KR101583267B1 - 이송 장치 - Google Patents

Abstract

본 발명의 이송 장치는 기판에 평행하게 대면되는 지지판 및 상기 지지판에 설치되고 상기 기판이 흡착되는 흡착 블럭을 포함하고, 상기 흡착 블럭은 상기 지지판에서 상기 기판에 대면되는 임의의 위치에 착탈될 수 있다.

Description

이송 장치{TRANSFER DEVICE}

본 발명은 기판을 이송하는 장치에 관한 것이다.

일반적으로, 인쇄회로기판(PCB : Printed Circuit Board)은 세탁기나 텔레비전 등의 가전제품은 물론 휴대폰을 포함한 생활용품, 또는 자동차, 인공위성 등과 같이 거의 모든 장비에서 기본이 되는 필수 부품 중의 하나이다.

근래 들어, 인쇄회로기판을 구성하는 각종 전자부품의 집적도가 높아짐에 따라 그 패턴(pattern)이 상당히 미세화되어 매우 정교한 패턴의 인쇄공정이 요구되고 있으며, 그에 따른 불량률의 증가에 의해 인쇄회로기판에 대한 검사의 중요성 이 부각되고 있다.

또한, 검사의 정확도와 속도 개선을 위해 인쇄회로기판을 자동으로 똑바르게 이송하는 중요성 역시 부각되고 있다.

한국등록특허공보 제0176627호 공보에는 납땜 불량 및 프로브 팁의 진동을 방지하여 안정된 통전 검사를 수행할 수 있고, 납땜부의 다양한 표면 형상에 대해 적응성이 향상된 인쇄회로기판의 통전검사용 프로브 장치가 개시되고 있다. 그러나, 인쇄회로기판을 신속하고 고정밀도로 이송하는 방안은 제시되지 않고 있다.

한국등록특허공보 제0176627호

본 발명은 기판을 신속하고 정확하게 이송하는 이송 장치를 제공하기 위한 것이다.

본 발명이 이루고자 하는 기술적 과제들은 이상에서 언급한 기술적 과제들로 제한되지 않으며, 언급되지 않은 또 다른 기술적 과제들은 아래의 기재로부터 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 명확하게 이해될 수 있을 것이다.

본 발명의 이송 장치는 기판에 평행하게 대면되는 지지판; 및 상기 지지판에 설치되고 상기 기판이 흡착되는 흡착 블럭;을 포함하고, 상기 흡착 블럭은 상기 지지판에서 상기 기판에 대면되는 임의의 위치에 착탈될 수 있다.

본 발명의 이송 장치는 제2 위치의 플렉시블 기판을 집어서 제1 위치로 옮기는 로딩부; 상기 제1 위치로 옮겨진 상기 플렉시블 기판을 받치는 받침 유니트; 상기 받침 유니트에 받쳐진 상기 플렉시블 기판을 촬영하는 카메라; 및 상기 받침 유니트에 받쳐진 상기 플렉시블 기판을 클램핑하고 평평하게 펴는 클램핑부;를 포함하고, 상기 받침 유니트는 상기 카메라에 의해 감지된 상기 플렉시블 기판의 회전 오차가 보정되도록 회전하며, 상기 클램핑부는 상기 회전 오차가 보정된 상기 플렉시블 기판을 클램핑할 수 있다.

본 발명의 이송 장치는 기판을 이송하는 이송 유니트; 상기 이송 유니트에 상기 기판을 로딩하거나, 상기 이송 유니트로부터 상기 기판을 언로딩하는 로딩 유니트; 및 상기 로딩 유니트의 로딩 또는 언로딩시 상기 기판을 받치는 받침 유니트;를 포함하고, 상기 받침 유니트는 위아래로 이동하고, 상기 로딩시 또는 상기 언로딩시 위로 이동하고, 상기 로딩 또는 상기 언로딩이 완료되면 아래로 이동할 수 있다.

본 발명의 이송 장치는 제1 위치를 경유해서 플렉시블 기판을 이송하고, 상기 플렉시블 기판을 평평하게 펴는 클램핑부가 마련된 이송 유니트; 제2 위치에 배치되고, 상기 이송 유니트에 로딩되는 플렉시블 기판과 간지가 교대로 적재되는 제1 적재부; 제1 위치와 제3 위치를 왕복하고, 상기 이송 유니트로부터 언로딩된 플렉시블 기판이 적재되는 제2 적재부; 평면상으로 상기 제1 위치에서 상기 이송 유니트에 로딩되는 플렉시블 기판을 흡착하고, 상기 플렉시블 기판이 흡착된 상태로 회전하는 받침 유니트; 상기 제1 위치와 상기 제2 위치를 왕복하고 상기 제1 적재부의 플렉시블 기판을 상기 이송 유니트로 옮기는 로딩부; 상기 제1 위치와 상기 제3 위치를 왕복하고 상기 이송 유니트의 플렉시블 기판을 상기 제2 적재부로 옮기는 언로딩부; 및 상기 받침 유니트의 회전을 제어하기 위해 상기 제1 위치에서 상기 플렉시블 기판을 촬영하는 카메라;를 포함할 수 있다.

본 발명의 이송 장치는 기판을 받치는 받침 유니트에 지지판, 지지판에 착탈되는 흡착 블럭이 마련될 수 있다.

이에 따라, 하나의 받침 유니트로 다양한 크기의 기판을 받칠 수 있다. 또한, 최적의 지지점이 온도 변화 등에 따라 변동되는 플렉시블 기판도 효과적으로 받칠 수 있다.

또한, 본 발명의 받침 유니트는 기판에 직교하는 회전축을 중심으로 회전할 수 있다. 그리고, 본 발명의 이송 장치에는 받침 유니트에 놓인 기판의 회전 오차를 감지하는 카메라가 마련될 수 있다. 플렉시블 기판의 경우 받침 유니트에 놓을 때 자체 탄성에 의해 회전 오차가 발생할 가능성이 매우 높은데, 본 발명의 받침 유니트 및 카메라에 따르면 회전 오차가 용이하게 보정될 수 있다.

본 발명의 이송 장치의 특정 적재부는 이송 유니트가 위치했던 자리로 이동할 수 있다. 이에 따르면, 다른 적재부에 적재된 대상물을 특정 적재부로 바로 옮길 수 있다. 특히, 플렉시블 기판의 경우 각 기판의 분리 작업이 용이하도록 각 기판의 사이에 간지가 마련되는데, 본 발명에 따르면 다른 적재부에 적재된 간지를 특정 적재부로 용이하게 옮길 수 있다.

이상의 내용을 종합하면, 본 발명의 이송 장치는 자동으로 이송하기 곤란했던 플렉시블 기판 등을 자동으로 작업 유니트로 이송시킬 수 있다.

도 1은 본 발명의 이송 장치를 나타낸 개략도이다.
도 2는 흡착 블럭에 기판이 지지된 상태를 나타낸 개략도이다.
도 3은 본 발명의 이송 장치를 구성하는 이송 유니트를 나타낸 개략도이다.
도 4는 본 발명의 다른 이송 장치를 나타낸 개략도이다.
도 5 내지 도 12는 본 발명의 이송 장치의 동작을 나타낸 개략도이다.
도 13은 본 발명의 이송 장치의 실제 구현 모습을 나타낸 사시도이다.
도 14는 본 발명의 이송 장치를 구성하는 다른 이송 유니트를 나타낸 개략도이다.

이하, 첨부된 도면들을 참조하여 본 발명에 따른 실시예를 상세히 설명한다. 이 과정에서 도면에 도시된 구성요소의 크기나 형상 등은 설명의 명료성과 편의상 과장되게 도시될 수 있다. 또한, 본 발명의 구성 및 작용을 고려하여 특별히 정의된 용어들은 사용자, 운용자의 의도 또는 관례에 따라 달라질 수 있다. 이러한 용어들에 대한 정의는 본 명세서 전반에 걸친 내용을 토대로 내려져야 한다.

기판(10)의 회로 패턴을 자동으로 가공하거나 검사하는 작업 유니트(800)가 존재할 수 있다.

해당 작업 유니트(800)가 정상적으로 동작하기 위해서는 작업 유니트(800)에 얼라인될 수 있는 상태로 기판(10)이 이송될 필요가 있다. 그런데, 기판(10)에 따라 해당 이송 작업을 자동으로 수행하기 곤란한 경우가 있을 수 있다. 이때, 이송 작업은 적재함에 적재된 기판(10)을 작업 유니트(800)로 진입하는 이송 유니트(200)로 옮기는 작업일 수 있다.

일예로, 필름 타입의 플렉시블 기판은 적재함으로부터 플렉시블 기판을 꺼내서 다른 위치에 놓을 때, 자체 탄성 등에 의해 얼라인 상태가 흐트러지기 쉽다. 또한, 플렉시블 기판의 단부가 특정 지지점에 걸쳐진다 하더라도, 흐느적거리는 플렉시블 기판은 가운데 부분이 푹 꺼지므로 특정 지지점으로부터 이탈되기 쉽다.

또한, 적재함에 플렉시블 기판이 복수로 적층될 경우, 맨 위의 플렉시블 기판을 꺼낼 때 다른 플렉시블 기판도 딸려나올 수 있다. 이러한 현상을 방지하기 위해 각 플렉시블 기판의 사이에는 간지(30)가 배치될 수 있는데, 이때의 간지(30)는 이송 유니트(200)로 옮겨져서는 안되고, 작업 유니트(800)를 거친 플렉시블 기판이 적재되는 다른 적재함으로 직접 옮겨져야 한다. 이러한 간지 이송 작업 역시 기판(10)을 옮기는 수단들 간의 간섭으로 인해 자동으로 구현되기 어렵다.

