JP6734926B2 - 樹脂基板用銀ペースト - Google Patents
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Description
本出願は、2016年9月16日に出願された日本国特許出願2016−182292号に基づく優先権を主張している。その出願の全内容は本明細書中に参照として組み入れられている。
ここで開示される樹脂基板用銀ペーストは、本質的に、低温(例えば140℃以下)での熱処理により硬化物を形成し得るとともに、その硬化物が電気伝導性(導電性)を示す導電膜である。なお、熱処理に先行して、銀ペーストは乾燥されていてもよい。ここで特徴的なことに、この導電膜は、それ自体が樹脂基板に対する柔軟性と接着性とを備えており、例えばフレキシブルな樹脂基板に対しても良好な基板追随性を示すものとして実現される。このような樹脂基板用銀ペーストは、主たる構成成分として、(A)銀粉末と、(B)バインダと、(C)バインダを溶解させる溶剤と、を含む。以下、ここに開示される樹脂基板用銀ペーストの各構成成分について説明する。
銀粉末は、電子素子等における電極、導線や電導膜等の電気伝導性(以下、単に「導電性」という。)の高い膜体(導電膜)を主として形成するため材料である。銀(Ag)は、金(Au)ほど高価ではなく、酸化され難くかつ導電性に優れることから導体材料として好ましい。銀粉末は、銀を主成分とする粉末(粒子の集合)であればその組成は特に制限されず、所望の導電性やその他の物性を備える銀粉末を用いることができる。ここで主成分とは、銀粉末を構成する成分のうちの最大成分であることを意味する。銀粉末を構成する銀粒子としては、例えば、銀および銀合金ならびにそれらの混合物または複合体等から構成された粒子が一例として挙げられる。銀合金としては、例えば、銀−パラジウム(Ag−Pd)合金、銀−白金(Ag−Pt)合金、銀−銅(Ag−Cu)合金等が好ましい例として挙げられる。例えば、コアが銀以外の銅や銀合金等の金属から構成され、コアを覆うシェルが銀からなるコアシェル粒子等を用いることもできる。
なお、ここに開示される銀粉末については、アスペクト比1.5以下の球形銀粒子の割合が、銀粉末全体の60個数%以上であることが好ましい。換言すると、アスペクト比1.5未満の非球形銀粒子が、銀粉末を構成する銀粒子のうち40個数%以下であることが好ましい。球形銀粒子は、銀粉末全体の70個数%以上であることがより好ましく、例えば80個数%以上であることが特に好ましく、例えば85個数%以上であったり、90個数%以上であったりしてよい。銀粉末がこのような形状の粒子により構成されることで、銀ペーストが基材に供給されてから熱処理されるまでの銀粒子の安定性や表面平滑性、均質性、充填性等が効果的に高められる。これにより、銀粒子の充填性や形成される導電膜の表面平滑性等が向上されて、より導電性の高い導電膜を得ることができる。
バインダは、ここに開示される銀ペーストにおける結着剤として機能する。このバインダは、典型的には、焼結した銀粉末と基板との接合に寄与する。そしてこのバインダは、熱可塑性樹脂を含む。この熱可塑性樹脂の含有により、ここに開示される銀ペーストは、加熱によりバインダが軟化し、その後の放熱(冷却)によりバインダが硬化して、銀粒子の結合や、銀粒子と基板との接着をサポートすることができる。なお、バインダ樹脂には、熱硬化性のものと熱可塑性のものとが存在し、従来のこの種の銀ペーストでは、熱硬化性樹脂(例えば、熱硬化性のポリエステル樹脂)等がバインダとして使用されていた。これに対して、ここに開示される技術においては、上述のように熱可塑性のバインダ樹脂の加熱による可逆的な可塑性の発現を利用して、バインダ機能を実現するようにしている。
第1の熱可塑性バインダ樹脂として、熱可塑性ポリエステルウレタン(polyester urethane:PEsUR)樹脂を使用することができる。この熱可塑性ポリエステルウレタン樹脂は、ここに開示される銀ペーストが印刷により基材に塗布されたとき、銀ペーストが乾燥するまでの間に、塗布物をダレさせずにその形状や嵩高さを維持する塗布安定機能を有する。この熱可塑性ポリエステルウレタン樹脂の存在により、この銀ペーストは、印刷時の形状を維持して低抵抗な導電膜を形成することができる。これにより、印刷性の良好な銀ペーストが提供される。また、熱可塑性ポリエステルウレタン樹脂は、硬化後には導体膜に対して耐久性を付与することができる。これにより、例えば、例えば−20℃といった低温から85℃といった高温までの温度変化に対する耐性(ヒートサイクル耐性)や、高温多湿環境に対する耐性(高温高湿耐性)に優れた導電膜を得ることができる。
