって、前記ノズルストッカにおける前記配列パターンに応じた配列状態で、複数の前記ノズルをそれぞれ非固定的に位置決めする複数の位置決め部を備えた本体部と、前記位置決め部において前記ノズルが保持される第１状態と、前記保持が解除される第２状態との間で切り換える切り換え機構と、を備える。

このノズル交換治具によれば、前記第１状態では前記位置決め部において前記ノズルが保持されるが、切り換え機構により前記第２状態に切り換えられると、前記保持が解除される。作業員は、前記ノズルストッカへの前記ノズルの移載の際に、前記切り換え機構を前記第１状態から前記第２状態へ切り換え操作するだけで済む。従って、前記移載の際に大きな力は不要であり、移載させるノズル数が多数となったとしても、作業性を向上させることができる。

上記のノズル交換治具において、前記切り換え機構は、複数の前記ノズルについて、前記第１状態と前記第２状態とを一括して切り換えることが望ましい。

このノズル交換治具によれば、前記ノズル交換治具に保持されたノズルの全てを一括して前記ノズルストッカへ移載させることが可能となり、一層作業性を向上させることができる。

上記のノズル交換治具において、前記切り換え機構は、各ノズルの一部分と各々係合可能な複数の係合部を有するノズル保持部を含み、前記ノズル保持部は、前記係合部が前記ノズルの一部分と係合して前記第１状態を形成する第１位置と、前記係合が解除されて前記第２状態を形成する第２位置との間で位置変更可能であることが望ましい。

このノズル交換治具によれば、前記ノズル保持部を前記第１位置と前記第２位置との間で移動させるという簡単な構造並びに簡単な操作にて、前記第１状態と前記第２状態との切り換えを行わせることができる。従って、前記切り換え機構の構造の簡素化、及び一層の作業性の向上を図ることができる。

この場合、前記ノズル保持部は、前記本体部に対してスライド移動することによって前記第１位置と前記第２位置との間で位置変更するものであって、前記切り換え機構は、さらに、前記ノズル保持部の前記スライド移動をガイドするガイド部と、前記ノズル保持部を前記第１位置に静止させて前記第１状態を維持させる第１維持機構と、前記ノズル保持部を前記第２位置に静止させて前記第２状態を維持させる第２維持機構と、を備える構造とすることができる。

このノズル交換治具によれば、前記ノズル保持部のスライド移動により、前記第１位置と前記第２位置との位置変更が可能で、各々の位置にて前記第１、第２維持機構にて前記ノズル保持部を静止させることができる。従って、作業員による操作性を良好にすることができる。

上記のノズル交換治具において、前記ノズルは磁性体からなり、前記切り換え機構は、各ノズルの一部分と各々磁気結合可能な複数の磁石部材を有するノズル保持部を含み、前記ノズル保持部は、前記磁石部材が前記ノズルの一部分と磁気結合して前記第１状態を形成する第１磁性状態と、前記磁気結合が解除されて前記第２状態を形成する第２磁性状態との間で状態変更可能であることが望ましい。

このノズル交換治具によれば、前記磁石部材を用いた磁気結合を利用して、前記第１状態と前記第２状態との切り換えを行わせることができる。従って、前記切り換え機構の構造の簡素化、及び一層の作業性の向上を図ることができる。

本発明の他の局面に係るノズル交換システムは、複数の電子部品吸着用のノズルを所定の配列パターンで収容可能なノズルストッカと、上記のノズル交換治具と、前記ノズルストッカの動作と前記ノズル交換治具の動作とを連動させる連動機構とを備え、少なくとも前記ノズル交換治具から前記ノズルストッカへ複数の前記ノズルが移載されるノズル交換システムであって、前記ノズルストッカは、前記所定の配列パターンで配列された複数のノズル収容孔と、複数の前記ノズルの各々を前記ノズル収容孔に収容された状態で支持する支持状態と、前記支持を解放する解放状態との間で状態変更可能な支持機構と、を含み、前記連動機構は、前記切り換え機構による前記第１状態から前記第２状態への切り換えと、前記支持機構による前記解放状態から前記支持状態への状態変更とを連動させる。

