JP6804410B2 - Conveying mechanism, resin molding device, method of delivering the object to be molded to the molding mold, and method of manufacturing the resin molded product - Google Patents

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Description

本発明は、搬送機構、樹脂成形装置、成形対象物の成形型への受け渡し方法、及び樹脂成形品の製造方法に関する。 The present invention relates to a transport mechanism, a resin molding apparatus, a method of delivering a molded object to a molding mold, and a method of manufacturing a resin molded product.

ダイダウン方式(チップ搭載面が下方を向き,上成形型が基板など成形対象物を保持する成形方法)の樹脂成形型において、基板等の成形対象物は上成形型に保持される(特許文献1等)。 In the resin molding die of the die-down method (a molding method in which the chip mounting surface faces downward and the upper molding die holds a molding object such as a substrate), the molding object such as a substrate is held by the upper molding die (Patent Document 1). etc).

特開2017−024398号公報Japanese Unexamined Patent Publication No. 2017-024398

基板等の成形対象物を成形型に受け渡す方法としては、例えば、図21〜23に示す方法が考えられる。すなわち、まず、図21に示すように、搬送機構1000に、成形対象物である基板(インターポーザ)2を載置した状態で、搬送機構1000を、成形型(プレス)の上成形型100と下成形型(図示せず)との間に進入させる。図示のとおり、この搬送機構1000は、本体1010と、アクチュエータ1014と、プレート1013とを主要構成要素とする。アクチュエータ1014としては、例えばシリンダー1011及びピストンロッド1012を含むエアーシリンダーを用いることができる。シリンダー1011は、本体1010の上面に接続されている。プレート1013は、シリンダー1011の上方に位置し、ピストンロッド1012を介してシリンダー1011に接続されている。プレート13には、図示のとおり、基板2を載置することができる。図21〜23では、基板2は、チップ搭載面が下方を向き、前記チップ搭載面には、チップ1及びワイヤ3が搭載(固定)されている。なお、上成形型100の下面にはパイロットピン101が固定されており、パイロットピン101を基板2の孔4に挿入することで、基板2の位置決めが可能である。 As a method of delivering the object to be molded such as a substrate to the molding die, for example, the methods shown in FIGS. 21 to 23 can be considered. That is, first, as shown in FIG. 21, the transfer mechanism 1000 is placed on the transfer mechanism 1000 with the substrate (interposer) 2 which is the object to be molded, and the transfer mechanism 1000 is placed below the upper molding die 100 of the molding die (press). It is inserted between the molding die (not shown). As shown in the figure, the transport mechanism 1000 includes a main body 1010, an actuator 1014, and a plate 1013 as main components. As the actuator 1014, for example, an air cylinder including a cylinder 1011 and a piston rod 1012 can be used. The cylinder 1011 is connected to the upper surface of the main body 1010. The plate 1013 is located above the cylinder 1011 and is connected to the cylinder 1011 via a piston rod 1012. As shown in the figure, the substrate 2 can be placed on the plate 13. In FIGS. 21 to 23, the chip mounting surface of the substrate 2 faces downward, and the chip 1 and the wire 3 are mounted (fixed) on the chip mounting surface. A pilot pin 101 is fixed to the lower surface of the upper molding die 100, and the substrate 2 can be positioned by inserting the pilot pin 101 into the hole 4 of the substrate 2.

つぎに、図22に示すとおり、シリンダー1011によりピストンロッド1012を伸ばすことで、プレート1013を上昇させる。これにより、図示のとおり、プレート1013に載置された基板2を上成形型100に押し当てて受け渡す。 Next, as shown in FIG. 22, the plate 1013 is raised by extending the piston rod 1012 by the cylinder 1011. As a result, as shown in the drawing, the substrate 2 placed on the plate 1013 is pressed against the upper molding die 100 and delivered.

さらに、図23に示すとおり、上成形型100に設けられた吸引機構(図示せず)により基板2を上成形型100の下面に吸着させて保持する。その後、図示のように、シリンダー1011によりピストンロッド1012を縮めることで、プレート1013を下降させる。そして、搬送機構1000を成形型(プレス)の外へ退避させた後に、成形型により成形対象物(基板)2を樹脂成形する。 Further, as shown in FIG. 23, the substrate 2 is attracted to and held on the lower surface of the upper molding die 100 by a suction mechanism (not shown) provided on the upper molding die 100. Then, as shown in the figure, the piston rod 1012 is contracted by the cylinder 1011 to lower the plate 1013. Then, after the transport mechanism 1000 is retracted to the outside of the molding die (press), the object to be molded (substrate) 2 is resin-molded by the molding die.

図21〜23において、成形対象物(基板)2は、例えば、成形型内に進入するまで、搬送機構1000が有するヒーター(図示せず)によって所定の温度に予備加熱することができる。この予備加熱によって、基板2が熱膨張する。これによって、上成形型100のパイロットピン101の径と基板2の孔内側に位置することで、上成形型100への基板2の受け渡しがスムースになる。 In FIGS. 21 to 23, for example, the object to be molded (board) 2 can be preheated to a predetermined temperature by a heater (not shown) included in the transport mechanism 1000 until it enters the molding die. This preheating causes the substrate 2 to thermally expand. As a result, the diameter of the pilot pin 101 of the upper molding die 100 and the position inside the hole of the substrate 2 make the transfer of the substrate 2 to the upper molding die 100 smooth.

しかし、成形対象物を上成形型に押し当てて受け渡す過程で、成形型の温度と搬送機構1000の予備加熱部の温度との差により、成形対象物の熱膨張不足が生じるおそれがある。この熱膨張不足によって、樹脂成型前の成形対象物が変形するおそれがある。 However, in the process of pressing the object to be molded against the upper molding die and delivering it, the difference between the temperature of the molding die and the temperature of the preheating portion of the transport mechanism 1000 may cause insufficient thermal expansion of the object to be molded. Due to this insufficient thermal expansion, the object to be molded before resin molding may be deformed.

そこで、本発明は、樹脂成型前の成形対象物の変形を抑制又は防止可能な搬送機構、樹脂成形装置、成形対象物の成形型への受け渡し方法、樹脂成形方法、及び樹脂成形品の製造方法の提供を目的とする。 Therefore, the present invention relates to a transport mechanism capable of suppressing or preventing deformation of a molded object before resin molding, a resin molding apparatus, a method of delivering the molded object to a molding mold, a resin molding method, and a method for manufacturing a resin molded product. The purpose is to provide.

前記目的を達成するために、本発明の成形対象物の搬送機構は、
樹脂成形前の成形対象物を載置する成形対象物載置部材と、
前記成形対象物載置部材を上下動させる上下動機構とを含み、
前記成形対象物を前記成形対象物載置部材に載置した状態で搬送し、
前記成形対象物載置部材の上下動により、前記成形対象物を、成形型に接触しない前記成形型近傍の位置で停止させた後に成形型に受け渡すことが可能であることを特徴とする。
In order to achieve the above object, the transport mechanism of the object to be molded of the present invention is
A molding target mounting member on which the molding target before resin molding is placed,
Including a vertical movement mechanism for moving the molding object mounting member up and down.
The object to be molded is conveyed while being placed on the member on which the object to be molded is placed.
By moving the molding target mounting member up and down, the molding target can be stopped at a position near the molding mold that does not come into contact with the molding mold and then delivered to the molding mold.

本発明の樹脂成形装置は、前記搬送機構と、前記成形型とを含み、
前記搬送機構により、前記成形対象物を前記成形型に受け渡し、
前記成形型により、前記成形対象物を樹脂成形することを特徴とする。
The resin molding apparatus of the present invention includes the transport mechanism and the molding mold.
The object to be molded is delivered to the molding die by the transport mechanism.
It is characterized in that the object to be molded is resin-molded by the molding die.

本発明の、成形対象物の成形型への第1の受け渡し方法は、
樹脂成形前の成形対象物を成形型の近傍まで搬送する工程と、
前記成形対象物を上下動させる工程とを含み、
前記上下動させる工程において、前記成形対象物を、前記成形型に接触しない前記成形型近傍の位置で停止させ、
前記成形対象物を前記成形型に受け渡すことを特徴とする。
The first method of delivering the object to be molded to the molding die of the present invention is
The process of transporting the object to be molded before resin molding to the vicinity of the molding mold,
Including the step of moving the object to be molded up and down.
In the step of moving up and down, the object to be molded is stopped at a position near the mold that does not come into contact with the mold.
It is characterized in that the object to be molded is delivered to the molding die.

本発明の、成形対象物の成形型への第2の受け渡し方法は、
樹脂成形前の成形対象物を成形型の近傍まで搬送する工程と、
前記成形対象物を上下動させる工程とを含み、
前記上下動させる工程が、
前記成形対象物を前記成形型に接触させて停止させる工程と、
前記成形対象物を再度前記成形型から離して前記成形型近傍の位置で停止させる工程と、
前記成形対象物を再度前記成形型に接触させて停止させる工程と、
を含むことを特徴とする。なお、以下において、本発明の、成形対象物の成形型への第1の受け渡し方法と、成形対象物の成形型への第2の受け渡し方法とを、まとめて、「本発明の、成形対象物の成形型への受け渡し方法」又は、単に「本発明の受け渡し方法」という場合がある。
The second method of delivering the object to be molded to the molding die of the present invention is
The process of transporting the object to be molded before resin molding to the vicinity of the molding mold,
Including the step of moving the object to be molded up and down.
The step of moving up and down
A step of bringing the molding object into contact with the molding mold to stop the molding,
A step of separating the object to be molded from the molding die again and stopping the object at a position near the molding die.
A step of bringing the molding object into contact with the molding mold again to stop the molding,
It is characterized by including. In the following, the first method of delivering the object to be molded to the molding die and the second method of delivering the object to be molded to the molding die of the present invention are collectively referred to as "the object of molding of the present invention. It may be referred to as "a method of delivering an object to a molding die" or simply "a method of delivering an object of the present invention".

本発明の樹脂成形品の製造方法は、
前記本発明の受け渡し方法により
前記成形対象物を前記成形型に受け渡す成形対象物受け渡し工程と、
前記成形型により前記成形対象物を樹脂成形する樹脂成形工程と、
を含むことを特徴とする。
The method for producing a resin molded product of the present invention is
A molding object delivery step of delivering the molding object to the molding die by the delivery method of the present invention,
A resin molding step of resin molding the object to be molded by the molding mold,
It is characterized by including.

本発明によれば、樹脂成型前の成形対象物の変形を抑制又は防止可能な搬送機構、樹脂成形装置、成形対象物の成形型への受け渡し方法、及び樹脂成形品の製造方法を提供することができる。 According to the present invention, there is provided a transport mechanism capable of suppressing or preventing deformation of a molded object before resin molding, a resin molding apparatus, a method of delivering the molded object to a molding mold, and a method of manufacturing a resin molded product. Can be done.

