JP2010087383A - 装着ヘッド及びこれを用いた部品装着装置 - Google Patents

Abstract

【課題】
装着する部品の大きさ等が変化しても、ノズルを取り外しや再据え付けを必要とせず、基板の生産性を向上させることが可能な装着ヘッドとそれを用いた部品装着装置を提供することを目的とする。
【解決手段】
上記の課題を解決するために、部品を供給する部品供給部と、部品供給部から部品を吸着するノズルと、ノズルと接続されたノズルシャフトと、ノズルシャフトを支持する支持部とを有するノズル組立体と、ノズル組立体の少なくとも一部を保持する第１の保持部と、第１の保持部が嵌め合わせられた第２の保持部と、第１の保持部がノズル組立体を保持する位置とは異なる位置でノズル組立体を保持する第３の保持部とを備える。
【選択図】図２

Description

本発明は、装着ヘッドに設けられたノズルにより、部品供給部から部品（例えば、電子部品）を吸着して取り出し、基板に装着する装着ヘッド及びこれを用いた部品装着装置に関する。

従来、基板上に部品（例えば、電子部品）を装着するときには、ノズルにより、部品供給部より部品を吸着して取り出し、基板上に装着する部品装着装置が用いられている。

例えば、特開２００５−２２８９９２号公報に記載の部品装着装置がある。図１に、特開２００５−２２８９９２号公報記載の部品装着装置の装着ヘッドの概略構成を示す。回転可能に支持された回転軸２０と、回転軸２０と連結して、回転軸２０を回転させるロータ２１ａとステータ２１ｂを備える第１のアクチュエータ２１がある。回転軸２０には、第２の保持部２２が固定されたスプラインシャフト２３が取り付けられ、回転軸２０に対して回転可能に支持されている。また、回転軸２０には、第１のタイミングプーリ２４が設けられている。第１のタイミングプーリ２４には、タイミングベルト２６がかけられている。タイミングベルト２６の他端には、第２のアクチュエータ２７に取り付けられた第２のタイミングプーリ２５が設けられている。従って、第２のアクチュエータ２７が回転すると、第２のタイミングプーリ２５，タイミングベルト２６，第１のタイミングプーリ２４を介して、スプラインシャフト２３を矢印Ｃのごとく、両方向に回転させることができる。スプラインシャフト２３には、ノズル組立体８を保持する第１の保持部２８が固定された上下移動部２９が、スプラインシャフト２３に対して、上下方向に移動可能に支持されている。また、上下移動部２９は、その端部を上下移動部支持部３０により上下方向を拘束されている。また、水平方向には、相対移動が可能なように支持されている。さらに、上下移動部支持部３０は、第３のアクチュエータ（図示せず）により、矢印Ｄのごとく上下に移動することが可能である。第１の保持部２８は、第２の保持部２２にある切欠部に隙間をもって嵌め合わせることができる形状になっており、第２の保持部２２の上面と第１の保持部２８の上面は、ほぼ面位置となるように構成されている。さらに、第１の保持部２８と第２の保持部２２の上面には、ノズル組立体８の端部が接触して保持されており、ノズル組立体８の他端には部品３１が吸着されるようになっている。さらに、第１のアクチュエータ２１のロータ２１ａには、ノズル組立体８が上下方向に移動可能に支持されており、ロータ２１ａが矢印Ｅのごとく回転すると、ノズル組立体８も回転する。この時、第１の保持部２８と第２の保持部２２の上面に接触して保持されたノズル組立体８の端部は、第１の保持部２８と第２の保持部２２との相対移動が可能なように支持されている。

