JP6725290B2 - 圧電ワイヤー及びその製造方法、並びにその圧電ワイヤーを備えた圧電装置 - Google Patents
圧電ワイヤー及びその製造方法、並びにその圧電ワイヤーを備えた圧電装置 Download PDFInfo
- Publication number
- JP6725290B2 JP6725290B2 JP2016070220A JP2016070220A JP6725290B2 JP 6725290 B2 JP6725290 B2 JP 6725290B2 JP 2016070220 A JP2016070220 A JP 2016070220A JP 2016070220 A JP2016070220 A JP 2016070220A JP 6725290 B2 JP6725290 B2 JP 6725290B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- wire
- piezoelectric
- layer
- conductive
- piezoelectric layer
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 title claims description 22
- 239000011347 resin Substances 0.000 claims description 37
- 229920005989 resin Polymers 0.000 claims description 37
- 229920000642 polymer Polymers 0.000 claims description 34
- 239000002033 PVDF binder Substances 0.000 claims description 24
- 229920002981 polyvinylidene fluoride Polymers 0.000 claims description 24
- 229920001577 copolymer Polymers 0.000 claims description 20
- 230000010287 polarization Effects 0.000 claims description 15
- 238000000034 method Methods 0.000 claims description 13
- 238000000576 coating method Methods 0.000 claims description 11
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 claims description 9
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 claims description 9
- 239000002904 solvent Substances 0.000 claims description 7
- 239000007788 liquid Substances 0.000 claims description 6
- 230000008018 melting Effects 0.000 claims description 5
- 238000002844 melting Methods 0.000 claims description 5
- 238000007765 extrusion coating Methods 0.000 claims description 4
- 238000002360 preparation method Methods 0.000 claims description 3
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 20
- ZWEHNKRNPOVVGH-UHFFFAOYSA-N 2-Butanone Chemical compound CCC(C)=O ZWEHNKRNPOVVGH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 12
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 10
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 10
- 230000005621 ferroelectricity Effects 0.000 description 9
- 239000000463 material Substances 0.000 description 7
- BQCIDUSAKPWEOX-UHFFFAOYSA-N 1,1-Difluoroethene Chemical compound FC(F)=C BQCIDUSAKPWEOX-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 6
- ZMXDDKWLCZADIW-UHFFFAOYSA-N N,N-Dimethylformamide Chemical compound CN(C)C=O ZMXDDKWLCZADIW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 6
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 5
- 230000035945 sensitivity Effects 0.000 description 5
- 229910001220 stainless steel Inorganic materials 0.000 description 5
- 239000010935 stainless steel Substances 0.000 description 5
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 description 4
- XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N aluminium Chemical compound [Al] XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- CSCPPACGZOOCGX-UHFFFAOYSA-N Acetone Chemical compound CC(C)=O CSCPPACGZOOCGX-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N Copper Chemical compound [Cu] RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- XEKOWRVHYACXOJ-UHFFFAOYSA-N Ethyl acetate Chemical compound CCOC(C)=O XEKOWRVHYACXOJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 229910052802 copper Inorganic materials 0.000 description 3