図1は、実施例1の搬送機構による、成形対象物の成形型への受け渡し方法の一工程を示す模式図である。FIG. 1 is a schematic view showing one step of a method of delivering a molded object to a molding die by the transport mechanism of the first embodiment. 図2は、図1と同じ受け渡し方法の別の一工程を示す模式図である。FIG. 2 is a schematic view showing another step of the same delivery method as in FIG. 図3は、図1と同じ受け渡し方法のさらに別の一工程を示す模式図である。FIG. 3 is a schematic view showing still another step of the same delivery method as in FIG. 図4は、実施例1の搬送機構の一部の構造を示す模式図である。FIG. 4 is a schematic view showing a part of the structure of the transport mechanism of the first embodiment. 図5は、実施例1の搬送機構の動作フローを示す図である。FIG. 5 is a diagram showing an operation flow of the transport mechanism of the first embodiment. 図6は、実施例2の搬送機構による、成形対象物の成形型への受け渡し方法の一工程を示す模式図である。FIG. 6 is a schematic view showing one step of a method of delivering a molded object to a molding die by the transport mechanism of the second embodiment. 図7は、図6と同じ受け渡し方法の別の一工程を示す模式図である。FIG. 7 is a schematic view showing another step of the same delivery method as in FIG. 図8は、図6と同じ受け渡し方法のさらに別の一工程を示す模式図である。FIG. 8 is a schematic view showing still another step of the same delivery method as in FIG. 図9は、実施例2の搬送機構の動作フローを示す図である。FIG. 9 is a diagram showing an operation flow of the transport mechanism of the second embodiment. 図10は、実施例2の搬送機構の変形例による、成形対象物の成形型への受け渡し方法の一工程を示す模式図である。FIG. 10 is a schematic view showing one step of a method of delivering an object to be molded to a molding die according to a modified example of the transport mechanism of the second embodiment. 図11は、図10と同じ受け渡し方法の別の一工程を示す模式図である。FIG. 11 is a schematic view showing another step of the same delivery method as in FIG. 図12は、図10と同じ受け渡し方法のさらに別の一工程を示す模式図である。FIG. 12 is a schematic view showing still another step of the same delivery method as in FIG. 図13は、実施例2の搬送機構の別の変形例による、成形対象物の成形型への受け渡し方法の一工程を示す模式図である。FIG. 13 is a schematic view showing one step of a method of delivering an object to be molded to a molding die according to another modification of the transport mechanism of the second embodiment. 図14は、図13と同じ受け渡し方法の別の一工程を示す模式図である。FIG. 14 is a schematic view showing another step of the same delivery method as in FIG. 図15は、図13と同じ受け渡し方法のさらに別の一工程を示す模式図である。FIG. 15 is a schematic view showing still another step of the same delivery method as in FIG. 図16は、本発明の樹脂成形装置の概略を模式的に例示する平面図である。FIG. 16 is a plan view schematically illustrating the outline of the resin molding apparatus of the present invention. 図17は、本発明の樹脂成形品の製造方法における樹脂成形工程における工程の一例を模式的に示す断面図である。FIG. 17 is a cross-sectional view schematically showing an example of a process in the resin molding step in the method for producing a resin molded product of the present invention. 図18は、図17と同じ樹脂成形工程における別の一工程を模式的に示す断面図である。FIG. 18 is a cross-sectional view schematically showing another step in the same resin molding step as in FIG. 図19は、図17と同じ樹脂成形工程におけるさらに別の一工程を模式的に示す断面図である。FIG. 19 is a cross-sectional view schematically showing still another step in the same resin molding step as in FIG. 図20は、図17と同じ樹脂成形工程におけるさらに別の一工程を模式的に示す断面図である。FIG. 20 is a cross-sectional view schematically showing still another step in the same resin molding step as in FIG. 図21は、本発明と関連する搬送機構による、成形対象物の成形型への受け渡し方法の一工程を示す模式図である。FIG. 21 is a schematic view showing one step of a method of delivering an object to be molded to a molding die by a transport mechanism related to the present invention. 図22は、図21と同じ受け渡し方法の別の一工程を示す模式図である。FIG. 22 is a schematic view showing another step of the same delivery method as in FIG. 図23は、図21と同じ受け渡し方法のさらに別の一工程を示す模式図である。FIG. 23 is a schematic view showing still another step of the same delivery method as in FIG.

つぎに、本発明について、例を挙げてさらに詳細に説明する。ただし、本発明は、以下の説明により限定されない。 Next, the present invention will be described in more detail with reference to examples. However, the present invention is not limited by the following description.

本発明の搬送機構は、例えば、前記成形対象物載置部材の上下動により、前記成形対象物載置部材を、前記成形型に接触する位置で停止させることが可能であってもよい。 The transport mechanism of the present invention may be capable of stopping the molding target mounting member at a position in contact with the molding mold by, for example, moving the molding target mounting member up and down.

本発明の搬送機構は、例えば、さらに、前記成形対象物載置部材を停止させる位置を決める位置決め機構を含んでいてもよい。 The transport mechanism of the present invention may further include, for example, a positioning mechanism for determining a position for stopping the molded object mounting member.

本発明の搬送機構は、例えば、前記位置決め機構が、前記上下動機構により上下動可能な位置決め部材であってもよい。 In the transport mechanism of the present invention, for example, the positioning mechanism may be a positioning member that can move up and down by the vertical movement mechanism.

本発明の搬送機構は、例えば、前記位置決め部材が前記成形型に接触することにより、前記成形対象物載置部材の停止位置を決めることが可能であってもよい。 In the transport mechanism of the present invention, for example, the positioning member may come into contact with the molding die to determine the stop position of the molding object mounting member.

本発明の搬送機構は、例えば、さらに、弾性部材を含み、前記弾性部材の伸縮により、前記位置決め部材が上下動可能であってもよい。 The transport mechanism of the present invention may further include, for example, an elastic member, and the positioning member may move up and down by expanding and contracting the elastic member.

本発明の搬送機構は、例えば、さらに、前記位置決め部材を上下動させるアクチュエータを含み、前記アクチュエータの圧力設定により前記位置決め部材の停止位置を決めることで、前記成形対象物載置部材の停止位置を決めることが可能であってもよい。 The transport mechanism of the present invention further includes, for example, an actuator for moving the positioning member up and down, and by determining the stop position of the positioning member by setting the pressure of the actuator, the stop position of the molding object mounting member can be determined. It may be possible to decide.

本発明の搬送機構は、例えば、前記成形対象物載置部材の上下動により、前記成形対象物載置部材を、成形型に接触しない前記成形型近傍の位置で停止させることが可能であるとともに、前記成形対象物載置部材を、前記成形型に接触する位置で停止させることが可能であり、前記アクチュエータの圧力を、前記2種類の停止位置に対応した2種類の圧力に設定可能であってもよい。 In the transport mechanism of the present invention, for example, by moving the molding object mounting member up and down, the molding target mounting member can be stopped at a position near the molding mold that does not come into contact with the molding mold. , The molding object mounting member can be stopped at a position in contact with the molding mold, and the pressure of the actuator can be set to two types of pressures corresponding to the two types of stopping positions. You may.

本発明の、成形対象物の成形型への第1の受け渡し方法は、例えば、
前記上下動させる工程が、
前記成形対象物を、前記成形型に接触しない前記成形型近傍の位置で停止させる工程と、
前記成形対象物を前記成形型に接触させて停止させる工程と、
前記成形対象物を再度前記成形型から離して前記成形型近傍の位置で停止させる工程と、
前記成形対象物を再度前記成形型に接触させて停止させる工程と、
を含んでいてもよい。
The first method of delivering the object to be molded to the molding die of the present invention is, for example,
The step of moving up and down
A step of stopping the object to be molded at a position near the molding die that does not come into contact with the molding die.
A step of bringing the molding object into contact with the molding mold to stop the molding,
A step of separating the object to be molded from the molding die again and stopping the object at a position near the molding die.
A step of bringing the molding object into contact with the molding mold again to stop the molding,
May include.

本発明において、「成形対象物」は、成形前の製品又は製品の中間体(半製品)を意味する。本発明において、成形対象物は、例えば、樹脂材料によって樹脂成形される製品又は製品の中間体(半製品)である。本発明において、成形対象物は、例えば、基板であり、より具体的には、例えば、サブストレート、樹脂基板、配線基板、L/Fなどのインターポーザーがあげられる。ただし、本発明における成形対象物は、これらに限定されず、任意である。また、本発明において、成形対象物は、その一方の面又は両面にチップ等の部材が実装されていてもよいが、実装されていなくてもよい。 In the present invention, the "molded object" means a product before molding or an intermediate (semi-finished product) of the product. In the present invention, the object to be molded is, for example, a product or an intermediate (semi-finished product) of a product that is resin-molded with a resin material. In the present invention, the object to be molded is, for example, a substrate, and more specifically, an interposer such as a substrate, a resin substrate, a wiring substrate, or an L / F can be mentioned. However, the object to be molded in the present invention is not limited to these, and is arbitrary. Further, in the present invention, the object to be molded may or may not have a member such as a chip mounted on one surface or both surfaces thereof.

本発明において、成形対象物を成形して製造される製品は、特に限定されないが、例えば、電子部品等であってもよい。なお、一般に、「電子部品」は、樹脂封止する前のチップをいう場合と、チップを樹脂封止した状態をいう場合とがあるが、本発明において、単に「電子部品」という場合は、特に断らない限り、前記チップが樹脂封止された電子部品(完成品としての電子部品)をいう。本発明において、「チップ」は、少なくとも一部が樹脂封止されずに露出した状態のチップをいい、樹脂封止する前のチップも、一部が樹脂封止されたチップも、複数のチップのうちの少なくとも一つが樹脂封止されずに露出した状態のチップも含む。本発明における「チップ」は、具体的には、例えば、IC、半導体チップ、電力制御用の半導体素子等のチップが挙げられる。本発明において、少なくとも一部が樹脂封止されずに露出した状態のチップは、樹脂封止後の電子部品と区別するために、便宜上「チップ」という。しかし、本発明における「チップ」は、少なくとも一部が樹脂封止されずに露出した状態のチップであれば、特に限定されず、チップ状でなくてもよい。 In the present invention, the product produced by molding the object to be molded is not particularly limited, but may be, for example, an electronic component or the like. In general, the "electronic component" may refer to a chip before being resin-sealed or a state in which the chip is resin-sealed. In the present invention, the term "electronic component" is simply used. Unless otherwise specified, it refers to an electronic component (electronic component as a finished product) in which the chip is resin-sealed. In the present invention, the "chip" refers to a chip in a state in which at least a part is exposed without being resin-sealed, and a chip before resin-sealing and a chip partially resin-sealed are a plurality of chips. It also includes chips in which at least one of them is exposed without being resin-sealed. Specific examples of the "chip" in the present invention include chips such as ICs, semiconductor chips, and semiconductor elements for power control. In the present invention, a chip in a state where at least a part of the chip is exposed without being resin-sealed is referred to as a "chip" for convenience in order to distinguish it from an electronic component after resin-sealing. However, the "chip" in the present invention is not particularly limited as long as it is a chip in a state where at least a part of the chip is exposed without being sealed with resin, and it does not have to be in the shape of a chip.

本発明において、「樹脂成形」は、例えば、前記チップ等の部材を樹脂で封止する「樹脂封止」であってもよい。しかし、本発明において、「樹脂成形」は、これに限定されず、例えば、部材の樹脂封止を行わない、単なる樹脂成形であってもよい。 In the present invention, the "resin molding" may be, for example, a "resin sealing" in which a member such as the chip is sealed with a resin. However, in the present invention, the "resin molding" is not limited to this, and may be, for example, a simple resin molding without resin sealing of the member.

本発明における、「樹脂封止」とは、例えば、樹脂が硬化(固化)した状態であることを意味するが、これに限定されない。すなわち、本発明において、「樹脂封止」とは、少なくとも樹脂が型締め時における型キャビティ内に満たされている状態であればよく、樹脂が硬化(固化)しておらず、流動状態でもよい。 In the present invention, "resin sealing" means, for example, a state in which the resin is cured (solidified), but the present invention is not limited to this. That is, in the present invention, "resin sealing" may mean at least a state in which the resin is filled in the mold cavity at the time of mold clamping, and the resin may not be cured (solidified) and may be in a flowing state. ..

また、本発明において、成形型、樹脂成形装置及び樹脂成形方法は、特に限定されず、任意である。例えば、成形型は、上成形型及び下成形型を含む成形型であってもよい。また、例えば、樹脂成形方法は、圧縮成形、トランスファ成形等の任意の成形方法でよい。また、樹脂成形装置は、例えば、圧縮成形装置、トランスファ成形装置等の任意の樹脂成形装置でよい。 Further, in the present invention, the molding die, the resin molding apparatus and the resin molding method are not particularly limited and are arbitrary. For example, the molding die may be a molding die including an upper molding die and a lower molding die. Further, for example, the resin molding method may be any molding method such as compression molding or transfer molding. Further, the resin molding apparatus may be any resin molding apparatus such as a compression molding apparatus and a transfer molding apparatus.

樹脂成形前の基板等の成形対象物を成形型に受け渡す方法としては、例えば、前述の図21〜23に示した方法が考えられる。しかし、成形対象物を上成形型に押し当てて受け渡す過程で、成形型の温度と搬送機構の予備加熱部の温度との差により、成形対象物の熱膨張不足が生じ、不具合が発生するおそれがある。具体的には、例えば、下記(1)(2)が考えられる。下記(2)の不具合は、特に、成形対象物(基板等)が薄くなるほどに顕著となるおそれがある。

(1)位置決め用パイロットピンと成形対象物の穴の位置不良による傷の発生
(2)熱膨張不足のまま,上成形型による吸着保持が行われることによる成形対象物でのシワの発生
As a method of delivering a molding object such as a substrate before resin molding to a molding mold, for example, the method shown in FIGS. 21 to 23 described above can be considered. However, in the process of pressing the object to be molded against the upper molding die and delivering it, the difference between the temperature of the molding die and the temperature of the preheating part of the transport mechanism causes insufficient thermal expansion of the object to be molded, resulting in a problem. There is a risk. Specifically, for example, the following (1) and (2) can be considered. The following defect (2) may become more prominent as the object to be molded (such as a substrate) becomes thinner.