次に、前述の装着ヘッドの動作を説明する。複数のノズルを有するノズル組立体８を備える装着ヘッドが、部品３１を吸着した後、プリント基板上に移動して所定の個所に装着する。環状に並べられたノズル群から選択された一つのノズルに部品を吸着させる場合は、環状に並べられたノズルを有するノズル組立体８を備えるヘッドの中心軸を中心に、第１のアクチュエータ２１の回転によりノズル群が旋回し、該当するノズルを有するノズル組立体８が第１の保持部２８の位置に来たときに、第１の保持部２８，上下移動部２９，上下移動部支持部３０を介して図示していない第３のアクチュエータによりこのノズル組立体８を図示していない部品供給部のある下方向に移動させ、部品３１を真空力などを用いて吸着させる。次に、吸着させた後、ノズル組立体８を上方向に移動させて、第１の保持部２８の上面と第２の保持部２２の上面が面位置になる待機位置（高さ）まで移動させる。その後、次に装着する部品に対応したノズルを有するノズル組立体を選択するためにノズル群を旋回させる。

即ち、所定の部品に対応した吸着動作時は、その部品の大きさに対応した該当ノズルのみが上下動作するようになっている。この動作は部品を装着する際も同様である。

特開２００５−２２８９９２号公報

近年、部品装着装置は、基板１枚に部品を装着する時間を短縮して、基板の生産性を向上させることが求められている。この基板の生産性を向上させるために、装着ヘッドに備えられた吸着式のノズルを有するノズル組立体の本数を増加させることが考えられる（例えば８本を１２本に増加させる）。さらに、装着する部品の大きさは、それぞれ異なるため、ノズルは部品の大きさに対応して複数個用意されている。しかし、ノズルを交換するために費やす時間も基板の生産性を低下させる要因となっている。ノズルを有するノズル組立体の本数の増加と１つのノズルが取り扱う部品の大きさの範囲拡大により、取扱い可能な最大の部品を吸着したとき、隣り合うノズルに吸着した部品が接触して、吸着した部品を落下させてしまう恐れがある。

上記問題点に鑑み、本発明は、装着する部品の大きさが大きくなっても、ノズルを退避させ、ノズルを取り外しや再据え付けを必要とせず、基板の生産性を向上させることが可能な部品の装着ヘッドとこれを用いた部品装着装置を提供することを課題とする。

上記の目的を達成するために、部品を供給する部品供給部と、前記部品供給部から部品を吸着するノズルと、前記ノズルと接続されたノズルシャフトと、前記ノズルシャフトを支持する支持部とを有するノズル組立体と、前記ノズル組立体の少なくとも一部を保持する第１の保持部と、前記第１の保持部が嵌め合わせられた第２の保持部と、前記第１の保持部が前記ノズル組立体を保持する位置とは異なる位置で前記ノズル組立体を保持する第３の保持部とを備える。

請求項２に記載の部品装着装置は、前記異なる位置を、前記第３の保持部の底面にすることにある。

請求項３に記載の部品装着装置は、前記第３の保持部を支持する保持部支持部を備え、前記保持部支持部は、前記ノズル組立体を覆うように設けられる。

請求項４に記載の部品装着装置は、前記保持部支持部には、上下方向に移動するアクチュエータが設けられ、前記第３の保持部は、前記アクチュエータに設けられる。

請求項５に記載の部品装着装置は、前記第３の保持部は、前記ノズル組立体を磁力で保持する。

請求項６に記載の部品装着装置は、前記第３の保持部は、前記ノズル組立体を真空力で保持する。

請求項７に記載の部品装着装置は、部品を供給する部品供給部と、前記部品供給部から部品を吸着するノズルと、前記ノズルと接続されたノズルシャフトと、前記ノズルシャフトを支持する第１の支持部と、前記第１の支持部の端面に設けられた第２の支持部とを有するノズル組立体と、前記第２の支持部を下方向から保持する第１の保持部と、前記第１の保持部が嵌め合わされた第２の保持部と、前記第１の支持部を上方向から保持する第３の保持部とを備える。

