JP6780629B2 - 積層型コイル部品 - Google Patents

Description

本発明は、積層型コイル部品に関する。

積層型コイル部品として、例えば、特許文献１には、コイルが埋設された積層構造のチップと、該チップ表面に形成され上記コイルの端に接続する外部端子電極とを備えた積層インダクタが開示されている。特許文献１に記載の積層インダクタにおいては、引き出し内部導体を有する引き出し層を設け、上記引き出し内部導体は、上記積層構造内の上記コイルを形成する内部導体を有する周回層とは異なる層に形成されて、上記コイルの周回中心線にほぼ平行なチップ表面に露出すると共に上記コイルの端部に接続されていること、及び、上記外部端子電極は、上記コイルの周回中心線にほぼ平行な面に形成され且つ上記引き出し内部導体に接続されていることを特徴としている。

特許第３３５１７３８号公報

しかし、特許文献１に記載の積層インダクタのような構造では、高周波帯（例えば、２０ＧＨｚ以上のＧＨｚ帯）での高周波特性が低下するおそれがあることが判明した。具体的には、高周波での透過係数Ｓ２１が低下するおそれがあることが判明した。

本発明は上記の問題を解決するためになされたものであり、高周波特性に優れる積層型コイル部品を提供することを目的とする。

本発明の積層型コイル部品は、複数の絶縁層が積層されてなり、内部にコイルを内蔵する積層体と、上記コイルに電気的に接続されている第１の外部電極及び第２の外部電極と、を備える積層型コイル部品であって、上記コイルは、上記絶縁層とともに積層された複数のコイル導体が電気的に接続されることにより形成され、上記積層体は、長さ方向に相対する第１の端面及び第２の端面と、上記長さ方向に直交する高さ方向に相対する第１の主面及び第２の主面と、上記長さ方向および上記高さ方向に直交する幅方向に相対する第１の側面及び第２の側面とを有し、上記第１の外部電極は、上記第１の端面の一部を覆い、かつ、上記第１の端面から延伸して上記第１の主面の一部を覆って配置され、上記第２の外部電極は、上記第２の端面の一部を覆い、かつ、上記第２の端面から延伸して上記第１の主面の一部を覆って配置され、上記第１の主面が実装面であり、上記積層体の積層方向、及び、上記コイルの軸方向が上記実装面に対して平行であり、さらに、上記積層体の内部に第１の連結導体及び第２の連結導体を備え、上記第１の連結導体は、上記第１の端面を覆う部分の上記第１の外部電極とこれに対向する上記コイル導体との間を直線状に接続し、上記第２の連結導体は、上記第２の端面を覆う部分の上記第２の外部電極とこれに対向する上記コイル導体との間を直線状に接続し、上記第１の連結導体及び上記第２の連結導体は、いずれも、上記積層方向から平面視したときに上記コイル導体と重なり、かつ、上記コイルの中心軸よりも上記実装面側に位置する。

本発明の積層型コイル部品において、上記第１の外部電極は、さらに、上記第１の端面及び上記第１の主面から延伸して上記第１の側面の一部及び上記第２の側面の一部を覆って配置され、上記第２の外部電極は、さらに、上記第２の端面及び上記第１の主面から延伸して上記第１の側面の一部及び上記第２の側面の一部を覆って配置されていてもよい。

本発明の積層型コイル部品において、上記積層方向から平面視したとき、上記コイル導体は互いに重なることが好ましい。

本発明の積層型コイル部品において、上記積層方向から平面視したとき、上記コイルの形状は円形であることが好ましい。

本発明の積層型コイル部品においては、上記積層型コイル部品の長さが０．５７ｍｍ以上、０．６３ｍｍ以下であり、上記積層型コイル部品の幅が０．２７ｍｍ以上、０．３３ｍｍ以下であることが好ましい。

本発明の積層型コイル部品においては、上記第１の端面を覆う部分の上記第１の外部電極の高さが０．１ｍｍ以上、０．２ｍｍ以下であり、上記第２の端面を覆う部分の上記第２の外部電極の高さが０．１ｍｍ以上、０．２ｍｍ以下であることが好ましい。