(1) Occurrence of scratches due to improper positioning of the positioning pilot pin and the hole of the object to be molded (2) Occurrence of wrinkles on the object to be molded due to suction and holding by the upper molding die while the thermal expansion is insufficient.

前記(1)(2)の不具合の原因としては、例えば、下記の原因が考えられる。

(1)位置不良による傷の原因
成形対象物を上成形型に受け渡す過程で、成形型の温度と同程度に成形対象物が予備加熱されていないと熱膨張不足が生じ、成形対象物の位置決め穴の位置と上成形型のパイロットピン(成形型の保持位置を決める部材)がずれてしまう。そのずれた状態でパイロットピンに成形対象物の位置決め穴を押し当てられると成形対象物(の位置決め穴)にストレスが生じ、位置決め穴に傷が発生する。

(2)シワ発生の原因
成形対象物を上成形型に受け渡す前に、成形対象物が成形型の温度と同程度に予備加熱されていないと、成形型からの受熱によって更に熱膨張する。しかし、成形対象物は成形型の吸気機構によって吸着保持されるため水平方向に膨張することが出来ずにシワが発生してしまう。
For example, the following causes can be considered as the causes of the problems (1) and (2).

(1) Causes of scratches due to improper positioning In the process of delivering the molded object to the upper molding die, if the molded object is not preheated to the same temperature as the molding die, thermal expansion will be insufficient and the molded object will be insufficiently expanded. The position of the positioning hole and the pilot pin of the upper molding die (member that determines the holding position of the molding die) are misaligned. If the positioning hole of the object to be molded is pressed against the pilot pin in the displaced state, stress is generated on (the positioning hole) of the object to be molded, and the positioning hole is damaged.

(2) Causes of wrinkles If the object to be molded is not preheated to the same temperature as the temperature of the mold before being delivered to the upper molding mold, the object to be molded is further thermally expanded by receiving heat from the mold. However, since the object to be molded is attracted and held by the intake mechanism of the molding die, it cannot expand in the horizontal direction and wrinkles occur.

本発明では、前記成形対象物を、成形型に接触しない前記成形型近傍の位置で停止させることで、樹脂成型前の成形対象物の変形を抑制又は防止できる。具体的には、前記成形対象物を前記成形型近傍の位置で停止させることにより、その位置での成形型からの前記成形対象物の受熱を促進させ、成形対象物をさらに熱膨張させることができる。これにより、前記成形対象物を成形型に接触させた際に、前記成形対象物がさらに膨張することを抑制又は防止できるので、樹脂成型前の成形対象物の変形を抑制又は防止できる。 In the present invention, the deformation of the molding object before resin molding can be suppressed or prevented by stopping the molding object at a position near the molding mold that does not come into contact with the molding mold. Specifically, by stopping the molding target at a position near the molding mold, it is possible to promote heat reception of the molding target from the molding mold at that position and further thermally expand the molding target. it can. As a result, when the molding object is brought into contact with the molding die, further expansion of the molding target can be suppressed or prevented, so that deformation of the molding target before resin molding can be suppressed or prevented.

以下、本発明の具体的な実施例を図面に基づいて説明する。各図は、説明の便宜のため、適宜省略、誇張等をして模式的に描いている。 Hereinafter, specific examples of the present invention will be described with reference to the drawings. For convenience of explanation, each figure is schematically drawn by omitting or exaggerating as appropriate.

図1〜3の工程図に、本実施例の搬送機構による、成形対象物の成形型への受け渡し方法の一例を示す。 The process charts of FIGS. 1 to 3 show an example of a method of delivering the object to be molded to the molding die by the transport mechanism of this embodiment.

まず、図1に示すように、搬送機構1000に、成形対象物である基板(インターポーザ)2を載置した状態で、搬送機構1000を、成形型(プレス)の上成形型100と下成形型(図示せず)との間に進入させる。これにより、基板2を、上成形型100と下成形型との間(成形型の近傍)まで搬送する。図示のとおり、この搬送機構1000は、本体1010と、アクチュエータ1014と、プレート(樹脂成形品載置部材)1013と、セットブロック1100と、上成形型セットブロック1120とを主要構成要素とする。アクチュエータ1014としては、例えば、図示のとおり、シリンダー1011及びピストンロッド1012を含むエアーシリンダーを用いることができる。シリンダー1011は、本体1010の上面に接続されている。プレート1013は、シリンダー1011の上方に位置し、ピストンロッド1012を介してシリンダー1011に接続されている。プレート1013には、図示のとおり、基板2を載置することができる。図1では、基板2は、チップ搭載面が下方を向き、前記チップ搭載面には、チップ1及びワイヤ3が搭載(固定)されている。上成形型100の下面にはパイロットピン101が固定されており、パイロットピン101を基板2の孔4に挿入することで、基板2の位置決めが可能である。プレート1013上面の外周部には、基板2を取り囲む位置に、セットブロック1100が設置されている。また、上成形型100の下面の外周部には、セットブロック1100に対応する位置に、上成形型セットブロック1120が設置されている。 First, as shown in FIG. 1, in a state where the substrate (interposer) 2 which is the object to be molded is placed on the transport mechanism 1000, the transport mechanism 1000 is mounted on the upper molding die 100 and the lower molding die 100 of the molding die (press). Enter between (not shown). As a result, the substrate 2 is conveyed between the upper molding die 100 and the lower molding die (near the molding die). As shown in the figure, the transport mechanism 1000 includes a main body 1010, an actuator 1014, a plate (resin molded product mounting member) 1013, a set block 1100, and an upper molded set block 1120 as main components. As the actuator 1014, for example, as shown in the figure, an air cylinder including a cylinder 1011 and a piston rod 1012 can be used. The cylinder 1011 is connected to the upper surface of the main body 1010. The plate 1013 is located above the cylinder 1011 and is connected to the cylinder 1011 via a piston rod 1012. As shown in the figure, the substrate 2 can be placed on the plate 1013. In FIG. 1, the chip mounting surface of the substrate 2 faces downward, and the chip 1 and the wire 3 are mounted (fixed) on the chip mounting surface. A pilot pin 101 is fixed to the lower surface of the upper molding die 100, and the substrate 2 can be positioned by inserting the pilot pin 101 into the hole 4 of the substrate 2. A set block 1100 is installed on the outer peripheral portion of the upper surface of the plate 1013 at a position surrounding the substrate 2. Further, on the outer peripheral portion of the lower surface of the upper molding die 100, the upper molding die set block 1120 is installed at a position corresponding to the set block 1100.

つぎに、図2に示すとおり、シリンダー1011によりピストンロッド1012を伸ばすことで、プレート1013を上昇させる。これにより、図示のとおり、プレート1013に載置された基板2を、上成形型100に接触しない上成形型100近傍の位置で停止させる。 Next, as shown in FIG. 2, the plate 1013 is raised by extending the piston rod 1012 by the cylinder 1011. As a result, as shown in the drawing, the substrate 2 placed on the plate 1013 is stopped at a position near the upper molding die 100 that does not come into contact with the upper molding die 100.

つぎに、図3に示すとおり、シリンダー1011によりピストンロッド1012をさらに伸ばしてプレート1013をさらに上昇させる。これにより、図示のとおり、プレート1013に載置された基板2を上成形型100に押し当てて受け渡す。さらに、上成形型100に設けられた吸引機構(図示せず、例えば真空ポンプ等)により基板2を上成形型100の下面に吸着させて保持する。このようにして、成形対象物(基板)2を、上成形型100を含む成形型に受け渡す。 Next, as shown in FIG. 3, the piston rod 1012 is further extended by the cylinder 1011 to further raise the plate 1013. As a result, as shown in the drawing, the substrate 2 placed on the plate 1013 is pressed against the upper molding die 100 and delivered. Further, the substrate 2 is attracted to and held on the lower surface of the upper molding die 100 by a suction mechanism (not shown, for example, a vacuum pump) provided on the upper molding die 100. In this way, the object to be molded (substrate) 2 is delivered to the molding die including the upper molding die 100.

その後、図23と同様に、シリンダー1011によりピストンロッド1012を縮めることで、プレート1013を下降させる。そして、搬送機構1000を成形型(プレス)の外へ退避させた後に、成形型により成形対象物(基板)2を樹脂成形する。 After that, as in FIG. 23, the piston rod 1012 is contracted by the cylinder 1011 to lower the plate 1013. Then, after the transport mechanism 1000 is retracted to the outside of the molding die (press), the object to be molded (substrate) 2 is resin-molded by the molding die.

図1〜3において、成形対象物(基板)2は、成形型内に進入するまで、搬送機構1000が有するヒーター(図示せず)によって所定の温度に予備加熱する。この予備加熱によって、基板2が熱膨張する。これによって、上成形型のパイロットピン101の径と基板2の孔内側に位置することで、上成形型100への基板2の受け渡しがスムースになる。さらに、本実施例では、図2に示すとおり、成形対象物(基板)2を、成形型の上成形型100に接触しない上成形型100近傍の位置で停止させる。これにより、その位置での上成形型100から成形対象物(基板)2への受熱を促進させ、成形対象物(基板)2をさらに熱膨張させることができる。したがって、成形対象物(基板)2を上成形型100に接触させた際に、成形対象物(基板)2がさらに膨張することを抑制又は防止できるので、樹脂成型前の成形対象物(基板)2の変形を抑制又は防止できる。 In FIGS. 1 to 3, the object to be molded (board) 2 is preheated to a predetermined temperature by a heater (not shown) included in the transport mechanism 1000 until it enters the molding die. This preheating causes the substrate 2 to thermally expand. As a result, the diameter of the pilot pin 101 of the upper molding die and the position inside the hole of the substrate 2 make the transfer of the substrate 2 to the upper molding die 100 smooth. Further, in this embodiment, as shown in FIG. 2, the molding object (substrate) 2 is stopped at a position near the upper molding die 100 that does not come into contact with the upper molding die 100 of the molding die. As a result, the heat receiving from the upper molding die 100 to the molding target (board) 2 at that position can be promoted, and the molding target (board) 2 can be further thermally expanded. Therefore, when the molding target (board) 2 is brought into contact with the upper molding mold 100, it is possible to suppress or prevent the molding target (board) 2 from further expanding, so that the molding target (board) before resin molding can be suppressed. The deformation of 2 can be suppressed or prevented.

図1〜3の搬送機構1000において、成形対象物(基板)2を、成形型の上成形型100に接触しない上成形型100近傍の位置で停止させるための機構(すなわち、前記「位置決め機構」)等は、特に限定されない。例えば、前記「位置決め機構」として、後述するように、成形対象物(基板)2を、前記上成形型100近傍の(上成形型100に接触しない)位置及び上成形型100に接触する位置の2種類の位置で停止させるために、シリンダー1011の圧力を、前記2種類の停止位置に対応した2種類の圧力に設定可能な機構(図示せず、以下「2圧機構」という場合がある。)を有していてもよい。また、前記2圧機構に加え、又はこれに代えて、後述する実施例2のように、プレート1013の停止位置を決めるための位置決め部材を有していてもよい。 In the transfer mechanism 1000 of FIGS. 1 to 3, a mechanism for stopping the object to be molded (board) 2 at a position near the upper molding die 100 that does not come into contact with the upper molding die 100 of the molding die (that is, the "positioning mechanism"). ) Etc. are not particularly limited. For example, as the "positioning mechanism", as will be described later, the molding target (substrate) 2 is located at a position near the upper molding die 100 (not in contact with the upper molding die 100) and at a position where the molding object (base) 2 is in contact with the upper molding die 100. In order to stop at two types of positions, the pressure of the cylinder 1011 may be set to two types of pressures corresponding to the two types of stop positions (not shown, hereinafter referred to as "two-pressure mechanism". ) May have. Further, in addition to or instead of the two-pressure mechanism, a positioning member for determining the stop position of the plate 1013 may be provided as in the second embodiment described later.

その後、上成形型100を含む成形型により、基板2を樹脂成形する。なお、本発明において、成形型、樹脂成形装置及び樹脂成形方法は、前述のとおり、特に限定されない。 Then, the substrate 2 is resin-molded by a molding die including the upper molding die 100. In the present invention, the molding die, the resin molding apparatus, and the resin molding method are not particularly limited as described above.