請求項８に記載の部品装着装置は、前記第３の保持部を支持する保持部支持部を備え、前記保持部支持部は、前記ノズル組立体を覆うように設けられる。

請求項９に記載の部品装着装置は、前記保持部支持部には、上下方向に移動するアクチュエータが設けられ、前記第３の保持部は、前記アクチュエータに設けられる。

請求項１０に記載の部品装着装置は、前記第３の保持部は、前記ノズル組立体を磁力で保持する。

請求項１１に記載の部品装着装置は、前記第３の保持部は、前記ノズル組立体を真空力で保持する。

装着する部品の大きさが大きくなっても、ノズルの取り外しや再据え付けに要する時間を排除できるため、基板の生産性を向上させることが可能な部品の装着ヘッドとそれを用いた部品装着装置を提供することができる。

以下、図面を用いて実施例について説明する。なお、各図において、共通な機能を有する要素には同一は符号を付して示し、一度述べたものについては、その重複する説明を省略する。

図７は、実施例１の部品装着装置５０の平面図を示す。種々の部品（例えば、電子部品）をそれぞれの部品の取り出し位置（部品吸着位置）に１個ずつ供給する部品供給部５３の一部は、部品装着装置５０の基台５９上に、複数個並んで設けられるとともに、着脱可能に固定されている。対向する部品供給部５３群の間には、基板搬送コンベア５１が設けられている。基板搬送コンベア５１は、矢印Ｆの方向から搬送されてくる基板を所定の位置に位置決めして、基板５２上に部品が装着された後、矢印Ｇの方向に搬送する。

５５は、基板５２が搬送される方向と同じ方向に長い一対のＸビームである。Ｘビーム５５の両端部には、図示していないアクチュエータ（例えば、リニアモータ等）が取り付けられている。Ｘビーム５５は、このアクチュエータにより、基板５２が搬送される方向と直交する方向に、Ｙビーム５７に沿って移動可能に支持されており、部品供給部５３と基板５２との間を行き来する。さらに、Ｘビーム５５には、図示していないアクチュエータ（例えば、リニアモータ等）により、Ｘビーム５５の長手方向に、Ｘビームに沿って移動する装着ヘッド５４が設置されている。

部品供給部５３と基板搬送コンベア５１との間には、認識カメラ５６とノズル保管部５８が配置されている。認識カメラ５６は、部品供給部５３で、装着ヘッド５４に吸着した部品の位置ずれ情報を取得するためのものである。認識カメラ５６を用いて部品を撮影することにより、部品が基板搬送方向及び基板搬送方向と直交する方向にどれだけ位置ずれしているか、また、回転角度はどの程度かを確認できる。言うまでもなく、認識カメラ５６により、部品が吸着されているか否かを確認することも可能である。Ｘビーム５５及びＹビーム５７が並行して動作することにより、部品供給部５３から基板５２上に移動する際に、装着ヘッド５４は認識カメラ５６上を通過させられ、前述した部品の位置ずれ情報を取得する。

ノズル保管部５８は、種々の部品を吸着及び装着するために必要な、装着ヘッド５４の取り付けられた図示していない複数のノズル（後図で説明する）を保管しておくところである。部品に対応したノズルを取り付けるように指示された場合、装着ヘッド５４はＸビーム５５及びＹビーム５７の並行動作により、ノズル保管部５８まで移動させられ、ノズルを交換する。

図２〜図５を用いて、実施例１の装着ヘッド及びそれを用いた部品装着装置を説明する。

図２は、装着ヘッドの概略を示す図である。回転可能に支持された回転軸２０と、回転軸２０と連結して、回転軸２０を回転させるロータ２１ａとステータ２１ｂと、第１のアクチュエータ２１を備える。回転軸２０には、第２の保持部２２が固定されたスプラインシャフト２３が取り付けられ、回転軸２０に対して回転可能に支持されている。また、回転軸２０には、第１のタイミングプーリ２４が設けられている。第１のタイミングプーリ２４には、タイミングベルト２６がかけられており、タイミングベルト２６の他端には、第２のアクチュエータ２７に取り付けられた第２のタイミングプーリ２５が設けられている。従って、第２のアクチュエータ２７が回転すると、第２のタイミングプーリ２５，タイミングベルト２６，第１のタイミングプーリ２４を介して、スプラインシャフト２３を矢印Ｃのように、両方向に回転させることができる。スプラインシャフト２３には、第１の保持部２８が固定された上下移動部２９が、スプラインシャフト２３に対して、上下方向に移動可能に支持されている。

