JP6787180B2 - 半導体装置およびその製造方法 - Google Patents
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Description
半導体素子と、
前記半導体素子が配置され、周囲に接着面を有したパッケージ基体と、
前記パッケージ基体の接着面に対向した位置に接着面を有し、前記半導体素子を覆い前記パッケージ基体との間に密閉された中空部を形成するキャップと、
熱硬化性樹脂からなる第一の接着剤および熱可塑性樹脂からなる第二の接着剤が配置され、前記パッケージ基体の接着面と前記キャップの接着面とを接着する接着剤層と、を備え、
前記接着剤層の少なくとも一部において、前記第一の接着剤が前記パッケージ基体の接着面から前記キャップの接着面まで連続して存在する、ことを特徴とする。
<半導体装置の構造>
図1は、本実施の形態1に係る半導体装置のパッケージ構造内の実装領域を示す平面図である。図2は、本実施の形態1に係る半導体装置を示す平面図であって、図3は、図2のA−A’の仮想線に沿った断面図である。図1は、図2の半導体装置よりキャップを取り除き、パッケージ構造内の実装領域を示したものである。
なお、第一の接着剤(熱硬化性樹脂)9と第二の接着剤(熱可塑性樹脂)10の配置はこれに限定されるものではなく、接着剤層全体のうち少なくとも一部において、第一の接着剤(熱硬化性樹脂)9がパッケージ基体3の接着面からキャップ8の接着面まで連続して存在するように配置されていればよい。
図6を用いて、本実施の形態1の半導体装置の製造プロセスについて説明する。ヒートシンク板7とセラミック枠体2、外部接続用リード端子1によって構成されるパッケージ基体3は、はんだ材の濡れ性、はんだ付け性を確保するために、電気めっき法または無電解めっき法を用いて、ニッケルまたは、金などのめっき層が形成されている。パッケージ基体3の、ヒートシンク板7の上面とセラミック枠体2の内周側壁面で形成されるキャビティ14に、電子部品であるセラミック回路基板4と半導体素子5を金−錫、金−ゲルマニウムまたは金−シリコン等のはんだ合金12を介してダイボンドする(図6(a))。
なお、本実施形態では、はんだ合金12を介して電子部品であるセラミック回路基板4と半導体素子5をダイボンドしているが、はんだ合金に代えて熱伝導性の高い金属フィラーを分散させた導電性接着剤を用いてもよい。導電性接着剤は200℃以下の低温でダイボンド可能であり、ダイボンド時の周辺部材に加わる熱応力や反りの発生を低減することができる。また、分散させる金属フィラーとして、Agフィラーを用いた導電性接着剤が一般的であるが、Ag以外の金属でもよく、Cuフィラー、Niフィラー、Auフィラー、Pdフィラー、カーボンフィラーなどをエポキシ樹脂に混合させたものでも同様の効果が得られる。さらに、溶剤にマイクロサイズの金属粒子、ナノサイズの金属粒子、もしくは、マイクロサイズとナノサイズの金属粒子を混合した焼結金属ペーストを用いてもよい。焼結金属ペーストは、導電性接着剤と同様に約200℃でダイボンド可能であり、加えて焼結後は金属粒子同士が焼結接合し、金属バルクに近い状態になるため、非常高い耐熱性を得られる。結果として、175℃以上の高温動作時での信頼性を向上することができる。また、分散させる金属フィラーとして、Ag粒子を用いたAgペーストが一般的であるが、Ag以外の金属でもよく、Cu粒子、Ni粒子、Au粒子などを溶剤に混合させたものでも同様の効果が得られる。
なお、本実施の形態1では、150℃で接着剤を硬化、接着させているが、この温度に限定されるものではなく、半導体素子5下のダイボンド材12を含む周辺部材を考慮して選定した接着剤の推奨キュア温度(熱硬化処理温度)で加熱してもよい。
以下、実施の形態2について説明する。なお、本実施の形態2に係る半導体装置のうち、実施形態1に係る半導体装置と同様な部分については、同一の符号を付して説明を省略する。図11は、本実施の形態2に係る半導体装置を示す平面図であって、図12は、図11のD−D’の仮想線に沿った断面図である。図13はキャップ8の下面からの平面図であり、図14、図15は、それぞれ図13のE−E’、F−F’の仮想線に沿った断面図である。