なお、図4に、セットブロック1100及び上成形型セットブロック1120の構成の一例を模式的に示す。図示のとおり、セットブロック1100は、ローダーセットブロック1110、弾性部材(スプリング)1132、固定ボルト1133、ブッシュ1134及び上下可動ピン1135を有する。ローダーセットブロック1110は、図示のとおり、プレート1013上面に固定され、上成形型セットブロック1120に嵌合可能である。ブッシュ1134は、固定ボルト1133により、プレート1013上面に固定されている。上下可動ピン1135は、ブッシュ1134内部を貫通している。上下可動ピン1135の下部は、プレート1013上面に設けられた、逃げ孔1131内において上下動可能である。また、弾性部材1132は、プレート1013上面における孔1131の周囲と、上下可動ピン1135の中ほどに設けられたつばとの間に挟まれている。上下可動ピン1135のつばには、弾性部材1132の伸長力による上向きの力が働いている。また、図4では、上下可動ピン1135のつばの上端は、ブッシュ1134に引っかかることで、それ以上上昇しないようになっている。そして、上下可動ピン1135は、弾性部材1132の伸縮により上下可動である。 Note that FIG. 4 schematically shows an example of the configuration of the set block 1100 and the upper molding set block 1120. As shown, the set block 1100 includes a loader set block 1110, an elastic member (spring) 1132, fixing bolts 1133, bushes 1134, and vertically movable pins 1135. As shown in the drawing, the loader set block 1110 is fixed to the upper surface of the plate 1013 and can be fitted to the upper molded set block 1120. The bush 1134 is fixed to the upper surface of the plate 1013 by fixing bolts 1133. The vertically movable pin 1135 penetrates the inside of the bush 1134. The lower portion of the vertically movable pin 1135 can be moved up and down in the escape hole 1131 provided on the upper surface of the plate 1013. Further, the elastic member 1132 is sandwiched between the periphery of the hole 1131 on the upper surface of the plate 1013 and the brim provided in the middle of the vertically movable pin 1135. An upward force due to the extension force of the elastic member 1132 acts on the brim of the vertically movable pin 1135. Further, in FIG. 4, the upper end of the brim of the vertically movable pin 1135 is caught by the bush 1134 so that it does not rise any further. The vertically movable pin 1135 is vertically movable by expanding and contracting the elastic member 1132.

図4に示すセットブロック1100及び上成形型セットブロック1120において、図1の状態、すなわちプレート1013を上昇させていない状態では、ローダーセットブロック1110が上成形型セットブロック1120に嵌合せず、離れている。また、上下可動ピン1135の上端が上成形型100に接触することで、搬送機構1100を図2の状態、すなわち、成形対象物(基板)2を、成形型の上成形型100に接触しない上成形型100近傍の位置で停止させた状態とすることができる。すなわち、上下可動ピン1135は、プレート(成形対象物載置部材)1013を停止させる位置を決める「位置決め部材」に相当する。さらに、図3の状態、すなわち成形対象物(基板)2が上成形型100に接触した状態では、上下可動ピン1135が上成形型セットブロック1120により押し下げられ、上下可動ピン1135下部が逃げ孔1131内において下降した状態となる。 In the set block 1100 and the upper molding set block 1120 shown in FIG. 4, in the state of FIG. 1, that is, in the state where the plate 1013 is not raised, the loader set block 1110 does not fit into the upper molding set block 1120 and is separated. There is. Further, when the upper end of the vertically movable pin 1135 comes into contact with the upper molding die 100, the transport mechanism 1100 does not come into contact with the upper molding die 100 in the state of FIG. It can be in a stopped state at a position near the molding die 100. That is, the vertically movable pin 1135 corresponds to a "positioning member" that determines a position for stopping the plate (molding object mounting member) 1013. Further, in the state of FIG. 3, that is, in the state where the molding object (board) 2 is in contact with the upper molding die 100, the vertically movable pin 1135 is pushed down by the upper molding die set block 1120, and the lower portion of the vertically movable pin 1135 is an escape hole 1131. It will be in a descending state inside.

本実施例の搬送機構1000の構成は、図1〜3の構成に限定されない。例えば、搬送機構1000は、セットブロック1100及び上成形型セットブロック1120を有していなくてもよく、前記2圧機構を有すること以外は図21〜23の搬送機構1000と同じでもよい。 The configuration of the transport mechanism 1000 of this embodiment is not limited to the configuration of FIGS. 1 to 3. For example, the transport mechanism 1000 may not have the set block 1100 and the upper molding set block 1120, and may be the same as the transport mechanism 1000 of FIGS. 21 to 23 except that it has the two-pressure mechanism.

図5に、本実施例の搬送機構1000の動作フローの一例を示す。同図は、本実施例の搬送機構1000を用いた成形対象物の成形型への受け渡し方法のフローの一例でもある。同図において、各動作は、符号S101〜S106、S201〜S209、及びS302〜S307で表している。 FIG. 5 shows an example of the operation flow of the transport mechanism 1000 of this embodiment. The figure is also an example of the flow of the method of delivering the object to be molded to the molding die using the transport mechanism 1000 of this embodiment. In the figure, each operation is represented by reference numerals S101 to S106, S201 to S209, and S302 to S307.

なお、図1〜3では、成形対象物(基板)2を、上成形型100に接触させた後、そのまま上成形型100により吸引する(上成形型100に吸着させる)例を示した。これに対し、図5では、後述するように、成形対象物(基板)2を上成形型100に接触させた後、いったんテーブル1013を下降させて成形対象物(基板)2を上成形型100から離す。これにより、成形対象物(基板)2を熱膨張による応力から解放し、成形対象物(基板)2の変形をさらに効果的に抑制又は防止できる。 In FIGS. 1 to 3, an example is shown in which the object to be molded (board) 2 is brought into contact with the upper molding die 100 and then sucked by the upper molding die 100 as it is (adsorbed to the upper molding die 100). On the other hand, in FIG. 5, as will be described later, after the molding target (board) 2 is brought into contact with the upper molding die 100, the table 1013 is once lowered to move the molding target (board) 2 to the upper molding die 100. Keep away from. As a result, the object to be molded (board) 2 can be released from the stress due to thermal expansion, and the deformation of the object to be molded (board) 2 can be more effectively suppressed or prevented.

図5に示すとおり、まず、シリンダー1011を低圧で動作させる(S101)。これにより、プレート1013の上昇を開始させる(S201)。つぎに、成形対象物(基板)2を上成形型100に接触しない上成形型100近傍の位置で停止させる(S202)。この時、シリンダー1011は、成形対象物(基板)2を上成形型100に押えつけない程度の圧力に調整される(S302)。その一方、上成形型100近傍の位置で停止させた時点からタイマー(図示せず)を作動させて成形型に設けられたヒーター(図示せず)により、成形対象物(基板)2を一定時間加熱する(S102)。上成形型上成形型上成形型つぎに、シリンダー1011を、高圧で動作させる(S103)。これにより、プレート1013を再度上昇させる(S203)。つぎに、成形型(金型)に設けられたヒーター(図示せず)の予熱タイマーを作動させる(S104)。一方、シリンダー1011の圧力を上昇させ、成形対象物(基板)2を上成形型100に接触させるが、このとき、成形対象物の上成形型100による吸引(吸着)はさせない(S304)。これらS104及びS304により、プレート1013を、成形対象物(基板)2が上成形型100に接触する位置(上端)で停止させる(S204)。これにより、成形対象物(基板)2を、上成形型100の熱で熱膨張させる(S205)。つぎに、シリンダー1011の圧力を降下させ、プレート1013をいったん下降させる(S206)。これにより、成形対象物(基板)2を、熱膨張による応力から解放する(S306)とともに、すぐにシリンダー1011の圧力を再上昇させ、プレート1013を再上昇させる(S107)。これにより、熱膨張済の成形対象物(基板)2を、上成形型100に再度接触させて最終セットする(S307)。そして、上成形型100に設けられた吸引機構(図示せず、例えば真空ポンプ等)により成形対象物(基板)2を上成形型100に吸着させる(S208)。そして、プレート1013を再度下降させて、成形対象物(基板)2の成形型への受け渡しが完了する(S209)。 As shown in FIG. 5, first, the cylinder 1011 is operated at a low pressure (S101). As a result, the plate 1013 starts to rise (S201). Next, the object to be molded (substrate) 2 is stopped at a position near the upper molding die 100 that does not come into contact with the upper molding die 100 (S202). At this time, the cylinder 1011 is adjusted to a pressure that does not press the molding object (board) 2 against the upper molding die 100 (S302). On the other hand, the timer (not shown) is operated from the time when the upper molding die 100 is stopped at a position near the upper molding die 100, and the heater (not shown) provided in the molding die is used to keep the molding object (board) 2 for a certain period of time. Heat (S102). Upper molding die Upper forming die Upper forming die Next, the cylinder 1011 is operated at a high pressure (S103). As a result, the plate 1013 is raised again (S203). Next, the preheating timer of the heater (not shown) provided in the molding die (mold) is operated (S104). On the other hand, the pressure of the cylinder 1011 is increased to bring the molding object (substrate) 2 into contact with the upper molding die 100, but at this time, the molding object is not attracted (adsorbed) by the upper molding die 100 (S304). By these S104 and S304, the plate 1013 is stopped at the position (upper end) where the molding object (board) 2 comes into contact with the upper molding die 100 (S204). As a result, the object to be molded (substrate) 2 is thermally expanded by the heat of the upper molding die 100 (S205). Next, the pressure of the cylinder 1011 is lowered, and the plate 1013 is once lowered (S206). As a result, the object to be molded (substrate) 2 is released from the stress due to thermal expansion (S306), and the pressure of the cylinder 1011 is immediately raised again to raise the plate 1013 again (S107). As a result, the heat-expanded molded object (substrate) 2 is brought into contact with the upper molding die 100 again and finally set (S307). Then, the object to be molded (substrate) 2 is attracted to the upper molding die 100 by a suction mechanism (not shown, for example, a vacuum pump) provided in the upper molding die 100 (S208). Then, the plate 1013 is lowered again to complete the delivery of the object to be molded (substrate) 2 to the molding die (S209).

なお、本発明において、樹脂成形装置の全体の構成は、特に限定されず任意であるが、例えば、図16に示すとおりでもよい。図16は、本実施例の樹脂成形装置3000について模式的に示す平面図である。より具体的には、同図は、樹脂成形装置3000を、上成形型側の部材を取り除いたと仮定して示す概略平面図である。図示のとおり、樹脂成形装置3000は、1個の材料受入モジュール400と、4個の成形モジュール2000と、1個の払出モジュール500とを有する。成形モジュール2000は、その中に、成形型を有している。成形型の構成は、特に限定されず、一般的な樹脂成形装置(例えば圧縮成形装置等)と同様でもよいが、例えば、後述する図17〜20と同様でもよい。加えて、樹脂成形装置3000は、それぞれ樹脂成形装置3000全体を対象にして、電力を供給する電源401と、各構成要素を制御する制御部402とを有する。 In the present invention, the overall configuration of the resin molding apparatus is not particularly limited and is arbitrary, but may be, for example, as shown in FIG. FIG. 16 is a plan view schematically showing the resin molding apparatus 3000 of this embodiment. More specifically, the figure is a schematic plan view showing the resin molding apparatus 3000 on the assumption that the member on the upper molding mold side has been removed. As shown in the figure, the resin molding apparatus 3000 has one material receiving module 400, four molding modules 2000, and one payout module 500. The molding module 2000 has a molding mold in it. The configuration of the molding die is not particularly limited and may be the same as that of a general resin molding apparatus (for example, a compression molding apparatus or the like), but may be the same as that of FIGS. 17 to 20 described later, for example. In addition, the resin molding apparatus 3000 has a power supply 401 for supplying electric power to the entire resin molding apparatus 3000, and a control unit 402 for controlling each component.

材料受入モジュール400と、図16における最も左側の成形モジュール2000とは、互いに装着でき分離できる。また、隣り合う成形モジュール2000同士を、互いに装着でき分離できる。図16における最も右側の成形モジュール2000と払出モジュール500とを、互いに装着でき分離できる。上述した構成要素を装着する際の位置決め方法は、特に限定されないが、例えば、位置決め用穴及び位置決めピン等の周知の手段によって行うことができる。装着方法も特に限定されないが、例えば、ボルトとナットとを使用したねじ止め等からなる周知の手段によって行うことができる。 The material receiving module 400 and the leftmost molding module 2000 in FIG. 16 can be mounted and separated from each other. Further, the adjacent molding modules 2000 can be mounted and separated from each other. The rightmost molding module 2000 and the payout module 500 in FIG. 16 can be mounted and separated from each other. The positioning method for mounting the above-mentioned components is not particularly limited, but can be performed by, for example, a well-known means such as a positioning hole and a positioning pin. The mounting method is also not particularly limited, but it can be carried out by a well-known means such as screwing using bolts and nuts.