이러한 복합적인 이유로, 플렉시블 기판과 같은 특정 기판(10)은 적재함으로부터 다른 곳으로 자동으로 이송되기 어렵다. 그 결과 특정 기판(10)에 대한 이송 작업은 자동으로 수행되지 못하고, 수동으로 수행되는 것이 일반적이다.

본 발명의 이송 장치는 플렉시블 기판과 같이 이송 작업이 난해한 기판(10)을 자동으로 이송하기 위한 것이다.

플렉시블 기판의 이송 작업을 신속하고 자동으로 수행하기 위해 몇가지 사안이 해결될 필요가 있다.

첫째, 용이하고 정확하게 기판(10)을 지지할 수 있는 수단이 필요하다.

둘째, 기판(10)의 정렬 오차를 해소할 수 있는 수단이 필요하다.

세째, 특정 적재함에 적재된 대상물을 다른 적재함으로 직접 옮길 수 있는 수단이 필요하다.

이하에서는 위 사안의 해결 방안에 대해 설명하도록 한다.

도 1은 본 발명의 이송 장치를 나타낸 개략도이다.

도 1에 도시된 이송 장치는 첫번째 사안을 해소하기 위한 것으로, 지지판(110) 및 흡착 블럭(130)을 포함할 수 있다.

기판(10)은 검사 프로브가 마련된 검사 수단 등의 작업 유니트(800)에 진입하는 이송 유니트(200)에 적재될 수 있다. 작업 유니트(800)에서 기판(10)의 양면이 모두 처리되도록 이송 유니트(200)에는 통공(239)이 마련될 수 있다. 이때, 기판(10)의 중앙 부분은 위 통공(239)에 위치하고, 가장자리 부분이 이송 유니트(200)에 걸쳐질 수 있다.

이러한 이송 유니트(200)에 플렉시블 기판이 놓이면, 해당 플렉시블 기판은 통공(239)에 의해 중앙 부분이 아래로 푹 꺼지면서 아래로 떨어지게 될 것이다.

따라서, 이송 유니트(200)에 기판(10)이 놓일 때, 이송 유니트(200)의 통공 부분에서 기판(10)을 받쳐주는 받침 유니트(100)가 필요하다. 기판(10)이 클램핑부(210) 등에 의해 이송 유니트(200)에 고정되면, 받침 유니트(100)는 이송 유니트(200)가 작업 유니트(800)로 이동할 수 있도록 이송 유니트(200)의 통공(239)에서 다른 위치로 이동될 수 있다.

도 1의 지지판(110) 및 흡착 블럭(130)은 이송 유니트(200)에 마련될 수 있다.

지지판(110)은 기판(10)에 평행하게 대면될 수 있다. 그리고, 지지판(110)에서 기판(10)에 대면하는 면은 기판(10)과 평행한 판 형상일 수 있다.

흡착 블럭(130)은 지지판(110)에 설치되고 기판(10)이 흡착될 수 있다. 흡착 블럭(130)은 공압을 이용해 기판(10)을 흡착할 수 있다. 그리고, 흡착 블럭(130)은 지지판(110)에서 기판(10)에 대면되는 임의의 위치에 착탈될 수 있다. 이와 같이 흡착 블럭(130)이 지지판(110)에서 다양한 위치에 착탈되도록 한 것은 다양한 기판(10)을 용이하고 정확하게 지지하기 위함이다.

예를 들어, 기판(10)의 크기가 변하면 해당 기판(10)을 효과적으로 지지하기 위해 지지점의 개수 또는 지지점의 위치가 변해야 한다. 이에 대응하여, 기판(10)을 받치는 수단은 지지점의 개수와 위치가 다르게 복수로 마련될 수 있다.

그러나, 현실적으로 각 기판(10)에 대한 최적의 지지점을 정확하게 만족하려면, 수만가지의 받침 수단이 마련되어야 할 것이다.

도 2는 흡착 블럭(130)에 기판(10)이 지지된 상태를 나타낸 개략도이다.

기판(10), 특히 휘어질 수 있는 플렉시블 기판을 평평하게 유지하기 위해 클램핑부(210)가 마련될 수 있다.

위 클램핑부(210)에 양단부가 놓이고, 측면상으로 L의 길이를 갖는 기판(10)이 2개의 흡착 블럭(130)에 의해 지지되는 경우를 가정한다.

이 경우, 최적의 지지점은 L을 3등분한 2개의 위치가 되는 것이 보통이다. 이에 따라, 2개의 흡착 블럭(130) 역시 지지판(110)에서 해당 위치에 장착될 수 있다. 물론, 이러한 경우, 지지 수단의 착탈이 불가능한 기존의 받침 수단 역시 비슷하게 형성될 것이다.

그런데, L의 길이를 갖는 기판(10)이라 하더라도 최적의 위치는 L을 3등분한 위치가 아닐 수 있다.

일예로, L을 L1, L2, L3로 3등분할 때, L1 구간에 많은 회로 패턴이 밀집될 수 있다. 이에 따르면, L1 구간은 무게에 의해 아래로 푹 꺼질 수 있다. 그 결과 L1 구간은 클램핑부(210)에 걸쳐진 상태를 벗어나 아래로 떨어질 수 있다.

이를 방지하기 위해서는 적어도 L1 구간과 L2 구간 사이의 지지점은 L1 측으로 좀 더 이동되는 것이 좋다. 만약, L3 구간의 무게가 무겁다면, L2 구간과 L3 구간 사이의 지지점이 L2 측으로 이동되는 것이 좋다.

본 발명의 흡착 블럭(130)에 따르면 지지판(110)에 자유롭게 떼었다 붙였다 할 수 있으므로, 별다른 무리없이 최적의 지지점이 제공될 수 있다. 또한, 지지판(110)에 장착되는 흡착 블럭(130)의 개수도 자유롭게 증감될 수 있다

흡착 수단의 착탈이 불가능한 비교 실시예의 경우 동일한 크기의 기판(10)이더라도 다양한 위치에 흡착 수단이 형성된 받침 수단이 마련되어야 할 것이다. 따라서, 기판(10)이 바뀔 때마다 받침 수단 전체가 교체되어야 하나, 본 발명에 따르면 지지판(110)에서 흡착 블럭(130)을 떼어 적절한 위치에 붙이는 용이한 작업으로 다양한 기판(10)을 정확하게 지지할 수 있다.

지지판(110)에 흡착 블럭(130)을 착탈시키는 다양한 방안이 있을 수 있다.

일예로, 흡착 블럭(130)에는 전자석(133)이 마련될 수 있다. 그리고, 지지판(110)은 전자석(133)에 붙는 재질, 다시 말해 자성체를 포함할 수 있다. 이에 따르면, 흡착 블럭(130)은 전자석(133)에 인가되는 전기 신호에 따라 지지판(110)에 부착되거나 이탈될 수 있다.

위 전자석(133)은 전기 신호가 인가되면 자력을 생성할 수 있다. 또는 위 전자석(133)은 전기 신호가 인가되면 자력이 해제되고, 전기 신호가 해제되면 자력이 생성되는 영자석을 포함할 수 있다. 전자의 경우 강한 자력을 생성할 수 있는 장점이 있으며, 후자의 경우 전력 소모가 적은 장점이 있다.

다시 도 1로 돌아가서, 흡착 블럭(130)에는 몸체(131), 전자석(133), 흡착 모듈(135)이 마련될 수 있다.

몸체(131)는 지지판(110)에 대면되는 제1 면과 기판(10)에 대면되는 제2 면을 가질 수 있다.

전자석(133)은 몸체(131)의 제1 면에 설치되고 전기 신호에 따라 지지판(110)에 착탈될 수 있다.

흡착 모듈(135)은 몸체(131)의 제2 면에 설치되고 공기를 흡입하는 흡입구 등일 수 있다.

아울러, 몸체(131)에는 전기 신호가 흐르는 와이어(190), 흡착 모듈(135)에서 흡입된 공기가 소통되는 에어 라인(air line)(170)이 연결될 수 있다.

이때, 와이어(190) 및 에어 라인(170) 각각은 지지판(110)의 중심에 설치된 기둥(150)을 거쳐 전기 신호가 생성되는 제어부, 공기를 흡입하는 펌프 등에 연결될 수 있다. 이때, 와이어(190) 및 에어 라인(170)은 적어도 기둥(150)으로부터 지지판(110)의 꼭지점까지 연장되는 길이를 가질 수 있다. 이에 따르면, 해당 와이어(190) 및 에어 라인(170)에 연결된 흡착 블럭(130)은 평면상으로 지지판(110)의 모든 위치에 설치될 수 있다. 기둥(150)은 흡착 블럭(130)의 높이 이하로 형성될 수 있다. 만약, 기둥(150)의 높이가 흡착 블럭(130)의 높이와 같다면 기둥(150)은 기판(10)의 중심 부분을 지지하는 지지점으로 기능할 수 있다.

흡착 블럭(130)은 평판 형상의 기판(10)을 평평하게 지지할 수 있는 복수의 지지점에 각각 배치될 수 있다. 이때의 배치는 수작업에 의해 이루어질 수 있다. 예를 들어 사용자는 전자석(133)에 공급되는 전기 신호를 끊어서 지지판(110)으로부터 흡착 블럭(130)이 용이하게 이탈되도록 할 수 있다. 이 상태에서 사용자는 지지판(110)의 원하는 위치에 흡착 블럭(130)을 배치하고 다시 전기 신호를 인가할 수 있다. 전기 신호가 인가된 흡착 블럭(130)은 사용자에 의해 배치된 위치에서 지지판(110)에 고정될 수 있다.

