JP5648812B2 - 電界効果型トランジスタおよび集積回路 - Google Patents
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Description
図1乃至図16は、本発明の実施の形態の電界効果型トランジスタを示している。
図1および図2に示すように、電界効果型トランジスタ10は、薄膜11と被膜12とソース電極13とドレイン電極14とゲート電極15とを有している。なお、有効なゲート領域は、チャネル幅Wおよびチャネル長Lで定義する。
電界効果型トランジスタ10では、ゲート電極15からの静電誘導により、ナノスケールまたはサブナノスケールサイズの金属多面体構造または金属クラスターの空隙を介して、電子がトンネリングすることを利用しており、極低温から200℃までの温度において動作が可能である。電界効果型トランジスタ10では、金属クラスターの大きさは0.55nm程度、クラスター間の空隙は平均0.13nm程度であるため、常温クーロン振動が背景熱雑音に打ち勝って、トンネリングが容易に起こる。
Voltage)Vgs依存性を、図4に示す。図4に示すように、ゲート駆動電圧は、約±10mVである。また、ソース−ドレイン間の電圧(Vsd)が10μVのとき、わずか20mVのゲート電圧の変化により、電気抵抗が金属伝導状態から絶縁状態まで約4桁変化し、スイッチのオン・オフ状態を実現できている。これは、電界効果型トランジスタ10のスイッチング効果である。今まで半導体でしか成しえなかったスイッチング現象が、非晶質合金を使用して確認された例である。
低電圧で動作させるため、非晶質合金との間には電界が減衰するシールド層を設けることが好ましい。
層状多層サンドウィチ構造の各配線層にチップコンデンサ、チップ抵抗、非晶質合金も同様の形としたチップ単電子トランジスタを設け、各素子を結線し集積化した構成とする。また、各層が貫通配線26で接続されている。3次元デバイスとすることで、小型化可能であり、寄生配線の影響も低減可能である。
11 薄膜
12 被膜
13 ソース電極
14 ドレイン電極
15 ゲート電極
16 接着剤
17 絶縁基体
Claims (15)
- 非晶質合金または金属ガラスから成る薄膜と、
前記薄膜の一方の表面に設けられた電気絶縁性の被膜と、
前記薄膜の両端にそれぞれ設けられたソース電極とドレイン電極と、
前記被膜の表面に設けられたゲート電極とを有し、
前記薄膜は、2次元平面もしくは3次元空間に、ナノスケールまたはサブナノスケールの隙間またはトンネルが並んで形成された複数の伝導島を有する金属多面体構造または金属クラスターを有し、前記金属多面体構造または前記金属クラスター間に固溶した水素がナノスケールまたはサブナノスケール径のキャパシタンスを持った空隙を形成し、電子が前記空隙を介してトンネリングするよう構成されていることを、
特徴とする電界効果型トランジスタ。 - 前記被膜は、IIIB族元素またはIVB族元素の酸化物または窒化物から成ることを、特徴とする請求項1記載の電界効果型トランジスタ。
- 前記被膜は、アルミナ、シリカ、窒化珪素または窒化ホウ素から成ることを、特徴とする請求項1記載の電界効果型トランジスタ。
- 前記薄膜は両面を平滑化した後、他方の表面で絶縁基体に付着されており、
前記ソース電極、前記ドレイン電極および前記ゲート電極は、同時に成膜して設けられていることを、
特徴とする請求項1、2または3記載の電界効果型トランジスタ。 - 前記被膜は、スパッタで成膜して設けられ、
前記ソース電極、前記ドレイン電極および前記ゲート電極は、スパッタまたは蒸着にて成膜して設けられていることを、
特徴とする請求項1、2、3または4記載の電界効果型トランジスタ。 - 前記被膜は、金属マスクを介してスパッタで成膜して設けられ、
前記ソース電極、前記ドレイン電極および前記ゲート電極は、金属マスクを介してスパッタまたは蒸着にて成膜して設けられていることを、
特徴とする請求項1、2、3または4記載の電界効果型トランジスタ。 - 前記被膜は、フォトマスクを介してフォトレジストを感光し、前記フォトレジストを除去後、スパッタで成膜して設けられ、
前記ソース電極、前記ドレイン電極および前記ゲート電極は、フォトマスクを介してフォトレジストを感光し、前記フォトレジストを除去後、スパッタまたは蒸着にて成膜して設けられていることを、
特徴とする請求項1、2、3または4記載の電界効果型トランジスタ。 - ゲート電圧が+10mVから−10mVの範囲で動作するよう構成されていることを、特徴とする請求項1乃至7のいずれか一項に記載の電界効果型トランジスタ。
- 前記ゲート電極は、信号の電流制御用の第1ゲート電極および信号変調用の第2ゲート電極から成ることを、特徴とする請求項1乃至8のいずれか一項に記載の電界効果型トランジスタ。
- 前記ゲート電極に設けられた静電破壊防止用保護回路を有することを、特徴とする請求項1乃至9のいずれか一項に記載の電界効果型トランジスタ。
- 表面に複数の分離溝が形成された絶縁基体と、
前記絶縁基体の表面に、各分離溝により分離して設けられた複数の請求項1乃至10のいずれか一項に記載の電界効果型トランジスタと、
前記絶縁基体の表面および各電界効果型トランジスタの表面を覆うよう設けられた、VSS(接地)層またはVDD(電源)層を兼ねた電界シールド層と、
前記電界シールド層の表面に、他の電界効果型トランジスタもしくはコンデンサ、抵抗、インダクタンスを結線可能に設けられた配線層とを、
有することを特徴とする集積回路。 - 表面に複数の穴が形成された絶縁基体と、
各穴の内部にそれぞれ設けられた複数の請求項1乃至10のいずれか一項に記載の電界効果型トランジスタと、
前記絶縁基体の表面および各電界効果型トランジスタの表面を覆い、他の電界効果型トランジスタもしくはコンデンサ、抵抗、インダクタンスを結線可能に設けられた配線層とを、
有することを特徴とする集積回路。 - 請求項11または12記載の集積回路を複数積層して形成され、各配線層にチップコンデンサ、チップ抵抗、チップ単電子トランジスタを結線して成ることを、特徴とする積層集積回路。
- 請求項1乃至10のいずれか一項に記載の電界効果型トランジスタを複数積層して形成され、各電界効果型トランジスタが貫通配線で接続されていることを、特徴とする電界効果型トランジスタの積層回路。
- 請求項1乃至10のいずれか一項に記載の電界効果型トランジスタを含む機能回路と、
前記機能回路に接続された低電圧安定化回路と、
前記電界効果型トランジスタの電源を兼ねるレベルシフタ回路または低電圧インターフェース回路とを、
有することを特徴とする電界効果型トランジスタを利用したシステム。
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