- 239000010949 copper Substances 0.000 description 3
- 239000000843 powder Substances 0.000 description 3
- MIZLGWKEZAPEFJ-UHFFFAOYSA-N 1,1,2-trifluoroethene Chemical group FC=C(F)F MIZLGWKEZAPEFJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- HCFAJYNVAYBARA-UHFFFAOYSA-N 4-heptanone Chemical compound CCCC(=O)CCC HCFAJYNVAYBARA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- RTZKZFJDLAIYFH-UHFFFAOYSA-N Diethyl ether Chemical compound CCOCC RTZKZFJDLAIYFH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- NTIZESTWPVYFNL-UHFFFAOYSA-N Methyl isobutyl ketone Chemical compound CC(C)CC(C)=O NTIZESTWPVYFNL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- UIHCLUNTQKBZGK-UHFFFAOYSA-N Methyl isobutyl ketone Natural products CCC(C)C(C)=O UIHCLUNTQKBZGK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- PXHVJJICTQNCMI-UHFFFAOYSA-N Nickel Chemical compound [Ni] PXHVJJICTQNCMI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- WYURNTSHIVDZCO-UHFFFAOYSA-N Tetrahydrofuran Chemical compound C1CCOC1 WYURNTSHIVDZCO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000000654 additive Substances 0.000 description 2
- 230000000996 additive effect Effects 0.000 description 2
- 239000000919 ceramic Substances 0.000 description 2
- 229920001940 conductive polymer Polymers 0.000 description 2
- 239000004020 conductor Substances 0.000 description 2
- 238000001514 detection method Methods 0.000 description 2
- 125000002573 ethenylidene group Chemical group [*]=C=C([H])[H] 0.000 description 2
- LZCLXQDLBQLTDK-UHFFFAOYSA-N ethyl 2-hydroxypropanoate Chemical compound CCOC(=O)C(C)O LZCLXQDLBQLTDK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 230000001747 exhibiting effect Effects 0.000 description 2
- FDPIMTJIUBPUKL-UHFFFAOYSA-N pentan-3-one Chemical compound CCC(=O)CC FDPIMTJIUBPUKL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- BFKJFAAPBSQJPD-UHFFFAOYSA-N tetrafluoroethene Chemical group FC(F)=C(F)F BFKJFAAPBSQJPD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- RYHBNJHYFVUHQT-UHFFFAOYSA-N 1,4-Dioxane Chemical compound C1COCCO1 RYHBNJHYFVUHQT-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- JWUJQDFVADABEY-UHFFFAOYSA-N 2-methyltetrahydrofuran Chemical compound CC1CCCO1 JWUJQDFVADABEY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- DKPFZGUDAPQIHT-UHFFFAOYSA-N Butyl acetate Natural products CCCCOC(C)=O DKPFZGUDAPQIHT-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- FXHOOIRPVKKKFG-UHFFFAOYSA-N N,N-Dimethylacetamide Chemical compound CN(C)C(C)=O FXHOOIRPVKKKFG-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- XBDQKXXYIPTUBI-UHFFFAOYSA-M Propionate Chemical compound CCC([O-])=O XBDQKXXYIPTUBI-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 1
- 241000270666 Testudines Species 0.000 description 1
- 230000001133 acceleration Effects 0.000 description 1
- KXKVLQRXCPHEJC-UHFFFAOYSA-N acetic acid trimethyl ester Natural products COC(C)=O KXKVLQRXCPHEJC-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 150000001408 amides Chemical class 0.000 description 1