그리고, 해당 지지점에서 기판(10)을 평평하게 지지하도록, 각 흡착 블럭(130)은 평면상으로 굴곡된 형상을 가질 수 있다. 일예로 흡착 블럭(130)은 도면에 도시된 바와 같이 'L'자형으로 형성될 수 있다. 이에 따르면, 서로 직교하는 x축, y축, z축이 형성하는 3차원 공간에서 기판(10)이 xy 평면 상에 배치될 경우 해당 기판(10)을 x축 및 y축으로 지지할 수 있다.

이상에서 설명된 구성에 따르면 기판(10)의 이송 작업에 필요한 기판(10) 지지 수단이 제공될 수 있다.

다음으로 기판(10)의 정렬 오차를 해소할 수 있는 수단을 살펴본다.

자동화를 위해 본 발명의 이송 장치에는 기판(10)을 집어서 지지판(110) 및 흡착 블럭(130)이 포함된 받침 유니트(100)로 옮기는 로봇 등의 로딩부(310)가 마련될 수 있다.

플렉시블 기판의 경우, 로딩부(310)에 의해 받침 유니트(100)에 놓여질 때 자체 탄성 등에 의해 방향이 틀어지거나 위치가 틀어지는 문제가 발생하기 쉽다. 이때, 방향이 틀어지는 오차는 기판(10)에 직교하는 가상선 Z를 회전축으로 기판(10)이 설정 각도와 다르게 회전한 것일 수 있다. 이하에서는 이를 회전 오차라 칭하기로 한다. 위치가 틀어지는 오차는 평면상으로 제1 위치에 배치되어야 할 기판(10)이 다른 위치에 배치되는 것일 수 있다. 이는 기판(10)의 위치가 x축 또는 y축으로 변동된 것을 의미하므로, 이하에서는 이러한 오차를 직선 오차라 칭하기로 한다.

위 2개의 오차 중 회전 오차는 받침 유니트(100)에서 해소될 수 있다.

우선, 본 발명의 이송 장치에는 기판(10)의 회전 오차를 감지하는 수단으로 카메라(910)가 마련될 수 있다. 이때, 카메라(910)는 흡착 블럭(130)에 흡착된 상태의 플렉시블 기판 등을 촬영할 수 있다.

그리고, 지지판(110)에는 기판(10)에 직교하는 회전축이 마련될 수 있다. 이때의 회전축은 지지판(110)의 중심에 형성될 수 있다. 또한, 회전축은 지지판(110)에 기형성된 기둥(150)과 일체로 마련될 수 있다. 그리고, 지지판(110)은 카메라(910)에서 파악된 기판(10)의 회전 오차가 보정되도록 회전축을 중심으로 회전할 수 있다. 즉, 카메라(910) 및 회전축에 대한 회전 자유도를 갖는 지지판(110)에 의해 플렉시블 기판의 회전 오차는 보정될 수 있다.

클램핑부(210)는 흡착 블럭(130)에 흡착되고 지지판(110)의 회전에 의해 회전 오차가 보정된 플렉시블 기판을 클램핑할 수 있다. 그리고, 기판(10)을 잡아당겨 기판(10)을 평평하게 유지할 수 있다. 로딩부(310)에 의해 받침 유니트(100)에 놓이는 과정 또는 쭈글쭈글했다가 클램핑부(210)에 의해 평평하게 펴지는 과정에서 기판(10)은 설정 위치로부터 다른 위치로 이동된 상태일 수 있다. 이때, 설정 위치와 다른 위치 간의 차이값에 해당하는 직선 오차를 보정하기 위해 클램핑부(210)는 플렉시블 기판과 함께 회전 오차를 파악했던 카메라(910) 또는 별도의 보조 카메라(930)를 이용해 플렉시블 기판의 직선 오차가 파악되는 위치로 이동할 수 있다.

회전 오차의 파악에 사용했던 카메라(910)를 직선 오차의 파악에도 이용할 경우 클램핑부(210)는 현재 위치를 고수할 수 있다. 만약 위 카메라(910)와 별도로 마련된 보조 카메라(930)를 이용할 경우 클램핑부(210)는 플렉시블 기판과 함께 보조 카메라(930)의 위치로 이동할 수 있다.

그리고, 카메라(910) 또는 보조 카메라(930)에 의해 파악된 x축 또는 y축 직선 오차는 플렉시블 기판을 가공하거나 검사하는 작업 유니트(800) 또는 클램핑부(210)에 의해 보정될 수 있다. 이를 위해 작업 유니트(800) 또는 클램핑부(210)는 x축 자유도 또는 y축 자유도를 가질 수 있다.

즉, 본 발명에 따르면, 기판(10)을 2번 촬영하는 것으로, 회전 오차와 직선 오차가 모두 보정될 수 있다.

1차 촬영은 기판(10)이 흡착 블럭(130)에 흡착된 상태에서 회전 오차를 감지하기 위한 것일 수 있다. 1차 촬영 때 직선 오차를 감지한다고 하더라도, 회전 오차의 보정 후 클램핑부(210)에 의해 기판(10)이 평평하게 펴지면 새로운 직선 오차가 발생될 수 있다. 따라서, 1차 촬영에서 직선 오차의 감지는 별다른 의미가 없다.

그리고, 회전 오차가 보정된 기판(10)이 클램핑부(210)에 의해 평평하게 펴진 상태에서 2차 촬영이 이루어질 수 있다. 2차 촬영은 기판(10)의 직선 오차를 감지하기 위한 것일 수 있다. 회전 오차가 보정된 상태에서 평평하게 펴진 기판(10)에는 오직 직선 오차만 남아 있다. 따라서, 2차 촬영에 의해 직선 오차가 보정되면, 기판(10)의 모든 정렬 오차가 해소될 수 있다.

1차 촬영은 감지가 용이한 회전 오차를 감지하기 위한 것이므로, 정밀한 감지가 필요한 2차 촬영보다 정밀도가 낮은 카메라(910)가 이용되어도 무방하다. 이를 다르게 해석하면 높은 정밀도의 카메라(910) 한대로 1차 촬영과 2차 촬영을 모두 수행할 수 있다. 그러나, 한 위치에서 2번의 촬영이 이루어지면, 해당 위치에서 추가적으로 이루어지는 작업이 지연될 수 있다. 따라서, 1차 촬영과 2차 촬영은 다른 위치에서 수행되는 것이 좋다. 즉, 1차 촬영은 정밀도가 낮은 카메라(910)에 의해 수행되고, 2차 촬영은 정밀도 높은 보조 카메라(930)에 의해 수행될 수 있다.

한편, 클램핑부(210)가 직선 오차를 보정하기 위해 작업 유니트(800)로 바로 이동하면, 클램핑부(210)는 기판(10)을 받치고 있던 받침 유니트(100)에 부딪힐 수 있다.

이를 방지하기 위해 지지판(110)은 플렉시블 기판에 직교하는 제1 방향을 따라 이동할 수 있다.

우선, 흡착 블럭(130)은 제1 방향을 따라 이동하는 지지판(110)에 의해 플렉시블 기판을 지지할 수 있는 제1 위치 ①로 이동할 수 있다. 그리고, 흡착 블럭(130)은 제1 위치 ①에 언로딩된 플렉시블 기판을 흡착할 수 있다. 이때의 플렉시블 기판의 언로딩은 제1 로딩부(310)에 의해 플렉시블 기판이 제1 위치 ①에 놓이는 것일 수 있다.

흡착 블럭(130)에 언로딩된 플렉시블 기판은 플렉시블한 성질에 따라 언로딩 또는 흡착 과정에서 회전 오차 및 직선 오차를 가질 수 있다.

카메라(910)와 지지판(110)에 의해 회전 오차가 보정된 플렉시블 기판은 클램핑부(210)에 클램핑될 수 있다. 기판(10)이 클램핑부(210)에 클램핑되면 흡착 블럭(130)은 기판(10)의 흡착을 해제하고, 지지판(110)에 의해 제1 위치 ①로부터 이격된 다른 위치 ④로 이동할 수 있다.

제1 위치 ①에 배치된 흡착 블럭(130) 또는 지지판(110)은 클램핑부(210)와 z축 좌표가 거의 동일할 수 있다. 따라서, 클램핑부(210)가 x축 또는 y축으로 움직이는 경우 흡착 블럭(130) 또는 지지판(110)에 충돌하므로, 클램핑부(210)의 x축 자유도와 y축 자유도는 흡착 블럭(130) 또는 지지판(110)에 의해 제한될 수 있다. 그러나, 다른 위치 ④로 이동한 흡착 블럭(130)에 의해 클램핑부(210)는 움직임이 자유로워질 수 있다.

움직임이 자유로워진 클램핑부(210)는 xy 평면상으로 제1 위치 ①과 다른 위치에 배치된 보조 카메라(930) 등으로 이동될 수 있다.

도 3과 같이 클램핑부(210)는 기판(10)을 이송하는 이송 유니트(200)에 마련될 수 있다. 이대, 이송 유니트(200)에 의해 이루어지는 기판(10)의 이송은 작업 유니트(800)로 진입하는 과정일 수 있다.

도 3은 본 발명의 이송 장치를 구성하는 이송 유니트(200)를 나타낸 개략도이다.

이송 유니트(200)에는 작업 유니트(800)까지 연장되는 레일 등을 따라 이동하는 클램프 베이스(230), 클램프 베이스(230) 내에서 움직이는 이동부(250), 이동부(250) 내에서 움직이는 클램핑부(210)가 마련될 수 있다.