本発明の積層型コイル部品においては、上記積層方向における上記コイル導体間の距離が３μｍ以上、７μｍ以下であることが好ましい。

本発明の積層型コイル部品においては、４０ＧＨｚでの透過係数Ｓ２１が０ｄＢ以下、−１．０ｄＢ以上であることが好ましい。

本発明によれば、高周波特性に優れる積層型コイル部品を提供することができる。

図１は、本発明の一実施形態に係る積層型コイル部品を模式的に示す斜視図である。 図２（ａ）は、図１に示す積層型コイル部品の側面図であり、図２（ｂ）は、図１に示す積層型コイル部品の正面図であり、図２（ｃ）は、図１に示す積層型コイル部品の底面図である。 図３は、図１に示す積層型コイル部品を構成する積層体の一例を模式的に示す分解斜視図である。 図４は、図１に示す積層型コイル部品を構成する積層体の一例を模式的に示す分解平面図である。 図５（ａ）は、本発明の積層型コイル部品を構成する積層体の内部構造の一例を模式的に示す側面図であり、図５（ｂ）は、本発明の積層型コイル部品を構成する積層体の第１の端面の一例を模式的に示す正面図であり、図５（ｃ）は、本発明の積層型コイル部品を構成する積層体の第１の主面の一例を模式的に示す底面図である。 図６は、比較例１の試料を構成する積層体の内部構造の一例を模式的に示す側面図である。 図７は、比較例１の調整パターンの形状を模式的に示す平面図である。 図８は、比較例２の試料を構成する積層体の内部構造の一例を模式的に示す側面図である。 図９は、比較例２の調整パターンの形状を模式的に示す平面図である。 図１０は、透過係数Ｓ２１を測定する方法を模式的に示す図である。 図１１は、実施例１、比較例１及び比較例２における透過係数Ｓ２１を示すグラフである。

以下、本発明の積層型コイル部品について説明する。
しかしながら、本発明は、以下の実施形態に限定されるものではなく、本発明の要旨を変更しない範囲において適宜変更して適用することができる。なお、以下において記載する個々の望ましい構成を２つ以上組み合わせたものもまた本発明である。

図１は、本発明の一実施形態に係る積層型コイル部品を模式的に示す斜視図である。
図２（ａ）は、図１に示す積層型コイル部品の側面図であり、図２（ｂ）は、図１に示す積層型コイル部品の正面図であり、図２（ｃ）は、図１に示す積層型コイル部品の底面図である。

図１、図２（ａ）、図２（ｂ）及び図２（ｃ）に示す積層型コイル部品１は、積層体１０と第１の外部電極２１と第２の外部電極２２とを備えている。積層体１０は、６面を有する略直方体形状である。積層体１０の構成については後述するが、複数の絶縁層が積層されてなり、内部にコイルを内蔵している。第１の外部電極２１及び第２の外部電極２２は、それぞれ、コイルに電気的に接続されている。

本発明の積層型コイル部品及び積層体では、長さ方向、高さ方向、幅方向を、図１におけるｘ方向、ｙ方向、ｚ方向とする。ここで、長さ方向（ｘ方向）と高さ方向（ｙ方向）と幅方向（ｚ方向）は互いに直交する。

図１、図２（ａ）、図２（ｂ）及び図２（ｃ）に示すように、積層体１０は、長さ方向（ｘ方向）に相対する第１の端面１１及び第２の端面１２と、長さ方向に直交する高さ方向（ｙ方向）に相対する第１の主面１３及び第２の主面１４と、長さ方向及び高さ方向に直交する幅方向（ｚ方向）に相対する第１の側面１５及び第２の側面１６とを有する。

図１には示されていないが、積層体１０は、角部及び稜線部に丸みが付けられていることが好ましい。角部は、積層体の３面が交わる部分であり、稜線部は、積層体の２面が交わる部分である。

第１の外部電極２１は、図１及び図２（ｂ）に示すように、積層体１０の第１の端面１１の一部を覆い、かつ、図１及び図２（ｃ）に示すように、第１の端面１１から延伸して第１の主面１３の一部を覆って配置されている。図２（ｂ）に示すように、第１の外部電極２１は、第１の端面１１のうち、第１の主面１３と交わる稜線部を含む領域を覆っているが、第２の主面１４と交わる稜線部を含む領域は覆っていない。そのため、第２の主面１４と交わる稜線部を含む領域では、第１の端面１１が露出している。また、第１の外部電極２１は、第２の主面１４を覆っていない。

なお、図２（ｂ）では、積層体１０の第１の端面１１を覆う部分の第１の外部電極２１の高さは一定であるが、積層体１０の第１の端面１１の一部を覆う限り、第１の外部電極２１の形状は特に限定されない。例えば、積層体１０の第１の端面１１において、第１の外部電極２１は、端部から中央部に向かって高くなる山なり形状であってもよい。また、図２（ｃ）では、積層体１０の第１の主面１３を覆う部分の第１の外部電極２１の長さは一定であるが、積層体１０の第１の主面１３の一部を覆う限り、第１の外部電極２１の形状は特に限定されない。例えば、積層体１０の第１の主面１３において、第１の外部電極２１は、端部から中央部に向かって長くなる山なり形状であってもよい。

