JP6805188B2 - 検出器 - Google Patents
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Description
図1は、第1の実施形態に係る検出器1を模式的に示す図である。
図6は、第2の実施形態に係る検出器1を模式的に示す図である。
Claims (18)
- 第1方向に振動可能な第1機械振動子と、当該第1機械振動子に機械的に接続され、前記第1方向に対して垂直な第2方向に振動可能な第2機械振動子と、振動中の前記第1機械振動子を捕捉すると共に捕捉した前記第1機械振動子を解放する捕捉及び解放機構とを含む振動機構と、
前記第1機械振動子の振動中の前記第1方向における位置を検出し、当該検出した位置に対応する第1信号を出力する第1回路であって、前記第1信号は第1周波数を含む前記第1回路と、
前記第2機械振動子の振動中の前記第2方向における位置を検出し、当該検出した位置に対応する第2信号を出力する第2回路と、
前記第1信号を同期検波基準信号に用いて前記第2信号を同期検波し、検波信号を出力する同期検波回路と、
クロック信号に従って前記検波信号に対する移動平均処理を開始し、かつ、前記第1信号を用いて規定した期間においては前記開始した移動平均処理を続ける移動平均フィルタと、
前記振動機構を制御する第1制御部であって、前記クロック信号に同期して前記捕捉及び解放機構により前記第1機械振動子の前記第1方向における振動を開始させ、かつ、前記移動平均フィルタが前記移動平均処理を行っている期間においては前記捕捉及び解放機構は前記第1機械振動子を捕捉せずに前記開始された振動を続けさせる前記第1制御部と
を具備する検出器。 - 前記第1信号を用いて規定した前記期間は、前記第1周波数に対応する周期のM倍(Mは正の整数)である請求項1に記載の検出器。
- 前記移動平均フィルタは、前記クロック信号のクロックの立ち上がりから前記第1信号で規定される一定時間の経過後に前記移動平均処理を開始する請求項1または2に記載の検出器。
- 前記第1信号で規定される前記一定時間は、前記第1周波数に対応する周期のN倍(Nは正の整数)である請求項3に記載の検出器。
- 第1方向に振動可能な第1機械振動子と、当該第1機械振動子に機械的に接続され、前記第1方向に対して垂直な第2方向に振動可能な第2機械振動子とを含む振動機構と、
前記第1機械振動子の振動中の前記第1方向における位置を検出し、当該検出した位置に対応する第1信号を出力する第1回路であって、前記第1信号は第1周波数を含む前記第1回路と、
前記第2機械振動子の振動中の前記第2方向における位置を検出し、当該検出した位置に対応する第2信号を出力する第2回路と、
前記第1信号を同期検波基準信号に用いて前記第2信号を同期検波し、検波信号を出力する同期検波回路と、
前記第1周波数よりも高い第2周波数を有する第3信号を生成し、当該生成した第3信号を出力する第3回路と、
クロック信号に従って前記検波信号に対する移動平均処理を開始し、かつ、前記第3信号を用いて規定した期間においては前記開始した移動平均処理を続ける移動平均フィルタと、
前記振動機構を制御する第1制御部であって、前記クロック信号に同期して前記第1機械振動子の前記第1方向における振動を開始させる前記第1制御部と
を具備する検出器。 - 前記第3信号の周波数は、前記第1周波数のP倍(Pは2以上の整数)である請求項5に記載の検出器。
- 前記第3信号を用いて規定した前記期間は、前記第3信号の周期のQ倍(Q=P× M、Mは正の整数)である請求項5または6に記載の検出器。
- 前記移動平均フィルタは、前記クロック信号のクロックの立ち上がりから前記第3信号で規定される一定時間の経過後に前記移動平均処理を開始する請求項5ないし7のいずれかに記載の検出器。
- 前記第3信号で規定される前記一定時間は、前記第3信号の周期のR倍(Rは正の整数)である請求項8に記載の検出器。
- 前記第1信号を前記第1機械振動子に帰還し、前記第1機械振動子の振動の振幅の大きさを制御する振幅制御回路をさらに具備する請求項5ないし9のいずれかに記載の検出器。
- 前記第1周波数は、前記第1機械振動子の共振周波数である請求項1ないし10のいずれかに記載の検出器。
- 前記クロック信号を発生する発生回路をさらに具備する請求項1ないし11のいずれかに記載の検出器。
- 前記移動平均フィルタの出力信号に基づいて物理量を算出する算出部をさらに具備する請求項1ないし12のいずれかに記載の検出器。
- 前記物理量は、角速度または磁力であることを特徴とする請求項13に記載の検出器。
- 前記第1回路、前記第2回路、前記同期検波回路および前記移動平均フィルタを制御する第2制御部をさらに具備する請求項1ないし14のいずれかに記載の検出器。
- 前記第2制御部が前記第1回路、前記第2回路、前記同期検波回路および前記移動平均フィルタの動作の少なくとも一つを停止し、前記第1制御部は前記第1機械振動子の前記第1方向における振動を停止する請求項15に記載の検出器。
- 前記第1機械振動子および前記第2機械振動子はMEMS(Micro Electro Mechanical Systems)型の可変キャパシタの可変電極である請求項1ないし16のいずれかに記載の検出器。
- 前記第1機械振動子が前記第1方向に振動している期間において、前記振動機構に回転を生じさせる力が作用すると、前記第2機械振動子は前記第2方向に振動する請求項1ないし17のいずれかに記載の検出器。
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