클램프 베이스(230)는 사각형 기판(10)에 대응되는 형상을 가질 수 있다. 그리고, 중앙 부분에는 받침 유니트(100)가 진입할 수 있도록 통공(239)이 형성될 수 있다. 이에 따르면, 클램프 베이스(230)는 y축 방향으로 서로 평행하게 대면되는 2개의 제1 변과 x축 방향으로 서로 평행하게 대면되는 2개의 제2 변을 갖는 격자 형상을 가질 수 있다.

그리고, 2개의 제1 변 또는 2개의 제2 변에는 이동부(250)의 이동을 가이드하는 레일 등의 제1 가이드(231)가 형성될 수 있다.

구체적으로, 2개의 제1 변은 각각 x축 방향으로 연장되므로, 제1 가이드(231)가 제1 변에 형성될 경우 해당 제1 가이드(231) 역시 도 3에 개시된 바와 같이 x축 방향으로 연장될 수 있다. 이와 다르게 2개의 제2 변은 각각 y축 방향으로 연장되므로, 제1 가이드(231)가 제2 변에 형성될 경우 해당 제1 가이드(231)는 y축 방향으로 연장될 수 있다.

이동부(250)는 2개가 평행하게 마련될 수 있다. 그리고, 각 이동부(250)는 제1 변에 제1 가이드(231)가 형성된 경우 x축 방향으로 이동할 수 있다. 그리고, 각 제1 변에 마련된 제1 가이드(231)에 양단이 각각 걸치도록 y축 방향으로 연장될 수 있다. 이때, 이동부(250) 상에는 y축 방향으로 연장되는 제2 가이드(251)가 형성될 수 있다. 이때, 클램핑부(210)는 제2 가이드(251)를 따라 y축 방향으로 움직일 수 있다. 그리고, 클램핑부(210)는 하나의 이동부(250)에 2개씩 마련될 수 있다. 따라서, 이송 유니트(200)에는 총 4개의 클램핑부(210)가 마련될 수 있다.

만약, 제2 변에 제1 가이드(231)가 형성된다면, 각 이동부(250)는 y축 방향으로 이동할 수 있다. 그리고, 각 제2 변에 마련된 제1 가이드(231)에 양단이 각각 걸치도록 x축 방향으로 연장될 수 있다 이때, 이동부(250) 상에는 x축 방향으로 연장되는 제1 가이드(231)가 형성될 수 있다. 이때, 클램핑부(210)는 제2 가이드(251)를 따라 x축 방향으로 움직일 수 있다.

이상에서 제1 가이드(231)를 따라 이동하는 이동부(250), 제2 가이드(251)를 따라 이동하는 클램핑부(210)에 의하면 각 클램핑부(210)는 기판(10)의 크기에 맞는 초기 위치에 세팅될 수 있다. 클램핑부(210)에는 제2 가이드(251)를 따라 이동하는 이동 베이스(219)가 마련될 수 있다.

초기 위치를 벗어나지 않도록 이동 베이스(219)에는 이동부(250)에 고정되는 고정 수단(218)이 마련될 수 있다. 일예로 고정 수단(218)은 나사가 관통하는 나사 구멍일 수 있다. 초기 위치에 세팅된 상태에서 나사 구멍에 나사를 조이면, 해당 나사는 이동 베이스(219)를 관통하여 이동부(250)에 조여질 수 있다. 이렇게 나사로 조여진 이동부(250)와 클램핑부(210)는 서로 움직일 수 없는 체결 상태가 될 수 있다.

그런데, 이와 같이 클램핑부(210)가 초기 위치에 세팅된 상태 그대로 이동부(250)에 고정된다면, 플렉시블 기판을 잡아당기는 동작이 수행될 수 없다. 플렉시블 기판을 평평하게 잡아당기기 위해 클램핑부(210)에는 3개의 액추에이터가 마련될 수 있다. 이때. 액추에이터 및 해당 액추에이터에 의해 움직이는 로킹부(215)는 이동 베이스(219) 상에 마련될 수 있다.

먼저, 제1 액추에이터(211)는 플렉시블 기판을 잡는 로킹부(215)를 구동시킬 수 있다. 그리고, 제2 액추에이터(212)는 로킹부(215)를 x축과 y축 중 어느 하나의 방향으로 움직일 수 있다. 그리고 제3 액추에이터(213)는 로킹부(215)를 x축과 y축 중 다른 하나의 방향으로 움직일 수 있다.

이때, 제2 액추에이터(212)와 제3 액추에이터(213)에 의해 움직이는 로킹부(215)의 이동 규모는 제1 가이드(231)를 따라 이동하는 이동부(250) 또는 제2 가이드(251)를 따라 이동하는 클램핑부(210)의 이동 규모와 차원이 다를 수 있다.

이동부(250) 또는 클램핑부(210)가 수십cm 단위로 움직일 수 있는 것과 다르게, 로킹부(215)는 수nm~수cm 단위로 움직일 수 있다. 소위 로킹부(215)는 아주 깔짝 움직이는 셈일 수 있다. 이와 같이 한 이유는 플렉시블 기판을 훼손하지 않고 정밀하게 당기기 위함이다.

한편, 제3 액추에이터(213)는 일부 클램핑부(210)에만 설치될 수 있다. 일예로, y축을 따라 연장되는 2개의 이동부(250)에 클램핑부(210)가 ⓐ, ⓑ, ⓒ, ⓓ 4개 있는 경우를 가정한다. 제2 액추에이터(212)는 로킹부(215)를 x축 방향으로 이동시키고, 제3 액추에이터(213)는 로킹부(215)를 y축 방향으로 이동시킬 수 있다.

이때, 클램핑부 ⓐ는 특정 위치에 고정될 수 있다. 이는 초기 위치의 세팅시에도 마찬가지일 수 있다. 이는 원점을 설정하기 위함이다.

클램핑부 ⓐ에는 제3 액추에이터(213)가 마련되지 않을 수 있다. 그리고, 이때, 클램핑부 ⓐ와 다른 이동부(250)에 마련되고 클램핑부 ⓐ에 대면하는 클램핑부 ⓒ에도 제3 액추에이터가 마련되지 않을 수 있다.

이와 같이 x축 방향으로 서로 대면되는 2개의 클램핑부 ⓐ, ⓒ는 기준선을 잡는 역할을 수행할 수 있다.

플렉시블 기판을 평평하게 펴기 위해 우선 x축 방향으로 연장되고 기준선에 해당하는 제1 변을 양쪽에서 x축 방향으로 평평하게 잡아당길 수 있다. 이후 제1 변에 평행하게 대면하는 제2 변을 양쪽에서 x축 방향으로 평평하게 잡아당기면서 y축 방향으로 제1 변으로부터 멀어지게 하는 것이 좋다. 이때, 제1 변을 x축 방향으로 양쪽에서 잡아당기는 기능은 클램핑부 ⓐ, ⓒ에서 수행되고, 제2 변을 x축 방향으로 양쪽에서 잡아당기면서 y축 방향으로 제1 변으로부터 멀어지게 하는 기능은 클램핑부 ⓑ, ⓓ에서 수행될 수 있다.

이에 따르면, 클램핑부 ⓐ, ⓒ는 y축 방향으로 제1 변을 잡아당기지 않아도 되므로, 제3 액추에이터(213)를 갖출 필요가 없다.

이상에서 살펴본 이송 유니트(200)에 의하면, 플렉시블 기판이 안전하고 평평하게 유지될 수 있다.

도 4는 본 발명의 다른 이송 장치를 나타낸 개략도이다. 도 4에서 받침 유니트(100)는 도 1의 이송 장치를 포함할 수 있다.

도 4에 도시된 이송 장치는 로딩부(310), 받침 유니트(100), 카메라(910) 및 클램핑부(210)를 포함할 수 있다.

로딩부(310)는 제2 위치 ②의 플렉시블 기판을 집어서 제1 위치 ①로 옮길 수 있다.

받침 유니트(100)는 제1 위치 ①로 옮겨진 플렉시블 기판을 받칠 수 있다. 만약, 받침 유니트(100)가 없다면, 제1 위치 ①에 놓여진 플렉시블 기판은 아래로 떨어지게 될 것이다.

카메라(910)는 받침 유니트(100)에 받쳐진 플렉시블 기판을 촬영할 수 있다.

클램핑부(210)는 받침 유니트(100)에 받쳐진 플렉시블 기판을 클램핑하고 평평하게 펼 수 있다.

이때, 받침 유니트(100)는 카메라(910)에 의해 감지된 플렉시블 기판의 회전 오차가 보정되도록 회전할 수 있다. 그리고, 클램핑부(210)는 회전 오차가 보정된 플렉시블 기판을 클램핑할 수 있다.

또한, 카메라(910)는 플렉시블 기판의 직선 오차를 감지하기 위해 클램핑부(210)에 클램핑된 플렉시블 기판을 다시 촬영할 수 있다. 이러한 실시예는 1차 촬영과 2차 촬영이 하나의 카메라(910)로 수행되는 경우에 해당한다. 만약, 특정 적재함에 적재된 대상물을 다른 적재함으로 직접 옮기지 않아도 된다면, 1차 촬영과 2차 촬영이 하나의 카메라(910)로 수행되는 것이 유리할 수도 있다.

또한, 클램핑부(210)는 직선 오차를 보정하기 위해 이송 유니트(200) 내에서 직선 이동할 수 있다. 참고로 이때의 직선 이동은 제2 액추에이터(212) 또는 제3 액추에이터(213)에 의한 것이 아니다. 제2 액추에이터(212)와 제3 액추에이터(213)는 기판(10)을 평평하게 당기기 위한 것으로, 기판(10)이 평평해지면 그 상태를 그대로 유지할 수 있다.