また、上下移動部２９は、その端部を上下移動部支持部３０により、上下方向を拘束されるとともに、水平方向には相対移動が可能なように支持されている。さらに、上下移動部支持部３０は、図示していない第３のアクチュエータにより、矢印Ｄのように、上下に移動させることが可能である。第１の保持部２８は、第２の保持部２２にある切欠部に隙間をもって嵌め合わせる（嵌合する）ことが可能な形状になっており、第１の保持部２８の上面と第２の保持部２２の上面は、ほぼ同一平面上となるように構成されている。さらに、第１の保持部２８と第２の保持部２２の上面には、ノズル組立体８の端部が接触して保持されており、ノズル組立体８の他端には部品３１が吸着される。さらに、第１のアクチュエータ２１のロータ２１ａには、ノズル組立体８が上下方向に移動可能に支持されており、ロータ２１ａが矢印Ｅのように回転すると、ノズル組立体８も回転する。この時、第１の保持部２８と第２の保持部２２の上面に接触して保持されたノズル組立体８の端部は、第１の保持部２８と第２の保持部２２とを相対移動させることが可能となるように支持されている。

さらに、第１のアクチュエータ２１のロータ２１ａには、第３の保持部４０を有する保持部支持部４１が備えられており、第１のアクチュエータ２１が矢印Ｅのように回転すると、ロータ２１ａに従って、第３の保持部４０を有する保持部支持部４１も回転する。保持部支持部４１は、ノズル組立体８を上から覆うように設けられている。また、第３の保持部４０の底面は、ノズル組立体８の頭頂部と対向して設置されており、第１の保持部とは異なる位置でノズル組立体８を保持している。また、第３の保持部４０は、ノズル組立体８の頭頂部と接触して、ノズル組立体８を保持することができる。このとき、第３の保持部４０の保持力は、例えば、磁力であっても良いし、真空圧を利用した吸着力であってもよいし、機械的にノズル組立体８を拘束する力であっても良い。

磁力で保持する場合、永久磁石とコイルの組合せにより、保持するときは、永久磁石の磁力により保持し、リリースするときは、コイルに電流を流して永久磁石の磁力線を打ち消す方向に磁力線を発生させて保持力を減少させることによりリリースすることもできる。

また、真空圧で保持する場合、真空圧の導く経路上に電磁バルブを配置し、ノズル組立体を保持する場合、電磁バルブが真空圧を導入する方向に働いてノズル組立体を保持し、リリースする場合、電磁バルブが大気圧を導入する方向に作用して、保持力を減少させることもできる。

また、第３の保持部４０を有する保持部支持部４１は、すべてのノズルを有するノズル組立体８に対して全数取り付けられれば、装着ヘッドが有するノズル組立体８を任意に選択して第３の保持部４０に保持することが可能である。あるいは、所定のノズル組立体８にのみ取り付けられても良い。