- 229940043232 butyl acetate Drugs 0.000 description 1
- PMHQVHHXPFUNSP-UHFFFAOYSA-M copper(1+);methylsulfanylmethane;bromide Chemical compound Br[Cu].CSC PMHQVHHXPFUNSP-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 1
- NKZSPGSOXYXWQA-UHFFFAOYSA-N dioxido(oxo)titanium;lead(2+) Chemical compound [Pb+2].[O-][Ti]([O-])=O NKZSPGSOXYXWQA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000003618 dip coating Methods 0.000 description 1
- 230000005684 electric field Effects 0.000 description 1
- 229940116333 ethyl lactate Drugs 0.000 description 1
- JBTWLSYIZRCDFO-UHFFFAOYSA-N ethyl methyl carbonate Chemical compound CCOC(=O)OC JBTWLSYIZRCDFO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- PCHJSUWPFVWCPO-UHFFFAOYSA-N gold Chemical compound [Au] PCHJSUWPFVWCPO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000010931 gold Substances 0.000 description 1
- 229910052737 gold Inorganic materials 0.000 description 1
- FUZZWVXGSFPDMH-UHFFFAOYSA-N hexanoic acid Chemical compound CCCCCC(O)=O FUZZWVXGSFPDMH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910010272 inorganic material Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000011147 inorganic material Substances 0.000 description 1
- 239000012212 insulator Substances 0.000 description 1
- 150000002576 ketones Chemical class 0.000 description 1
- HFGPZNIAWCZYJU-UHFFFAOYSA-N lead zirconate titanate Chemical compound [O-2].[O-2].[O-2].[O-2].[O-2].[Ti+4].[Zr+4].[Pb+2] HFGPZNIAWCZYJU-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052451 lead zirconate titanate Inorganic materials 0.000 description 1
- 210000003205 muscle Anatomy 0.000 description 1
- YKYONYBAUNKHLG-UHFFFAOYSA-N n-Propyl acetate Natural products CCCOC(C)=O YKYONYBAUNKHLG-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052759 nickel Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000011368 organic material Substances 0.000 description 1
- 239000008188 pellet Substances 0.000 description 1
- 238000010248 power generation Methods 0.000 description 1
- 230000002265 prevention Effects 0.000 description 1
- 229940090181 propyl acetate Drugs 0.000 description 1
- UYLYBEXRJGPQSH-UHFFFAOYSA-N sodium;oxido(dioxo)niobium Chemical compound [Na+].[O-][Nb](=O)=O UYLYBEXRJGPQSH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000004544 sputter deposition Methods 0.000 description 1
- 238000003756 stirring Methods 0.000 description 1
- 239000000126 substance Substances 0.000 description 1
- YLQBMQCUIZJEEH-UHFFFAOYSA-N tetrahydrofuran Natural products C=1C=COC=1 YLQBMQCUIZJEEH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- NQPDZGIKBAWPEJ-UHFFFAOYSA-N valeric acid Chemical compound CCCCC(O)=O NQPDZGIKBAWPEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000007740 vapor deposition Methods 0.000 description 1
Images
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10N—ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10N30/00—Piezoelectric or electrostrictive devices
- H10N30/60—Piezoelectric or electrostrictive devices having a coaxial cable structure
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01L—MEASURING FORCE, STRESS, TORQUE, WORK, MECHANICAL POWER, MECHANICAL EFFICIENCY, OR FLUID PRESSURE