材料受入モジュール400は、基板材料受入部403と、樹脂材料受入部404と、材料移送機構405とを有する。基板材料受入部403は、樹脂成形装置3000の外部から基板(成形前基板)を受け入れる。樹脂材料受入部404は、樹脂成形装置3000の外部から、固形状樹脂からなる樹脂材料20aを受け入れる。図16は、樹脂材料20aとして顆粒樹脂を示す。 The material receiving module 400 has a substrate material receiving unit 403, a resin material receiving unit 404, and a material transfer mechanism 405. The substrate material receiving unit 403 receives a substrate (pre-molded substrate) from the outside of the resin molding apparatus 3000. The resin material receiving unit 404 receives the resin material 20a made of solid resin from the outside of the resin molding apparatus 3000. FIG. 16 shows a granular resin as the resin material 20a.

樹脂成形装置3000には、材料受入モジュール400から4個の成形モジュール2000を経由して払出モジュール500にわたって、X方向に沿ってX方向ガイドレール406が設けられる。X方向ガイドレール406には、搬送機構1000がX方向に沿って移動できるようにして設けられる。搬送機構1000には、Y方向に沿ってY方向ガイドレール408が設けられる。Y方向ガイドレール408には、搬送機構1000及び副搬送機構501がY方向に沿って移動できるようにして設けられる。搬送機構1000は、前述のとおり、基板(成形前基板、成形対象物)2を搬送可能である。副搬送機構501は、樹脂材料20aを収容して搬送可能である。搬送機構1000及び副搬送機構501は、1個の成形モジュール2000におけるX方向ガイドレール406の上方と下成形型200における下成形型キャビティ201の上方との間を往復する。なお、下成形型200及び下成形型キャビティ201については、後述する図17〜20に示す。搬送機構1000及び副搬送機構501が、上成形型(図示せず)の下面に基板2を供給し、下成形型200の下成形型キャビティ201に樹脂材料20aを供給する。 The resin molding apparatus 3000 is provided with an X-direction guide rail 406 along the X direction from the material receiving module 400 to the payout module 500 via the four molding modules 2000. The X-direction guide rail 406 is provided so that the transport mechanism 1000 can move along the X-direction. The transport mechanism 1000 is provided with a Y-direction guide rail 408 along the Y-direction. The Y-direction guide rail 408 is provided so that the transport mechanism 1000 and the sub-transport mechanism 501 can move along the Y direction. As described above, the transport mechanism 1000 can transport the substrate (pre-molded substrate, molded object) 2. The sub-conveying mechanism 501 can accommodate and transport the resin material 20a. The transport mechanism 1000 and the sub-convey mechanism 501 reciprocate between the upper part of the X-direction guide rail 406 in one molding module 2000 and the upper part of the lower mold cavity 201 in the lower mold 200. The lower molding die 200 and the lower molding die cavity 201 are shown in FIGS. 17 to 20 described later. The transfer mechanism 1000 and the sub-convey mechanism 501 supply the substrate 2 to the lower surface of the upper molding die (not shown), and supply the resin material 20a to the lower molding cavity 201 of the lower molding die 200.

樹脂成形装置3000は制御部402を有する。制御部402に含まれる制御用ドライバの信号によって、成形型による樹脂成形を行う樹脂成形機構(図示せず)が有するモータの回転方向と回転数とトルクとが制御される。制御部402は、搬送機構1000と副搬送機構501との動作も制御する。 The resin molding apparatus 3000 has a control unit 402. The rotation direction, rotation speed, and torque of the motor of the resin molding mechanism (not shown) that performs resin molding by the molding die are controlled by the signal of the control driver included in the control unit 402. The control unit 402 also controls the operation of the transfer mechanism 1000 and the sub-transfer mechanism 501.

本実施例では、例えば、搬送機構1000と副搬送機構501とが、基板(成形前基板)2と、基板2に装着されたチップ2(図1参照)が樹脂封止されて成形された樹脂成形品(成形後基板)2Bとの双方を、搬送してもよい。この構成によれば、搬送機構1000及び副搬送機構501が搬入機構と搬出機構とを兼用するので、樹脂成形装置3000の構成が簡素化される。また、変形例として、樹脂成形装置3000において、搬送機構1000と副搬送機構501とを搬入機構にして、その搬入機構とは別に搬出機構を備えてもよい。この場合には、搬入機構と搬出機構とが独立して動作するので、樹脂成形装置3000において成形動作の効率が向上する。 In this embodiment, for example, the transfer mechanism 1000 and the sub-transfer mechanism 501 are formed by resin-sealing the substrate (pre-molded substrate) 2 and the chip 2 mounted on the substrate 2 (see FIG. 1). Both of the molded product (post-molded substrate) 2B may be conveyed. According to this configuration, since the transport mechanism 1000 and the sub-transport mechanism 501 also serve as the carry-in mechanism and the carry-out mechanism, the configuration of the resin molding device 3000 is simplified. Further, as a modification, in the resin molding apparatus 3000, the transport mechanism 1000 and the sub-transport mechanism 501 may be used as a carry-in mechanism, and a carry-out mechanism may be provided separately from the carry-in mechanism. In this case, since the carry-in mechanism and the carry-out mechanism operate independently, the efficiency of the molding operation in the resin molding apparatus 3000 is improved.

払出モジュール500は、樹脂成形品2Bを搬送する樹脂成形品移送機構502と、樹脂成形品2Bを収容するマガジン503を有する。払出モジュール500は真空ポンプ(図示せず)を有する。前記真空ポンプは、樹脂成形装置3000全体を対象にして、基板2、樹脂成形品2B等を吸着するための減圧源である。前記真空ポンプは材料受入モジュール400に設けられてもよい。 The payout module 500 has a resin molded product transfer mechanism 502 for transporting the resin molded product 2B, and a magazine 503 for accommodating the resin molded product 2B. The payout module 500 has a vacuum pump (not shown). The vacuum pump is a decompression source for adsorbing the substrate 2, the resin molded product 2B, and the like for the entire resin molding apparatus 3000. The vacuum pump may be provided in the material receiving module 400.

前記真空ポンプは、上成形型(図示せず)と下成形型200との間の空間であって下成形型キャビティ201を含む外気遮断空間を吸引するための減圧源としても使用される。外気遮断空間は、下成形型キャビティ201に樹脂材料20aが供給された後であって成形型10の型締めが完了するまでの間において、上成形型と下成形型200との間の空間であって下成形型キャビティ201を含む空間において形成される。具体的には、上成形型と下成形型200との間の空間であって下成形型キャビティ201を含む空間を、シール部材(図示せず)を使用して外気から遮断された状態にする。外気遮断空間を吸引することによって、硬化後の樹脂における気泡(ボイド)の発生が抑制される。減圧源として、前記真空ポンプによって吸引され大容量を有する減圧タンクを使用してもよい。 The vacuum pump is also used as a decompression source for sucking the outside air blocking space including the lower molding cavity 201, which is a space between the upper molding die (not shown) and the lower molding die 200. The outside air blocking space is the space between the upper molding die and the lower molding die 200 after the resin material 20a is supplied to the lower molding die cavity 201 until the molding of the molding die 10 is completed. It is formed in the space including the lower molded cavity 201. Specifically, the space between the upper molding die and the lower molding die 200 including the lower molding die cavity 201 is shielded from the outside air by using a sealing member (not shown). .. By sucking the outside air blocking space, the generation of air bubbles (voids) in the cured resin is suppressed. As the decompression source, a decompression tank sucked by the vacuum pump and having a large capacity may be used.

図16の樹脂成形装置によれば、4個の成形モジュール2000のうち隣り合う成形モジュール2000同士を、互いに装着でき分離できる。このことにより、需要の増大に応じて成形モジュール2000を増やすことができ、需要の減少に応じて成形モジュール2000を減らすことができる。例えば、工場Aが立地する地域において特定の製品の需要が増大した場合には、需要が増大していない地域に立地する工場Bが有する樹脂成形装置3000から、その特定の製品の生産に使用される成形モジュール2000を分離する。分離した成形モジュール2000を工場Aに輸送して、輸送された成形モジュール2000を、工場Aが有する樹脂成形装置に装着する。言い換えれば、樹脂成形装置に成形モジュール2000を増設する。このことによって、工場Aが立地する地域において増大した需要に応じることができる。したがって、図16の樹脂成形装置によれば、需要の増減に柔軟に対応できる樹脂成形装置が実現する。 According to the resin molding apparatus of FIG. 16, adjacent molding modules 2000 among the four molding modules 2000 can be mounted and separated from each other. As a result, the number of molding modules 2000 can be increased in response to an increase in demand, and the number of molding modules 2000 can be reduced in response to a decrease in demand. For example, when the demand for a specific product increases in the area where the factory A is located, the resin molding apparatus 3000 owned by the factory B located in the area where the demand does not increase is used for producing the specific product. Molding module 2000 is separated. The separated molding module 2000 is transported to the factory A, and the transported molding module 2000 is mounted on the resin molding apparatus of the factory A. In other words, the molding module 2000 is added to the resin molding apparatus. As a result, it is possible to meet the increased demand in the area where the factory A is located. Therefore, according to the resin molding apparatus of FIG. 16, a resin molding apparatus capable of flexibly responding to an increase or decrease in demand is realized.

つぎに、図17〜20を用いて、本発明の樹脂成形品の製造方法における樹脂成形工程の例について説明する。図17〜20に示す樹脂成形工程では、成形型300を含む樹脂成形機構を用いる。樹脂成形機構は、特に限定されず、例えば、一般的な樹脂成形機構(例えば圧縮成形機構等)でもよい。ただし、図17〜20では、簡略化のため、成形型300以外の部分は、図示を省略している。 Next, an example of the resin molding step in the method for producing the resin molded product of the present invention will be described with reference to FIGS. 17 to 20. In the resin molding steps shown in FIGS. 17 to 20, a resin molding mechanism including a molding die 300 is used. The resin molding mechanism is not particularly limited, and may be, for example, a general resin molding mechanism (for example, a compression molding mechanism). However, in FIGS. 17 to 20, the parts other than the molding die 300 are not shown for the sake of simplicity.

図示のとおり、成形型300は、上成形型100と、下成形型200とからなる。上成形型100は、上成形型セットブロック1120を有しないこと以外は、図1と同様である。下成形型200は、図示のとおり、下成形型ベース部材202、下成形型キャビティ側面部材203、弾性部材204、及び下成形型キャビティ底面部材205を有する。下成形型ベース部材202は、可動プラテン112上面に載置されている。下成形型キャビティ底面部材205は、下成形型ベース部材202上面に取付けられ、下成形型キャビティ201の底面を構成する。下成形型キャビティ側面部材203は、下成形型キャビティ底面部材205の周囲を囲むように配置された枠状部材であって、弾性部材204を介して下成形型ベース部材202上面に取付けられ、下成形型キャビティ201の側面を構成する。下成形型200は、下成形型キャビティ底面部材205及び下成形型キャビティ側面部材203により、下成形型キャビティ201が構成される。また、下成形型200には、例えば、下成形型200を加熱するための加熱機構(図示せず)が設けられている。前記加熱機構で下成形型200を加熱することで、例えば、下成形型キャビティ201内の樹脂が加熱されて溶融又は硬化する。 As shown in the figure, the molding die 300 includes an upper molding die 100 and a lower molding die 200. The upper molding die 100 is the same as that of FIG. 1 except that it does not have the upper molding die set block 1120. As shown in the figure, the lower mold 200 has a lower mold base member 202, a lower mold cavity side surface member 203, an elastic member 204, and a lower mold cavity bottom surface member 205. The lower molding base member 202 is placed on the upper surface of the movable platen 112. The lower mold cavity bottom surface member 205 is attached to the upper surface of the lower mold base member 202 and constitutes the bottom surface of the lower mold cavity 201. The lower molding cavity side surface member 203 is a frame-shaped member arranged so as to surround the lower surface member 205 of the lower molding cavity bottom member, and is attached to the upper surface of the lower molding base member 202 via the elastic member 204. It constitutes the side surface of the molding cavity 201. In the lower molding die 200, the lower molding die cavity 201 is formed by the lower molding die cavity bottom surface member 205 and the lower molding die cavity side surface member 203. Further, the lower molding die 200 is provided with, for example, a heating mechanism (not shown) for heating the lower molding die 200. By heating the lower molding die 200 with the heating mechanism, for example, the resin in the lower molding die cavity 201 is heated and melted or cured.

