JP6706095B2 - 無電解めっき装置および無電解めっき方法 - Google Patents
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Description
本発明の好ましい態様は、前記めっき槽の内部を、無電解めっき液が貯留される処理槽と、前記陰極が内部に配置された陰極槽とに仕切る隔膜をさらに備えたことを特徴とする。
本発明の好ましい態様は、前記隔膜は、陰極浸漬液と、前記無電解めっき液とを互いに隔離するための逆浸透膜または陰イオン交換膜であることを特徴とする。
本発明の好ましい態様は、前記無電解めっき液を加熱するヒータをさらに備えたことを特徴とする。
本発明の好ましい態様は、第1の基板のめっきを終了した後、第2の基板のめっきを開始する前に、前記トラップ陽極と前記陰極との間に電圧を印加することを特徴とする。
5 基板ホルダ
7 トラップ陽極
8 陰極
11 電源
14 オーバーフロー槽
21 戻り導管
22 ポンプ
24 ヒータ
25 クーラー
26 温度センサー
27 クーラント冷却器
30 隔膜
31 陰極浸漬液
33 処理槽
34 陰極槽
40 下地金属膜
41 絶縁膜
43 バンプ
50 金属粉
60 無電解めっき液処理槽
61 第1の配管
62 第2の配管
65 ポンプ
Claims (9)
- 無電解めっき液を貯留するためのめっき槽と、
基板を保持する基板ホルダと、
前記めっき槽の底面に配置されたトラップ陽極と、
前記めっき槽内に配置された陰極と、
前記トラップ陽極と前記陰極との間に電圧を印加する電源と、
前記陰極に接するように設けられた、該陰極の表面を冷却するためのクーラーを備えたことを特徴とする無電解めっき装置。 - 前記トラップ陽極は、前記めっき槽の底面と基板との間に配置されることを特徴とする請求項1に記載の無電解めっき装置。
- 前記めっき槽の内部を、無電解めっき液が貯留される処理槽と、前記陰極が内部に配置された陰極槽とに仕切る隔膜をさらに備えたことを特徴とする請求項1に記載の無電解めっき装置。
- 前記隔膜は、陰極浸漬液と、前記無電解めっき液とを互いに隔離するための逆浸透膜または陰イオン交換膜であることを特徴とする請求項3に記載の無電解めっき装置。
- 前記無電解めっき液を加熱するヒータをさらに備えたことを特徴とする請求項1に記載の無電解めっき装置。
- めっき槽内に貯留された無電解めっき液に基板を浸漬させ、
前記めっき槽の底面に配置されたトラップ陽極と、前記めっき槽内に配置された陰極との間に電圧を印加し、
基板を前記無電解めっき液に浸漬させている間、前記無電解めっき液を、基板のめっき反応が進行する所定の温度に維持し、
前記基板を前記無電解めっき液に浸漬させている間、前記陰極の表面温度を、前記無電解めっき液の前記所定の温度よりも10℃以上低く維持することを特徴とする無電解めっき方法。 - 基板を前記無電解めっき液に浸漬させている間、前記トラップ陽極と前記陰極との間に電圧を印加することを特徴とする請求項6に記載の無電解めっき方法。
- 第1の基板のめっきを終了した後、第2の基板のめっきを開始する前に、前記トラップ陽極と前記陰極との間に電圧を印加することを特徴とする請求項6に記載の無電解めっき方法。
- 隔膜によって無電解めっき液から隔離された陰極槽内に陰極浸漬液を注入して前記陰極を前記陰極浸漬液中に浸漬する工程をさらに含み、
前記陰極浸漬液は、前記無電解めっき液に含まれる全成分のうちめっき金属成分を除いた成分を含有する溶液であるか、またはめっき金属成分を含有せず、かつ錯化剤、還元剤、pH緩衝剤、およびpH調整剤を含有する溶液であることを特徴とする請求項6に記載の無電解めっき方法。
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