2,4−トリレンジイソシアネート、2,6−トリレンジイソシアネート、4,4’−ジフェニルメタンジイソシアネート、3,3’−ジメトキシ−4,4’−ビフェニレンジイソシアネート、3,3’−ジメチル−4,4’−ビフェニレンジイソシアネート、4,4’−ジフェニレンジイソシアネート、4,4’−ジイソシアネートジフェニルエーテル等が挙げられる。これらの副モノマーは、1種のみが単独でまたは2種以上が組み合わされて含まれていてもよい。
また、このような熱可塑性ポリエステル樹脂は、市販品を入手して利用することもできる。かかる市販品の一例としては、例えば、日立化成(株)製のファントール(登録商標)、大成ファインケミカル(株)の8UA(登録商標)、等が挙げられる。
第2の熱可塑性バインダ樹脂として、熱可塑性ポリエステル(polyester:PEs)樹脂を使用することができる。この熱可塑性ポリエステル樹脂は、銀ペーストに樹脂基材に対する密着性を付与し、形成される導電膜と樹脂基材との優れた接着性を発現させる。典型的には、焼結した銀粉末と基板との接合に寄与する。また、バインダとして上記の熱可塑性ポリエステルウレタン樹脂のみを用いると、バインダが堅すぎて印刷に適した性状の銀ペーストを調製することが困難となり、結果として印刷物の表面を荒らし、導電膜表面に凹凸をもたらしてしまう。また、銀粉末として比較的粒径の細かい粉末を使用した場合に、ペーストの粘度が上昇して印刷機(例えばメッシュ等)への残留が顕著となるために印刷性に劣ってしまう。そこで、この熱可塑性バインダ樹脂の存在により、この銀ペーストは印刷時のメッシュのすり抜け性が高められ、熱可塑性ポリエステルウレタン樹脂の欠点を補うことができる。これにより、表面が平滑で、より低抵抗な導電膜を形成することができる。また例えば、ファインラインの製版のすり抜け性が高く、かつ、印刷体の形状維持性を備えることから、一度の印刷でファインラインながらも高アスペクト比の導電膜を印刷することができる。
なお、「主成分」とは、熱可塑性ポリエステル樹脂の主たる骨格を構成する繰返し単位のうち、質量基準で最も多く含まれる繰返し単位に対応するモノマー成分を意味する。この主成分は、好ましくは、熱可塑性ポリエステル樹脂に50質量%を超えて含まれるモノマー成分であり得る。
また、このような熱可塑性ポリエステル樹脂は、市販品を入手して利用することもできる。かかる市販品の一例としては、例えば、ユニチカ(株)製のエリーテル(登録商標)UE3200,UE9200,UE3201,UE3203,UE3600,UE9600,UE3660,UE3690、日本合成化学工業(株)製のポリエスター(登録商標)TP236,TP220,TP235、Evonik Industries AG社製のDynapol(登録商標)L205,L206,L208,L952,L907、Bostik社製のVITEL(登録商標)2100,2200等が挙げられる。
一方で、バインダ樹脂は絶縁性を示すことから、銀ペースト中での含有量はできる限り少なく抑えることが好ましい。かかる観点から、バインダ樹脂の含有量は、銀粉末100質量部に対して、第1のバインダと第2のバインダとの合計が、6質量部以下であることが好ましく5.5質量部以下がより好ましく、5質量部以下が特に好ましい。
溶剤としては、上記の(B)バインダを溶解させ得る各種の溶剤を用いることができる。また、銀ペーストの固形分たる上記銀粉末を分散させる機能をも有する。この溶剤については特に制限はないが、例えば、上記の(A)銀粉末および(B)バインダ樹脂を組み合わせて使用する銀ペーストの焼成を好適に実現し、導電性に優れた導電膜を作製し得る、との観点から、沸点が180℃以上250℃以下の溶剤であることが好ましい。また、分子構造にフェニル基を含むことが好ましい。