앞에서 살펴본 바와 같이 클램핑부(210)는 이동부(250) 또는 클램프 베이스(230)를 따라 이동할 수 있다. 이는 곧 4개의 클램핑부(210)가 기판(10)의 직선 오차를 보정할 수 있는 x축 자유도와 y축 자유도를 갖는 것을 의미한다.

따라서, 복수의 클램핑부(210)가 함께 같은 방향으로 이동하면 플렉시블 기판을 평평하게 유지한 채로 직선 오차를 보정할 수 있다. 만약, 이러한 클램핑부(210)의 움직임이 어렵다면, 클램프 베이스(230) 전체를 x축 또는 y축으로 이동시킬 수 있다.

또한, 클램프 베이스(230)마저 직선 이동시키기 힘들다면, 작업 유니트(800)를 x축 또는 y축으로 이동시킬 수 있다.

한편, 클램핑부(210)는 제1 모드와 제2 모드로 동작할 수 있다.

제1 모드는 플렉시블 기판을 클램핑하는 동작 모드일 수 있다. 구체적으로, 제1 모드는 제1 액추에이터(211)에 의해 구동되는 로킹부(215)에 의해 구현될 수 있다.

제2 모드는 플렉시블 기판이 클램핑된 상태에서 플렉시블 기판을 평평하게 잡아당기는 동작 모드일 수 있다. 구체적으로, 제2 모드는 플렉시블 기판을 로킹한 로킹부(215)를 직선 이동시키는 제2 액추에이터(212) 또는 제3 액추에이터(213)에 의해 구현될 수 있다.

이때, 플렉시블 기판의 훼손을 방지하기 위해 받침 유니트(100)는 제1 모드에서 플렉시블 기판을 받칠 수 있다. 그리고, 제2 모드에서 받침 유니트(100)는 플렉시블 기판의 흡착 상태를 해제하고, 플렉시블 기판으로부터 이격될 수 있다.

받침 유니트(100)는 기본적으로 평면상으로 로딩부(310)에 의해 기판(10)이 놓이는 제1 위치 ①과 동일하고 측면상으로 제1 위치 ①보다 낮은 제4 위치 ④에 배치될 수 있다. 그리고, 제1 위치 ①과 제4 위치 ④를 왕복할 수 있다.

카메라(910)는 평면상으로 제1 위치 ①과 동일하고 측면상으로 제1 위치 ①보다 높은 제5 위치 ⑤에 배치될 수 있다. 제5 위치 ⑤는 기판(10)을 촬영할 수만 있다면, 평면상으로 제1 위치 ①과 달라도 무방하다. 그리고, 제5 위치 ⑤는 로딩부(310)와 간섭되지 않도록 로딩부(310)의 최대 높이보다 높은 지점일 수 있다.

한편, 이송 장치에는 기판(10)을 제1 위치 ①에 놓는 로딩부(310) 외에도, 제1 위치 ①의 기판(10)을 가져가는 언로딩부(330)가 마련될 수 있다.

기판(10)을 작업 유니트(800)로 이송하는 이송 유니트(200)가 마련될 때, 이송 유니트(200)에 기판(10)을 로딩하거나, 이송 유니트(200)로부터 기판(10)을 언로딩하는 로딩 유니트(310, 330)가 마련될 수 있다. 이때, 로딩 유니트는 로딩부(310)와 언로딩부(330)를 포함할 수 있다.

이송 유니트(200)에 기판(10)을 로딩하는 것은 이송 유니트(200)에 기판(10)을 놓는 것이며, 로딩부(310)에 의해 수행될 수 있다. 이송 유니트(200)로부터 기판(10)을 언로딩하는 것은 이송 유니트(200)의 기판(10)을 가져가는 것이며, 언로딩부(330)에 의해 수행될 수 있다.

도 5와 같이 평면상으로 작업 유니트(800)가 제 7위치 ⑦에 배치되는 경우, 이송 유니트(200)는 제1 위치 ①과 제7 위치 ⑦을 왕복할 수 있다. 이때, 로딩부(310)에 의한 기판(10)의 로딩과 언로딩부(330)에 의한 기판(10)의 언로딩은 이송 유니트(200)가 제1 위치 ①에 있을 때 수행될 수 있다.

그리고, 받침 유니트(100)는 제1 위치 ①과 제4 위치 ④를 왕복, 다시 말해 위아래로 이동할 수 있다. 구체적으로, 받침 유니트(100)는 로딩부(310)에 의한 기판(10)의 로딩시 또는 언로딩부(330)에 의한 기판(10)의 언로딩시 위로 이동해서 기판(10)을 지지할 수 있다. 그리고, 로딩 또는 언로딩이 완료되면 이송 유니트(200)의 이동을 보장하기 위해 아래로 이동할 수 있다.

플렉시블 기판의 낙하를 방지하기 위해 받침 유니트(100)에 마련된 흡착 블럭(130)은 로딩부(310)가 이송 유니트(200)에 기판(10)을 로딩할 때, 클램핑부(210)에 기판(10)이 지지된 상태에서 기판(10)의 흡착을 해제할 수 있다. 또는 흡착 블럭(130)은 언로딩부(330)가 이송 유니트(200)로부터 기판(10)을 언로딩할 때, 클램핑부(210)에 기판(10)이 지지된 상태에서 기판(10)을 흡착할 수 있다.

한편, 본 발명의 이송 장치에는 이송 유니트(200)에 로딩되는 기판(10)이 적재되는 제1 적재부(410) 및 이송 유니트(200)로부터 언로딩된 기판(10)이 적재되는 제2 적재부(420)가 마련될 수 있다. 일예로, 제1 적재부(410)에는 작업 유니트(800)에 의해 작업이 이루어지지 않은 기판(10)이 적재되고, 제2 적재부(420)에는 작업 유니트(800)에 의해 작업이 완료된 기판(10)이 적재될 수 있다.

이송 유니트(200)는 평면상으로 제1 위치 ①을 경유해서 이동할 수 있다. 이때, 제1 적재부(410)는 제2 위치 ②에 마련되고, 제2 적재부(420)는 제3 위치 ③에 마련될 수 있다.

그리고, 로딩부(310)는 제1 적재부(410)의 기판(10)을 이송 유니트(200)로 옮기기 위해 제1 위치 ①과 제2 위치 ②를 왕복할 수 있다.

언로딩부(330)는 이송 유니트(200)의 기판(10)을 제2 적재부(420)로 옮기기 위해 제1 위치 ①과 제3 위치 ③을 왕복할 수 있다.

그리고, 제1 적재부(410)와 제2 적재부(420) 중 하나는 나머지 하나에 적재된 대상물이 직접 옮겨지도록 제1 위치 ①로 이동할 수 있다. 물론, 이때의 이동은 이송 유니트(200)가 제1 위치 ①을 벗어난 다음에 이루어져야 할 것이다.

예를 들어, 제2 적재부(420)에 적재된 플렉시블 기판에 대한 재검사가 필요한 경우, 해당 기판(10)은 제1 적재부(410)로 옮겨질 필요가 있다. 이를 위해 로딩부(310)가 제3 위치 ③에 배치된 제2 적재부(420)로 접근한다면 평면상으로 제3 위치 ③에 배치된 언로딩부(330)와 충돌할 것이다. 반대로, 언로딩부(330)가 해당 기판(10)을 집어서 제1 적재부(410)로 접근한다고 해도, 평면상으로 제1 위치 ①에 배치된 로딩부(310)와 충돌할 것이다. 이러한 충돌을 회피하기 위해 로딩부(310)는 제1 위치 ①과 제2 위치 ②를 왕복하도록 설정되고, 언로딩부(330)는 제1 위치 ①과 제3 위치 ③을 왕복하도록 설정되는 것이 좋다.

그런데, 제2 적재부(420)에 적재된 플렉시블 기판을 자동으로 제1 적재부(410)로 옮기기 위해서는 로딩부(310)와 언로딩부(330)의 도움이 절대적으로 필요하다. 이러한 요구 조건과 로딩부(310)/언로딩부(330)의 충돌 회피를 모두 만족시키기 위해 제1 적재부(410) 또는 제2 적재부(420) 중 하나는 제1 위치 ①로 이동할 수 있다.

일예로, 제1 적재부(410)가 제1 위치 ①로 이동한다면, 언로딩부(330)는 로딩부(310)와의 충돌없이 제2 적재부(420)의 기판(10)을 제1 적재부(410)로 옮길 수 있다.

반대로 제2 적재부(420)가 제1 위치 ①로 이동한다면, 로딩부(310)는 별다른 무리없이 제2 적재부(420)의 기판(10)을 제1 적재부(410)로 옮길 수 있다.

제1 적재부(410)에는 이송 유니트(200)에 로딩되는 기판(10)과 간지(30)가 교대로 적재될 수 있다. 간지(30)는 로딩부(310)가 기판(10)을 집어 올릴 때, 다른 기판(10)이 딸려서 들려지는 현상을 방지하기 위한 것일 수 있다. 이러한 간지(30)는 얇은 두께를 같는 플렉시블 기판의 경우 특히 유용하다.

제1 적재부(410)에 적재된 간지(30)는 기판(10)과 함께 이송 유니트(200)에 실리는 것이 아니라, 바로 제2 적재부(420)로 옮겨질 필요가 있다. 왜냐하면 작업 유니트(800)에서 작업이 완료된 플렉시블 기판이 적재되는 제2 적재부(420)에도 각 기판(10)을 서로 분리시키는 간지(30)가 필요하기 때문이다.

이러한 간지(30)의 이송에도 제1 위치 ①로 이동하는 적재부의 구성이 그대로 적용될 수 있다.