- G01L1/00—Measuring force or stress, in general
- G01L1/16—Measuring force or stress, in general using properties of piezoelectric devices
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10N—ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10N30/00—Piezoelectric or electrostrictive devices
- H10N30/01—Manufacture or treatment
- H10N30/07—Forming of piezoelectric or electrostrictive parts or bodies on an electrical element or another base
- H10N30/074—Forming of piezoelectric or electrostrictive parts or bodies on an electrical element or another base by depositing piezoelectric or electrostrictive layers, e.g. aerosol or screen printing
- H10N30/077—Forming of piezoelectric or electrostrictive parts or bodies on an electrical element or another base by depositing piezoelectric or electrostrictive layers, e.g. aerosol or screen printing by liquid phase deposition
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10N—ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10N30/00—Piezoelectric or electrostrictive devices
- H10N30/01—Manufacture or treatment
- H10N30/08—Shaping or machining of piezoelectric or electrostrictive bodies
- H10N30/084—Shaping or machining of piezoelectric or electrostrictive bodies by moulding or extrusion
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10N—ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10N30/00—Piezoelectric or electrostrictive devices
- H10N30/01—Manufacture or treatment
- H10N30/09—Forming piezoelectric or electrostrictive materials
- H10N30/098—Forming organic materials
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10N—ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10N30/00—Piezoelectric or electrostrictive devices
- H10N30/20—Piezoelectric or electrostrictive devices with electrical input and mechanical output, e.g. functioning as actuators or vibrators
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10N—ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10N30/00—Piezoelectric or electrostrictive devices
- H10N30/30—Piezoelectric or electrostrictive devices with mechanical input and electrical output, e.g. functioning as generators or sensors
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10N—ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10N30/00—Piezoelectric or electrostrictive devices
- H10N30/30—Piezoelectric or electrostrictive devices with mechanical input and electrical output, e.g. functioning as generators or sensors
- H10N30/302—Sensors
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10N—ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10N30/00—Piezoelectric or electrostrictive devices
- H10N30/80—Constructional details
- H10N30/85—Piezoelectric or electrostrictive active materials
- H10N30/857—Macromolecular compositions
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Spectroscopy & Molecular Physics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Addition Polymer Or Copolymer, Post-Treatments, Or Chemical Modifications (AREA)
- Organic Insulating Materials (AREA)
- Compositions Of Macromolecular Compounds (AREA)