ここに開示される銀ペーストは、本質的に、上記の(A)銀粉末、(B)バインダおよび(C)溶剤以外の成分を含む必要はない。しかしながら、本願の目的を逸脱しない範囲において、上述した(A)銀粉末と、(B)バインダと、(C)溶剤の他に、種々の成分の含有は許容される。これらの成分としては、樹脂基板用銀ペーストの性状を改善する目的で添加される添加剤や、硬化物としての導電膜の特性を改善する目的で添加される添加剤等を考慮することができる。一例として、界面活性剤、分散剤、充填材(有機充填材、無機充填材)、粘度調整剤、消泡剤、可塑剤、安定剤、酸化防止剤、防腐剤等が挙げられる。樹脂基板用銀ペーストこれらの添加剤(化合物)は1種が単独で含まれていてもよく、2種以上が組み合わせて含まれていてもよい。しかしながら、(A)銀粉末の焼結と(B)バインダによる結着性とを阻害する成分や、これらを阻害するような量での添加剤の含有は好ましくない。かかる観点から、例えば、不適切な銀粉末の保護剤や、無機充填材の含有は好ましくない。また、添加剤を含む場合は、これらの成分の総含有量が、銀ペースト全体の約5質量%以下であるのが好ましく、3質量%以下がより好ましく、1質量%以下が特に好ましい。
なお、この導電膜は、バインダとして上記のバインダ樹脂を使用していることから、導電膜自体が好適な基板追随性を備えている。また、バインダとして、(B1)熱可塑性ポリエステルウレタン樹脂および(B2)熱可塑性ポリエステル樹脂の2種類の樹脂を組み合わせて用いるようにしていることから、低抵抗で接着性の高い導電膜を得ることができる。なお、ここに開示される銀ペーストは印刷時の版すり抜け性や印刷体の形状維持性にも優れたものとして提供されることから、導体膜についても特にファインラインかつ高アスペクト比のものを形成することができる。したがって、この銀ペーストから形成される導電膜の線幅は、特に限定されるものではないが、例えば、50μm以下(50μm未満)とすることができ、45μm以下であってよく、例えば30μm以下とすることができる。また、導電膜の平均厚みについても厳密には限定されないが、例えば、厚みは2μm以上とすることができ、例えば2.5μm以上が好ましく、3μm以上が特に好ましく、例えば、3.5μm以上としてもよい。これにより、ファインラインかつ高アスペクト比の導電膜を形成することができる。この導電膜は、柔軟性の高いバインダを使用していることから、基板に対する優れた密着性および基板追随性を維持することができる。
ここに開示される樹脂基板用銀ペーストが適用される基板としては、樹脂からなる基板であれば、具体的な組成等は特に制限されない。例えば、各種の樹脂からなるフレキシブルフィルム基板(以下、単に「フレキシブル基板」という場合がある。)であってよい。かかるフレキシブル基板としては、通常、ポリエチレンテレフタレート(PET)等のポリエステル樹脂、ポリプロピレン、エチレン−プロピレン共重合体等のポリオレフィン樹脂、ポリイミド樹脂、ポリ塩化ビニル等の熱可塑性樹脂からなるポリマーフィルムが好適に用いられている。ここに開示される銀ペーストは、ポリエステル樹脂を主体とするバインダを用いていることから、特にPET樹脂基板への付着性が良好であり得る。これらの基材は、単層、複層のいずれの形態を有していてもよい。複層である場合は、異なる素材のフィルム基材が貼り合わされていてもよいし、同種の素材のフィルム基材が貼り合わされていてもよい。かかるフレキシブル基板は、部品などを実装するリジッド部と屈曲をするフレックス部とからなるリジッドフレキシブル基板のうちのフレックス部を構成していてもよい。
ここに開示される電子素子の製造方法は、本質的に、下記の(1)〜(5)の工程を含む。
(1)PETフィルム基板を用意する。
(2)ここに開示される銀ペーストを用意する。
(3)PETフィルム基板上に、銀ペーストを供給する。
(4)銀ペーストが供給されたPETフィルム基板を乾燥させる。
(5)乾燥された銀ペーストが供給されたPETフィルム基板を熱処理して、導電膜を形成する。