図１及び図２（ａ）に示すように、第１の外部電極２１は、さらに、第１の端面１１及び第１の主面１３から延伸して第１の側面１５の一部及び第２の側面１６の一部を覆って配置されていてもよい。この場合、図２（ａ）に示すように、第１の側面１５及び第２の側面１６を覆う部分の第１の外部電極２１は、いずれも、第１の端面１１と交わる稜線部及び第１の主面１３と交わる稜線部に対して斜めに形成されていることが好ましい。なお、第１の外部電極２１は、第１の側面１５の一部及び第２の側面１６の一部を覆って配置されていなくてもよい。

第２の外部電極２２は、積層体１０の第２の端面１２の一部を覆い、かつ、第２の端面１２から延伸して第１の主面１３の一部を覆って配置されている。第１の外部電極２１と同様、第２の外部電極２２は、第２の端面１２のうち、第１の主面１３と交わる稜線部を含む領域を覆っているが、第２の主面１４と交わる稜線部を含む領域は覆っていない。そのため、第２の主面１４と交わる稜線部を含む領域では、第２の端面１２が露出している。また、第２の外部電極２２は、第２の主面１４を覆っていない。

第１の外部電極２１と同様、積層体１０の第２の端面１２の一部を覆う限り、第２の外部電極２２の形状は特に限定されない。例えば、積層体１０の第２の端面１２において、第２の外部電極２２は、端部から中央部に向かって高くなる山なり形状であってもよい。また、積層体１０の第１の主面１３の一部を覆う限り、第２の外部電極２２の形状は特に限定されない。例えば、積層体１０の第１の主面１３において、第２の外部電極２２は、端部から中央部に向かって長くなる山なり形状であってもよい。

第１の外部電極２１と同様、第２の外部電極２２は、さらに、第２の端面１２及び第１の主面１３から延伸して第１の側面１５の一部及び第２の側面１６の一部を覆って配置されていてもよい。この場合、第１の側面１５及び第２の側面１６を覆う部分の第２の外部電極２２は、いずれも、第２の端面１２と交わる稜線部及び第１の主面１３と交わる稜線部に対して斜めに形成されていることが好ましい。なお、第２の外部電極２２は、第１の側面１５の一部及び第２の側面１６の一部を覆って配置されていなくてもよい。

以上のように第１の外部電極２１及び第２の外部電極２２が配置されているため、積層型コイル部品１を基板上に実装する場合には、積層体１０の第１の主面１３が実装面となる。

本発明の積層型コイル部品のサイズは特に限定されないが、０６０３サイズ又は０４０２サイズであることが好ましい。

本発明の積層型コイル部品が０６０３サイズである場合、積層型コイル部品の長さ（図２（ａ）中、両矢印Ｌで示される長さ）は、０．５７ｍｍ以上、０．６３ｍｍ以下であることが好ましく、積層型コイル部品の幅（図２（ｃ）中、両矢印Ｗで示される長さ）は、０．２７ｍｍ以上、０．３３ｍｍ以下であることが好ましい。

本発明の積層型コイル部品が０６０３サイズである場合、積層型コイル部品の高さ（図２（ｂ）中、両矢印Ｔで示される長さ）は、０．２７ｍｍ以上、０．３３ｍｍ以下であることが好ましい。

本発明の積層型コイル部品が０６０３サイズである場合、積層体の第１の主面を覆う部分の第１の外部電極の長さ（図２（ｃ）中、両矢印Ｅ１で示される長さ）は、０．１２ｍｍ以上、０．２２ｍｍ以下であることが好ましい。同様に、積層体の第１の主面を覆う部分の第２の外部電極の長さは、０．１２ｍｍ以上、０．２２ｍｍ以下であることが好ましい。
なお、積層体の第１の主面を覆う部分の第１の外部電極の長さ、及び、積層体の第１の主面を覆う部分の第２の外部電極の長さが一定でない場合、最も長い部分の長さが上記範囲にあることが好ましい。

本発明の積層型コイル部品が０６０３サイズである場合、積層体の第１の端面を覆う部分の第１の外部電極の高さ（図２（ｂ）中、両矢印Ｅ２で示される長さ）は、０．１ｍｍ以上、０．２ｍｍ以下であることが好ましい。同様に、積層体の第２の端面を覆う部分の第２の外部電極の高さは、０．１ｍｍ以上、０．２ｍｍ以下であることが好ましい。この場合、外部電極に起因する浮遊容量を低減することができる。
なお、積層体の第１の端面を覆う部分の第１の外部電極の高さ、及び、積層体の第２の端面を覆う部分の第２の外部電極の高さが一定でない場合、最も高い部分の高さが上記範囲にあることが好ましい。

本発明の積層型コイル部品が０４０２サイズである場合、積層型コイル部品の長さは、０．３８ｍｍ以上、０．４２ｍｍ以下であることが好ましく、積層型コイル部品の幅は、０．１８ｍｍ以上、０．２２ｍｍ以下であることが好ましい。