- Piezo-Electric Transducers For Audible Bands (AREA)
- Insulated Conductors (AREA)
- Shaping By String And By Release Of Stress In Plastics And The Like (AREA)
Description
先ず、本発明の圧電ワイヤーについて説明する。本発明の圧電ワイヤーは、導電性ワイヤーと、上記導電性ワイヤーを被覆する高分子圧電体層とを備えている。また、上記高分子圧電体層は、β型ポリフッ化ビニリデン系共重合体を含み、上記導電性ワイヤーの線径(直径)は、1.0mm以下であることを特徴とする。
また、上記「フッ化ビニリデン−トリフルオロエチレン共重合体」における(トリフルオロエチレンに由来する繰り返し単位)/(フッ化ビニリデンに由来する繰り返し単位)のモル比は、好ましくは5/95〜36/64の範囲内、より好ましくは15/85〜25/75の範囲内、更に好ましくは18/82〜22/78の範囲内である。
また、上記「フッ化ビニリデン−テトラフルオロエチレン共重合体」における(テトラフルオロエチレンに由来する繰り返し単位)/(フッ化ビニリデンに由来する繰り返し単位)のモル比は、好ましくは5/95〜36/64の範囲内、より好ましくは15/85〜25/75の範囲内、更に好ましくは18/82〜22/78の範囲内である。
次に、本発明の圧電ワイヤーを製造する第1と第2の製造方法について説明する。
本発明の圧電装置は、上記本発明の圧電ワイヤーを備えている。本発明の圧電装置は、圧電素子として機能する極細の圧電ワイヤーを備えているので、感度が高い。また、本発明の圧電装置は、装置内への取り付けの自由度が高い極細の圧電ワイヤーを備えているため、圧電装置の小型化を図ることができる。
先ず、フッ化ビニリデン−トリフルオロエチレン共重合体(モル比/フッ化ビニリデン:トリフルオロエチレン=75:25)30gをメチルエチルケトン70gに70℃に加温しながら溶解し、日本エマソン社製の超音波ホモジナイザー“BRANSON Digital Sonifire”で30分間攪拌して樹脂液を調製した。
ステンレス鋼製の単線ワイヤーの線径を0.10mmとし、樹脂層の厚さを15μmとした以外は、実施例1と同様にして、実施例2の圧電ワイヤーを作製した。
ステンレス鋼製の単線ワイヤーの線径を0.50mmとし、樹脂層の厚さを80μmとした以外は、実施例1と同様にして、実施例3の圧電ワイヤーを作製した。
ステンレス鋼製の単線ワイヤーの線径を1.0mmとし、樹脂層の厚さを80μmとした以外は、実施例1と同様にして、実施例4の圧電ワイヤーを作製した。
圧電樹脂として、フッ化ビニリデン−テトラフルオロエチレン共重合体(モル比/フッ化ビニリデン:テトラフルオロエチレン=80:20)を用い、ワイヤーとして、線径0.08mmの銅単線を20本撚った長さ50mmの銅撚り線(線径:0.52mm)を用い、樹脂層の厚さを18μmとした以外は、実施例1と同様にして、実施例5の圧電ワイヤーを作製した。
図7に示すように、nF回路ブロック社製のファンクションジェネレータ“WF1973”(41)とTrek社製のアンプ“Model610D”(42)とを接続し、更にアンプ42と、圧電ワイヤー20のワイヤー端部11aと導電層13とを電気接続した。次に、ファンクションジェネレータ41から周波数5Hz、電圧10Vp-pの交流を出力し、アンプ42で1000Vp-pまで増幅して、圧電ワイヤー20に印加した。その際、KEYENCE社製のレーザー顕微鏡“VK−X150”(43)で圧電ワイヤーの振幅p-p(全振幅)を測定した。
図8に示すように、圧電ワイヤー20の両端を島津製作所製の引張り試験機“AGS−500X”(53)にセットした。また、オシロスコープ51と、タートル工業社製のチャージアンプ52とを接続し、更にチャージアンプ52と圧電ワイヤー20の両端とを電極52a、52bを介して電気接続した。次に、0.5Nの張力になるまで圧電ワイヤー20の両端を引張り、その後、張力を0まで高速で解放し、その際の圧電出力を測定し、圧電ワイヤー20の高分子圧電体層の単位厚さ当たりの出力電圧を算出した。
11 導電性ワイヤー
11a ワイヤー端部
12 高分子圧電体層
13 導電層
14 絶縁層
41 ファンクションジェネレータ
42 アンプ
43 レーザー顕微鏡
51 オシロスコープ
52 チャージアンプ
52a、52b 電極
53 引張り試験機
Claims (4)
- 導電性ワイヤーと、前記導電性ワイヤーを被覆する高分子圧電体層とを含み、前記高分子圧電体層は、β型ポリフッ化ビニリデン系共重合体を含み、前記導電性ワイヤーの線径が、1.0mm以下である圧電ワイヤーの製造方法であって、
β型ポリフッ化ビニリデン系共重合体を溶剤に溶解させて樹脂液を調製する樹脂液調製工程と、
前記樹脂液を導電性ワイヤーに塗布する塗布工程と、
前記樹脂液を塗布した前記導電性ワイヤーを加熱して、前記導電性ワイヤーの表面に高分子圧電体層を形成する圧電体層形成工程と、
前記高分子圧電体層を延伸することなく、前記高分子圧電体層を分極処理する分極工程とを含むことを特徴とする圧電ワイヤーの製造方法。 - 導電性ワイヤーと、前記導電性ワイヤーを被覆する高分子圧電体層とを含み、前記高分子圧電体層は、β型ポリフッ化ビニリデン系共重合体を含み、前記導電性ワイヤーの線径が、1.0mm以下である圧電ワイヤーの製造方法であって、
β型ポリフッ化ビニリデン系共重合体を加熱して溶融させて溶融樹脂を作製する樹脂溶融工程と、
前記溶融樹脂により導電性ワイヤーを被覆して、前記導電性ワイヤーの表面に高分子圧電体層を形成する押出被覆工程と、
前記高分子圧電体層を延伸することなく、前記高分子圧電体層を分極処理する分極工程とを含むことを特徴とする圧電ワイヤーの製造方法。 - 前記高分子圧電体層の表面に導電層を形成する工程を更に含む請求項1又は2に記載の圧電ワイヤーの製造方法。
- 前記導電層の表面に絶縁層を形成する工程を更に含む請求項3に記載の圧電ワイヤーの製造方法。
Priority Applications (7)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2016070220A JP6725290B2 (ja) | 2016-03-31 | 2016-03-31 | 圧電ワイヤー及びその製造方法、並びにその圧電ワイヤーを備えた圧電装置 |
US16/087,885 US20190109274A1 (en) | 2016-03-31 | 2017-03-27 | Piezoelectric wire and production method for same, and piezoelectric device provided with piezoelectric wire |
KR1020187029088A KR20180127394A (ko) | 2016-03-31 | 2017-03-27 | 압전 와이어 및 그의 제조 방법, 및 그 압전 와이어를 구비한 압전 장치 |