このノズル交換システムによれば、前記連動機構によって、前記第１状態から前記第２状態への切り換えと、前記解放状態から前記支持状態への状態変更とが同期するようになる。このため、前記ノズル交換治具から前記ノズルストッカへの前記ノズルの受け渡しを確実に行わせることができる。もし、前記切り換え機構が前記第２状態になると同時に前記支持機構が前記解放状態となると、前記ノズルの受け渡しが確実に行われない場合がある。この場合、前記ノズルが前記ノズル交換治具に中途半端に保持された状態が継続され、そのような前記ノズル交換治具を作業員が持ち上げたときに前記ノズルが実装機中へ落下してしまう場合がある。上記構成によれば、このような不具合の発生を回避できる。

本発明のさらに他の局面に係るノズル交換システムは、複数の電子部品吸着用のノズルを所定の配列パターンで収容可能なノズルストッカと、上記のノズル交換治具と、前記ノズルストッカの動作と前記ノズル交換治具の動作とを連動させる連動機構とを備え、少なくとも前記ノズル交換治具から前記ノズルストッカへ複数の前記ノズルが移載されるノズル交換システムであって、前記ノズルストッカは、前記所定の配列パターンで配列された複数のノズル収容孔と、各ノズルの一部分を支持可能な複数の支持部を有し、複数の前記ノズルの各々を前記ノズル収容孔に収容された状態で前記支持部によって支持する支持位置と、前記支持部による前記支持を解放する解放位置との間で位置変更可能なシャッター部材と、を含み、前記連動機構は、前記ノズル保持部の前記第１位置から前記第２位置への位置変更と、前記シャッター部材の前記解放位置から前記支持位置への位置変更とを連動させる。

このノズル交換システムによれば、前記連動機構によって、前記第１位置から前記第２位置への位置変更と、前記解放位置から前記支持位置への位置変更とが同期するようになる。このため、前記ノズル交換治具から前記ノズルストッカへの前記ノズルの受け渡しを確実に行わせることができる。

Claims (7)