図３は、実施例１のノズル組立体８近傍の詳細図を示す図であり、図４は、図３の上面図である。ノズル組立体８は、ノズル７と、ノズル７を接続するノズルシャフト６と、ノズルシャフト６を支持する第１の支持部５と、第１の支持部５の端部に回転可能に取り付けられた第２の支持部４とから成る。第１の保持部２８は第２の支持部４を下方向から保持し、第２の保持部２２は第１の保持部２８と嵌め合わされ、第３の保持部４０は第１の支持部５を上方向から保持する。ノズル組立体８の第２の支持部４が、第１の保持部２８及び第２の保持部２２と接触して転がることにより、選択した任意のノズルを第２の保持部まで移動させ、図示していないモータにより第１の保持部２８を上下動作させ、吸着が必要なノズル組立体８を選択する。ノズルの選択は、図４に示すように、第２の保持部２２には切欠部が存在し、第１の保持部２８が隙間を設けて、嵌め合わされている。前述の構成から、矢印Ｂのように回転すると、第２の保持部２２の上面と第１の保持部２８の上面との面位置は、ほぼ同一平面上に設けてあるので、第１の支持部５ａに取り付けられた第１の支持部５ｂ及び第２の支持部４ａに取り付けられた第２の支持部４ｂは、第１の保持部２８と第２の保持部２２の上面を転がる。また、図４の場合、第１の保持部２８上に、第１の支持部５ａに取り付けられた第２の支持部４ａがあるので、第１の支持部５ａ及び第２の支持部４ａを含むノズル組立体が選択され、吸着あるいは装着位置に移動させられるか、ノズル退避位置に移動させることが可能である。

図５は、実施例１の装着ヘッドを示す図であり、装着ヘッドの装着動作，吸着動作，退避動作を説明する。

一点鎖線９，１０，１１は、それぞれ、ノズル先端基準位置，ノズル吸着装着位置，ノズル退避位置を示す。図５（ａ）は、ノズル先端はノズル先端基準位置９にあり、この状態で部品供給部とプリント基板との間を移動する。また、ノズル組立体８が第１の保持部２８上にあるので、ノズル組立体８が選択されている様子を示す。図５（ｂ）は、選択されたノズル組立体８が、部品供給部（図示せず）から部品を吸着する動作を示す。選択されたノズル組立体８は、第１の保持部２８により保持されたまま、図示していない第３のアクチュエータにより下方に移動させられ、ノズル吸着装着位置１０に到達すると、図示していないが部品を真空圧による吸着力によりノズルに吸着する。装着の場合、ノズル吸着装着位置１０に到達すると、真空圧を図示していないバルブにより大気開放することにより、吸着力をゼロにしてノズルから部品をはずし、プリント基板上に部品を装着する。図５（ｃ）は、選択されたノズル組立体８をノズル退避位置１１に移動させる動作を示す。選択されたノズル組立体８は、第１の保持部２８により保持されたまま、図示していない第３のアクチュエータにより上方に移動させられ、ノズル退避位置１１に到達すると、第３の保持部４０により選択されたノズル組立体８の頭頂部を保持する。その後、図５（ｄ）のように、選択されたノズル組立体８は、第３の保持部４０により保持されたままで、第１の保持部２８が図示していない第３のアクチュエータにより下方に移動させられる。そして、第１の保持部２８の上面と第２の保持部２２の上面とが同一平面上あるいはほぼ同一平面上となると、次のノズル組立体８を選択するために、図示していないが第２のアクチュエータ２７により、回転軸２０周りに第１の保持部２８と第２の保持部２２を回転させる。

上述したように、ノズル組立体８を、第１の保持部２８を用いて第３の保持部４０に保持するようにしたため、部品と干渉する恐れのあるノズルを装着ヘッドから取り外すことなく、据え付けたままで退避させることが可能となるため、ノズルの取り外し及び再据え付けの時間を短縮でき、プリント基板の生産性を向上させることができる。

実施例１の具体的な効果を図８及び図９を用いて説明する。

図８は、ノズル組立体８のノズル先端で形成される平面における部品干渉回避の効果を説明する図である。図８（ａ）は従来の機構の場合、図８（ｂ）は実施例１の機構の場合を示す。図８の上図は、装着ヘッドの側面図であり、下図は装着ヘッドを下方から見た図である。

図８（ａ）で示されているように、部品３１ａ及び３１ｂのような長尺な部品を吸着する場合、ノズル吸着位置Ｋの位置でノズル組立体８ｂが部品３１ｂを吸着した後、ロータ２１ａが矢印Ｌの方向に回転することにより、図８（ａ）に示された位置にノズル組立体８ｂが移動する。さらに、ノズル吸着位置Ｋの位置でノズル組立体８ａが次の部品３１ａを吸着して保持しようとすると、Ｊで示された領域のように部品３１ａと３１ｂが干渉することになり、部品の脱落や位置ずれの恐れがある。

一方、実施例１の図８（ｂ）では、最初にノズル吸着位置Ｋの位置でノズル組立体８ｂが部品３１ｂを吸着した後、第３の保持部（図示せず）で部品３１ｂを保持し、ロータ２１ａは矢印Ｌの方向に回転する。この動作により、図８（ｂ）に示されたように、ノズル組立体８ｂは、他のノズル組立体のノズル先端により形成された平面と異なる平面で、部品３１ｂを保持する。次の部品３１ａの吸着動作時に、ノズル組立体８ａが部品３１ａを吸着して保持しても、部品３１ａと３１ｂを保持する平面が異なる平面であるため、部品間の干渉は発生しない。

また、部品３１ａがノズル組立体８ａに隣接するノズル組立体のノズル先端位置まで干渉する長尺形状であっても、ノズル組立体８ａに隣接するノズル組立体が部品を吸着することなく上方で保持されることにより、部品３１ａとの干渉を回避することが可能である。

図９は、高さの異なる部品を取扱う場合の実施例１の効果を説明する図である。図９（ａ）は従来の機構の場合を示し、図９（ｂ）は実施例１の場合の機構を示す。図９の上図は装着ヘッドの側面図であり、下図は装着ヘッドを下方から見た図である。また、図９では、部品３１ｃと部品３１ｄを用いて、部品３１ｃの高さが部品３１ｄの高さよりも高い場合について説明する。図９（ａ）において、部品３１ｃと部品３１ｄとを同時に取り扱う場合、基板と部品３１ｃとが接触しないように、ｄ１なる距離を確保する必要がある。この場合、部品３１ｃの高さとｄ１と基板上の最大高さの部品の高さとの和であるｄ２なる距離だけ、基板とノズル先端で形成される平面を離す必要がある。従って、ノズル組立体８ｂに吸着された部品３１ｄは、ｄ２なる距離分を上下動する必要があるため、部品３１ｃを吸着した場合、部品３１ｄと同等の部品を吸着した場合よりもノズル上下動の移動距離が長くなるため、吸着及び装着動作に時間がかかる。

一方、実施例１の図９（ｂ）では、ノズル組立体８ａのように、第３の保持部（図示せず）により、上方で部品３１ｃを保持することが可能となる。このため、ｄ２なる距離を小さくするとともに、ノズル組立体の上下動の移動距離を短くすることが可能となるため、吸着及び装着動作の時間を短縮することができる。

図６は、実施例２の装着ヘッドを示す図である。実施例１と同じ点については、説明を省略する。

第３の保持部４０を取り付けられた保持部支持部４１において、第３の保持部４０を移動可能に支持する第４のアクチュエータ４２を備えることで、ノズル退避位置をノズルごとに任意に変更するものである。これにより、装着する部品の凹凸情報により、ノズル退避位置を上下することが可能となり、ノズルの取り外し及び再据え付けすることなしに対応できる部品を増加させることになり、さらにプリント基板の生産性を向上させることができる。

従来の装着ヘッドを示す図である。 実施例１の装着ヘッドを示す図である。 実施例１の装着ヘッドの詳細を示す図である。 実施例１の装着ヘッドのノズル選択方法を示す図である。 実施例１の装着ヘッドの動作を示す図である。 実施例２の装着ヘッドを示す図である。 実施例１の装着ヘッドを備える部品装着装置を示す図である。 実施例１の装着ヘッドの動作の一例を示す図である。 実施例１の装着ヘッドの動作の一例を示す図である。

符号の説明

４，４ａ，４ｂ 第２の支持部
５，５ａ，５ｂ 第１の支持部
６ ノズルシャフト
７ ノズル
８ ノズル組立体
９ ノズル先端基準位置
１０ ノズル吸着装着位置
１１ ノズル退避位置
２０ 回転軸
２１ 第１のアクチュエータ
２１ａ ロータ
２１ｂ ステータ
２２ 第２の保持部
２３ スプラインシャフト
２４ 第１のタイミングプーリ
２５ 第２のタイミングプーリ
２６ タイミングベルト
２７ 第２のアクチュエータ
２８ 第１の保持部
２９ 上下移動部
３０ 上下移動部支持部
３１ 部品（例えば、電子部品）
４０ 第３の保持部
４１ 保持部支持部
４２ 第４のアクチュエータ
５０ 部品装着装置
５１ 基板搬送コンベア
５２ 基板
５３ 部品供給部
５４ 装着ヘッド
５５ Ｘビーム
５６ 認識カメラ
５７ Ｙビーム
５８ ノズル保管部
５９ 基台

Claims (12)

1. 部品を供給する部品供給部と、
   前記部品供給部から部品を吸着するノズルと、前記ノズルと接続されたノズルシャフトと、前記ノズルシャフトを支持する支持部とを有するノズル組立体と、
   前記ノズル組立体の少なくとも一部を保持する第１の保持部と、
   前記第１の保持部が嵌め合わせられた第２の保持部と、
   前記第１の保持部が前記ノズル組立体を保持する位置とは異なる位置で前記ノズル組立体を保持する第３の保持部とを備えたことを特徴とする部品装着装置。
2. 請求項１に記載の部品装着装置であって、
   前記異なる位置は、前記第３の保持部の底面であることを特徴とする部品装着装置。
3. 請求項２に記載の部品装着装置であって、
   前記第３の保持部を支持する保持部支持部を備え、
   前記保持部支持部は、前記ノズル組立体を覆うように設けられたことを特徴とする部品装着装置。
4. 請求項３に記載の部品装着装置であって、
   前記保持部支持部には、上下方向に移動するアクチュエータが設けられ、
   前記第３の保持部は、前記アクチュエータに設けられたことを特徴とする部品装着装置。
5. 請求項４に記載の部品装着装置であって、
   前記第３の保持部は、前記ノズル組立体を磁力で保持することを特徴とする部品装着装置。
6. 請求項４に記載の部品装着装置であって、
   前記第３の保持部は、前記ノズル組立体を真空力で保持することを特徴とする部品装着装置。
7. 部品を供給する部品供給部と、
   前記部品供給部から部品を吸着するノズルと、前記ノズルと接続されたノズルシャフトと、前記ノズルシャフトを支持する第１の支持部と、前記第１の支持部の端面に設けられた第２の支持部とを有するノズル組立体と、
   前記第２の支持部を下方向から保持する第１の保持部と、
   前記第１の保持部が嵌め合わされた第２の保持部と、
   前記第１の支持部を上方向から保持する第３の保持部とを備えたことを特徴とする部品装着装置。
8. 請求項７に記載の部品装着装置であって、
   前記第３の保持部を支持する保持部支持部を備え、
   前記保持部支持部は、前記ノズル組立体を覆うように設けられたことを特徴とする部品装着装置。
9. 請求項８に記載の部品装着装置であって、
   前記保持部支持部には、上下方向に移動するアクチュエータが設けられ、
   前記第３の保持部は、前記アクチュエータに設けられたことを特徴とする部品装着装置。
10. 請求項９に記載の部品装着装置であって、
    前記第３の保持部は、前記ノズル組立体を磁力で保持することを特徴とする部品装着装置。
11. 請求項９に記載の部品装着装置であって、
    前記第３の保持部は、前記ノズル組立体を真空力で保持することを特徴とする部品装着装置。
12. 部品を吸着するノズルと、
    前記ノズルを支持する支持部と、
    前記支持部を下方から保持する第１の保持部と、
    前記第１の保持部が嵌め合わされた第２の保持部と、
    前記支持部を上方から保持する第３の保持部とを備えた装着ヘッド。

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