本発明の積層型コイル部品が０４０２サイズである場合、積層型コイル部品の高さは、０．１８ｍｍ以上、０．２２ｍｍ以下であることが好ましい。

本発明の積層型コイル部品が０４０２サイズである場合、積層体の第１の主面を覆う部分の第１の外部電極の長さは、０．０８ｍｍ以上、０．１５ｍｍ以下であることが好ましい。同様に、積層体の第１の主面を覆う部分の第２の外部電極の長さは、０．０８ｍｍ以上、０．１５ｍｍ以下であることが好ましい。

本発明の積層型コイル部品が０４０２サイズである場合、積層体の第１の端面を覆う部分の第１の外部電極の高さは、０．０６ｍｍ以上、０．１３ｍｍ以下であることが好ましい。同様に、積層体の第２の端面を覆う部分の第２の外部電極の高さは、０．０６ｍｍ以上、０．１３ｍｍ以下であることが好ましい。この場合、外部電極に起因する浮遊容量を低減することができる。

図３は、図１に示す積層型コイル部品を構成する積層体の一例を模式的に示す分解斜視図であり、図４は、図１に示す積層型コイル部品を構成する積層体の一例を模式的に示す分解平面図である。

図３及び図４に示すように、積層体１０は、複数の絶縁層３１ａ、３１ｂ、３１ｃ、３１ｄ、３１ｅ及び３１ｆが長さ方向（ｘ方向）に積層されて構成されている。ただし、絶縁層３１ｆは必須ではない。
なお、積層体を構成する複数の絶縁層が積み重なる方向を積層方向という。

絶縁層３１ａ、３１ｂ、３１ｃ及び３１ｄには、それぞれ、コイル導体３２ａ、３２ｂ、３２ｃ及び３２ｄと、ビア導体３３ａ、３３ｂ、３３ｃ及び３３ｄとが設けられている。絶縁層３１ｅには、ビア導体３３ｅが設けられている。絶縁層３１ｆには、ビア導体３３ｆとマーク用導体パターン３４とが設けられている。

コイル導体３２ａ、３２ｂ、３２ｃ及び３２ｄは、それぞれ、絶縁層３１ａ、３１ｂ、３１ｃ及び３１ｄの主面上に設けられており、絶縁層３１ａ、３１ｂ、３１ｃ、３１ｄ、３１ｅ及び３１ｆとともに積層される。図３及び図４では、各コイル導体が３／４ターン形状を有しており、絶縁層３１ａ、３１ｂ、３１ｃ及び３１ｄを１つの単位（３ターン分）として、繰り返し積層される。

ビア導体３３ａ、３３ｂ、３３ｃ、３３ｄ、３３ｅ及び３３ｆは、それぞれ、絶縁層３１ａ、３１ｂ、３１ｃ、３１ｄ、３１ｅ及び３１ｆを厚み方向（図３ではｘ方向）に貫通するように設けられている。通常、絶縁層の主面上には、ビア導体と接続されるランドが設けられる。ランドのサイズは、コイル導体の線幅よりも若干大きいことが好ましい。

マーク用導体パターン３４は、絶縁層３１ｆの主面上に設けられている。図３及び図４では、マーク用導体パターン３４は絶縁層３１ｆの主面上に２箇所設けられており、どちらも絶縁層３１ｆの外周縁に接している。

以上のように構成された絶縁層３１ａ、３１ｂ、３１ｃ、３１ｄ、３１ｅ及び３１ｆは、図３に示すようにｘ方向に積層される。これにより、コイル導体３２ａ、３２ｂ、３２ｃ及び３２ｄは、ビア導体３３ａ、３３ｂ、３３ｃ及び３３ｄを介して電気的に接続される。その結果、積層体１０内において、ｘ方向に延在するコイル軸を有するソレノイド状のコイルが形成される。

さらに、ビア導体３３ｅ及び３３ｆは積層体１０内で連結導体となって、積層体１０の両端面に露出する。後述するように、連結導体は、積層体１０内において、第１の外部電極２１とこれに対向するコイル導体３２ａとの間を直線状に接続するか、又は、第２の外部電極２２とこれに対向するコイル導体３２ｄとの間を直線状に接続する。

また、マーク用導体パターン３４は、積層体１０の第１の主面１３に露出し、判別マークとなる。

図５（ａ）は、本発明の積層型コイル部品を構成する積層体の内部構造の一例を模式的に示す側面図であり、図５（ｂ）は、本発明の積層型コイル部品を構成する積層体の第１の端面の一例を模式的に示す正面図であり、図５（ｃ）は、本発明の積層型コイル部品を構成する積層体の第１の主面の一例を模式的に示す底面図である。なお、図５（ａ）は、コイル、連結導体及び判別マークの位置関係、並びに、積層体の積層方向を模式的に示すものであり、実際の形状及び接続等を厳密には表していない。例えば、コイルを構成するコイル導体はビア導体を介して接続されているし、連結導体を構成するビア導体は互いに接続されている。

