JP6747321B2 - 金属酸化物の粉体に含まれた異物の分析方法 - Google Patents
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Description
MLAは、鉱物粒子等の無機化合物粒子の同定を行う分析装置であって、エネルギー分散型X線分析器(本発明において「EDX」と記載する場合がある。)が備えられた走査電子顕微鏡(本発明において「SEM」と記載する場合がある。)がプラットフォームとなっている。そして、当該SEM・EDXを自動制御し、画像処理やスペクトルマッチングを行い、鉱物粒子等の無機化合物粒子の同定操作を実施する制御PCを備えた分析装置である。
MLAでは、測定対象の粒子と樹脂とが混合して固結した試料へ研磨を施し、得られた研磨面に対して測定を行う。MLAの測定では、まず研磨面へ電子線を照射して反射電子像(Backscattered Electron、本発明において「BSE像」と記載する場合がある。)を取得し、当該研磨面に現れた鉱物粒子等の無機化合物粒子の位置、大きさ、研磨面形状のデータを取得する。次に、当該粒子のエネルギー分散X線スペクトル(本発明において「EDS」と記載する場合がある。)を取得する。そして、研磨面に現れた各粒子に対して、これらのデータ取得を自動測定で順番に行うものである。
金属酸化物の粉体に含まれた異物の分析方法であって、
前記金属酸化物の粉体が3種類以上の重金属元素を含み、前記異物は前記重金属元素のうちの2種類を含むものであるとき、
全自動鉱物分析装置(MLA)を用いて、
前記金属酸化物の粉体試料の反射電子(BSE)像を取得する工程と、
前記反射電子(BSE)像を画像解析して、前記金属酸化物および異物の粒子の位置情報を得る工程と、
前記位置情報に対応する粒子のエネルギー分散X線スペクトル(EDS)を取得する工程と、
前記取得されたエネルギー分散X線スペクトル(EDS)を用いて、前記金属酸化物および異物の粒子に共通に含まれる2種類の重金属元素のうちから、前記金属酸化物の粒子と前記異物の粒子とを判別するための判別元素を選定する工程と、
前記選定された判別元素に対応するエネルギー分散X線スペクトル(EDS)のピーク高さの値から、前記金属酸化物の粒子と前記異物の粒子とを判別する工程と、
前記異物の混入量を算出する工程と、を有することを特徴とする金属酸化物の粉体に含まれた異物の分析方法である。
第2の発明は、
前記エネルギー分散X線スペクトル(EDS)のピーク高さの値へ、前記金属酸化物の粉体および前記異物における前記判別元素のエネルギー分散X線スペクトル(EDS)のピーク高さの値の閾値を当て嵌めて、前記金属酸化物の粒子と前記異物の粒子とを判別することを特徴とする金属酸化物の粉体中に含まれた異物の分析方法である。
第3の発明は、
前記異物の混入量を算出する際において、
前記金属酸化物の粒子と前記異物の粒子とを判別する工程によって、金属酸化物と判別された粒子の断面積と、異物と判別された粒子の断面積との総和と、異物と判別された粒子の断面積との比率の値から、前記金属酸化物の粉体に含まれた異物の混入量を算出することを特徴とする金属酸化物の粉体に含まれた異物の分析方法である。
第4の発明は、
前記異物は、金属酸化物であることを特徴とする金属酸化物の粉体に含まれた異物の分析方法である。
以下、各工程後に説明する。
異物として金属酸化物の粒子を含んでいる可能性のある金属酸化物の粉体を、樹脂と混合して包埋固結し、包埋固結体を得た。次に、当該包埋固結体を粗研磨し、中間研磨し、さらに鏡面研磨を行って、金属酸化物粉体観察試料を得た。
当該金属酸化物粉体観察試料をMLA内に設置し、研磨面に露出している粒子に対し、SEMにてBSE像を取得する工程である。
取得されたBSE像を画像解析し、当該画像のピクセルに対応した紛体粒子の位置情報を得る工程である。尚、前記画像解析の結果として、各粒子の大きさ、形状、および個数の情報も得られる。
各粒子に対応するピクセルにおいてEDSを取得する。取得されたEDSは、予め作成されMLAに搭載されたデータリスト中のEDSと照合することにより、EDSのピークに対応する重金属元素を特定する工程である。
前記EDSのピークは、実質上重金属に対応して出現するため、各ピクセルに対応して重金属元素の種類が特定される。さらに当該ピークの強度から、重金属元素の組成を類推することが可能となる。
金属酸化物の粒子と異物の粒子とに共通に含まれた重金属元素に対応するEDSのピーク高さの値から、前記金属酸化物の粒子と異物の粒子とを判別する工程である。
EDSを用い、金属酸化物の粒子と異物の粒子とに共通に含まれた2種類以上の重金属元素のピーク高さを比較し、金属酸化物の粒子と異物の粒子との間で、これらのピーク高さの差が最も顕著な重金属元素を判別元素として選定する。
EDSを用い、判別元素に対応するスペクトルのピーク高さの値において、前記金属酸化物と前記異物とを判別する閾値を設定する。