PCT/JP2017/012240 WO2017170323A1 (ja) | 2016-03-31 | 2017-03-27 | 圧電ワイヤー及びその製造方法、並びにその圧電ワイヤーを備えた圧電装置 |
EP17774860.5A EP3442040A4 (en) | 2016-03-31 | 2017-03-27 | PIEZOELECTRIC WIRE, ITS MANUFACTURING METHOD AND PIEZOELECTRIC DEVICE WITH PIEZOELECTRIC WIRE |
CN201780020474.4A CN108886088A (zh) | 2016-03-31 | 2017-03-27 | 压电线及其制造方法、以及具备该压电线的压电装置 |
TW106110551A TW201810742A (zh) | 2016-03-31 | 2017-03-29 | 壓電導線及其製造方法,以及具備該壓電導線之壓電裝置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2016070220A JP6725290B2 (ja) | 2016-03-31 | 2016-03-31 | 圧電ワイヤー及びその製造方法、並びにその圧電ワイヤーを備えた圧電装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2017183570A JP2017183570A (ja) | 2017-10-05 |
JP6725290B2 true JP6725290B2 (ja) | 2020-07-15 |
Family
ID=59964411
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2016070220A Active JP6725290B2 (ja) | 2016-03-31 | 2016-03-31 | 圧電ワイヤー及びその製造方法、並びにその圧電ワイヤーを備えた圧電装置 |
Country Status (7)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US20190109274A1 (ja) |
EP (1) | EP3442040A4 (ja) |
JP (1) | JP6725290B2 (ja) |
KR (1) | KR20180127394A (ja) |
CN (1) | CN108886088A (ja) |
TW (1) | TW201810742A (ja) |
WO (1) | WO2017170323A1 (ja) |
Families Citing this family (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP6924516B2 (ja) * | 2017-12-11 | 2021-08-25 | ロボセンサー技研株式会社 | 線状センサ、帯状センサ、および面状センサ |
JP7102762B2 (ja) * | 2018-02-09 | 2022-07-20 | 日立金属株式会社 | 圧電部材 |
JP6501958B1 (ja) | 2018-09-06 | 2019-04-17 | 東邦化成株式会社 | 圧電素子 |
JP7416376B2 (ja) * | 2019-11-27 | 2024-01-17 | ダイキンファインテック株式会社 | 圧電素子および圧電装置 |
JP7350155B2 (ja) * | 2020-03-09 | 2023-09-25 | 株式会社フジクラ | 圧電同軸センサ及び圧電同軸センサの製造方法 |
CN115298841A (zh) | 2020-03-09 | 2022-11-04 | 株式会社藤仓 | 压电同轴传感器 |
US11849642B2 (en) * | 2020-04-17 | 2023-12-19 | Wisconsin Alumni Research Foundation | 3D printed and in-situ poled flexible piezoelectric pressure sensor |
CN114566329B (zh) * | 2022-02-14 | 2022-11-18 | 苏州大学 | 一种压电电缆及其制备方法 |
Family Cites Families (13)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US4568851A (en) * | 1984-09-11 | 1986-02-04 | Raychem Corporation | Piezoelectric coaxial cable having a helical inner conductor |
JPS61276280A (ja) * | 1985-05-30 | 1986-12-06 | Central Glass Co Ltd | 高分子圧電材料 |
JP3867709B2 (ja) * | 2003-03-26 | 2007-01-10 | ダイキン工業株式会社 | 薄膜の形成方法 |
JP4348480B2 (ja) * | 2004-06-08 | 2009-10-21 | 独立行政法人産業技術総合研究所 | ケーブル状圧電センサ |
JP2006080366A (ja) * | 2004-09-10 | 2006-03-23 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | ケーブル状圧電素子及びそれを用いた振動検知センサ |
JP2006098062A (ja) * | 2004-09-28 | 2006-04-13 | Oki Electric Cable Co Ltd | 高感度・高屈曲センサケーブル |
CN101508841B (zh) * | 2009-03-17 | 2012-02-08 | 武汉理工大学 | 电容器用柔性聚合物介电材料及制备 |
JP5291551B2 (ja) * | 2009-06-26 | 2013-09-18 | 株式会社クレハ | 高分子組成物および高分子圧電体フィルム |
JP5588702B2 (ja) * | 2010-03-11 | 2014-09-10 | 株式会社クレハ | Pvdfを含む無延伸の圧電体および圧電センサ |
JP5714235B2 (ja) * | 2010-03-11 | 2015-05-07 | 株式会社クレハ | Pvdfを含む無添加・無延伸の圧電体および圧電センサ |
EP2908357B1 (en) * | 2012-10-12 | 2018-08-29 | Teijin Limited | Piezoelectric element |
WO2014080832A1 (ja) * | 2012-11-20 | 2014-05-30 | ダイキン工業株式会社 | 積層フィルム |
KR20150134956A (ko) * | 2014-05-22 | 2015-12-02 | 주식회사 광세로 | 가요성을 갖는 선형 압전소자 |
-
2016
- 2016-03-31 JP JP2016070220A patent/JP6725290B2/ja active Active