まず、図17に示すように、上成形型100の下面に基板(成形前基板、成形対象物)2を供給し、固定する。基板2は、例えば、クランプ(図示せず)等により上成形型100の下面に固定することができる。なお、基板2の下面(上成形型100に対する固定面と反対側)には、図1等と同様にチップ1が固定されている。 First, as shown in FIG. 17, the substrate (pre-molding substrate, molding target) 2 is supplied to the lower surface of the upper molding die 100 and fixed. The substrate 2 can be fixed to the lower surface of the upper molding die 100 by, for example, a clamp (not shown) or the like. The chip 1 is fixed to the lower surface of the substrate 2 (the side opposite to the fixed surface with respect to the upper molding die 100) as in FIG.

次に、図17に示すように、樹脂ローダ(樹脂搬送機構)521により、樹脂材料(顆粒樹脂)20aが載置されたリリースフィルム11を、成形型300に搬送する(搬送工程)。このとき、例えば、図示のとおり、リリースフィルム11上に枠部材701を載置し、枠部材701の開口部内において、リリースフィルム11上に樹脂材料20aを載置した状態であってもよい。また、樹脂ローダ521は、特に限定されないが、例えば、図16に示した副搬送機構501を樹脂ローダ521として用いてもよい。 Next, as shown in FIG. 17, the release film 11 on which the resin material (granular resin) 20a is placed is conveyed to the molding die 300 by the resin loader (resin transport mechanism) 521 (conveyance step). At this time, for example, as shown in the drawing, the frame member 701 may be placed on the release film 11, and the resin material 20a may be placed on the release film 11 in the opening of the frame member 701. The resin loader 521 is not particularly limited, but for example, the auxiliary transport mechanism 501 shown in FIG. 16 may be used as the resin loader 521.

そして、図18に示すように、樹脂ローダ521が、下成形型200のキャビティ201に、樹脂材料20aを載置したリリースフィルム11を載置する。このとき、吸引機構(図示せず)により、キャビティ201にリリースフィルム11を吸着してもよい。これにより、樹脂材料20aを、リリースフィルム11とともに下成形型200のキャビティ201に供給する。このとき、あらかじめ、加熱機構(図示せず)により、下成形型200を加熱し、昇温しておいてもよい。 Then, as shown in FIG. 18, the resin loader 521 places the release film 11 on which the resin material 20a is placed in the cavity 201 of the lower molding die 200. At this time, the release film 11 may be attracted to the cavity 201 by a suction mechanism (not shown). As a result, the resin material 20a is supplied to the cavity 201 of the lower molding die 200 together with the release film 11. At this time, the lower molding die 200 may be heated in advance by a heating mechanism (not shown) to raise the temperature.

次に、図19〜20に示すとおり、成形型300の下成形型200で、基板2を樹脂成形する。具体的には、例えば、まず、下成形型200の熱により、樹脂材料20aを加熱して、図19に示すとおり、溶融樹脂(流動性樹脂)20bとする。つぎに、図19に示すように、型締め機構(図示せず)により、下成形型200を矢印Y1の方向に上昇させて、下キャビティ201内に充填された流動性樹脂20bに、基板2下面に取付けられたチップ1を浸漬させる。その後、流動性樹脂20bが加熱されて硬化し、図20に示すように樹脂(硬化樹脂)20となる。このとき、前述の加熱機構(図示せず)によりあらかじめ昇温された下成形型200によって、流動性樹脂20bを加熱してもよい。これにより、図20に示すように、基板2に固定されたチップ1が樹脂(硬化樹脂)20により封止された樹脂封止済基板(樹脂成形品、電子部品)2Bを製造することができる。その後、そして、図20に示すように、下成形型200を、前記型締め機構(図示せず)により矢印Y2の方向に下降させて型開きを行う。 Next, as shown in FIGS. 19 to 20, the substrate 2 is resin-molded with the lower molding die 200 of the molding die 300. Specifically, for example, first, the resin material 20a is heated by the heat of the lower molding die 200 to obtain a molten resin (fluid resin) 20b as shown in FIG. Next, as shown in FIG. 19, the lower molding die 200 is raised in the direction of arrow Y1 by a mold clamping mechanism (not shown), and the substrate 2 is placed on the fluid resin 20b filled in the lower cavity 201. The chip 1 attached to the lower surface is immersed. After that, the fluid resin 20b is heated and cured to become the resin (cured resin) 20 as shown in FIG. At this time, the fluid resin 20b may be heated by the lower molding die 200 which has been heated in advance by the above-mentioned heating mechanism (not shown). As a result, as shown in FIG. 20, a resin-sealed substrate (resin molded product, electronic component) 2B in which the chip 1 fixed to the substrate 2 is sealed with the resin (cured resin) 20 can be manufactured. .. After that, as shown in FIG. 20, the lower molding die 200 is lowered in the direction of arrow Y2 by the mold clamping mechanism (not shown) to open the mold.

以上、樹脂成形工程の例を示したが、前記樹脂成形工程は、特に限定されず、例えば、一般的な樹脂成形方法(例えば、圧縮成形方法等)に準じて行ってもよい。 Although the example of the resin molding step has been shown above, the resin molding step is not particularly limited, and may be performed according to, for example, a general resin molding method (for example, a compression molding method).

なお、図16〜20では、樹脂材料20aが顆粒樹脂である例を示したが、本発明において、成形前の樹脂材料及び成形後の樹脂は、特に制限されない。例えば、前記成形前の樹脂材料及び成形後の樹脂は、エポキシ樹脂やシリコーン樹脂などの熱硬化性樹脂であってもよいし、熱可塑性樹脂であってもよい。また、熱硬化性樹脂あるいは熱可塑性樹脂を一部に含んだ複合材料であってもよい。本発明において、成形前の樹脂材料の形態としては、例えば、顆粒樹脂、流動性樹脂、シート状の樹脂、タブレット状の樹脂、粉状の樹脂等が挙げられる。本発明において、前記流動性樹脂とは、流動性を有する樹脂であれば、特に制限されず、例えば、液状樹脂、溶融樹脂等が挙げられる。本発明において、前記液状樹脂とは、例えば、室温で液体である、又は流動性を有する樹脂をいう。本発明において、前記溶融樹脂とは、例えば、溶融により、液状又は流動性を有する状態となった樹脂をいう。前記樹脂の形態は、成形型のキャビティやポット等に供給可能であれば、その他の形態でも構わない。 Although FIGS. 16 to 20 show an example in which the resin material 20a is a granular resin, in the present invention, the resin material before molding and the resin after molding are not particularly limited. For example, the resin material before molding and the resin after molding may be a thermosetting resin such as an epoxy resin or a silicone resin, or may be a thermoplastic resin. Further, it may be a thermosetting resin or a composite material containing a part of a thermoplastic resin. In the present invention, examples of the form of the resin material before molding include granule resin, fluid resin, sheet-like resin, tablet-like resin, powder-like resin and the like. In the present invention, the fluid resin is not particularly limited as long as it is a resin having fluidity, and examples thereof include liquid resins and molten resins. In the present invention, the liquid resin means, for example, a resin that is liquid at room temperature or has fluidity. In the present invention, the molten resin refers to, for example, a resin that has become liquid or fluid due to melting. The form of the resin may be any other form as long as it can be supplied to the cavity or pot of the molding die.

つぎに、本発明の別の実施例について説明する。 Next, another embodiment of the present invention will be described.

図6〜8の工程図に、本実施例の搬送機構による、成形対象物の成形型への受け渡し方法の一例を示す。実施例1では、2圧機構を用いた場合の、成形対象物の成形型への受け渡し方法の一例を示したが、本実施例では、2圧機構を用いない場合の例を示す。 The process charts of FIGS. 6 to 8 show an example of a method of delivering the object to be molded to the molding die by the transport mechanism of this embodiment. In the first embodiment, an example of a method of delivering the object to be molded to the molding mold when the two-pressure mechanism is used is shown, but in this embodiment, an example when the two-pressure mechanism is not used is shown.

まず、図6に示すように、搬送機構1000に、成形対象物である基板(インターポーザ)2を載置した状態で、搬送機構1000を、成形型(プレス)の上成形型100と下成形型(図示せず)との間に進入させる。これにより、基板2を、上成形型100と下成形型との間(成形型の近傍)まで搬送する。図示のとおり、この搬送機構1000は、セットブロック1100及び上成形型セットブロック1120を有しないことと、ストッパーピン1021及び高さ調節用シム1022を有すること以外は、実施例1(図1〜4)の搬送機構1000と同様である。なお、ストッパーピン1021及び高さ調節用シム1022は、本発明の搬送機構の「位置決め部材」に相当する。図示のとおり、ストッパーピン1021は、テーブル1013上面の外周部において、基板2の外側の位置に設置されている。ストッパーピン1021の下部は、テーブル1013上端に取り付けられている。シム1022は、ストッパーピン1021の下部とプレート1013との間に設置されている。 First, as shown in FIG. 6, in a state where the substrate (interposer) 2 which is the object to be molded is placed on the transport mechanism 1000, the transport mechanism 1000 is mounted on the upper molding die 100 and the lower molding die 100 of the molding die (press). Enter between (not shown). As a result, the substrate 2 is conveyed between the upper molding die 100 and the lower molding die (near the molding die). As shown in the figure, the transport mechanism 1000 has Example 1 (FIGS. 1 to 4) except that it does not have the set block 1100 and the upper molded set block 1120 and has the stopper pin 1021 and the height adjusting shim 1022. ) Is the same as the transport mechanism 1000. The stopper pin 1021 and the height adjusting shim 1022 correspond to the "positioning member" of the transport mechanism of the present invention. As shown in the figure, the stopper pin 1021 is installed at a position outside the substrate 2 on the outer peripheral portion of the upper surface of the table 1013. The lower part of the stopper pin 1021 is attached to the upper end of the table 1013. The shim 1022 is installed between the lower part of the stopper pin 1021 and the plate 1013.

つぎに、図7に示すとおり、アクチュエータ1014のシリンダー1011によりピストンロッド1012を伸ばすことで、プレート1013を上昇させる。そして、ストッパーピン1021(位置決め部材)の上端が、上成形型100の下面に接触する。これにより、図示のとおり、プレート1013に載置された基板2を、上成形型100に接触しない上成形型100近傍の位置で停止させる。このとき、シム1022が高さ調節機能を果たすことにより、基板2上面と上成形型100下面との間隔(ギャップ、符号G)は、図示のとおり、シム1022の厚みと等しくなる。このとき、上成形型100は、ヒーター(図示せず)により、あらかじめ加熱しておく。そして、図7の状態で、上成形型100の熱により成形対象物(基板)2をしばらく加熱し、熱膨張させる。 Next, as shown in FIG. 7, the plate 1013 is raised by extending the piston rod 1012 by the cylinder 1011 of the actuator 1014. Then, the upper end of the stopper pin 1021 (positioning member) comes into contact with the lower surface of the upper molding die 100. As a result, as shown in the drawing, the substrate 2 placed on the plate 1013 is stopped at a position near the upper molding die 100 that does not come into contact with the upper molding die 100. At this time, since the shim 1022 performs the height adjusting function, the distance (gap, reference numeral G) between the upper surface of the substrate 2 and the lower surface of the upper molding die 100 becomes equal to the thickness of the shim 1022 as shown in the figure. At this time, the upper molding die 100 is preheated by a heater (not shown). Then, in the state of FIG. 7, the object to be molded (substrate) 2 is heated for a while by the heat of the upper molding die 100 to thermally expand it.

さらに、図7の状態から、プレート1013の位置はそのままで、上成形型100に設けられた吸引機構(図示せず、例えば真空ポンプ等)を作動させる。これにより、基板2は上成形型100に吸い寄せられ、図8に示すとおり、上成形型100の下面に接触した状態で上成形型100に吸着されて保持される。このようにして、成形対象物(基板)2を、上成形型100を含む成形型に受け渡す。 Further, from the state of FIG. 7, the suction mechanism (not shown, for example, a vacuum pump or the like) provided in the upper molding die 100 is operated while keeping the position of the plate 1013 as it is. As a result, the substrate 2 is attracted to the upper molding die 100, and as shown in FIG. 8, is attracted to and held by the upper molding die 100 in a state of being in contact with the lower surface of the upper molding die 100. In this way, the object to be molded (substrate) 2 is delivered to the molding die including the upper molding die 100.

その後、図23と同様に、シリンダー1011によりピストンロッド1012を縮めることで、プレート1013を下降させる。そして、搬送機構1000を成形型(プレス)の外へ退避させた後に、成形型により成形対象物(基板)2を樹脂成形する。 After that, as in FIG. 23, the piston rod 1012 is contracted by the cylinder 1011 to lower the plate 1013. Then, after the transport mechanism 1000 is retracted to the outside of the molding die (press), the object to be molded (substrate) 2 is resin-molded by the molding die.