工程(3)では、用意したPETフィルム基板上に、ここに開示される銀ペーストを供給する。銀ペーストの供給手法は特に制限されない。例えば、インクジェット印刷、グラビア印刷、スクリーン印刷、フレキソ印刷、オフセット印刷、スピンコート、エアロゾル・ジェット印刷等の各種の印刷方法を採用することができる。これらの印刷は、ステップ(間欠)方式で行ってもよいし、ロールtoロール等の連続方式でおこなってもよい。銀ペーストは、各々の印刷手法に適した性状に調製される。ここに開示される銀ペーストは、例えば、スクリーン印刷により、PETフィルム基板上に比較的広い面積に亘って任意のパターンの導電膜を形成する用途で好ましく用いることができる。
なお、導電膜の厚みは、基板表面に対して垂直な方向の寸法を、10点以上測定したときの算術平均値(つまり平均厚み)として得ることができる。
銀粉末を以下の手順で用意した。具体的には、室温(25℃)にて、表面修飾剤としてのブチルアミンと、溶媒兼粒径制御剤としてのブタノールとを所定のモル比で混合し、シュウ酸銀を添加したのち、撹拌しながら約100℃まで加熱することで、表面をブチルアミンで安定化させた銀粉末を得た。銀粉末の平均粒子径は、粒径制御剤の添加量(ブチルアミンと粒径制御剤とのモル比)を調整し、さらに分級することで制御した。SEM観察による銀粉末の平均粒子径は70nmであった。また銀粉末の形状はほぼ球形であり、アスペクト比が1.5未満の球形銀粒子が10%以下であることが確認された。
次いで、銀粉末を分散させるベヒクルを調整した。具体的には、バインダとして、下記に示す軟化点(Ts)と数平均分子量(Mn)とを有する2種類の非結晶性の熱可塑性ポリエステルウレタン樹脂と、2種類の非結晶性の熱可塑性ポリエステル樹脂とを用意し、下記の表1および表2に示す配合および組み合わせで用いた。なお、非結晶性ポリエステルウレタン樹脂は、メチルエチルケトンとトルエンとの混合溶剤に溶解した状態のものを入手した。そのため、樹脂溶液を蒸発乾固して非結晶性ポリエステルウレタン樹脂のみを取り出してから配合を行った。
(1)Ts:65℃、Mn:40×103
(2)Ts:68℃、Mn:20×103
B2.熱可塑性ポリエステル樹脂
(1)Ts:67℃、Mn:23×103
(2)Ts:84℃、Mn:18×103
そして、ガラス瓶に、所定の配合の樹脂と溶剤とを入れ、撹拌した後、約100℃のスチームオーブンで10〜20時間程度加熱することで、樹脂を溶解させた。なお、加熱中は、必要に応じて手撹拌を行った。これにより、例1〜12のベヒクルを得た。
準備した銀粉末とベヒクルとを、74:26の質量比で調合し、三本ロールミルを用いて混合・混練することで、例1〜12の銀ペーストを用意した。なお、銀ペーストは、溶剤を加えることで、25℃−20rpmにおける粘度が50〜150Pa・sになるように調整している。
このように用意した例1〜12の銀ペーストを、PET樹脂製のフィルム状基板(厚み100μm)の表面にスクリーン印刷法により塗布した。スクリーン印刷には、#500のステンレスメッシュを用いた。印刷パターンは、3cm×1.5cmの長方形のベタ塗りパターンと、後述のシート抵抗測定用のパターンを並べて配置するものとした。なお、シート抵抗測定用のパターンは、焼成後の寸法が、総長さが10cm以上で幅が0.5mmとなるように調整した線状パターンとした。ペーストを印刷後の基板は、乾燥器にて60℃で10分間乾燥させたのち、20分間の熱処理を施すことで、例1〜12の導電膜を形成した。なお、熱処理の温度は、特に指定のない限り、110℃,120℃,130℃の異なる3通りとし、焼成温度の異なる導電膜を作製した。得られた導電膜の膜厚を測定し、下記の表1の「焼成厚み」の欄に示した。また、得られた導電膜について、下記の手法により、シート抵抗、接着性、耐久性、算術平均粗さおよびファインライン印刷性の各特性を評価し、その結果を下記表1および表2の当該欄に示した。
上記のように形成した線状のシート抵抗測定用の導電膜のシート抵抗を測定した。具体的には、デジタルマルチメーターを用い、2端子法により、端子間隔(導体長さ)100mm、ライン幅(導体幅500μm)の条件で導電膜の抵抗値を測定した。そしてこの抵抗値から、下式に基づき、シート抵抗値を算出した。なお、シート抵抗値は、換算厚みを10μmとして、導電膜の厚みを10μmとしたときの値に換算した。その結果を表1および表2の当該欄に示した。また、例1〜9の導電膜のシート抵抗とバインダの配合との関係を図1に示した。