1. 電子部品吸着用の複数のノズルを所定の配列パターンで収容可能なノズルストッカに、前記ノズルを収容するために用いられるノズル交換治具であって、前記ノズルを保持した状態で前記ノズルストッカにアクセスし、前記保持したノズルを当該ノズルストッカに移載するよう作業員によって使用されるノズル交換治具において、
   前記ノズルストッカにおける前記配列パターンに応じた配列状態で、複数の前記ノズルをそれぞれ非固定的に位置決めする複数の位置決め部を備えた本体部と、
   前記位置決め部において前記ノズルが保持される第１状態と、前記保持が解除される第２状態との間で切り換える切り換え機構と、
   を備え、
   前記切り換え機構は、複数の前記ノズルについて、前記第１状態と前記第２状態とを一括して切り換える、ノズル交換治具。
2. 請求項１に記載のノズル交換治具において、
   前記切り換え機構は、各ノズルの一部分と各々係合可能な複数の係合部を有するノズル保持部を含み、
   前記ノズル保持部は、前記係合部が前記ノズルの一部分と係合して前記第１状態を形成する第１位置と、前記係合が解除されて前記第２状態を形成する第２位置との間で位置変更可能である、ノズル交換治具。
3. 請求項２に記載のノズル交換治具において、
   前記ノズル保持部は、前記本体部に対してスライド移動することによって前記第１位置と前記第２位置との間で位置変更するものであって、
   前記切り換え機構は、さらに、
   前記ノズル保持部の前記スライド移動をガイドするガイド部と、
   前記ノズル保持部を前記第１位置に静止させて前記第１状態を維持させる第１維持機構と、
   前記ノズル保持部を前記第２位置に静止させて前記第２状態を維持させる第２維持機構と、を備える、ノズル交換治具。
4. 請求項１に記載のノズル交換治具において、
   前記ノズルは磁性体からなり、
   前記切り換え機構は、各ノズルの一部分と各々磁気結合可能な複数の磁石部材を有するノズル保持部を含み、
   前記ノズル保持部は、前記磁石部材が前記ノズルの一部分と磁気結合して前記第１状態を形成する第１磁性状態と、前記磁気結合が解除されて前記第２状態を形成する第２磁性状態との間で状態変更可能である、ノズル交換治具。
5. 請求項１に記載のノズル交換治具において、
   前記本体部は、前記ノズル配列孔に前記ノズルが嵌め込まれる際に、当該ノズルが備える内部通路に挿入される筒体を備える、ノズル交換治具。
6. 複数の電子部品吸着用のノズルを所定の配列パターンで収容可能なノズルストッカと、
   ノズル交換治具と、
   前記ノズルストッカの動作と前記ノズル交換治具の動作とを連動させる連動機構と、
   を備え、少なくとも前記ノズル交換治具から前記ノズルストッカへ複数の前記ノズルが移載されるノズル交換システムであって、
   前記ノズル交換治具は、
   前記ノズルストッカに、前記ノズルを収容するために用いられるノズル交換治具であって、
   前記ノズルストッカにおける前記配列パターンに応じた配列状態で、複数の前記ノズルをそれぞれ非固定的に位置決めする複数の位置決め部を備えた本体部と、
   前記位置決め部において前記ノズルが保持される第１状態と、前記保持が解除される第２状態との間で切り換える切り換え機構と、を備え、
   前記ノズルストッカは、
   前記所定の配列パターンで配列された複数のノズル収容孔と、
   複数の前記ノズルの各々を前記ノズル収容孔に収容された状態で支持する支持状態と、前記支持を解放する解放状態との間で状態変更可能な支持機構と、を含み、
   前記連動機構は、前記切り換え機構による前記第１状態から前記第２状態への切り換えと、前記支持機構による前記解放状態から前記支持状態への状態変更とを連動させる、ノズル交換システム。
7. 複数の電子部品吸着用のノズルを所定の配列パターンで収容可能なノズルストッカと、
   ノズル交換治具と、
   前記ノズルストッカの動作と前記ノズル交換治具の動作とを連動させる連動機構と、
   を備え、少なくとも前記ノズル交換治具から前記ノズルストッカへ複数の前記ノズルが移載されるノズル交換システムであって、
   前記ノズル交換治具は、
   前記ノズルストッカに、前記ノズルを収容するために用いられるノズル交換治具であって、
   前記ノズルストッカにおける前記配列パターンに応じた配列状態で、複数の前記ノズルをそれぞれ非固定的に位置決めする複数の位置決め部を備えた本体部と、
   前記位置決め部において前記ノズルが保持される第１状態と、前記保持が解除される第２状態との間で切り換える切り換え機構と、を備え、
   前記切り換え機構は、各ノズルの一部分と各々係合可能な複数の係合部を有するノズル保持部を含み、
   前記ノズル保持部は、前記係合部が前記ノズルの一部分と係合して前記第１状態を形成する第１位置と、前記係合が解除されて前記第２状態を形成する第２位置との間で位置変更可能であり、
   前記ノズルストッカは、
   前記所定の配列パターンで配列された複数のノズル収容孔と、
   各ノズルの一部分を支持可能な複数の支持部を有し、複数の前記ノズルの各々を前記ノズル収容孔に収容された状態で前記支持部によって支持する支持位置と、前記支持部による前記支持を解放する解放位置との間で位置変更可能なシャッター部材と、を含み、
   前記連動機構は、前記ノズル保持部の前記第１位置から前記第２位置への位置変更と、前記シャッター部材の前記解放位置から前記支持位置への位置変更とを連動させる、ノズル交換システム。

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