-
2017
- 2017-03-27 CN CN201780020474.4A patent/CN108886088A/zh active Pending
- 2017-03-27 EP EP17774860.5A patent/EP3442040A4/en not_active Withdrawn
- 2017-03-27 WO PCT/JP2017/012240 patent/WO2017170323A1/ja active Application Filing
- 2017-03-27 KR KR1020187029088A patent/KR20180127394A/ko unknown
- 2017-03-27 US US16/087,885 patent/US20190109274A1/en not_active Abandoned
- 2017-03-29 TW TW106110551A patent/TW201810742A/zh unknown
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
EP3442040A1 (en) | 2019-02-13 |
US20190109274A1 (en) | 2019-04-11 |
WO2017170323A1 (ja) | 2017-10-05 |
KR20180127394A (ko) | 2018-11-28 |
TW201810742A (zh) | 2018-03-16 |
EP3442040A4 (en) | 2019-12-04 |
JP2017183570A (ja) | 2017-10-05 |
CN108886088A (zh) | 2018-11-23 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP6725290B2 (ja) | 圧電ワイヤー及びその製造方法、並びにその圧電ワイヤーを備えた圧電装置 | |
US6271621B1 (en) | Piezoelectric pressure sensor | |
JP6330146B2 (ja) | 発電装置 | |
US11925121B2 (en) | Piezoelectric element having excellent flexibility and bend resistance | |
JP3093849B2 (ja) | 可撓性積層圧電素子 | |
US8564178B2 (en) | Micro electric generator, method of providing the same, and electric generating device | |
Zhang et al. | Piezoelectric polymer multilayer on flexible substrate for energy harvesting | |
JP2019062124A (ja) | 耐熱性圧電ワイヤー及びその耐熱性圧電ワイヤーを備えた圧電装置 | |
WO2019180586A1 (en) | Flexible and low cost piezoelectric composites with high d33 values | |
JP3105645B2 (ja) | 圧電素子およびその製造方法 | |
KR101440484B1 (ko) | 스프레이 코팅을 이용한 β-상 PVDF 필름의 제조방법 | |
WO2018181261A1 (ja) | 圧電素子 | |
JP2020145408A (ja) | 圧電素子および圧電素子シート | |
Kibria et al. | Electrospinning-based high-sensitive PVDF-TrFE nanofibre sensor with sensitivity dependence on pore diameter | |
KR20160032483A (ko) | 마이크로 압전 유연와이어의 제조방법, 상기 마이크로 압전 유연와이어를 이용한 압전 에너지 하베스터 및 상기 압전 에너지 하베스터의 제조방법 | |
JP6395470B2 (ja) | 熱可塑性ポリ尿素薄膜、その積層体、およびそれらの製造方法 | |
Nivedhitha et al. | Polyvinylidene Fluoride as an advanced polymer for multifunctional applications-a review | |
Kumar et al. | Pyroelectric and piezoelectric polymers | |
Rana et al. | Fluoropolymer nanocomposites for piezoelectric energy harvesting applications | |
WO2021106930A1 (ja) | 圧電素子および圧電装置 | |
JP3121416B2 (ja) | 可撓性圧電素子 | |
WO2010016291A1 (ja) | 有機圧電材料、その作製方法、それを用いた超音波振動子、超音波探触子および超音波画像検出装置 | |
KR20240092825A (ko) | 압전 성능이 향상된 압전 복합 섬유, 이의 제조방법 및 이를 포함하는 유연한 압전 에너지 하베스터 | |
Kumar et al. | Performance of lead-free piezoelectric materials in cantilever-based energy harvesting devices | |
JP2021093459A (ja) | 圧電素子 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20190218 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20191203 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20200130 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20200609 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20200625 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 6725290 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
S533 | Written request for registration of change of name |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313533 |
|
R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |