JP2024087912A - 検査装置 - Google Patents

Abstract

【課題】検査対象物におけるフレキシブルプリント基板の仕様変更への対応が容易な検査装置を提供する。
【解決手段】検査装置１は、基板１０１に接続されるフレキシブルプリント基板の先端に被給電部１１５を設けた表示パネルを点灯検査する。検査装置１は、検査用給電部６１およびカメラ６２を備える検査ユニット６を装置本体１０の検査ユニット取付部１１に着脱可能に固定して、表示パネルのタイプ毎に検査ユニット６を交換して検査を行う。装置本体１０は、検査ユニット取付部１１をθ軸回りに傾ける第１角度調整機構７と、第１角度調整機構７をＸ軸回りに９０°傾けることにより第１角度調整機構７のθ軸の向きを変更する第２角度調整機構８と、検査ユニット取付部１１、第１角度調整機構７、および第２角度調整機構８をＸ軸方向、Ｙ軸方向、およびＺ軸方向に移動させる位置調整機構９を備える。
【選択図】図３

Description

本発明は、検査対象物を検査する検査装置に関する。

特許文献１、２には、検査対象物に通電して点灯状態を検査する検査装置が記載される。特許文献１では、検査対象物は液晶表示パネルである。特許文献１の検査装置は、検査台と、検査台に固定された信号供給ユニットを備える。検査台に載置された検査対象物に信号供給ユニットの端子コネクタを装着して液晶駆動信号を入力し、点灯状態を検査する。

特許文献２の検査装置は、検査対象物がフレキシブルプリント基板を備えており、フレキシブルプリント基板の被給電部に検査用給電部を接触させ、検査対象物に給電して点灯状態を検査する。フレキシブルプリント基板は、検査装置に設けられた吸着ヘッドに吸着されて鉛直方向に延ばされ、被給電部を検査用給電部に向けた位置に保持される。

特開２００１－２７２３０５号公報 特開２０２１－１４４１５７号公報

フレキシブルプリント基板に被給電部が設けられた検査対象物は、製品仕様の変更により、フレキシブルプリント基板の形状や引き出し方向、被給電部の位置などが変わることがある。また、同一表示パネルでも生産工程位置の違いでフレキシブルプリント基板の引き出し方向が変わる。その場合、検査装置の側で、検査用給電部の位置や向きが変更後の検査対象物の仕様に対応していなければ、検査を行うことができない。従来は、検査対象物の仕様毎に、専用の検査装置を設計していた。そのため、検査対象物の仕様変更に柔軟に対応できないという問題がある。

特許文献２の検査装置は、フレキシブルプリント基板の仕様が異なる２種類の検査対象物を検査するため、異なる位置に配置される２つの吸着ヘッドを備える。従って、同一の装置で２種類の仕様に対応できるものの、吸着ヘッドの数を増やして対応できる仕様の数を増やしているため、新たな仕様に対応するためには、吸着ヘッドを更に増やした新たな装置を設計しなければばらない。また、検査用給電部の位置は変更できず、１方向からの給電にしか対応できないため、被給電部への接続方向が変わる場合には、装置を設計し直さなければならない。

本発明の課題は、上記の課題を解決するため、検査対象物におけるフレキシブルプリント基板の仕様変更への対応が容易な検査装置を提供することにある。

上記の課題を解決するために、本発明は、基板と、一端が前記基板に接続され他端に被給電部が設けられたフレキシブルプリント基板と、を有する検査対象物を検査する検査装置であって、検査用給電部およびカメラを備える検査ユニットと、前記検査ユニットが着脱可能に固定される検査ユニット取付部を備える装置本体と、を有し、前記装置本体は、前記検査対象物を検査位置に搬送する搬送機構と、前記検査ユニット取付部を傾ける第１
角度調整機構と、Ｚ軸に沿う方向をＺ軸方向とし、前記Ｚ軸と交差するＹ軸に沿うＹ軸方向を前記搬送機構の搬送方向とし、前記Ｚ軸と交差し且つ前記Ｙ軸と交差するＸ軸に沿う方向をＸ軸方向とする場合に、前記第１角度調整機構を、前記Ｙ軸回りの第１回転方向の角度調整が可能な第１位置、および、前記第１位置から前記Ｘ軸回りに９０°傾いており前記Ｚ軸回りの第２回転方向の角度調整が可能な第２位置に移動させる第２角度調整機構と、前記検査ユニット取付部、前記第１角度調整機構、および前記第２角度調整機構を前記Ｘ軸方向、前記Ｙ軸方向、および前記Ｚ軸方向に移動させる位置調整機構と、を備えることを特徴とする。

本発明によれば、装置本体に取り付けた検査ユニットは、互いに直交するＸ軸方向、Ｙ軸方向、Ｚ軸方向の位置調整と、Ｚ軸あるいはＹ軸と一致するθ軸回りの角度調整の４軸での位置調整および角度調整が可能である。また、検査ユニット自体の向きを９０°傾けることができるため、直交する２方向のどちらの方向からでも検査が可能であり、角度調整のθ軸の向きを変更可能である。さらに、検査用給電部およびカメラがユニット化されており装置本体に着脱可能であるため、検査用給電部およびカメラの配置や向きをユニット交換により変更できる。従って、検査対象物におけるフレキシブルプリント基板の仕様変更への対応が容易であり、フレキシブルプリント基板の形状や引き出し方向、あるいは、被給電部の向きや配置、種類やサイズが変わったとしても、装置本体はそのまま使用でき、最小限のユニット交換のみで対応できる。

本発明において、前記検査ユニットを制御して前記カメラにより前記検査位置に搬送された前記検査対象物を撮影し、前記カメラの撮影画像に基づいて前記位置調整機構および前記第１角度調整機構を制御して、前記検査位置に搬送された前記検査対象物の前記被給電部と前記検査用給電部とが接続される位置に前記検査ユニットを移動させる制御部を備えることが好ましい。このようにすると、自動で検査を行うことができる。また、本発明では、カメラが検査用給電部と共に検査ユニットに搭載されており、検査用給電部とカメラの位置関係が固定されている。従って、自動で検査を行う際、カメラで撮影した撮影画像に基づいて検査用給電部を被給電部まで移動させる際の位置制御を精度良く行うことができる。また、検査ユニットの交換時に、検査用給電部とカメラの位置関係を精度良く合わせる作業が不要である。従って、検査ユニットの交換作業が容易であり、検査対象物の仕様変更に対応する際の負荷が少ない。

本発明において、前記Ｚ軸方向は、鉛直方向である。このようにすると、検査ユニットをＺ軸回りに回転させることにより、水平に回転させることができる。従って、搬送面に載せられて水平に搬送される検査対象物の端部から引き出した短いフレキシブルプリント基板に被給電部が設けられている場合に、鉛直方向を向く被給電部に対して、検査ユニットを水平に回転させて位置合わせして、検査を行うことができる。

本発明において、前記第１角度調整機構は、前記検査ユニット取付部が固定される第１の可動部と、前記第１の可動部を回転可能に支持する第１の支持部を備え、前記第２角度調整機構は、前記第１の支持部が固定される第２の可動部と、前記第２の可動部を前記第１の可動部の回転方向と交差する方向に回転可能に支持する第２の支持部と、前記第２の可動部を駆動するアクチュエータと、を備え、前記アクチュエータは、前記第２の支持部に配置されるシリンダであり、前記シリンダのロッドが前記第２の可動部に連結されることが好ましい。このようにすると、シリンダの伸縮動作によって、検査ユニット取付部および第１角度調整機構を第１角度調整機構による回転方向と交差する回転方向に傾けることができる。

本発明において、前記検査ユニット取付部は、前記検査ユニットとして、第１検査ユニット、第２検査ユニット、および第３検査ユニットのいずれかを選択的に取り付け可能で
あり、前記第１検査ユニットは、前記第１位置に移動した前記第１角度調整機構に前記検査ユニット取付部を介して取り付けたときに、前記カメラおよび前記検査用給電部が前記Ｙ軸方向を向くように配置されており、前記第２検査ユニットは、前記第２位置に移動した前記第１角度調整機構に前記検査ユニット取付部を介して取り付けたときに、前記カメラおよび前記検査用給電部が前記Ｚ軸方向の一方側を向くように配置されており、前記第３検査ユニットは、前記第２位置に移動した前記第１角度調整機構に前記検査ユニット取付部を介して取り付けたときに、前記カメラおよび前記検査用給電部が前記Ｚ軸方向の他方側を向くように配置されていることが好ましい。このようにすると、第１検査ユニットを使用するときは、例えば、搬送機構によって水平に搬送される検査対象物の前端あるいは後端から垂れ下がるフレキシブルプリント基板を備えるタイプの検査対象物を検査できる。また、第２検査ユニット、および第３検査ユニットを使用するときは、例えば、搬送機構によって水平に搬送される検査対象物の端部から水平にフレキシブルプリント基板が突出するタイプの検査対象物を検査できる。第２検査ユニットと第３検査ユニットは、一方がフレキシブルプリント基板の一方面に被給電部が設けられているタイプの検査対象物を検査でき、他方がフレキシブルプリント基板の他方面に被給電部が設けられているタイプの検査対象物を検査できる。

本発明において、前記検査ユニット取付部は、前記検査ユニットとして、前記第１検査ユニット、前記第２検査ユニット、前記第３検査ユニット、および第４検査ユニットのいずれかを選択的に取り付け可能であり、前記第３検査ユニットと前記第４検査ユニットは、前記検査用給電部の前記Ｚ軸方向と交差する方向の配置が異なることが好ましい。このようにすると、検査対象物におけるフレキシブルプリント基板の引き出し方向の違いに対応できる。例えば、第３検査ユニットは、フレキシブルプリント基板が基板から搬送方向に引き出されるタイプの検査対象物に使用でき、第４検査ユニットは、フレキシブルプリント基板が基板から搬送方向と交差する方向に引き出されるタイプの検査対象物に使用できる。

本発明によれば、検査ユニットは、互いに直交するＸ軸方向、Ｙ軸方向、Ｚ軸方向の位置調整と、θ軸回りの角度調整の４軸での位置調整および角度調整が可能である。また、検査ユニット自体の向きを９０°傾けることができるため、直交する２方向のどちらの方向からでも検査が可能であり、角度調整のθ軸の向きを変更可能である。さらに、検査用給電部およびカメラがユニット化されており装置本体に着脱可能であるため、検査ユニット自体を異なるタイプのものに交換できる。従って、検査対象物におけるフレキシブルプリント基板の仕様変更への対応が容易であり、フレキシブルプリント基板の形状や引き出し方向、あるいは、被給電部の向きや配置、種類やサイズが変わったとしても、装置本体はそのまま使用でき、最小限のユニット交換のみで対応できる。

本発明の実施形態に係る検査装置の側面図である。 検査対象物である表示パネルの説明図である。 第１表示パネルを検査する場合の検査部の構成例である。 第１検査ユニットの説明図である。 第２表示パネルを検査する場合の検査部の構成例である。 第２検査ユニットの説明図である。 第３表示パネルを検査する場合の検査部の構成例である。 第３検査ユニットの説明図である。 第４表示パネルを検査する場合の検査部の構成例である。 第４検査ユニットの説明図である。

以下に、図面を参照して、本発明を適用した検査装置の実施形態を説明する。

図１は、本発明の実施形態に係る検査装置１の側面図である。図２は、検査対象物である表示パネルの説明図である。検査装置１は、検査対象物として、液晶パネルや有機ＥＬパネル等の表示パネルを点灯検査するための装置である。検査対象物の表示パネルは、例えば、携帯端末等に使用される比較的小型の表示パネルである。

（表示パネル）
図２には、タイプが異なる複数の表示パネルの例を示す。図２（ａ）は、第１表示パネル１００Ａの斜視図である。図２（ｂ）は、第２表示パネル１００Ｂの斜視図である。図２（ｃ）は、第３表示パネル１００Ｃの斜視図である。図２（ｄ）は、第４表示パネル１００Ｄの斜視図である。

図２（ａ）に示すように、第１表示パネル１００Ａは、基板１０１と、基板１０１の長手方向の一端に接続されたフレキシブルプリント基板１１１Ａを備える。基板１０１は、長方形の平板形状である。基板１０１は、画像を表示する表示部１０２を備える。フレキシブルプリント基板１１１Ａは、先端部に被給電部１１５が設けられている。被給電部１１５は、フレキシブルプリント基板１１１Ａの一方面１１６に配置される。フレキシブルプリント基板１１１Ａは、基板１０１の長手方向の一端から下向きに延びる。

図２（ｂ）に示すように、第２表示パネル１００Ｂは、基板１０１の長手方向の一端に接続されるフレキシブルプリント基板１１１Ｂを備える。フレキシブルプリント基板１１１Ｂは、フレキシブルプリント基板１１１Ａよりも引き出し長さが短く、基板１０１の端部から水平に延びる。フレキシブルプリント基板１１１Ｂは、一方面１１６が下向きとなり、他方面１１７が上向きとなる。被給電部１１５は、上側を向く他方面１１７に配置される。

図２（ｃ）に示すように、第３表示パネル１００Ｃは、基板１０１の長手方向の一端に接続されるフレキシブルプリント基板１１１Ｃを備える。第３表示パネル１００Ｃは、フレキシブルプリント基板１１１Ｃの他方面１１７ではなく、下側を向く一方面１１６に被給電部１１５が配置されることを除き、第２表示パネル１００Ｂと同一に構成される。

図２（ｄ）に示すように、第４表示パネル１００Ｄは、基板１０１の短手方向の一端に接続されるフレキシブルプリント基板１１１Ｄを備える。フレキシブルプリント基板１１１Ｄは、基板１０１の端部から水平に延びる。フレキシブルプリント基板１１１Ｄは、一方面１１６が下向きとなり、他方面１１７が上向きとなる。被給電部１１５は、下側を向く一方面１１６に配置される。

（検査装置）
本明細書において、Ｘ軸、Ｙ軸、Ｚ軸は互いに直交する方向である。Ｘ軸に沿う方向をＸ軸方向とし、Ｙ軸に沿う方向をＹ軸方向とし、Ｚ軸に沿う方向をＺ軸方向とする。Ｘ軸方向の一方側をＸ１、Ｘ軸方向の他方側をＸ２とする。Ｙ軸方向の一方側をＹ１、Ｙ軸方向の他方側をＹ２とする。Ｚ軸方向の一方側をＺ１、Ｚ軸方向の他方側をＺ２とする。Ｚ軸方向は鉛直方向（上下方向）である。Ｚ１方向は、上方であり、Ｚ２方向は、下方である。Ｘ軸方向およびＹ軸方向は、水平方向である。

検査装置１は、図２に例示する第１表示パネル１００Ａ、第２表示パネル１００Ｂ、第３表示パネル１００Ｃ、および第４表示パネル１００Ｄのような小型の表示パネルの製造ラインに組み込まれて使用される。検査装置１は、表示パネルに対して点灯検査を行う検査部２と、検査部２による検査位置Ｐに表示パネルを供給する供給部３を備える。供給部
３は、表示パネルを搬送する搬送機構４と、検査工程の前後の工程の装置と搬送機構４との間で表示パネルを受け渡すローダー５を備える。ローダー５は、前工程の装置から表示パネルを受け取って搬送機構４に受け渡す動作、および、搬送機構４から表示パネルを受け取って後工程の装置に受け渡す動作を行う。

搬送機構４は、基板吸着シャトル４１を備えており、基板吸着シャトル４１の吸着面に表示パネルの基板１０１を吸着してＹ軸方向に搬送する。搬送機構４は、ローダー５から検査部２へ向かうＹ１方向、および、検査部２からローダー５へ戻るＹ２方向に表示パネルを搬送する。検査位置Ｐは、例えば、基板吸着シャトル４１のＹ１方向の端部の位置である。基板吸着シャトル４１は、姿勢矯正ユニット４２を備える。姿勢矯正ユニット４２は、例えば、基板吸着シャトル４１に載せられた表示パネルが図２（ａ）に示す第１表示パネル１００Ａであったときは、第１表示パネル１００Ａをケースに装着するために、フレキシブルプリント基板１１１Ａが第１表示パネル１００Ａの裏面に接する位置に曲げられているので、フレキシブルプリント基板１１１Ａを吸着ヘッドにより吸着してから、吸着ヘッドをＺ２方向に回転させることにより、フレキシブルプリント基板１１１Ａの姿勢をＺ２方向に直線状に垂れ下がる姿勢に矯正する。

検査装置１は、設置面Ｓに設置される装置本体１０と、装置本体１０に設けられた検査ユニット取付部１１に着脱可能に固定される検査ユニット６を備える。上記の供給部３は、装置本体１０を構成する。以下に説明する検査部２において、検査ユニット６を除く部分は、全て、装置本体１０を構成する。

検査ユニット６は、検査対象物である表示パネルの仕様に対応する構成になっている。例えば、表示パネルの仕様として、図２に示す４種類の仕様を想定する場合、検査ユニット６として、第１表示パネル１００Ａの検査に用いる第１検査ユニット６Ａ、第２表示パネル１００Ｂの検査に用いる第２検査ユニット６Ｂ、第３表示パネル１００Ｃの検査に用いる第３検査ユニット６Ｃ、および、第４表示パネル１００Ｄの検査に用いる第４検査ユニット６Ｄを用意する。検査ユニット取付部１１は、４種類の検査ユニット６のいずれかを選択的に取り付けることが可能である。また、上記の４種類の仕様とは異なる新たな仕様の検査対象物を検査する場合は、対応する新たな検査ユニットを追加で用意することもできる。

（第１構成例）
図３は、第１表示パネル１００Ａを検査する場合の検査部２の構成例である。図３（ａ）は、検査部２の平面図であり、図３（ｂ）は、検査部２の側面図である。第１表示パネル１００Ａを検査する場合、第１検査ユニット６Ａを検査ユニット取付部１１に取り付ける。従って、検査部２は、第１検査ユニット６Ａと、検査ユニット取付部１１と、第１角度調整機構７と、第２角度調整機構８と、位置調整機構９とを備える。検査ユニット取付部１１、第１角度調整機構７、第２角度調整機構８、および位置調整機構９は、装置本体１０を構成する。第１角度調整機構７は、検査ユニット取付部１１をθ軸回りに傾ける機構である。第１角度調整機構７により、検査ユニット取付部１１に取り付けた第１検査ユニット６Ａのθ軸回りの傾きを調整する。

第２角度調整機構８は、第１角度調整機構７を傾ける機構である。第２角度調整機構８により第１角度調整機構７を傾けると、第１角度調整機構７のθ軸の向きが変わる。第２角度調整機構８は、第１角度調整機構７を９０°傾けることにより、第１角度調整機構７のθ軸の向きをＹ軸方向からＺ軸方向に変化させる。また、第１角度調整機構７を９０°傾けることにより、検査ユニット取付部１１の向きが９０°傾く。これにより、検査ユニット取付部１１に取り付けた検査ユニット６の向きが９０°傾く。図３に示す構成例（検査ユニット６として第１検査ユニット６Ａを装着した構成例）では、θ軸の向きがＹ軸方
向と一致する姿勢で第１角度調整機構７が配置され、第１検査ユニット６Ａは検査位置Ｐ（図１参照）に対してＹ軸方向に対向する。後述する他の構成例では、θ軸の向きがＺ軸方向と一致する姿勢で第１角度調整機構７が配置され、検査ユニット６は検査位置Ｐに対してＺ軸方向に対向する。

位置調整機構９は、検査装置１が設置される設置面Ｓに配置される。位置調整機構９は、第１移動機構９１、第２移動機構９２、および第３移動機構９３を備える。第１移動機構９１は、設置面Ｓに対して第１移動部材９４をＹ軸方向に移動させる。第２移動機構９２は、第１移動部材９４に対して第２移動部材９５をＸ軸方向に移動させる。第３移動機構９３は、第２移動部材９５に対して第３移動部材９６をＺ軸方向に移動させる。検査ユニット取付部１１は、第１角度調整機構７および第２角度調整機構８を介して第３移動部材９６に支持される。従って、位置調整機構９は、第１検査ユニット６Ａ、検査ユニット取付部１１、第１角度調整機構７、および第２角度調整機構８を一体にしてＸ軸方向、Ｙ軸方向、およびＺ軸方向に移動させる。

第２角度調整機構８は、可動部８１と、支持部８２と、駆動部８３を備える。支持部８２は、位置調整機構９の第３移動部材９６に固定される。可動部８１は、支持部８２に設けられた回転支持部８４により、Ｘ軸方向に延びる回転軸線Ｒ周りに回転可能に支持される。駆動部８３は、アクチュエータとしてシリンダ８５を備える。シリンダ８５は、先端に可動部８１が連結されたロッド８６を備える。第２角度調整機構８は、ロッド８６を突出位置８６Ａ（図３参照）と引き込み位置８６Ｂ（図５、図７、図９参照）に移動させることにより、回転支持部８４を中心として可動部８１を９０°回転させる。

図４は、第１検査ユニット６Ａの説明図である。図４には、検査ユニット取付部１１を介して第１角度調整機構７に第１検査ユニット６Ａを取り付けた状態を表示しており、図４（ａ）は平面図であり、図４（ｂ）は側面図であり、図４（ｃ）は正面図である。第１角度調整機構７は、可動部７１と、支持部７２と、駆動部７３を備える。支持部７２は、第２角度調整機構８の可動部８１に固定される。可動部７１には、検査ユニット取付部１１を介して第１検査ユニット６Ａが固定される。駆動部７３は、支持部７２に対して可動部７１をθ軸回りに相対回転させるアクチュエータを備える。第１検査ユニット６Ａは、検査用給電部６１およびカメラ６２と、検査用給電部６１およびカメラ６２を保持するホルダ６３Ａを備える。

図３に示すように、第１構成例では、第２角度調整機構８のロッド８６が突出位置８６Ａに移動しており、第２角度調整機構８の可動部８１はＸＹ面に平行な姿勢になっている。このとき、可動部８１に固定される第１角度調整機構７は、第１位置７Ａに移動している。第１位置７Ａでは、第１角度調整機構７のθ軸の向きはＹ軸方向と一致している。検査ユニット取付部１１は、第１角度調整機構７の可動部７１に固定され、ＸＹ面に平行な姿勢になっている。ホルダ６３Ａは、ＸＹ面に平行な検査ユニット取付部１１に取り付けたとき、検査用給電部６１およびカメラ６２がＹ２方向を向くように配置される。第１検査ユニット６Ａは、検査位置ＰのＹ１方向（前方）に配置され、前方から検査を行う。

（検査工程）
検査装置１の制御部（図示せず）は、供給部３を制御して、検査位置Ｐに検査対象物である第１表示パネル１００Ａを搬送する。搬送機構４は、第１表示パネル１００Ａを検査位置Ｐに搬送する際、姿勢矯正ユニット４２によってフレキシブルプリント基板１１１ＡをＺ２方向に垂れ下がる状態に矯正して搬送する。これにより、図４（ｂ）に示すように、被給電部１１５がＹ１方向を向く状態で、検査位置Ｐに第１表示パネル１００Ａが搬送される。

次に、検査部２を制御して、検査位置Ｐに搬送された第１表示パネル１００Ａのフレキシブルプリント基板１１１Ａをカメラ６２により撮影する。制御部は、カメラ６２の撮影画像から被給電部１１５の位置を検出する。続いて、検出した被給電部１１５の位置と、検査用給電部６１の現在位置に基づき、第１角度調整機構７および位置調整機構９を制御して、被給電部１１５と検査用給電部６１とが適正に接続されるように、第１検査ユニット６ＡのＸ軸方向、Ｙ軸方向、Ｚ軸方向の位置調整、および、θ軸回り（すなわち、Ｙ軸回り）の角度調整を行う。

被給電部１１５と検査用給電部６１とが適正に接続されると、検査用給電部６１から電力が供給され、第１表示パネル１００Ａの表示部１０２に検査画像が表示される。検査装置１は、検査位置Ｐにおいて表示部１０２を撮影するカメラ（図示せず）を備えており、表示部１０２の点灯状態を撮影することで、欠陥がないか検査する。

（検査部の第２構成例）
図５は、第２表示パネル１００Ｂを検査する場合の検査部２の構成例である。図５（ａ）は、検査部２の平面図であり、図５（ｂ）は、検査部２の側面図である。第２表示パネル１００Ｂを検査する場合、第２検査ユニット６Ｂを検査ユニット取付部１１に取り付けるとともに、第２角度調整機構８のシリンダ８５の引き込み動作を行ってロッド８６を引き込み位置８６Ｂに移動させる。これにより、第２角度調整機構８の可動部８１はＸＺ面に平行な姿勢となり、可動部８１に固定される第１角度調整機構７は、第１位置７Ａに対してＸ軸回りに９０°回転した第２位置７Ｂに移動する。第２位置７Ｂでは、第１角度調整機構７は、θ軸の向きがＺ軸方向と一致する。また、検査ユニット取付部１１は、ＸＺ面に平行となり、垂直姿勢となる。

図６は、第２検査ユニット６Ｂの説明図である。図６には、検査ユニット取付部１１を介して第１角度調整機構７に第２検査ユニット６Ｂを取り付けた状態を表示しており、図６（ａ）は平面図であり、図６（ｂ）は側面図であり、図６（ｃ）は正面図である。第２検査ユニット６Ｂは、検査用給電部６１およびカメラ６２と、検査用給電部６１およびカメラ６２を保持するホルダ６３Ｂを備える。ホルダ６３Ｂは、ＸＺ面に平行な検査ユニット取付部１１に取り付けたとき、検査用給電部６１およびカメラ６２がＺ２方向（下方）を向くように構成される。第２検査ユニット６Ｂは、検査位置ＰのＺ１方向（上方）に配置され、上方から検査を行う。

検査工程を行う際、搬送機構４は、第２表示パネル１００Ｂのフレキシブルプリント基板１１１ＢがＸ軸方向に水平に延びた状態で検査位置Ｐに搬送する。従って、図２（ｂ）、図６（ｂ）に示すように、被給電部１１５がＺ１方向（上方）を向く状態で、検査位置Ｐに第２表示パネル１００Ｂが搬送される。検査装置１の制御部は、第１構成例の場合と同様に、検査位置Ｐに搬送された第２表示パネル１００Ｂのフレキシブルプリント基板１１１Ｂをカメラ６２により撮影する。そして、カメラ６２の撮影画像から被給電部１１５の位置を検出し、第２検査ユニット６ＢのＸ軸方向、Ｙ軸方向、Ｚ軸方向の位置調整、および、θ軸回り（すなわち、Ｚ軸回り）の角度調整を行う。そして、被給電部１１５と検査用給電部６１とを適正に接続して通電し、検査を行う。

（検査部の第３構成例）
図７は、第３表示パネル１００Ｃを検査する場合の検査部２の構成例である。図７（ａ）は、検査部２の平面図であり、図７（ｂ）は、検査部２の側面図である。第３表示パネル１００Ｃを検査する場合、第３検査ユニット６Ｃを検査ユニット取付部１１に取り付けるとともに、第２角度調整機構８のシリンダ８５の引き込み動作を行ってロッド８６を引き込み位置８６Ｂに移動させる。これにより、第２構成例と同様に、第１角度調整機構７が第２位置７Ｂに移動し、θ軸の向きがＺ軸方向と一致する。また、検査ユニット取付部
１１は、ＸＺ面に平行となり、垂直姿勢となる。

図８は、第３検査ユニット６Ｃの説明図である。図８には、検査ユニット取付部１１を介して第１角度調整機構７に第３検査ユニット６Ｃを取り付けた状態を表示しており、図８（ａ）は平面図であり、図８（ｂ）は側面図であり、図８（ｃ）は正面図である。第３検査ユニット６Ｃは、検査用給電部６１およびカメラ６２と、検査用給電部６１およびカメラ６２を保持するホルダ６３Ｃを備える。ホルダ６３Ｃは、ＸＺ面に平行な検査ユニット取付部１１に取り付けたとき、検査用給電部６１およびカメラ６２がＺ１方向（上方）を向くように構成される。第３検査ユニット６Ｃは、検査位置ＰのＺ２方向（下方）に配置され、下方から検査を行う。

検査工程を行う際、搬送機構４は、第３表示パネル１００Ｃのフレキシブルプリント基板１１１ＣがＹ軸方向に水平に延びた状態で検査位置Ｐに搬送する。従って、図２（ｃ）、図８（ｂ）に示すように、被給電部１１５がＺ２（下方）方向を向く状態で、検査位置Ｐに第３表示パネル１００Ｃが搬送される。検査装置１の制御部は、第１、第２構成例の場合と同様に、検査位置Ｐに搬送された第３表示パネル１００Ｃのフレキシブルプリント基板１１１Ｃをカメラ６２により撮影する。そして、カメラ６２の撮影画像から被給電部１１５の位置を検出し、第３検査ユニット６ＣのＸ軸方向、Ｙ軸方向、Ｚ軸方向の位置調整、および、θ軸回り（すなわち、Ｚ軸回り）の角度調整を行う。そして、被給電部１１５と検査用給電部６１とを適正に接続して通電し、検査を行う。

（検査部の第４構成例）
図９は、第４表示パネル１００Ｄを検査する場合の検査部２の構成例である。図９（ａ）は、検査部２の平面図であり、図９（ｂ）は、検査部２の側面図である。第４表示パネル１００Ｄを検査する場合、第４検査ユニット６Ｄを検査ユニット取付部１１に取り付けるとともに、第２角度調整機構８のシリンダ８５の引き込み動作を行ってロッド８６を引き込み位置８６Ｂに移動させる。これにより、第２構成例、第３構成例と同様に、第１角度調整機構７が第２位置７Ｂに移動し、θ軸の向きがＺ軸方向と一致する。また、検査ユニット取付部１１は、ＸＺ面に平行となり、垂直姿勢となる。

図１０は、第４検査ユニット６Ｄの説明図である。図１０には、検査ユニット取付部１１を介して第１角度調整機構７に第４検査ユニット６Ｄを取り付けた状態を表示しており、図１０（ａ）は平面図であり、図１０（ｂ）は側面図であり、図１０（ｃ）は正面図である。第４検査ユニット６Ｄは、検査用給電部６１およびカメラ６２と、検査用給電部６１およびカメラ６２を保持するホルダ６３Ｄを備える。ホルダ６３Ｄは、ＸＺ面に平行な検査ユニット取付部１１に取り付けたとき、検査用給電部６１およびカメラ６２がＺ１方向（上方）を向くように構成される。第４検査ユニット６Ｄは、検査位置ＰのＺ２方向（下方）に配置され、下方から検査を行う。

検査工程を行う際、搬送機構４は、第４表示パネル１００Ｄのフレキシブルプリント基板１１１ＤがＸ軸方向に水平に延びた状態で検査位置Ｐに搬送する。従って、図２（ｄ）、図１０（ｂ）に示すように、被給電部１１５がＺ２（下方）方向を向く状態で、検査位置Ｐに第４表示パネル１００Ｄが搬送される。従って、他の構成例の場合と同様に、検査位置Ｐに搬送された第４表示パネル１００Ｄのフレキシブルプリント基板１１１Ｄをカメラ６２により撮影する。そして、カメラ６２の撮影画像から被給電部１１５の位置を検出し、第４検査ユニット６ＤのＸ軸方向、Ｙ軸方向、Ｚ軸方向の位置調整、および、θ軸回り（すなわち、Ｚ軸回り）の角度調整を行う。そして、被給電部１１５と検査用給電部６１とを適正に接続して通電し、検査を行う。

ここで、第３構成例と第４構成例は、いずれもＺ２方向から検査位置Ｐにアクセスして
被給電部１１５に検査用給電部６１を接続するものであるが、第４検査ユニット６Ｄは、ＸＹ面に沿う方向における検査用給電部６１の配置が第３検査ユニット６Ｃとは異なる。図８（ａ）、図１０（ａ）に示すように、第４検査ユニット６Ｄの検査用給電部６１は、Ｙ軸方向を長手方向とする向きで配置されるのに対して、第３検査ユニット６Ｃの検査用給電部６１は、Ｘ軸方向を長手方向とする向きで配置される。この違いは、フレキシブルプリント基板１１１Ｃ、１１１Ｄの基板１０１からの引き出し方向の違いに対応するためである。フレキシブルプリント基板１１１Ｃは、基板１０１からＹ軸方向に延びており、その結果、検査位置Ｐにおいて、被給電部１１５はＸ軸方向を長手方向とする向きになるのに対して、第４構成例では、フレキシブルプリント基板１１１Ｄは基板１０１からＸ軸方向へ延びており、その結果、検査位置Ｐにおいて、被給電部１１５はＹ軸方向を長手方向とする向きになっている。検査用給電部６１は、このような被給電部１１５の向きの違いに対応するために、Ｚ軸方向と交差する方向の配置が異なっている。

（本形態の主な作用効果）
以上説明したように、本形態は、基板１０１と、一端が基板１０１に接続され他端に被給電部１１５が設けられたフレキシブルプリント基板と、を有する表示パネル（第１表示パネル１００Ａ、第２表示パネル１００Ｂ、第３表示パネル１００Ｃ、第４表示パネル１００Ｄ）を検査する検査装置１である。検査装置１は、検査用給電部６１およびカメラ６２を備える検査ユニット６と、検査ユニット６が着脱可能に固定される検査ユニット取付部１１を備える装置本体１０と、を有する。装置本体１０は、検査対象物である表示パネルを検査位置Ｐに搬送する搬送機構４と、検査ユニット取付部１１を傾ける第１角度調整機構７と、第１角度調整機構７を、Ｙ軸回りの角度調整が可能な第１位置７Ａ、および、第１位置７ＡからＸ軸回りに９０°傾いておりＺ軸回りの第２回転方向の角度調整が可能な第２位置７Ｂに移動させる第２角度調整機構８と、検査ユニット取付部１１、第１角度調整機構７、および第２角度調整機構８をＸ軸方向、Ｙ軸方向、およびＺ軸方向に移動させる位置調整機構９と、を備える。

本形態によれば、装置本体１０に取り付けた検査ユニット６は、互いに直交するＸ軸方向、Ｙ軸方向、Ｚ軸方向の位置調整と、Ｚ軸あるいはＹ軸と一致するθ軸回りの角度調整の４軸での位置調整および角度調整が可能である。また、検査ユニット自体の向きを９０°傾けることができるため、直交する２方向のいずれの方向からでも検査を行うことができ、角度調整のθ軸の向きを変更することも可能である。さらに、検査用給電部６１およびカメラ６２がユニット化されており装置本体１０に着脱可能であるため、検査用給電部６１およびカメラ６２の配置や向きをユニット交換により変更できる。従って、検査対象物である表示パネルにおけるフレキシブルプリン基板の仕様変更への対応が容易であり、フレキシブルプリント基板の形状や引き出し方向、あるいは、被給電部１１５の向きや配置、種類やサイズが変わったとしても、装置本体１０はそのまま使用でき、最小限のユニット交換のみで対応できる。

本形態の検査装置１は、制御部（図示せず）を備える。制御部は、検査ユニット６を制御してカメラ６２により検査位置Ｐに搬送された表示パネルを撮影し、カメラ６２の撮影画像に基づいて位置調整機構９および第１角度調整機構７を制御して、検査位置Ｐに搬送された表示パネルの被給電部１１５と検査用給電部６１とが適正に接続される位置に検査ユニット６を移動させる。従って、自動で検査を行うことができる。また、本形態では、カメラ６２が検査用給電部６１と共に検査ユニット６に搭載されており、検査用給電部６１とカメラ６２の位置関係が固定されている。従って、自動で検査を行う際、カメラ６２で撮影した撮影画像に基づいて検査用給電部６１を被給電部１１５まで移動させる際の位置制御を精度良く行うことができる。また、検査ユニット６の交換時に検査用給電部６１とカメラ６２の位置関係を精度良く合わせる作業が不要である。従って、検査ユニット６の交換作業が容易であり、検査対象物の仕様変更に対応する際の負荷が少ない。

本形態では、第１角度調整機構７のθ軸を鉛直軸とすることができ、この場合には、検査ユニット６を水平に回転させることができる。従って、第２構成例、第３構成例、第４構成例に示すように、搬送面に載せられて水平に搬送される表示パネルの端部から引き出した短いフレキシブルプリント基板に被給電部１１５が設けられている場合に、Ｚ１方向もしくはＺ２方向を向く被給電部１１５に対して、第２検査ユニット６Ｂ、第３検査ユニット６Ｃ、第４検査ユニット６Ｄをそれぞれ、水平に回転させて位置合わせして、検査を行うことができる。

本形態では、第１角度調整機構７は、検査ユニット取付部１１が固定される可動部７１（第１の可動部）と、可動部７１を回転可能に支持する支持部７２（第１の支持部）と、可動部７１を駆動する第１のアクチュエータを備える駆動部７３を有する。第２角度調整機構８は、支持部７２が固定される可動部８１（第２の可動部）と、可動部８１を可動部７１の回転方向（Ｙ軸回りの第１回転方向、もしくはＺ軸回りの第２回転方向）と交差する回転方向（Ｘ軸回りの第３回転方向）に回転可能に支持する支持部８２（第２の支持部）と、可動部８１を駆動するアクチュエータを備える駆動部８３を有する。駆動部８３のアクチュエータは、支持部８２に配置されるシリンダ８５であり、シリンダ８５のロッド８６が可動部８１に連結されている。このように、シリンダ８５を用いることにより、シリンダ８５の伸縮動作によって、検査ユニット取付部１１および第１角度調整機構７を第１角度調整機構７による回転方向と交差する回転方向に傾けることができる。

本形態では、検査ユニット取付部１１は、検査ユニット６として、第１検査ユニット６Ａ、第２検査ユニット６Ｂ、および第３検査ユニット６Ｃのいずれかを選択的に取り付けることが可能である。第１検査ユニット６Ａは、第１位置７Ａに移動した第１角度調整機構７に検査ユニット取付部１１を介して取り付けたときに、カメラ６２および検査用給電部６１がＹ２方向を向くように配置される。従って、被給電部１１５がＹ１方向を向くタイプの表示パネルを検査できる。例えば、水平に搬送される基板１０１の前端あるいは後端から垂れ下がるフレキシブルプリント基板１１１Ａを備えるタイプの第１表示パネル１００Ａを検査できる。第２検査ユニット６Ｂは、第２位置７Ｂに移動した第１角度調整機構７に検査ユニット取付部１１を介して取り付けたときに、カメラ６２および検査用給電部６１がＺ２方向を向くように配置される。従って、水平に搬送される基板１０１の端部から水平にフレキシブルプリント基板１１１Ｂが突出するタイプで、被給電部１１５がＺ１方向を向く面（他方面１１７）に設けられているタイプの第２表示パネル１００Ｂを検査できる。第３検査ユニット６Ｃは、第２位置７Ｂに移動した第１角度調整機構７に検査ユニット取付部１１を介して取り付けたときに、カメラ６２および検査用給電部６１がＺ１方向を向くように配置される。従って、水平に搬送される基板１０１の端部から水平にフレキシブルプリント基板１１１Ｃが突出するタイプで、被給電部１１５がＺ２方向を向く面（一方面１１６）に設けられているタイプの第３表示パネル１００Ｃを検査できる。

本形態では、検査ユニット取付部１１は、検査ユニット６として、さらに、第４検査ユニット６Ｄを取り付け可能であり、第３検査ユニット６Ｃと第４検査ユニット６Ｄは、検査用給電部６１のＺ軸方向と交差する方向で検査用給電部６１の配置が異なる。これにより、基板１０１からフレキシブルプリント基板を引き出す方向の違いに対応できる。第３検査ユニット６Ｃは、フレキシブルプリント基板１１１Ｃが基板１０１の長手方向の端部からＹ軸方向に引き出されるタイプの第３表示パネル１００Ｃを検査できる。第４検査ユニット６Ｄは、フレキシブルプリント基板１１１Ｄが基板１０１からＸ軸方向に引き出されるタイプの第４表示パネル１００Ｄを検査できる。

１…検査装置、２…検査部、３…供給部、４…搬送機構、５…ローダー、６…検査ユニッ
ト、６Ａ…第１検査ユニット、６Ｂ…第２検査ユニット、６Ｃ…第３検査ユニット、６Ｄ…第４検査ユニット、７Ａ…第１位置、７Ｂ…第２位置、７…第１角度調整機構、８…第２角度調整機構、９…位置調整機構、１０…装置本体、１１…検査ユニット取付部、４１…基板吸着シャトル、４２…姿勢矯正ユニット、６１…検査用給電部、６２…カメラ、６３Ａ、６３Ｂ、６３Ｃ、６３Ｄ…ホルダ、７１…可動部、７２…支持部、７３…駆動部、８１…可動部、８２…支持部、８３…駆動部、８４…回転支持部、８５…シリンダ、８６…ロッド、８６Ｂ…引き込み位置、８６Ａ…突出位置、９１…第１移動機構、９２…第２移動機構、９３…第３移動機構、９４…第１移動部材、９５…第２移動部材、９６…第３移動部材、１００Ａ…第１表示パネル、１００Ｂ…第２表示パネル、１００Ｃ…第３表示パネル、１００Ｄ…第４表示パネル、１０１…基板、１０２…表示部、１１１Ａ、１１１Ｂ、１１１Ｃ 、１１１Ｄ…フレキシブルプリント基板、１１５…被給電部、１１６…一方面、１１７…他方面、Ｐ…検査位置、Ｒ…回転軸線、Ｓ…設置面

Claims (6)

1. 基板と、一端が前記基板に接続され他端に被給電部が設けられたフレキシブルプリント基板と、を有する検査対象物を検査する検査装置であって、
   検査用給電部およびカメラを備える検査ユニットと、
   前記検査ユニットが着脱可能に固定される検査ユニット取付部を備える装置本体と、を有し、
   前記装置本体は、
   前記検査対象物を検査位置に搬送する搬送機構と、
   前記検査ユニット取付部を傾ける第１角度調整機構と、
   Ｚ軸に沿う方向をＺ軸方向とし、前記Ｚ軸と交差するＹ軸に沿うＹ軸方向を前記搬送機構の搬送方向とし、前記Ｚ軸と交差し且つ前記Ｙ軸と交差するＸ軸に沿う方向をＸ軸方向とする場合に、前記第１角度調整機構を、前記Ｙ軸回りの第１回転方向の角度調整が可能な第１位置、および、前記第１位置から前記Ｘ軸回りに９０°傾いており前記Ｚ軸回りの第２回転方向の角度調整が可能な第２位置に移動させる第２角度調整機構と、
   前記検査ユニット取付部、前記第１角度調整機構、および前記第２角度調整機構を前記Ｘ軸方向、前記Ｙ軸方向、および前記Ｚ軸方向に移動させる位置調整機構と、を備えることを特徴とする検査装置。
2. 前記検査ユニットを制御して前記カメラにより前記検査位置に搬送された前記検査対象物を撮影し、前記カメラの撮影画像に基づいて前記位置調整機構および前記第１角度調整機構を制御して、前記検査位置に搬送された前記検査対象物の前記被給電部と前記検査用給電部とが接続される位置に前記検査ユニットを移動させる制御部を備えることを特徴とする請求項１に記載の検査装置。
3. 前記Ｚ軸方向は、鉛直方向であることを特徴とする請求項１に記載の検査装置。
4. 前記第１角度調整機構は、前記検査ユニット取付部が固定される第１の可動部と、前記第１の可動部を回転可能に支持する第１の支持部を備え、
   前記第２角度調整機構は、前記第１の支持部が固定される第２の可動部と、前記第２の可動部を前記第１の可動部の回転方向と交差する方向に回転可能に支持する第２の支持部と、前記第２の可動部を駆動するアクチュエータと、を備え、
   前記アクチュエータは、前記第２の支持部に配置されるシリンダであり、
   前記シリンダのロッドが前記第２の可動部に連結されることを特徴とする請求項１に記載の検査装置。
5. 前記検査ユニット取付部は、前記検査ユニットとして、第１検査ユニット、第２検査ユニット、および第３検査ユニットのいずれかを選択的に取り付け可能であり、
   前記第１検査ユニットは、前記第１位置に移動した前記第１角度調整機構に前記検査ユニット取付部を介して取り付けたときに、前記カメラおよび前記検査用給電部が前記Ｙ軸方向を向くように配置されており、
   前記第２検査ユニットは、前記第２位置に移動した前記第１角度調整機構に前記検査ユニット取付部を介して取り付けたときに、前記カメラおよび前記検査用給電部が前記Ｚ軸方向の一方側を向くように配置されており、
   前記第３検査ユニットは、前記第２位置に移動した前記第１角度調整機構に前記検査ユニット取付部を介して取り付けたときに、前記カメラおよび前記検査用給電部が前記Ｚ軸方向の他方側を向くように配置されていることを特徴とする請求項１に記載の検査装置。
6. 前記検査ユニット取付部は、前記検査ユニットとして、前記第１検査ユニット、前記第２検査ユニット、前記第３検査ユニット、および第４検査ユニットのいずれかを選択的に
   取り付け可能であり、
   前記第３検査ユニットと前記第４検査ユニットは、前記検査用給電部の前記Ｚ軸方向と交差する方向の配置が異なることを特徴とする請求項５に記載の検査装置。
   

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