シート抵抗値(mΩ/□)=抵抗値(Ω)×{導体幅(mm)/導体長さ(mm)}×{導体厚み(μm)/換算厚み(μm)}
上記のように形成した導電膜について、両面テープを用いた接着性試験を行うことにより、導電膜の基板に対する接着性を評価した。具体的には、まず、試験台の上に両面テープ(ニチバン(株)製、ナイスタック一般用NW−10、幅1cm×長さ1.5cm)を貼り付けた。そして台上に貼り付けた両面テープの上方側の粘着面に、PET基板上に形成した導電膜部分を張り付け、PET基板の裏面上から指で押して十分に接着させた。そしてPET基板の端部を指でつまみ、両面テープの長手方向に沿う方向で、かつ、PET基板の初期貼り付け位置から120°〜150°の方向(すなわち、PET基板の為す角が60°〜30°となる斜め上後方)に引っ張ることで、両面テープからフィルム基板を剥離させた。
剥離後のフィルム基板の導電膜を観察し、両面テープに接着した部分に剥離が見られなかったものを「○」とし、剥離が見られたものを「×」とした。その結果を表1および表2の当該欄に示した。
120℃で加熱処理することで得た導体膜の耐久性を、ヒートサイクル耐性と、高温高湿耐性とについて評価した。
ヒートサイクル耐性は、導体膜を基板ごと、温度−20℃で30分間保持したのち85℃で30分間保持することを1サイクルとし、これを連続して500サイクル繰り返したのちに、上記の接着性を評価した。
高温高湿耐性は、導体膜を基板ごと、温度が60℃で湿度が90%の環境で500時間保持したのち、上記の接着性を評価した。
これらの結果、剥離後のフィルム基板の導電膜を観察し、両面テープに接着した部分に剥離が見られなかったものを「○」とし、剥離が見られたものを「×」として、その結果を表1の当該欄に示した。
120℃で加熱処理することで得た導電膜について、表面粗さ(表面性状)を調べることで、算術平均粗さを算出した。具体的には、高精度表面粗さ・輪郭形状統合測定機((株)東京精密製、サーフコム)を用い、JIS B0601:2013に準じて、導電膜の長手方向の断面曲線を取得し、カットオフ値0.8mmのときの粗さ曲線から算術平均粗さ(μm)を算出した。なお、表面性状の走査距離は6mmとした。得られた結果を表1および表2の当該欄に示した。また、例1〜9の導電膜の算術平均粗さとバインダの配合との関係を図1に示した。
ファインライン印刷性を評価するために、500メッシュのスクリーン製版を用い、上記の銀ペーストを以下のファインライン縞状パターンでPET基板上にスクリーン印刷した。ファインライン縞状パターンは、ラインアンドスペース(線幅および間隙)がいずれも50μmで、線数が20本のパターンとした。このように銀ペーストを印刷後した基板を温度60℃の乾燥機に入れて10分間乾燥させたのち、120℃の乾燥器で20分間の熱処理を施すことにより導電膜を得た。
次いで、20本の線状導体膜のそれぞれについて中心部分の厚みを測定し、最も厚い厚みと最も薄い厚みとを除いた18本の線状導電膜の厚みの最大値と最小値との差を求めた(すなわち、20本のうちの2番目に厚い厚みと2番目に薄い厚みとの差Δを求めた)。そして、その差Δを以下の指標に基づき評価し、その結果を表1に示した。
Δ<1.5μm:A
1.5μm≦Δ<2.0μm:B
2.0μm≦Δ<2.5μm:C
2.5μm≦Δ<3.0μm:D
3.0μm≦Δ :E
(B1)ポリエステルウレタン樹脂と(B2)ポリエステル樹脂とを比較すると、(B1)ポリエステルウレタン樹脂の方がやや硬質である。そのため、銀ペーストのバインダとして、ポリエステルウレタン樹脂のみ(例1)、あるいは、ポリエステル樹脂のみ(例9)を用いると、表1に示されるように、これらの銀ペーストから得られる導電膜の表面粗さ(算術平均粗さ)は、例1の導電膜の方が例9の導電膜よりも荒くなることがわかった。そして図2に示されるように、(B1)ポリエステルウレタン樹脂と(B2)ポリエステル樹脂との両方を含むペーストを用いて形成された導電膜の表面粗さは、概ね、ポリエステルウレタン樹脂の割合が高くなるほど粗くなる傾向があることがわかった。
これに対し、例1〜8の導体膜についてはヒートサイクルや高温高湿環境に対する耐久性が高いことが確認されたものの、(B2)ポリエステル樹脂のみを用いた例9の導電膜については耐久性が低くなることがわかった。
