JP6762004B2 - 半導体集積回路装置及びその製造方法 - Google Patents
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Description
2:第1の電磁ノイズ遮蔽層
3:第1の絶縁層
4:回路素子部
5:第1のフィールド領域
6:第2のフィールド領域
7:第2の絶縁層
8:第2の電磁ノイズ遮蔽層
11、13、56:金属
14.15:電極
16:グランド電極
17:電源電位電極
Claims (11)
- 半導体集積回路を構成する個々の回路素子に電源を供給する半導体集積回路装置において、
半導体基板と、
該半導体基板上に備えた第1の電磁ノイズ遮蔽層と、
該第1の電磁ノイズ遮蔽層上に備えた回路ブロックと、
該回路ブロック上に備えた第2の電磁ノイズ遮蔽層と、から構成し、
前記回路ブロックは、少なくともグランド電極及び電源電位電極を有する回路素子部と、該回路素子部の上下にそれぞれ備えた絶縁層とを備え、前記第1の電磁ノイズ遮蔽層と第2の電磁ノイズ遮蔽層を、前記グランド電極に接続して構成し、
上下に絶縁層を備え、且つ1層のみ設けられている前記回路ブロックを、第1の電磁ノイズ遮蔽層と第2の電磁ノイズ遮蔽層によって挟むように構成し、
前記第2の電磁ノイズ遮蔽層をグラフェンで構成するとともに、
前記第2の電磁ノイズ遮蔽層と接する前記絶縁層をシリコン窒化膜層で構成した半導体集積回路装置。 - 前記回路素子部の上下にそれぞれ備えた絶縁層、及び第1の電磁ノイズ遮蔽層と第2の電磁ノイズ遮蔽層は、いずれも、電源供給のために設けられることがある開口部を除いて、それぞれ上面側及び下面側の全面に設けられる請求項1に記載の半導体集積回路装置。
- 前記回路素子部は、単結晶シリコン半導体、GaN、GaNとInGaNの積層構造、SiC、ダイヤモンド、又はガリウム酸化物からなる半導体基板を加工して形成される請求項1に記載の半導体集積回路装置。
- 前記第1の電磁ノイズ遮蔽層と接する前記絶縁層は、シリコン酸化膜層、シリコン窒化膜層、又はダイヤモンド層である請求項1に記載の半導体集積回路装置。
- 第1の電磁ノイズ遮蔽層は、ニッケル、コバルト、フェライト、銅、アルミ、グラフェン、磁性体薄膜又はカーボンナノチューブを、スパッタ、蒸着、メッキ、又は転写法を用いて堆積した請求項1に記載の半導体集積回路装置。
- 第1の電磁ノイズ遮蔽層は、金属層、磁性体層、あるいは金属層と磁性体層の積層によって構成した請求項1に記載の半導体集積回路装置。
- 前記第1の電磁ノイズ遮蔽層と前記第2の電磁ノイズ遮蔽層によって挟むように構成した前記回路ブロックの前記第2の電磁ノイズ遮蔽層の上に、別の回路ブロックを積層し、かつ、この別の回路ブロックの上に、当該別の回路ブロックの回路素子部のグランド電極に接続された第3の電磁ノイズ遮蔽層を備えて、上下に絶縁層を備えた前記別の回路ブロックを、前記第2の電磁ノイズ遮蔽層と前記第3の電磁ノイズ遮蔽層によって挟むように構成した請求項1に記載の半導体集積回路装置。
- 前記第3の電磁ノイズ遮蔽層の上に、さらに別の1個又は複数個の回路ブロックとその上に当該回路ブロックの回路素子部のグランド電極に接続された電磁ノイズ遮蔽層を積層して構成した請求項7に記載の半導体集積回路装置。
- 半導体集積回路を構成する個々の回路素子に電源を供給する半導体集積回路装置の製造方法において、
半導体基板と、該半導体基板上に備えた第1の電磁ノイズ遮蔽層と、該第1の電磁ノイズ遮蔽層上に備えた回路ブロックと、該回路ブロック上に備えた第2の電磁ノイズ遮蔽層と、から構成し、
前記回路ブロックは、少なくともグランド電極及び電源電位電極を有する回路素子部と、該回路素子部の上下にそれぞれ備えた絶縁層とを備え、前記第1の電磁ノイズ遮蔽層と第2の電磁ノイズ遮蔽層を、前記グランド電極に接続して構成し、
上下に絶縁層を備え、且つ1層のみ設けられている前記回路ブロックを、第1の電磁ノイズ遮蔽層と第2の電磁ノイズ遮蔽層によって挟むように構成し、
前記第2の電磁ノイズ遮蔽層をグラフェンで構成するとともに、
前記第2の電磁ノイズ遮蔽層と接する前記絶縁層をシリコン窒化膜層で構成した半導体集積回路装置の製造方法。 - 前記第1の電磁ノイズ遮蔽層と前記第2の電磁ノイズ遮蔽層によって挟むように構成した前記回路ブロックの前記第2の電磁ノイズ遮蔽層の上に、別の回路ブロックを積層し、かつ、この別の回路ブロックの上に、当該別の回路ブロックの回路素子部のグランド電極に接続された第3の電磁ノイズ遮蔽層を備えて、上下に絶縁層を備えた前記別の回路ブロックを、前記第2の電磁ノイズ遮蔽層と前記第3の電磁ノイズ遮蔽層によって挟むように構成する際、前記第2の電磁ノイズ遮蔽層の上に絶縁膜を堆積して、この絶縁膜と、前記別の回路ブロック下面の絶縁膜を一体に接合することにより、前記回路ブロックと前記別の回路ブロックを接合した請求項9に記載の半導体集積回路装置の製造方法。
- 前記第3の電磁ノイズ遮蔽層の上に、さらに別の1個又は複数個の回路ブロックとその上に当該回路ブロックの回路素子部のグランド電極に接続された電磁ノイズ遮蔽層を積層して構成する際、前記第3の電磁ノイズ遮蔽層の上に絶縁膜を堆積して、この絶縁膜と、前記さらに別の1個又は複数個の回路ブロック下面の絶縁膜を一体に接合することにより、回路ブロック同士を接合した請求項10に記載の半導体集積回路装置の製造方法。
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