図５（ａ）に示すように、積層型コイル部品１においては、積層体１０の積層方向、及び、コイルＬの軸方向（図５（ａ）中、コイルＬの中心軸Ｘを示す）は、実装面である第１の主面１３に対して平行である。

第１の連結導体４１は、積層体１０内において、第１の端面１１を覆う部分の第１の外部電極２１とこれに対向するコイル導体３２ａとの間を直線状に接続する。同様に、第２の連結導体４２は、積層体１０内において、第２の端面１２を覆う部分の第２の外部電極２２とこれに対向するコイル導体３２ｄとの間を直線状に接続する。
コイルから外部電極までを直線的に連結することにより、引き出し部を簡便にすることができるとともに、高周波特性を向上させることができる。

なお、積層方向から平面視したときに、連結導体を構成するビア導体が互いに重なっていれば、連結導体を構成するビア導体同士は厳密に直線状に並んでいなくてもよい。

第１の連結導体４１は、図５（ｂ）に示すように、積層方向から平面視したときにコイルＬを構成するコイル導体と重なり、かつ、図５（ａ）に示すように、コイルＬの中心軸Ｘよりも実装面である第１の主面１３側に位置している。同様に、第２の連結導体４２は、積層方向から平面視したときにコイルＬを構成するコイル導体と重なり、かつ、コイルＬの中心軸Ｘよりも実装面である第１の主面１３側に位置している。

図５（ａ）及び図５（ｂ）では、第１の連結導体４１及び第２の連結導体４２は、いずれも、積層方向から平面視したときにコイルＬを構成するコイル導体と重なる位置のうち、第１の主面１３に最も近い位置に設けられている。しかし、第１の連結導体４１は、積層方向から平面視したときにコイルＬを構成するコイル導体と重なり、かつ、第１の外部電極２１と接続される限り、どの位置に設けられていてもよい。同様に、第２の連結導体４２は、積層方向から平面視したときにコイルＬを構成するコイル導体と重なり、かつ、第２の外部電極２２と接続される限り、どの位置に設けられていてもよい。また、図５（ａ）では、積層方向から平面視したとき、第１の連結導体４１と第２の連結導体４２とは互いに重なるが、第１の連結導体４１と第２の連結導体４２とは重ならなくてもよい。

図５（ｂ）に示すように、積層方向から平面視したとき、コイルＬを構成するコイル導体は互いに重なることが好ましい。また、積層方向から平面視したとき、コイルＬの形状は円形であることが好ましい。なお、コイルＬがランドを含む場合には、ランドを除いた形状をコイルＬの形状とする。

判別マーク５０は、積層体１０の表面のうち、第１の外部電極２１又は第２の外部電極２２が配置される箇所に設けられる。図５（ａ）及び図５（ｃ）では、判別マーク５０は、積層体１０の第１の主面１３に設けられている。
積層体の表面に判別マークを設けることにより、外部電極を形成すべき箇所を容易に判別することができる。そのため、センサー等を用いた判別の自動化が可能になる。

判別マークは、積層体の第１の主面に設けられることが好ましいが、第１の外部電極又は第２の外部電極が配置される箇所である限り、第１の端面又は第２の端面に設けられてもよいし、第１の側面又は第２の側面に設けられてもよい。

図５（ｃ）に示す例では、判別マーク５０は、２本のラインを１つの単位として、第１の主面１３のそれぞれの角部を含む領域のうち、４箇所の領域に設けられている。なお、判別マークは、１本のラインを１つの単位としてもよいし、３本以上のラインを１つの単位としてもよい。複数の領域に判別マークが設けられている場合、１つの判別マークに含まれるラインの本数は、それぞれ同じであってもよいし、異なっていてもよい。

判別マークを構成するラインの長さ（積層体の幅方向における寸法）は特に限定されないが、０．０４ｍｍ以上、０．１ｍｍ以下であることが好ましい。また、ラインの幅（積層体の長さ方向における寸法）、形状等も特に限定されない。

判別マークは、積層体の表面に露出するように絶縁層上に設けられてもよいし、絶縁層を積層した後の積層体の表面に設けられてもよいが、絶縁層上に設けられることが好ましい。言い換えると、判別マークは、積層体の内部から延伸して積層体の表面に設けられることが好ましい。

特に、判別マークは、絶縁層上に設けられた導体パターンからなることが好ましい。この場合、絶縁層の外周縁に接するように導体パターンを設けることにより、その部分を積層体から露出させることができるため、容易に判別マークを形成することができる。ただし、判別マークの材料は特に限定されず、導体以外の材料、例えばセラミック材料等から構成されてもよい。