一方で、ファインラインの印刷性については逆の傾向が見られ、例2〜9の銀ペーストについては線幅が30〜50μmといったファインラインをより均質な幅で印刷することが可能であるものの、例1の銀ペーストについてはファインラインの印刷性が低くなることがわかった。これは、比較的硬質の(B1)ポリエステルウレタン樹脂のみをバインダとして用いることで、スクリーン印刷の印刷すり抜け性(メッシュ通過性)が低下してしまったと考えられる。したがって、印刷性や耐久性を兼ね備えた銀ペーストを得るには、バインダとして、ポリエステルウレタン樹脂とポリエステル樹脂とを組み合わせて用いることがよいことがわかった。
Claims (9)
- 樹脂基板に導電膜を形成するための銀ペーストであって、
(A)銀粉末と、(B)バインダと、(C)前記バインダを溶解させる溶剤と、を含み、
(B)前記バインダは、ガラス転移点が60℃以上90℃以下の(B1)熱可塑性ポリエステルウレタン樹脂および(B2)熱可塑性ポリエステル樹脂を含み、
(A)前記銀粉末は、平均粒子径が40nm以上100nm以下であり、かつ、該銀粉末100質量部に対して、(B1)前記熱可塑性ポリエステルウレタン樹脂および(B2)前記熱可塑性ポリエステル樹脂が合計で、3質量部以上6質量部以下の割合で含まれる、
ことを特徴とする、樹脂基板用銀ペースト。 - 樹脂基板に導電膜を形成するための銀ペーストであって、
(A)銀粉末と、(B)バインダと、(C)前記バインダを溶解させる溶剤と、を含み、
(B)前記バインダは、ガラス転移点が60℃以上90℃以下の(B1)熱可塑性ポリエステルウレタン樹脂および(B2)熱可塑性ポリエステル樹脂を含み、
(A)前記銀粉末の表面には、炭素数5以下の有機アミンからなる保護剤が付着しており、かつ、該銀粉末100質量部に対して、(B1)前記熱可塑性ポリエステルウレタン樹脂および(B2)前記熱可塑性ポリエステル樹脂が合計で、3質量部以上6質量部以下の割合で含まれる、
ことを特徴とする、樹脂基板用銀ペースト。 - 樹脂基板に導電膜を形成するための銀ペーストであって、
(A)銀粉末と、(B)バインダと、(C)前記バインダを溶解させる溶剤と、を含み、
(B)前記バインダは、ガラス転移点が60℃以上90℃以下の(B1)熱可塑性ポリエステルウレタン樹脂および(B2)熱可塑性ポリエステル樹脂を含み、
(C)前記溶剤は、プロピレングリコールモノフェニルエーテルであり、
(A)前記銀粉末100質量部に対して、(B1)前記熱可塑性ポリエステルウレタン樹脂および(B2)前記熱可塑性ポリエステル樹脂が合計で、3質量部以上6質量部以下の割合で含まれる、
ことを特徴とする、樹脂基板用銀ペースト。 - (A)前記銀粉末は、平均粒子径が40nm以上100nm以下である、請求項2または3に記載の樹脂基板用銀ペースト。
- (B1)前記熱可塑性ポリエステルウレタン樹脂および(B2)前記熱可塑性ポリエステル樹脂の割合は、(B1):(B2)の質量比で、85:15〜20:80である、請求項1〜4のいずれか1項に記載の樹脂基板用銀ペースト。
- 樹脂基板と、
前記樹脂基板上に備えられた導電膜と、
を含み、
前記導電膜は、請求項1〜5のいずれか1項に記載の樹脂基板用銀ペーストの硬化物である、電子素子。 - 前記導電膜の算術平均粗さは、0.3以下である、請求項6に記載の電子素子。
- 前記導電膜のシート抵抗は、12mΩ/□以下である、請求項6または7に記載の電子素子。
- 樹脂基板を用意すること、
請求項1〜5のいずれか1項に記載の樹脂基板用銀ペーストを用意すること、
前記フレキシブルフィルム基板上に、前記樹脂基板用銀ペーストを供給すること、
前記樹脂基板用銀ペーストが供給された前記フレキシブルフィルム基板を、乾燥させること、
前記乾燥された前記樹脂基板用銀ペーストが供給された前記フレキシブルフィルム基板を、熱処理して導電膜を形成すること、
を含み、
前記乾燥のための温度は、前記樹脂基板用銀ペーストに含まれる前記バインダのガラス転移点よりも低い温度であり、
前記熱処理の温度は、前記ガラス転移点よりも20℃以上高い温度である、
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