제1 적재부(410)와 제2 적재부(420) 어느 것이나 제1 위치 ①로 이동해도 무방하나, 가급적 제1 적재부(410)는 제2 위치 ②에 고정되는 것이 좋다. 왜냐하면, 이동 과정에서 제1 적재부(410)에 적재된 대상물이 흐트러질 수 있기 때문이다. 제1 적재부(410)에 적재된 대상물에는 작업 유니트(800)의 작업이 가해지지 않은 기판(10)이 포함될 수 있다. 이때의 기판(10)은 정렬 오차의 보정을 위해 제2 적재부(420)의 기판(10) 대비 높은 정렬 상태가 유지되는 것이 좋다.

이에 따라 제1 적재부(410)는 고정되고, 대신 제2 적재부(420)가 제1 위치 ①과 제3 위치 ③을 왕복하는 것이 바람직하다. 이에 따르면, 제1 위치 ①과 제2 위치 ②를 왕복하는 로딩부(310)는 제1 적재부(410)에 적재된 대상물을 제1 위치로 이동한 제2 적재부(420)로 옮길 수 있다. 제1 적재부(410)에 적재된 대상물에는 플렉시블 기판과 간지(30)가 포함될 수 있다. 이때, 로딩부(310)는 제1 적재부(410)의 간지(30)를 제2 적재부(420)로 옮길 수 있다.

이러한 구성에 따르면, 기판(10)의 자동 이송 작업에 필요한 세번째 조건이 만족될 수 있다.

도 5 내지 도 12는 본 발명의 이송 장치의 동작을 나타낸 개략도이다. 각 도면에는 이송 장치의 개략적인 평면도가 개시된다.

도 5는 이송 유니트(200)가 제1 위치 ①에 위치한 상태를 나타낼 수 있다.

로딩부(310)는 이송 유니트(200)가 제1 위치 ①에 위치하면, 제2 위치 ②에 배치된 제1 적재부(410)에서 플렉시블 기판을 집어 받침 유니트(100)로 옮길 수 있다. 제2 적재부(420)에는 이미 작업 유니트(800)에 의해 작업이 이루어진 기판(10`)이 적재된 상태일 수 있다.

받침 유니트(100)는 해당 플렉시블 기판을 받치기 위해 위로 상승하여 제1 위치 ①로 옮겨진 플렉시블 기판을 흡착할 수 있다.

이때, 플렉시블 기판의 특성에 의해 기판(10)은 도 6과 같이 회전 오차 및 직선 오차를 가진 채로 받침 유니트(100)에 흡착될 수 있다.

그리고, 로딩부(310)는 카메라(910)를 가리지 않도록 제1 위치 ①로 복귀할 수 있다.

회전 오차를 보정하기 위해 제5 위치 ⑤에 배치된 카메라(910)는 받침 유니트(100)에 흡착된 플렉시블 기판을 촬영해서 회전 오차를 파악할 수 있다. 구체적으로, 카메라(910)는 촬영 영상을 제어부(미도시)로 넘기고, 제어부에서 회전 오차를 파악할 수 있다. 그리고, 제어부는 회전 오차를 보정할 수 있는 회전 보정 신호를 생성할 수 있다.

그리고, 회전 보정 신호에 의해 받침 유니트(100)는 도 7과 같이 회전 오차가 보정되도록 회전할 수 있다.

받침 유니트(100)에 의해 도 8과 같이 플렉시블 기판의 회전 오차가 보정되면, 비로소 클램핑부(210)는 플렉시블 기판을 클램핑할 수 있다. 이때의 클램핑은 구체적으로 로킹부(215)가 플렉시블 기판을 단순히 잡은 상태일 수 있다. 만약, 이때, 제2 액추에이터(212)와 제3 액추에이터(213)가 구동되면, 받침 유니트(100)에 의해 지지된 플렉시블 기판이 훼손될 수 있다. 왜냐하면, 흐느적거리는 플렉시블 기판의 양단을 로킹부(215)에 걸치기 위해 받침 유니트(100)는 로킹부(215)보다 약간 더 상승한 상태일 수 있기 때문이다. 이 상태에서 플렉시블 기판을 잡아당기면, 플렉시블 기판에서 흡착 블럭(130)에 접촉된 부분이 마찰로 인해 훼손될 수 있다. 이를 방지하기 위해 제1 액추에이터(211)만 구동되는 것이 좋다.

받침 유니트(100)는 플렉시블 기판이 클램핑부(210)에 클램핑되면 아래로 하강할 수 있다. 그리고, 클램핑부(210)는 받침 유니트(100)가 하강하면 플렉시블 기판을 평평하게 잡아당길 수 있다. 다시 말해, 받침 유니트(100)가 하강하는 과정 중에 클램핑부(210)는 플렉시블 기판에 텐션을 줄 수 있다.

이때의 받침 유니트(100)는 제4 위치 ④까지 하강할 수 있다.

플렉시블 기판이 평평하게 유지되면, 이송 유니트(200)는 직선 오차를 보정하기 위해 도 9와 같이 제1 위치를 벗어나 보조 카메라(930)가 마련된 제6 위치 ⑥으로 이동할 수 있다.

그리고, 제2 적재부(420)는 이송 유니트(200)가 벗어난 제1 위치 ①로 이동할 수 있다.

이때, 제2 위치 ②로 복귀했던 로딩부(310)는 도 10과 같이 제1 적재부(410)의 간지(30)를 집어서 제1 위치 ①로 이동하고, 제1 위치 ①로 이동한 제2 적재부(420)에 간지(30)를 적재할 수 있다. 이와 비슷한 시기에 제6 위치 ⑥에서 직선 오차가 파악된 플렉시블 기판은 이송 유니트(200)에 의해 작업 유니트(800)가 마련된 제7 위치 ⑦로 이송될 수 있다.

직선 오차는 이송 유니트(200) 또는 작업 유니트(800)에 의해 해소된 상태일 수 있다.

제2 적재부(420)에 간지(30)가 적재되면 로딩부(310)는 도 11과 같이 제1 적재부(410)의 위치 ①로 이동하고, 제2 적재부(420)의 원래의 위치 ③으로 이동할 수 있다.

제7 위치 ⑦에서 플렉시블 기판에 대한 작업이 완료되면, 이송 유니트(200)는 도 12와 같이 제1 위치 ①로 복귀할 수 있다. 이송 유니트(200)가 제1 위치 ①로 복귀하면, 클램핑부(210)는 플렉시블 기판을 평평하게 유지하는 상태를 해제할 수 있다. 이러한 동작은 제2 액추에이터(212) 및 제3 액추에이터(213)에 의해 이루어질 수 있다.

그리고, 받침 유니트(100)는 위로 상승해서 평평한 상태가 해제된 플렉시블 기판을 흡착할 수 있다. 플렉시블 기판이 평평한 상태에서 받침 유니트(100)가 상승하면, 받침 유니트(100)의 힘에 의해 플렉시블 기판이 찢어질 수 있으나, 본 발명에 따르면 평평한 상태가 해제된 상태이므로 이러한 문제가 없다.

받침 유니트(100)에 플렉시블 기판이 흡착되면, 클램핑부(210)는 플렉시블 기판의 클램핑을 해제할 수 있다.

이 상태에서 언로딩부(330)는 받침 유니트(100)에 놓여진 플렉시블 기판을 제2 적재부(420)로 옮길 수 있다. 물론, 언로딩부(330)에 플렉시블 기판이 흡착되면, 받침 유니트(100)의 흡착 상태는 해제되는 것이 좋다.

이후, 다시 도 5의 상태가 되고, 도 5 내지 도 12의 공정이 반복될 수 있다.

도 13은 본 발명의 이송 장치의 실제 구현 모습을 나타낸 사시도이다.

살펴보면, 평면상으로 제2 위치 ②와 제3 위치 ③의 사이에 제1 위치 ①이 마련되고 있다. 그리고, 제1 위치 ①에 이송 유니트(200)와 기판(10)이 배치되고 있다. 또한, 제2 위치 ②에 제1 적재부(410)가, 제3 위치 ③에 제2 적재부(420)가 배치되고 있다. 또한, 각 적재부의 위에 로딩부(310)와 언로딩부(330)가 마련되고 있다. 얼핏 보아도, 로딩부(310)와 언로딩부(330)는 서로 간의 충돌이 염려될 만큼 큰 규모를 가지고 있음을 알 수 있다.

카메라(910)는 제1 위치 ①로 이동한 로딩부(310) 또는 언로딩부(330)와의 충돌을 회피하기 위해 충분히 높은 제5 위치 ⑤에 배치되고 있다. 도면에서 카메라(910)로부터 기판(10)을 향해 연장되는 선은 카메라(910)의 포커스를 나타내기 위한 것이다.

그리고, y축 방향을 따라 제1 위치 ①로부터 이격된 제6 위치 ⑥에 보조 카메라(930)가 마련되고 있다. 보조 카메라(930)는 로딩부(310) 또는 언로딩부(330)와의 충돌을 염려할 필요가 없고, 또한 정밀한 촬영이 필요하다. 이를 위해 제6 위치 ⑥은 제5 위치 ⑤와 비교하여 측면상으로 제1 위치 ①에 보다 근접한 지점에 마련될 수 있다.

그리고, y축 방향으로 제6 위치 ⑥에서 이격된 제7 위치 ⑦에 작업 유니트(800)가 마련되고 있다.

이송 유니트(200)의 이동 시간을 최대한 줄이기 위해 평면상으로 제1 위치 ①, 제6 위치 ⑥, 제7 위치 ⑦은 일직선 상에 마련될 수 있다.

한편, 클램핑부(210)의 초기 위치를 용이하게 세팅하기 위한 방안이 마련될 수 있다.

도 14는 본 발명의 이송 장치를 구성하는 다른 이송 유니트를 나타낸 개략도이다.