なお、本発明の積層型コイル部品において、判別マークは設けられていなくてもよい。

本発明の積層型コイル部品において、積層体の構造は、図３及び図４に示す構造に限定されるものではない。例えば、絶縁層３１ａ、３１ｂ、３１ｃ及び３１ｄに設けられるコイル導体、又は、絶縁層３１ｆに設けられるマーク用導体パターンの形状は任意に変更することができる。また、コイルの外側に積層される絶縁層３１ｅ及び３１ｆの枚数及び順序は任意に変更することができる。なお、絶縁層３１ｆは必須ではない。

本発明の積層型コイル部品が０６０３サイズである場合、積層方向におけるコイル導体間の距離が３μｍ以上、７μｍ以下であることが好ましい。積層方向におけるコイル導体間の距離を３μｍ以上、７μｍ以下とすることで、コイルのターン数を多くできるので、コイル導体間の静電容量が低下し、インピーダンスを大きくすることができる。また、後述する高周波帯での透過係数Ｓ２１も小さくすることができる。

本発明の積層型コイル部品においては、上述した第１の連結導体及び第２の連結導体を備えることを特徴としている。このような積層型コイル部品は、高周波帯（特に３０ＧＨｚ以上、８０ＧＨｚ以下）での高周波特性に優れる。そのため、例えば、光通信回路内のバイアスティー（Ｂｉａｓ−Ｔｅｅ）回路等に好適に使用することができる。

本発明の積層型コイル部品においては、高周波特性として、４０ＧＨｚでの透過係数Ｓ２１が評価される。透過係数Ｓ２１は、入力信号に対する透過信号の電力の比から求められる。透過係数Ｓ２１は、基本的に無次元量であるが、通常、常用対数をとってｄＢ単位で表される。

本発明の積層型コイル部品においては、４０ＧＨｚでの透過係数Ｓ２１が０ｄＢ以下、−１．０ｄＢ以上であることが好ましい。

以下、本発明の積層型コイル部品の製造方法の一例について説明する。

まず、絶縁層となるセラミックグリーンシートを作製する。
例えば、フェライト原料に、ポリビニルブチラール系樹脂等の有機バインダ、エタノール、トルエン等の有機溶剤及び分散剤等を加えて混練し、スラリー状にする。その後、ドクターブレード法などの方法により、厚さ１２μｍ程度の磁性体シートを得る。

フェライト原料として、例えば、鉄、ニッケル、亜鉛及び銅の酸化物原料を混合して８００℃、１時間で仮焼した後、ポールミルにより粉砕し、乾燥することにより、平均粒径が約２μｍのＮｉ−Ｚｎ−Ｃｕ系のフェライト原料（酸化物混合粉末）を得ることができる。

なお、絶縁層となるセラミックグリーンシートの材料としては、例えば、フェライト材料等の磁性材料、ガラスセラミック材料等の非磁性材料、又は、これらの磁性材料や非磁性材料を混合した混合材料等を用いることができる。フェライト材料を用いてセラミックグリーンシートを作製する場合、高いＬ値（インダクタンス）を得るためには、Ｆｅ_２Ｏ_３：４０ｍｏｌ％以上４９．５ｍｏｌ％以下、ＺｎＯ：５ｍｏｌ％以上３５ｍｏｌ％以下、ＣｕＯ：４ｍｏｌ％以上１２ｍｏｌ％以下、残部：ＮｉＯ及び微量添加剤（不可避不純物を含む）の組成のフェライト材料を用いることが好ましい。

作製したセラミックグリーンシートに、所定のレーザー加工を施して、直径２０μｍ以上、３０μｍ以下程度のビアホールを形成する。ビアホールを有する特定のシート上にＡｇペーストを用いて、ビアホールに充填し、さらに、１１μｍ程度の厚みを有する３／４ターン形状のコイル周回用の導体パターン（コイル導体）をスクリーン印刷し、乾燥することでコイルシートを得る。

カット後に実装面と平行な方向に周回軸を有するコイルが積層体の内部に形成されるように、コイルシートを積層する。さらに、連結導体となるビア導体が形成されたビアシートを上下に積層する。必要に応じて、少なくとも１枚のビアシートは、マーク用導体パターンが形成されたマーク付きビアシートとする。

積層体を熱圧着して厚み０．６７ｍｍ程度の圧着体を得た後、長さ０．６７ｍｍ、幅０．３４ｍｍ、高さ０．３４ｍｍのチップ寸法になるように切断し、個片化したチップを得る。個片化したチップに対しては、回転バレルを行い、角部及び稜線部に所定の丸みを付けてもよい。

所定の温度、時間で脱バインダ及び焼成を施すことで、内部にコイルを内蔵した焼成体（積層体）を得る。

Ａｇペーストを所定の厚みに引き伸ばした層にチップを斜めに浸漬させ、焼き付けることで、積層体の４面（主面、端面及び両側面）に外部電極の下地電極を形成する。
上記の方法では、積層体の主面と端面の２回に分けて下地電極を形成する場合に比べて、下地電極を１回で形成することができる。