図9に、本実施例の搬送機構1000の動作フローの一例を示す。同図は、本実施例の搬送機構1000を用いた成形対象物の成形型への受け渡し方法のフローの一例でもある。なお、図5は、2圧機構を用いた場合のフローであったが、図9は、2圧機構を用いない場合のフローである。また、図9において、図5と同様の動作は、同じ符号で示している。 FIG. 9 shows an example of the operation flow of the transport mechanism 1000 of this embodiment. The figure is also an example of the flow of the method of delivering the object to be molded to the molding die using the transport mechanism 1000 of this embodiment. Note that FIG. 5 shows a flow when the two-pressure mechanism is used, but FIG. 9 shows a flow when the two-pressure mechanism is not used. Further, in FIG. 9, the same operation as in FIG. 5 is indicated by the same reference numerals.

図9に示すとおり、まず、アクチュエータ1014を動作させ、プレート1013の上昇を開始させる(S201)。プレート1013の上昇を続けると、高さ調節用シム1022(位置決め部材)を介してプレート1013に接続されたストッパーピン1021が、上成形型100に接触する(S302)。これにより、図7に示したように、プレート1013を、成形対象物(基板)2が上成形型100に接触しない上成形型100近傍の位置で停止させる(S202)。つぎに、成形型(金型)に設けられた予熱機構(図示せず)の予熱タイマーを作動させる(S104)。これにより、成形対象物(基板)2を、上成形型100の熱で熱膨張させる(S205)。上成形型そして、上成形型100に設けられた吸引機構(図示せず、例えば真空ポンプ等)により成形対象物(基板)2を上成形型100に吸着させる(S208)。そして、プレート1013を再度下降させて、成形対象物(基板)2の成形型への受け渡しが完了する(S209)。 As shown in FIG. 9, first, the actuator 1014 is operated to start raising the plate 1013 (S201). As the plate 1013 continues to rise, the stopper pin 1021 connected to the plate 1013 via the height adjusting shim 1022 (positioning member) comes into contact with the upper molding die 100 (S302). As a result, as shown in FIG. 7, the plate 1013 is stopped at a position in the vicinity of the upper molding die 100 where the molding object (board) 2 does not come into contact with the upper molding die 100 (S202). Next, the preheating timer of the preheating mechanism (not shown) provided in the molding die (mold) is operated (S104). As a result, the object to be molded (substrate) 2 is thermally expanded by the heat of the upper molding die 100 (S205). The upper molding die Then, the object to be molded (substrate) 2 is attracted to the upper molding die 100 by a suction mechanism (not shown, for example, a vacuum pump) provided in the upper molding die 100 (S208). Then, the plate 1013 is lowered again to complete the delivery of the object to be molded (substrate) 2 to the molding die (S209).

また、図10〜12に、本実施例の変形例を示す。図10〜12による成形対象物の成形型への受け渡し方法は、搬送機構1000の構造が若干異なる以外は、図6〜8と同様にして行うことができる。具体的には、以下のとおりである。 Further, FIGS. 10 to 12 show a modified example of this embodiment. The method of delivering the object to be molded to the molding die according to FIGS. 10 to 12 can be carried out in the same manner as in FIGS. 6 to 8 except that the structure of the transport mechanism 1000 is slightly different. Specifically, it is as follows.

まず、図10に示すように、搬送機構1000に、成形対象物である基板(インターポーザ)2を載置した状態で、搬送機構1000を、成形型(プレス)の上成形型100と下成形型(図示せず)との間に進入させる。これにより、基板2を、上成形型100と下成形型との間(成形型の近傍)まで搬送する。図示のとおり、この搬送機構1000は、ストッパーピン1021及び高さ調節用シム1022に代えて、高さ決めブロック1031を有すること以外は、図6〜8の搬送機構1000と同様である。高さ決めブロック1031は、本発明の搬送機構の「位置決め部材」に相当する。高さ決めブロック1031は、ピストンロッド1012とテーブル1013との間に挟まれるように設置されている。 First, as shown in FIG. 10, in a state where the substrate (interposer) 2 which is the object to be molded is placed on the transport mechanism 1000, the transport mechanism 1000 is mounted on the upper molding die 100 and the lower molding die 100 of the molding die (press). Enter between (not shown). As a result, the substrate 2 is conveyed between the upper molding die 100 and the lower molding die (near the molding die). As shown in the figure, the transport mechanism 1000 is the same as the transport mechanism 1000 of FIGS. 6 to 8 except that it has a height determining block 1031 instead of the stopper pin 1021 and the height adjusting shim 1022. The height determining block 1031 corresponds to the "positioning member" of the transport mechanism of the present invention. The height determining block 1031 is installed so as to be sandwiched between the piston rod 1012 and the table 1013.

つぎに、図11に示すとおり、アクチュエータ1014のシリンダー1011によりピストンロッド1012を伸ばすことで、プレート1013を上昇させる。これにより、図示のとおり、プレート1013に載置された基板2を、上成形型100に接触しない上成形型100近傍の位置で停止させる。このとき、高さ決めブロック1031が高さ調節機能を果たすことにより、基板2上面と上成形型100下面との間隔(ギャップ、符号G)は、図示のとおり、高さ決めブロック1031の厚みと等しくなる。また、このとき、上成形型100は、予熱機構(図示せず)により、あらかじめ加熱しておく。そして、図11の状態で、上成形型100の熱により成形対象物(基板)2をしばらく加熱し、熱膨張させる。 Next, as shown in FIG. 11, the plate 1013 is raised by extending the piston rod 1012 by the cylinder 1011 of the actuator 1014. As a result, as shown in the drawing, the substrate 2 placed on the plate 1013 is stopped at a position near the upper molding die 100 that does not come into contact with the upper molding die 100. At this time, since the height determining block 1031 fulfills the height adjusting function, the distance (gap, reference numeral G) between the upper surface of the substrate 2 and the lower surface of the upper molding die 100 is the thickness of the height determining block 1031 as shown in the figure. Become equal. At this time, the upper molding die 100 is preheated by a preheating mechanism (not shown). Then, in the state of FIG. 11, the object to be molded (substrate) 2 is heated for a while by the heat of the upper molding die 100 to be thermally expanded.

さらに、図12の状態から、プレート1013の位置はそのままで、上成形型100に設けられた吸引機構(図示せず、例えば真空ポンプ等)を作動させる。これにより、基板2は上成形型100に吸い寄せられ、図13に示すとおり、上成形型100の下面に接触した状態で上成形型100に吸着されて保持される。このようにして、成形対象物(基板)2を、上成形型100を含む成形型に受け渡す。 Further, from the state of FIG. 12, the suction mechanism (not shown, for example, a vacuum pump or the like) provided in the upper molding die 100 is operated while keeping the position of the plate 1013 as it is. As a result, the substrate 2 is attracted to the upper molding die 100, and as shown in FIG. 13, is attracted to and held by the upper molding die 100 in a state of being in contact with the lower surface of the upper molding die 100. In this way, the object to be molded (substrate) 2 is delivered to the molding die including the upper molding die 100.

その後、図23と同様に、アクチュエータ1014のシリンダー1011によりピストンロッド1012を縮めることで、プレート1013を下降させる。そして、搬送機構1000を成形型(プレス)の外へ退避させた後に、成形型により成形対象物(基板)2を樹脂成形する。なお、図5(実施例1)と同様に、成形対象物(基板)2を上成形型100に接触させた後、いったんプレート1013を下降させて成形対象物(基板)2を上成形型100から離した後に、プレート1013を再上昇させて成形対象物(基板)2を上成形型100に接触させてもよい。 After that, as in FIG. 23, the piston rod 1012 is contracted by the cylinder 1011 of the actuator 1014 to lower the plate 1013. Then, after the transport mechanism 1000 is retracted to the outside of the molding die (press), the object to be molded (substrate) 2 is resin-molded by the molding die. As in FIG. 5 (Example 1), after the molding target (board) 2 is brought into contact with the upper molding die 100, the plate 1013 is once lowered to move the molding target (board) 2 to the upper molding die 100. After separating from the above, the plate 1013 may be raised again to bring the molding object (board) 2 into contact with the upper molding die 100.

さらに、図13〜15に、本実施例の別の変形例を示す。図13〜15による成形対象物の成形型への受け渡し方法は、搬送機構1000の構造が若干異なる以外は、図6〜8又は図10〜12と同様にして行うことができる。具体的には、以下のとおりである。 Further, FIGS. 13 to 15 show another modification of this embodiment. The method of delivering the object to be molded to the molding die according to FIGS. 13 to 15 can be carried out in the same manner as in FIGS. 6 to 8 or 10 to 12 except that the structure of the transport mechanism 1000 is slightly different. Specifically, it is as follows.

まず、図13に示すように、搬送機構1000に、成形対象物である基板(インターポーザ)2を載置した状態で、搬送機構1000を、成形型(プレス)の上成形型100と下成形型(図示せず)との間に進入させる。これにより、基板2を、上成形型100と下成形型との間(成形型の近傍)まで搬送する。図示のとおり、この搬送機構1000は、ストッパーピン1021及び高さ調節用シム1022に代えて、ボルト1041及びナット1042を有すること以外は、図6〜8の搬送機構1000と同様である。ボルト1041及びナット1042は、本発明の搬送機構の「位置決め部材」に相当する。図示のとおり、ボルト1041は、プレート1013上面の外周部において、基板2の外側の位置に設置されている。ボルト1041は、プレート1013のタップ穴1043にねじ込まれるととともに、ナット1042により締めつけられてテーブル1013に固定されている。 First, as shown in FIG. 13, in a state where the substrate (interposer) 2 which is the object to be molded is placed on the transport mechanism 1000, the transport mechanism 1000 is mounted on the upper molding die 100 and the lower molding die 100 of the molding die (press). Enter between (not shown). As a result, the substrate 2 is conveyed between the upper molding die 100 and the lower molding die (near the molding die). As shown in the figure, the transport mechanism 1000 is the same as the transport mechanism 1000 of FIGS. 6 to 8 except that it has a bolt 1041 and a nut 1042 instead of the stopper pin 1021 and the height adjusting shim 1022. The bolt 1041 and the nut 1042 correspond to the "positioning member" of the transport mechanism of the present invention. As shown, the bolt 1041 is installed at a position outside the substrate 2 on the outer peripheral portion of the upper surface of the plate 1013. The bolt 1041 is screwed into the tapped hole 1043 of the plate 1013 and tightened by the nut 1042 to be fixed to the table 1013.

つぎに、図14に示すとおり、アクチュエータ1014のシリンダー1011によりピストンロッド1012を伸ばすことで、プレート1013を上昇させる。そして、ボルト1041(位置決め部材)の上端が、上成形型100の下面に接触する。これにより、図示のとおり、プレート1013に載置された基板2を、上成形型100に接触しない上成形型100近傍の位置で停止させる。なお、基板2上面と上成形型100下面との間隔(ギャップ)は、符号Gで示している。このとき、上成形型100は、ヒーター(図示せず)により、あらかじめ加熱しておく。そして、図7の状態で、上成形型100の熱により成形対象物(基板)2をしばらく加熱し、熱膨張させる。 Next, as shown in FIG. 14, the plate 1013 is raised by extending the piston rod 1012 by the cylinder 1011 of the actuator 1014. Then, the upper end of the bolt 1041 (positioning member) comes into contact with the lower surface of the upper molding die 100. As a result, as shown in the drawing, the substrate 2 placed on the plate 1013 is stopped at a position near the upper molding die 100 that does not come into contact with the upper molding die 100. The distance (gap) between the upper surface of the substrate 2 and the lower surface of the upper molding die 100 is indicated by reference numeral G. At this time, the upper molding die 100 is preheated by a heater (not shown). Then, in the state of FIG. 7, the object to be molded (substrate) 2 is heated for a while by the heat of the upper molding die 100 to thermally expand it.

さらに、図14の状態から、プレート1013の位置はそのままで、上成形型100に設けられた吸引機構(図示せず、例えば真空ポンプ等)を作動させる。これにより、基板2は上成形型100に吸い寄せられ、図15に示すとおり、上成形型100の下面に接触した状態で上成形型100に吸着されて保持される。このようにして、成形対象物(基板)2を、上成形型100を含む成形型に受け渡す。 Further, from the state of FIG. 14, the suction mechanism (not shown, for example, a vacuum pump or the like) provided in the upper molding die 100 is operated while keeping the position of the plate 1013 as it is. As a result, the substrate 2 is attracted to the upper molding die 100, and as shown in FIG. 15, is attracted to and held by the upper molding die 100 in a state of being in contact with the lower surface of the upper molding die 100. In this way, the object to be molded (substrate) 2 is delivered to the molding die including the upper molding die 100.