前記スペクトルのピーク高さの値と閾値とから、各ピクセルに対応する粒子を金属酸化物の粒子と、異物の粒子とに分類する工程である。
金属酸化物と分類された粒子に対応するピクセルの数をNPMとし、異物と分類された粒子に対応するピクセルの数をNPFと表記し、異物金属酸化物の混入量をAFと表記したとき、異物である金属酸化物の混入量AFは次式で表記される。
AF=NPF/(NPM+NPF)・・・・式
当該式を用いて、異物である金属酸化物の混入量AFを算出する工程である。
(実施例1)
異物の混入が考えられる金属酸化物の粉体試料を4個準備し、各々No.1〜4の符号を付与した。
当該金属酸化物の粉体は、一般式AaEeFfGgOoを有し、異物の金属酸化物は、一般式Aa’Bb’Ee’Ff’Oo’(但し、A、Bは重金属元素以外の金属元素、E、F、Gは重金属元素、Oは酸素、a、e、f、g、o、a’、b’、e’、f’、o’は、各々所定の正数である。)を有している。
得られた固結片へ、バフ研磨機を用いて断面研磨を施し、粒子の断面を露出させた研磨片を得た。
まず、MLAに内蔵するSEMを用いてBSE像を取得し、ついで取得したBSE像を画像解析することで、樹脂と粒子とを判別し、当該判別された粒子についてその位置情報を得た。次に、前記得られた粒子の位置情報に対応して、即ち前記ピクセルに対応して、EDSを取得した。得られたEDSの模式図を、図1に示す。
一方、異物である金属酸化物の粒子に対しても、上記No.1〜4の金属酸化物の粉体試料と同様にEDSを取得した。得られたEDSの模式図を、図2に示す。尚、当該図1における縦軸および横軸のスケールと、図2における縦軸および横軸のスケールとは、同一である。
ここで、重金属元素E、F、Gを含む金属酸化物の粒子と、異物の金属酸化物の粒子とにおいて、重金属元素EのEDSのピーク高さの差は、重金属元素Fに比較しより顕著である。
これらの作業により、各ピクセルは異物金属酸化物に対応したものと、異物ではない金属酸化物に対応したものに分類できるようになった。
異物である金属酸化物に対応したピクセルの数をNPF、異物でないE、F、Gを含む金属酸化物に対応したピクセルの数をNPMとし、異物金属酸化物の混入量をAFとしたとき、AFを次式で求めた。
AF=NPF/(NPM+NPF)・・・・・式
当該結果を、表1に示す。
以上の結果から、例えば、重金属元素E、F、Gという3種類以上の重金属元素を含む金属酸化物の粉体中に存在する異物が、当該重金属元素の内の2種類であるE、Fを含む金属酸化物であるとき、本発明を実施することにより、前記異物の存在を分析でき、さらに、前記金属酸化物の粉体における異物の混入量を測定できる。
従って、本発明によれば、金属酸化物の粉体における異物である金属酸化物の混入状況を、分析できることが判明した。
Claims (4)
- 金属酸化物の粉体に含まれた異物の分析方法であって、
前記金属酸化物の粉体が3種類以上の重金属元素を含み、前記異物は前記重金属元素のうちの2種類を含むものであるとき、
全自動鉱物分析装置(MLA)を用いて、
前記金属酸化物の粉体試料の反射電子(BSE)像を取得する工程と、
前記反射電子(BSE)像を画像解析して、前記金属酸化物および異物の粒子の位置情報を得る工程と、
前記位置情報に対応する粒子のエネルギー分散X線スペクトル(EDS)を取得する工程と、
前記取得されたエネルギー分散X線スペクトル(EDS)を用いて、前記金属酸化物および異物の粒子に共通に含まれる2種類の重金属元素のうちから、前記金属酸化物の粒子と前記異物の粒子とを判別するための判別元素を選定する工程と、
前記選定された判別元素に対応するエネルギー分散X線スペクトル(EDS)のピーク高さの値から、前記金属酸化物の粒子と前記異物の粒子とを判別する工程と、
前記異物の混入量を算出する工程と、を有することを特徴とする金属酸化物の紛体に含まれた異物の分析方法。 - 前記エネルギー分散X線スペクトル(EDS)のピーク高さの値へ、前記金属酸化物の粉体および前記異物における前記判別元素のエネルギー分散X線スペクトル(EDS)のピーク高さの値の閾値を当て嵌めて、前記金属酸化物の粒子と前記異物の粒子とを判別することを特徴とする請求項1に記載の金属酸化物の粉体中に含まれた異物の分析方法。
- 前記異物の混入量を算出する際において、
前記金属酸化物の粒子と前記異物の粒子とを判別する工程によって、金属酸化物と判別された粒子の断面積と、異物と判別された粒子の断面積との総和と、異物と判別された粒子の断面積との比率の値から、前記金属酸化物の粉体に含まれた異物の混入量を算出することを特徴とする請求項1または2に記載の金属酸化物の粉体に含まれた異物の分析方法。 - 前記異物は、金属酸化物であることを特徴とする請求項1から3のいずれかに記載の金属酸化物の粉体に含まれた異物の分析方法。
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