下地電極に対して、めっきにより、所定の厚みのＮｉ皮膜及びＳｎ皮膜を順次形成して、外部電極を形成する。
以上により、本発明の積層型コイル部品を作製することができる。

以下、本発明の積層型コイル部品をより具体的に開示した実施例を示す。なお、本発明は、これらの実施例のみに限定されるものではない。

［試料の作製］
（実施例１）
（１）所定の組成を有するフェライト原料（仮焼粉末）を準備した。

（２）上記仮焼粉末に有機バインダ（ポリビニルブチラール系樹脂）、有機溶剤（エタノール及びトルエン）をＰＳＺボールとともにポットミルに入れ、湿式で充分に混合粉砕し、磁性体スラリーを作製した。

（３）ドクターブレード法により、上記磁性体スラリーをシート状に成形加工し、これを矩形に打ち抜くことにより、厚さ１５μｍの磁性体シートを複数枚作製した。

（４）Ａｇ粉末と有機ビヒクルを含む内部導体用の導電性ペーストを準備した。

（５）ビアシートの作製
磁性体シートの所定箇所にレーザーを照射することにより、ビアホールを形成した。ビアホールに導電性ペーストを充填し、その周囲に円形に導電性ペーストをスクリーン印刷することにより、ビア導体を形成した。

（６）マーク付きビアシートの作製
上記（５）と同様にビア導体を形成し、さらに、判別マークとなるマーク用導体パターンを印刷した。

（７）コイルシートの作製
ビアホールを形成し、導電性ペーストを充填してビア導体を形成した後、コイル導体を印刷した。

（８）これらのシートを図３に示した順序で所定枚数積層した後、加熱、加圧することにより、積層成形体を作製した。

（９）積層成形体を焼成炉に入れて、大気雰囲気下、５００℃の温度で脱バインダ処理を行い、その後、９００℃の温度で焼成することにより、積層体（焼成済み）を作製した。

（１０）Ａｇ粉末とガラスフリットを含有する外部電極用の導電性ペーストを塗膜形成槽に流し込み、所定厚みの塗膜が形成されるようにした。この塗膜に、積層体の外部電極を形成する箇所を浸漬した。

（１１）浸漬後、８００℃程度の温度で焼き付けることで、外部電極の下地電極を形成した。

（１２）電解めっきで、下地電極の上にＮｉ皮膜及びＳｎ皮膜を順次形成して、外部電極を形成した。
以上により、図５（ａ）に示すような積層体の内部構造を有する実施例１の試料を作製した。

（比較例１）
図６は、比較例１の試料を構成する積層体の内部構造の一例を模式的に示す側面図であり、図７は、比較例１の調整パターンの形状を模式的に示す平面図である。
図６及び図７に示す調整パターン４３を用いて外部電極への引出位置を変更することにより、比較例１の試料を作製した。

（比較例２）
図８は、比較例２の試料を構成する積層体の内部構造の一例を模式的に示す側面図であり、図９は、比較例２の調整パターンの形状を模式的に示す平面図である。
図８及び図９に示す調整パターン４４を用いて外部電極への引出位置を変更することにより、比較例２の試料を作製した。

実施例１、比較例１及び比較例２の各試料について、コイルのターン数は、いずれも４２ターンとした。

［試料の評価］
（試料の寸法）
実施例１、比較例１及び比較例２について、それぞれ３０個の試料の寸法をマイクロメーターを用いて測定し、平均を求めた。各試料とも、Ｌ＝０．６２ｍｍ、Ｗ＝０．３１ｍｍ、Ｔ＝０．３１ｍｍ、Ｅ２＝０．１５ｍｍであった。

（磁性体層の厚み）
実施例１、比較例１及び比較例２の各試料について、長さＬ及び幅Ｗで規定されるＬＷ面が表面に露出するように試料の周りを樹脂で固めた。そして、研磨機を用いて積層体の略中央部分まで研磨し、イオンミリング処理を行い、研磨によるダレを除去した。この研磨面を走査型顕微鏡（ＳＥＭ）で撮像し、中央部１ヶ所の磁性体層（絶縁層）の厚みを測定した。各試料１０個について測定を行い、その平均値を磁性体層の厚みとした。各試料とも、磁性体層の厚みは５μｍであった。

（透過係数Ｓ２１）
図１０は、透過係数Ｓ２１を測定する方法を模式的に示す図である。
図１０に示すように、信号経路６１とグランド導体６２を設けた測定用治具６０に試料（積層型コイル部品１）をはんだ付けした。積層型コイル部品１の第１の外部電極２１が信号経路６１に接続され、第２の外部電極２２がグランド導体６２に接続される。

ネットワークアナライザー６３を用いて、試料への入力信号と透過信号の電力を求め、周波数を変化させて透過係数Ｓ２１を測定した。ネットワークアナライザー６３には、信号経路６１の一端と他端が接続される。