その後、図23と同様に、アクチュエータ1014のシリンダー1011によりピストンロッド1012を縮めることで、プレート1013を下降させる。そして、搬送機構1000を成形型(プレス)の外へ退避させた後に、成形型により成形対象物(基板)2を樹脂成形する。 After that, as in FIG. 23, the piston rod 1012 is contracted by the cylinder 1011 of the actuator 1014 to lower the plate 1013. Then, after the transport mechanism 1000 is retracted to the outside of the molding die (press), the object to be molded (substrate) 2 is resin-molded by the molding die.

なお、本実施例において、樹脂成形装置の全体図、成形型の構成及び樹脂成形品の製造方法は、特に限定されないが、例えば、実施例1(図16〜20)と同様でもよい。 In this embodiment, the overall view of the resin molding apparatus, the configuration of the molding mold, and the method for producing the resin molded product are not particularly limited, but may be the same as in Example 1 (FIGS. 16 to 20).

本発明によれば、前述のとおり、樹脂成型前の成形対象物の変形を抑制又は防止可能である。本発明は、特に、変形しやすい薄型の成形対象物(基板等)に対して効果的であるが、これに限定されず、任意の成形対象物に広く適用可能である。 According to the present invention, as described above, it is possible to suppress or prevent deformation of the object to be molded before resin molding. The present invention is particularly effective for a thin molded object (such as a substrate) that is easily deformed, but is not limited to this, and can be widely applied to any molded object.

さらに、本発明は、上述の実施例に限定されるものではなく、本発明の趣旨を逸脱しない範囲内で、必要に応じて、任意にかつ適宜に組み合わせ、変更し、又は選択して採用できるものである。 Furthermore, the present invention is not limited to the above-described embodiment, and can be arbitrarily and appropriately combined, modified, or selected and adopted as necessary without departing from the spirit of the present invention. It is a thing.

1 チップ
2 基板(成形対象物)
3 ワイヤ
4 孔
11 リリースフィルム
20a 樹脂材料(顆粒樹脂)
20b 溶融樹脂(流動性樹脂)
20 樹脂(硬化樹脂)
100 上成形型(成形型の上型)
101 パイロットピン
200 下成形型(成形型の下型)
201 下成形型キャビティ
202 下成形型ベース部材
203 下成形型キャビティ側面部材
204 弾性部材
205 下成形型キャビティ底面部材
300 成形型
400 材料受入モジュール
401 電源
402 制御部
403 基板材料受入部
404 樹脂材料受入部
405 材料移送機構
406 X方向ガイドレール
408 Y方向ガイドレール
500 払出モジュール
501 副搬送機構
502 樹脂成形品移送機構
503 マガジン
521 樹脂ローダ(樹脂搬送機構)
701 枠部材
1000 搬送機構
1010 搬送機構の本体
1011 シリンダー
1012 ピストンロッド
1014 アクチュエータ(上下動機構)
1013 プレート(樹脂成形品載置部材)
1021 ストッパーピン(位置決め部材)
1022 シム(位置決め部材)
1031 高さ決めブロック(位置決め部材)
1041 ボルト(位置決め部材)
1042 ナット
1043 タップ穴
1100 セットブロック
1110 ローダーセットブロック
1120 上成形型セットブロック
1131 逃げ孔
1132 弾性部材(スプリング)
1133 固定ボルト
1134 ブッシュ
1135 上下可動ピン(位置決め部材)
2000 成形モジュール
3000 樹脂成形装置
Y1 型締め方向を示す矢印
Y2 型開き方向を示す矢印
1 chip 2 substrate (molded object)
3 Wire 4 holes 11 Release film 20a Resin material (granule resin)
20b Molten resin (fluid resin)
20 resin (cured resin)
100 Upper mold (upper mold of molding mold)
101 Pilot pin 200 Lower mold (lower mold of molding mold)
201 Lower molded cavity 202 Lower molded base member 203 Lower molded cavity side member 204 Elastic member 205 Lower molded cavity bottom member 300 Molded 400 Material receiving module 401 Power supply 402 Control unit 403 Substrate material receiving part 404 Resin material receiving part 405 Material transfer mechanism 406 X-direction guide rail 408 Y-direction guide rail 500 Discharge module 501 Sub-conveyance mechanism 502 Resin molded product transfer mechanism 503 Magazine 521 Resin loader (resin transfer mechanism)
701 Frame member 1000 Transport mechanism 1010 Transport mechanism body 1011 Cylinder 1012 Piston rod 1014 Actuator (vertical movement mechanism)
1013 plate (resin molded product mounting member)
1021 Stopper pin (positioning member)
1022 shim (positioning member)
1031 Height determination block (positioning member)
1041 bolt (positioning member)
1042 Nut 1043 Tap hole 1100 Set block 1110 Loader set block 1120 Top molding set block 1131 Relief hole 1132 Elastic member (spring)
1133 Fixing bolt 1134 Bush 1135 Vertical movable pin (positioning member)
2000 Molding module 3000 Resin molding device Y1 Arrow indicating the mold tightening direction Y2 Arrow indicating the mold opening direction

Claims (12)

樹脂成形前の成形対象物を載置する成形対象物載置部材と、
前記成形対象物載置部材を上下動させる上下動機構とを含み、
前記成形対象物を前記成形対象物載置部材に載置した状態で搬送し、
前記成形対象物を前記成形対象物載置部材に載置した状態で、前記上下動機構の動作により、前記成形対象物を成形型に接触しない前記成形型近傍の位置で停止させた後に、前記成形対象物を前記成形型に接触する位置で停止させ成形型に受け渡すことを特徴とする前記成形対象物の搬送機構。
A molding target mounting member on which the molding target before resin molding is placed,
Including a vertical movement mechanism for moving the molding object mounting member up and down.
The object to be molded is conveyed while being placed on the member on which the object to be molded is placed.
While placing the molded object to the molding object mounting member, by the operation of the vertical movement mechanism, after stopping at the position of the mold vicinity without contact with the molded object in forming a shape type, conveying mechanism of the molding object, wherein the receiving pass score in the mold is stopped at a position in contact with the shaped object in the mold.
さらに、前記成形対象物載置部材を停止させる位置を決める位置決め機構を含む請求項記載の搬送機構。 Further, the transport mechanism of claim 1 further comprising a positioning mechanism for positioning stopping the molded object mounting member. 前記位置決め機構が、前記上下動機構により上下動可能な位置決め部材である請求項記載の搬送機構。 The transport mechanism according to claim 2 , wherein the positioning mechanism is a positioning member that can move up and down by the vertical movement mechanism. 前記位置決め部材が前記成形型に接触することにより、前記成形対象物載置部材の停止位置を決めることが可能な請求項記載の搬送機構。 The transport mechanism according to claim 3 , wherein the stopping position of the molding object mounting member can be determined by contacting the positioning member with the molding die. さらに、弾性部材を含み、
前記弾性部材の伸縮により、前記位置決め部材が上下動可能である請求項又は記載の搬送機構。
In addition, it includes elastic members
The transport mechanism according to claim 3 or 4 , wherein the positioning member can move up and down by expanding and contracting the elastic member.
さらに、前記位置決め部材を上下動させるアクチュエータを含み、
前記アクチュエータの圧力設定により前記位置決め部材の停止位置を決めることで、前記成形対象物載置部材の停止位置を決めることが可能な請求項からのいずれか一項に記載の搬送機構。
Further, the actuator including an actuator for moving the positioning member up and down is included.
The transport mechanism according to any one of claims 3 to 5 , wherein the stop position of the molding object mounting member can be determined by determining the stop position of the positioning member by setting the pressure of the actuator.
前記上下動機構の動作により、前記成形対象物載置部材を、成形型に接触しない前記成形型近傍の位置で停止させることが可能であるとともに、前記成形対象物載置部材を、前記成形型に接触する位置で停止させることが可能であり、
前記アクチュエータの圧力を、前記2種類の停止位置に対応した2種類の圧力に設定可能な請求項記載の搬送機構。
The operation of the vertical movement mechanism, the molded object mounting member, as well as a can be stopped at the position of the mold near not in contact with the mold, the molded object mounting member, said mold It is possible to stop at the position where it comes in contact with
The transport mechanism according to claim 6 , wherein the pressure of the actuator can be set to two types of pressures corresponding to the two types of stop positions.
請求項1からのいずれか一項に記載の搬送機構と、前記成形型とを含み、
前記搬送機構により、前記成形対象物を前記成形型に受け渡し、
前記成形型により、前記成形対象物を樹脂成形することを特徴とする樹脂成形装置。
The transport mechanism according to any one of claims 1 to 7 and the molding die are included.
The object to be molded is delivered to the molding die by the transport mechanism.
A resin molding apparatus characterized in that the object to be molded is resin-molded by the molding die.
樹脂成形前の成形対象物を成形型の近傍まで搬送する工程と、
前記成形対象物を上下動させる上下動機構を動作させる工程とを含み、
前記上下動機構を動作させる工程において、前記成形対象物を、前記成形型に接触しない前記成形型近傍の位置で停止させた後に、前記成形対象物を前記成形型に接触させて停止させ前記成形型に受け渡すことを特徴とする成形対象物の成形型への受け渡し方法。
The process of transporting the object to be molded before resin molding to the vicinity of the molding mold,
Including a step of operating a vertical movement mechanism for moving the object to be molded up and down .
In the step of operating the vertical movement mechanism , the molding target is stopped at a position near the molding mold that does not come into contact with the molding mold, and then the molding target is brought into contact with the molding mold to stop the molding. A method of delivering an object to be molded to a mold, which comprises delivering the object to a mold.
樹脂成形前の成形対象物を成形型の近傍まで搬送する工程と、 The process of transporting the object to be molded before resin molding to the vicinity of the molding mold,
前記成形対象物を上下動させる上下動機構を動作させる工程とを含み、 Including a step of operating a vertical movement mechanism for moving the object to be molded up and down.
前記上下動機構を動作させる工程が、 The process of operating the vertical movement mechanism is
前記成形対象物を、前記成形型に接触しない前記成形型近傍の位置で停止させる工程と、 A step of stopping the object to be molded at a position near the molding die that does not come into contact with the molding die.
前記成形対象物を前記成形型に接触させて停止させる工程と、 A step of bringing the molding object into contact with the molding mold to stop the molding,
前記成形対象物を再度前記成形型から離して前記成形型近傍の位置で停止させる工程と、 A step of separating the object to be molded from the molding die again and stopping the object at a position near the molding die.
前記成形対象物を再度前記成形型に接触させて停止させる工程と、 A step of bringing the molding object into contact with the molding mold again to stop the molding,
を含み、Including
前記上下動機構を動作させる工程において、前記成形対象物を、前記成形型に接触しない前記成形型近傍の位置で停止させ、 In the step of operating the vertical movement mechanism, the object to be molded is stopped at a position in the vicinity of the mold that does not come into contact with the mold.
前記成形対象物を前記成形型に受け渡すことを特徴とする成形対象物の成形型への受け渡し方法。 A method for delivering a molding object to a molding die, which comprises delivering the molding object to the molding die.
樹脂成形前の成形対象物を成形型の近傍まで搬送する工程と、
前記成形対象物を上下動させる上下動機構を動作させる工程とを含み、
前記上下動機構を動作させる工程が、
前記成形対象物を前記成形型に接触させて停止させる工程と、
前記成形対象物を再度前記成形型から離して前記成形型近傍の位置で停止させる工程と、
前記成形対象物を再度前記成形型に接触させて停止させる工程と、
を含むことを特徴とする成形対象物の成形型への受け渡し方法。
The process of transporting the object to be molded before resin molding to the vicinity of the molding mold,
Including a step of operating a vertical movement mechanism for moving the object to be molded up and down .
The process of operating the vertical movement mechanism is
A step of bringing the molding object into contact with the molding mold to stop the molding,
A step of separating the object to be molded from the molding die again and stopping the object at a position near the molding die.
A step of bringing the molding object into contact with the molding mold again to stop the molding,
A method for delivering an object to be molded to a molding die, which comprises.
請求項から11のいずれか一項に記載の受け渡し方法により前記成形対象物を前記成形型に受け渡す成形対象物受け渡し工程と、
前記成形型により前記成形対象物を樹脂成形する樹脂成形工程と、
を含むことを特徴とする樹脂成形品の製造方法。
A molding object delivery step of delivering the molding object to the molding mold by the delivery method according to any one of claims 9 to 11 .
A resin molding step of resin molding the object to be molded by the molding mold,
A method for producing a resin molded product, which comprises.
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