클램프 베이스(230)에는 복수의 이동부(250)가 마련될 수 있다. 또한, 각 이동부(250)에는 복수의 클램핑부(210)가 마련될 수 있다.

이때, 복수의 이동부(250)를 서로 독립적으로 움직이거나, 복수의 클램핑부(210)를 서로 독립적으로 움직이면, 초기 세팅 과정이 힘들 수 있다.

이를 해소하기 위해 어느 하나의 이동부(250)를 움직이면 나머지 이동부(250)도 같이 움직이도록 하는 것이 유리하다. 마찬가지로, 어느 하나의 클램핑부(210)를 움직이면 나머지 클램핑부(210)도 같이 움직이도록 하는 것이 유리하다.

이를 위해 이송 유니트에는 제1 타이밍 벨트(271)와 제2 타이밍 벨트(272)가 마련될 수 있다.

제1 타이밍 벨트(271)는 이동부(250)의 이동 방향을 따라 연장될 수 있다. 이동부(250)의 이동 방향은 클램프 베이스(230) 상에 마련된 제1 가이드(231)에 의해 결정될 수 있다. 따라서, 제1 타이밍 벨트(271)는 제1 가이드(231)의 연장 방향을 따라 연장될 수 있다. 도면에서 제1 가이드(231)이 x축 방향으로 연장되므로, 제1 타이밍 벨트(271) 역시 x축 방향으로 연장될 수 있다.

제1 타이밍 벨트(271)의 양단은 회전축에 링크될 수 있다.

복수의 이동부(250)는 클램프 베이스(230) 상에서 서로 가까워지거나, 서로 멀어지도록 제1 타이밍 벨트(271)에 연결될 수 있다.

일예로, 도면과 같이 2개의 이동부(250)가 마련될 때, 좌측의 이동부(250)는 회전축을 기준으로 일측의 제1 타이밍 벨트(271)에 연결되고, 우측의 이동부(250)는 회전축의 타측의 제1 타이밍 벨트(271)에 연결될 수 있다.

이에 따르면, 회전축이 시계 방향으로 돌 때, 좌측의 이동부는 좌측으로, 우측의 이동부는 우측으로 이동할 수 있다. 만약, 회전축이 반시계 방향으로 돈다면, 좌측의 이동부는 우측으로, 우측의 이동부는 좌측으로 이동할 수 있다. 이동부(250)의 움직임은 초기 위치의 세팅시 클램핑부(210)의 x축 좌표를 결정할 수 있다. 따라서, 사용자는 클램핑부(210)의 x축 초기 위치 세팅시 제1 타이밍 벨트(271)에 링크된 1개의 회전축을 회전시키면 충분하다.

제2 타이밍 벨트(272)는 이동부(250) 상에서 움직이는 클램핑부(210)의 이동 방향을 따라 연장될 수 있다. 이동부(250) 상에서 클램핑부(210)의 이동 방향은 이동부(250) 상에 마련된 제2 가이드(251)에 의해 결졍될 수 있다. 따라서, 제2 타이밍 벨트(272)는 제2 가이드(251)의 연장 방향을 따라 연장될 수 있다. 도면에서는 제2 가이드(251)와 제2 타이밍 벨트(272)가 y축 방향으로 연장되는 것으로 나타내었다.

제2 타이밍 벨트(272)의 양단은 제1 타이밍 벨트(271)의 회전축과 구분되는 다른 회전축에 링크될 수 있다.

그리고, 복수의 클램핑부는 이동부 상에서 서로 가까워지거나 서로 멀어지도록 제2 타이밍 벨트에 연결될 수 있다.

일예로, 도 14에서 우측의 이동부(250)에 2개의 클램핑부 ⓒ, ⓓ가 마련될 수 있다. 이때, 클램핑부 ⓒ는 회전축을 기준으로 일측의 제2 타이밍 벨트(272)에 연결될 수 있다. 그리고, 클램핑부 ⓓ는 타측의 제2 타이밍 벨트(272)에 연결될 수 있다. 이에 따르면, 회전축이 시계 방향으로 돌면, 클램핑부 ⓒ, ⓓ는 서로 멀어지고, 회전축이 반시계 방향으로 돌면, 클램핑부 ⓒ, ⓓ는 서로 가까워질 수 있다.

만약, 제2 타이밍 벨트(272)가 좌측의 이동부(250)에 마련된 클램핑부 ⓐ, ⓑ까지 연장된다면, x축 방향으로 서로 대면되는 클램핑부 ⓐ, ⓒ는 y축 방향으로 함께 움직일 수 있다. 마찬가지로 x축 방향으로 서로 대면되는 클램핑부 ⓑ, ⓓ는 y축 방향으로 함께 움직일 수 있다.

따라서, 회전축이 회전하면, 클램핑부 ⓐ, ⓒ는 함께 y축 방향으로 클램핑부 ⓑ, ⓓ에 가까워지거나 멀어질 수 있다. 결과적으로 사용하는 제2 타이밀 벨트(272)에 링크된 하나의 회전축을 회전하는 것으로, 클램핑부(210)의 y축 초기 위치를 세팅할 수 있다.

이상에서 본 발명에 따른 실시예들이 설명되었으나, 이는 예시적인 것에 불과하며, 당해 분야에서 통상적 지식을 가진 자라면 이로부터 다양한 변형 및 균등한 범위의 실시예가 가능하다는 점을 이해할 것이다. 따라서, 본 발명의 진정한 기술적 보호 범위는 다음의 특허청구범위에 의해서 정해져야 할 것이다.

10...기판 30...간지
100...받침 유니트 110...지지판
130...흡착 블럭 131...몸체
133...전자석 135...흡착 모듈
150...기둥 170...에어 라인
190...와이어 200...이송 유니트
210...클램핑부 211...제1 액추에이터
212...제2 액추에이터 213...제3 액추에이터
215...로킹부 218...고정 수단
219...이동 베이스 230...클램프 베이스
231...제1 가이드 239...통공
250...이동부 251...제2 가이드
271...제1 타이밍 벨트 272...제2 타이밍 벨트
310...로딩부 330...언로딩부
410...제1 적재부 420...제2 적재부
800...작업 유니트 910...카메라
930...보조 카메라

Claims (14)

1. 기판에 평행하게 대면되는 지지판; 및
   상기 지지판에 설치되고 상기 기판이 흡착되는 흡착 블럭;을 포함하고,
   상기 흡착 블럭은 상기 지지판에서 상기 기판에 대면되는 임의의 위치에 착탈되며,
   상기 흡착 블럭에는 상기 지지판에 대면되는 제1 면과 상기 기판에 대면되는 제2 면을 갖는 몸체, 상기 제1 면에 설치되고 전기 신호에 따라 상기 지지판에 착탈되는 전자석, 상기 제2 면에 설치되고 공기를 흡입하는 흡착 모듈이 마련되고,
   상기 몸체에는 상기 전기 신호가 흐르는 와이어, 상기 흡착 모듈에서 흡입된 공기가 소통되는 에어 라인(air line)이 연결되는 이송 장치.
   
2. 제1항에 있어서,
   상기 흡착 블럭에는 전자석이 마련되고,
   상기 지지판은 상기 전자석에 붙는 재질을 포함하며,
   상기 흡착 블럭은 상기 전자석에 인가되는 전기 신호에 따라 상기 지지판에 부착되거나 이탈되는 이송 장치.
   
3. 삭제
4. 제1항에 있어서,
   상기 흡착 블럭에 흡착된 상기 기판을 촬영하는 카메라;를 포함하고,
   상기 지지판에는 상기 기판에 직교하는 회전축이 마련되며,
   상기 지지판은 상기 카메라에서 파악된 상기 기판의 회전 오차가 보정되도록 상기 회전축을 중심으로 회전하는 이송 장치.
   
5. 기판에 평행하게 대면되는 지지판; 및
   상기 지지판에 설치되고 상기 기판이 흡착되는 흡착 블럭;
   상기 기판에 해당하는 플렉시블 기판을 촬영하는 카메라; 및
   상기 흡착 블럭에 흡착된 상기 플렉시블 기판을 클램핑하고, 상기 플렉시블 기판을 평평하게 유지하는 클램핑부;를 포함하고,
   상기 흡착 블럭은 상기 플렉시블 기판에 직교하는 제1 방향을 따라 이동하는 상기 지지판에 의해 상기 플렉시블 기판을 지지할 수 있는 제1 위치로 이동하며,
   상기 흡착 블럭은 상기 제1 위치에 언로딩되는 상기 플렉시블 기판을 흡착하고,
   상기 흡착 블럭에 언로딩된 상기 플렉시블 기판은 플렉시블한 성질에 따라 상기 언로딩 또는 상기 흡착 과정에서 회전 오차 및 직선 오차를 가지며,
   상기 카메라는 상기 흡착 블럭에 흡착된 상기 플렉시블 기판의 상기 회전 오차를 파악하고,
   상기 지지판은 상기 카메라에서 파악된 상기 플렉시블 기판의 상기 회전 오차가 보정되도록 회전하고,
   상기 회전 오차가 보정된 상기 플렉시블 기판이 상기 클램핑부에 클램핑되면, 상기 흡착 블럭은 상기 플렉시블 기판의 흡착을 해제하고 상기 지지판에 의해 상기 제1 위치로부터 이격된 다른 위치로 이동하며,
   상기 다른 위치로 이동한 상기 흡착 블럭에 의해 움직임이 자유로워진 상기 클램핑부는 상기 플렉시블 기판과 함께 상기 카메라 또는 별도의 보조 카메라를 이용해 상기 플렉시블 기판의 상기 직선 오차가 파악되는 위치로 이동하고,
   상기 직선 오차는 상기 플렉시블 기판을 가공하거나 검사하는 작업 유니트 또는 상기 클램핑부에 의해 보정되는 이송 장치.
   