図１１は、実施例１、比較例１及び比較例２における透過係数Ｓ２１を示すグラフである。図１１では、横軸が周波数（ＧＨｚ）、縦軸がＳ２１（ｄＢ）である。

透過係数Ｓ２１は、０に近いほど損失が少ないことを示す。図１１より、コイルから外部電極までを直線的に引き出す実施例１では、４０ＧＨｚでのＳ２１を０に近付けられることが確認できる。

１ 積層型コイル部品
１０ 積層体
１１ 第１の端面
１２ 第２の端面
１３ 第１の主面
１４ 第２の主面
１５ 第１の側面
１６ 第２の側面
２１ 第１の外部電極
２２ 第２の外部電極
３１ａ，３１ｂ，３１ｃ，３１ｄ，３１ｅ，３１ｆ 絶縁層
３２ａ，３２ｂ，３２ｃ，３２ｄ コイル導体
３３ａ，３３ｂ，３３ｃ，３３ｄ，３３ｅ，３３ｆ ビア導体
３４ マーク用導体パターン
４１ 第１の連結導体
４２ 第２の連結導体
４３，４４ 調整パターン
５０ 判別マーク
６０ 測定用治具
６１ 信号経路
６２ グランド導体
６３ ネットワークアナライザー
Ｌ コイル
Ｘ コイルの中心軸

Claims (7)

1. 複数の絶縁層が積層されてなり、内部にコイルを内蔵する積層体と、
   前記コイルに電気的に接続されている第１の外部電極及び第２の外部電極と、を備える積層型コイル部品であって、
   前記コイルは、前記絶縁層とともに積層された複数のコイル導体が電気的に接続されることにより形成され、
   前記積層体は、長さ方向に相対する第１の端面及び第２の端面と、前記長さ方向に直交する高さ方向に相対する第１の主面及び第２の主面と、前記長さ方向および前記高さ方向に直交する幅方向に相対する第１の側面及び第２の側面とを有し、
   前記第１の外部電極は、前記第１の端面の一部を覆い、かつ、前記第１の端面から延伸して前記第１の主面の一部を覆って配置され、
   前記第２の外部電極は、前記第２の端面の一部を覆い、かつ、前記第２の端面から延伸して前記第１の主面の一部を覆って配置され、
   前記第１の主面が実装面であり、
   前記積層体の積層方向、及び、前記コイルの軸方向が前記実装面に対して平行であり、
   さらに、前記積層体の内部に第１の連結導体及び第２の連結導体を備え、
   前記第１の連結導体は、前記第１の端面を覆う部分の前記第１の外部電極とこれに対向する前記コイル導体との間を直線状に接続し、
   前記第２の連結導体は、前記第２の端面を覆う部分の前記第２の外部電極とこれに対向する前記コイル導体との間を直線状に接続し、
   前記第１の連結導体及び前記第２の連結導体は、いずれも、前記積層方向から平面視したときに前記コイル導体と重なり、かつ、前記コイルの中心軸よりも前記実装面側に位置し、
   前記実装面から見て、前記第１の外部電極及び前記第２の外部電極に重なる位置まで前記コイル導体が配置されており、
   ４０ＧＨｚでの透過係数Ｓ２１が０ｄＢ以下、−１．０ｄＢ以上である、積層型コイル部品。
2. 前記第１の外部電極は、さらに、前記第１の端面及び前記第１の主面から延伸して前記第１の側面の一部及び前記第２の側面の一部を覆って配置され、
   前記第２の外部電極は、さらに、前記第２の端面及び前記第１の主面から延伸して前記第１の側面の一部及び前記第２の側面の一部を覆って配置されている、請求項１に記載の積層型コイル部品。
3. 前記積層方向から平面視したとき、前記コイル導体は互いに重なる、請求項１又は２に記載の積層型コイル部品。
4. 前記積層方向から平面視したとき、前記コイルの形状は円形である、請求項１〜３のいずれか１項に記載の積層型コイル部品。
5. 前記積層型コイル部品の長さが０．５７ｍｍ以上、０．６３ｍｍ以下であり、
   前記積層型コイル部品の幅が０．２７ｍｍ以上、０．３３ｍｍ以下である、請求項１〜４のいずれか１項に記載の積層型コイル部品。
6. 前記第１の端面を覆う部分の前記第１の外部電極の高さが０．１ｍｍ以上、０．２ｍｍ以下であり、
   前記第２の端面を覆う部分の前記第２の外部電極の高さが０．１ｍｍ以上、０．２ｍｍ以下である、請求項５に記載の積層型コイル部品。
7. 前記積層方向における前記コイル導体間の距離が３μｍ以上、７μｍ以下である、請求項５又は６に記載の積層型コイル部品。

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