実施の形態1では、第一の接着剤(熱硬化性樹脂)9と第二の接着剤(熱可塑性樹脂)10とを径方向に並べて配置したのに対し、本実施の形態2は周方向に並べて配置したものである。図13、図14、図15に示すように、第一の接着剤(熱硬化性樹脂)9が主としてキャップ8の下面に塗布されており、セラミック枠体2の各辺の中心に第二の接着剤(熱可塑性樹脂)10が部分的に設けられている。この枠の各辺の中心に設けられた第二の接着剤(熱可塑性樹脂)10がリーク弁の役割を担っており、キャップ接着時の加熱によって膨張した空気を前述の第二の接着剤(熱可塑性樹脂)10を貫通して吹き出させることで、第一の接着剤(熱硬化性樹脂)9における気体貫通(グロスリーク)の発生を防ぐことができる。第二の接着剤(熱可塑性樹脂)10は高温保持中でも流動性を有するため、気体の吹き出しによって発生したブローボイドを埋めることができ、冷却後は第二の接着剤(熱可塑性樹脂)10が硬化し高い気密性を確保することができる。同時に、接着剤層全体のうち少なくとも一部においてパッケージ基体3の接着面からキャップ8の接着面まで連続して存在するように配置された、接着強度や耐熱性に優れる第一の接着剤(熱硬化性樹脂)10が硬化することより、高い接合強度が得られ信頼性を確保できる。
なお、接着剤層が第二の接着剤(熱可塑性樹脂)10の単層である場合は、上述のようにグロスリークを防ぐことは可能であるが、接着強度や耐熱性に不足し、信頼性に課題がある。
2 セラミック枠体
3 パッケージ基体
4 回路基板
5 半導体素子
6 金属ワイヤ
7 ヒートシンク板
8 キャップ
9 第一の接着剤(熱硬化性樹脂)
10 第二の接着剤(熱可塑性樹脂)
11 ろう材
12 ダイボンド材
13 段差
14 キャビティ
15 中空部
Claims (9)
- 半導体素子と、
前記半導体素子が配置され、周囲に接着面を有したパッケージ基体と、
前記パッケージ基体の接着面に対向した位置に接着面を有し、前記半導体素子を覆い前記パッケージ基体との間に密閉された中空部を形成するキャップと、
熱硬化性樹脂からなる第一の接着剤および熱可塑性樹脂からなる第二の接着剤が配置され、前記パッケージ基体の接着面と前記キャップの接着面とを接着する接着剤層と、を備え、
前記接着剤層の少なくとも一部において、前記第一の接着剤が前記パッケージ基体の接着面から前記キャップの接着面まで連続して存在する、
半導体装置。 - 前記接着剤層は、前記第一の接着剤および前記第二の接着剤が径方向に並んで配置された、
請求項1に記載の半導体装置。 - 前記第一の接着剤が内周側に配置された、
請求項2に記載の半導体装置。 - 前記第一の接着剤が外周側に配置された、
請求項2に記載の半導体装置。 - 前記接着剤層は、前記第一の接着剤および前記第二の接着剤が周方向に並んで配置された、
請求項1に記載の半導体装置。 - 前記パッケージ基体と前記キャップとの間に外部接続用リード端子が配置され、前記第二の接着剤が前記外部接続用リード端子の縁部に接して配置された、
請求項5に記載の半導体装置。 - 前記キャップの接着面の少なくとも一部にテーパーを有する、
請求項1から6のいずれか一項に記載の半導体装置。 - 前記テーパーがRを有する、
請求項7に記載の半導体装置。 - パッケージ基体に半導体素子を配置する工程と、
前記半導体素子を覆い前記パッケージ基体との間に密閉された中空部を形成するキャップを、熱硬化性樹脂接着剤からなる第一の接着剤および熱可塑性樹脂接着剤からなる第二の接着剤が配置された接着剤層を介して前記パッケージ基体上に載置する工程と、
前記接着剤層を加熱して硬化させる工程と、
を備えた半導体装置の製造方法。
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