6. 삭제
7. 기판을 이송하는 이송 유니트;
   상기 이송 유니트에 상기 기판을 로딩하거나, 상기 이송 유니트로부터 상기 기판을 언로딩하는 로딩 유니트; 및
   상기 로딩 유니트의 로딩 또는 언로딩시 상기 기판을 받치는 받침 유니트;를 포함하고,
   상기 받침 유니트는 상기 로딩시 또는 상기 언로딩시 위로 이동하고, 상기 로딩 또는 상기 언로딩이 완료되면 아래로 이동하며,
   상기 기판은 플렉시블 기판이고,
   상기 이송 유니트에는 클램프 베이스, 상기 클램프 베이스 내에서 움직이는 이동부 및 상기 기판을 평평하게 유지하고 상기 이동부 내에서 움직이는 클램핑부가 마련되며,
   상기 클램핑부에는 상기 이동부의 연장 방향을 따라 이동하는 이동 베이스, 상기 기판을 잡는 로킹부, 상기 로킹부를 구동시키는 제1 액추에이터, 상기 기판이 놓여진 xy 평면 상에 배치될 때 x축 방향 또는 y축 방향으로 상기 로킹부를 이동시키는 제2 액추에이터가 마련되는 이송 장치.
   
8. 기판을 이송하는 이송 유니트;
   상기 이송 유니트에 상기 기판을 로딩하거나, 상기 이송 유니트로부터 상기 기판을 언로딩하는 로딩 유니트; 및
   상기 로딩 유니트의 로딩 또는 언로딩시 상기 기판을 받치는 받침 유니트;를 포함하고,
   상기 받침 유니트는 상기 로딩시 또는 상기 언로딩시 위로 이동하고, 상기 로딩 또는 상기 언로딩이 완료되면 아래로 이동하며,
   상기 이송 유니트에는 클램프 베이스, 상기 클램프 베이스 내에서 움직이는 복수의 이동부 및 상기 기판을 평평하게 유지하고 상기 이동부 내에서 움직이는 복수의 클램핑부가 마련되고,
   상기 클램프 베이스 상에서 서로 가까워지거나 서로 멀어지도록 복수의 상기 이동부는 제1 타이밍 벨트에 연결되며,
   상기 이동부 상에서 서로 가까워지거나 서로 멀어지도록 복수의 상기 클램핑부는 제2 타이밍 벨트에 연결되는 이송 장치.
   
9. 기판을 이송하는 이송 유니트;
   상기 이송 유니트에 상기 기판을 로딩하거나, 상기 이송 유니트로부터 상기 기판을 언로딩하는 로딩 유니트; 및
   상기 로딩 유니트의 로딩 또는 언로딩시 상기 기판을 받치는 받침 유니트;를 포함하고,
   상기 받침 유니트는 상기 로딩시 또는 상기 언로딩시 위로 이동하고, 상기 로딩 또는 상기 언로딩이 완료되면 아래로 이동하며,
   상기 기판은 플렉시블 기판이고,
   상기 이송 유니트에는 상기 기판을 평평하게 유지하는 클램핑부가 마련되며,
   상기 받침 유니트에는 상기 기판이 흡착되는 흡착 블럭 및 상기 흡착 블럭을 지지하고 위아래로 움직이는 지지판이 마련되고,
   상기 흡착 블럭은 상기 로딩시 상기 클램핑부에 상기 기판이 지지된 상태에서 상기 기판의 흡착을 해제하거나, 상기 언로딩시 상기 클램핑부에 상기 기판이 지지된 상태에서 상기 기판을 흡착하는 이송 장치.
   
10. 기판을 이송하는 이송 유니트;
    상기 이송 유니트에 상기 기판을 로딩하거나, 상기 이송 유니트로부터 상기 기판을 언로딩하는 로딩 유니트; 및
    상기 로딩 유니트의 로딩 또는 언로딩시 상기 기판을 받치는 받침 유니트;를 포함하고,
    상기 받침 유니트는 상기 로딩시 또는 상기 언로딩시 위로 이동하고, 상기 로딩 또는 상기 언로딩이 완료되면 아래로 이동하며,
    상기 이송 유니트에 로딩되는 기판이 적재되는 제1 적재부; 및
    상기 이송 유니트로부터 언로딩된 기판이 적재되는 제2 적재부;를 포함하고,
    평면상으로 상기 이송 유니트는 제1 위치를 경유해서 이동하며,
    상기 제1 적재부는 제2 위치에 마련되고,
    상기 제2 적재부는 제3 위치에 마련되며,
    상기 로딩 유니트에는 상기 제1 위치와 상기 제2 위치를 왕복하고 상기 제1 적재부의 기판을 상기 이송 유니트로 옮기는 로딩부 및 상기 제1 위치와 상기 제3 위치를 왕복하고 상기 이송 유니트의 기판을 상기 제2 적재부로 옮기는 언로딩부가 마련되고,
    상기 이송 유니트가 상기 제1 위치를 벗어나면, 상기 제1 적재부 또는 상기 제2 적재부는 상기 제1 위치로 이동하는 이송 장치.
    
11. 제10항에 있어서,
    상기 제1 적재부는 상기 제2 위치에 고정되고,
    상기 제2 적재부는 상기 제1 위치와 상기 제3 위치를 왕복하며,
    상기 제1 위치와 상기 제2 위치를 왕복하는 상기 로딩부는 상기 제1 적재부에 적재된 대상물을 상기 제1 위치로 이동한 상기 제2 적재부로 옮기거나, 상기 제1 위치로 이동한 상기 제2 적재부에 적재된 대상물을 상기 제1 적재부로 옮기는 이송 장치.
    
12. 제10항에 있어서,
    상기 제1 적재부에는 상기 이송 유니트에 로딩되는 기판과 간지가 교대로 적재되고,
    상기 이송 유니트가 상기 제1 위치를 벗어나면, 상기 제2 적재부는 상기 제1 위치로 이동하며,
    상기 로딩부는 상기 제1 적재부의 상기 간지를 상기 제1 위치에 위치한 상기 제2 적재부로 옮기는 이송 장치.
    
13. 삭제
14. 제1 위치를 경유해서 플렉시블 기판을 이송하고, 상기 플렉시블 기판을 평평하게 펴는 클램핑부가 마련된 이송 유니트;
    제2 위치에 배치되고, 상기 이송 유니트에 로딩되는 플렉시블 기판과 간지가 교대로 적재되는 제1 적재부;
    제1 위치와 제3 위치를 왕복하고, 상기 이송 유니트로부터 언로딩된 플렉시블 기판이 적재되는 제2 적재부;
    평면상으로 상기 제1 위치에서 상기 이송 유니트에 로딩되는 플렉시블 기판을 흡착하고, 상기 플렉시블 기판이 흡착된 상태로 회전하는 받침 유니트;
    상기 제1 위치와 상기 제2 위치를 왕복하고 상기 제1 적재부의 플렉시블 기판을 상기 이송 유니트로 옮기는 로딩부;
    상기 제1 위치와 상기 제3 위치를 왕복하고 상기 이송 유니트의 플렉시블 기판을 상기 제2 적재부로 옮기는 언로딩부; 및
    상기 받침 유니트의 회전을 제어하기 위해 상기 제1 위치에서 상기 플렉시블 기판을 촬영하는 카메라;를 포함하고,
    상기 이송 유니트가 상기 제1 위치에 위치하면, 상기 로딩부는 상기 제1 적재부의 플렉시블 기판을 집어서 상기 받침 유니트로 옮기며,
    상기 받침 유니트는 위로 상승하여 상기 로딩부에 의해 상기 제1 위치로 옮겨진 플렉시블 기판을 흡착하고,
    상기 카메라는 상기 받침 유니트에 흡착된 상기 플렉시블 기판을 촬영해서 상기 플렉시블 기판의 회전 오차를 파악하며,
    상기 받침 유니트는 상기 회전 오차가 보정되도록 회전하고,
    상기 클램핑부는 상기 회전 오차가 보정된 플렉시블 기판을 클램핑하며,
    상기 받침 유니트는 상기 플렉시블 기판이 상기 클램핑부에 클램핑되면 아래로 하강하고,
    상기 클램핑부는 상기 받침 유니트가 하강하면 상기 플렉시블 기판을 평평하게 잡아당기며,
    상기 플렉시블 기판이 평평하게 유지되면 상기 이송 유니트는 상기 제1 위치를 벗어나 이동하고,
    상기 이송 유니트가 상기 제1 위치를 벗어나면 상기 제2 적재부는 상기 제1 위치로 이동하고,
    상기 로딩부는 상기 제1 적재부의 간지를 집어서 상기 제1 위치로 이동해서 상기 제1 위치로 이동한 상기 제2 적재부에 상기 간지를 적재하며,
    상기 제2 적재부에 상기 간지가 적재되면, 상기 로딩부는 상기 제1 적재부의 위치로 이동하고, 상기 제2 적재부는 원래의 위치로 이동하며,
    상기 이송 유니트가 상기 제1 위치로 복귀하면 상기 클램핑부는 상기 플렉시블 기판을 평평하게 유지하는 상태를 해제하고,
    상기 받침 유니트는 위로 상승해서 평평한 상태가 해제된 상기 플렉시블 기판을 흡착하며,
    상기 받침 유니트에 상기 플렉시블 기판이 흡착되면 상기 클램핑부는 상기 플렉시블 기판의 클램핑을 해제하고,
    상기 언로딩부는 상기 받침 유니트에 놓여진 플렉시블 기판을 상기 제2 적재부로 옮기는 이송 장치.

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