JP6683579B2 - 基板処理装置および基板処理方法 - Google Patents
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Description
<1.1 基板処理装置1の構成>
図1は、本実施形態に係る基板処理装置1の概略構成を示す縦断面図である。図2は、加熱プレート7を示す平面図である。図3は、シート11の一部分を示す平面図である。図4は、発熱部5の構成を示す概略的な平面図である。
図7は、基板処理装置1の処理例を示すフロー図である。図7において、ステップST1〜ST4は基板Wの加熱処理の一例を示し、ステップST5〜ST7は基板Wの載置に関する判定処理の一例を示している。図8は、加熱処理の際に得られた各値を示すグラフである。
本実施形態では、ステップST5で1つのタイミングを特定し、このタイミングにおける複数の取得温度値のばらつきと閾値とを比較することで、基板Wが正常に載置されているか否かを判定する。このように、1つのタイミングのみについて演算を行うので、一定の期間について演算を行う態様(例えば、特許文献1に記載の態様)に比べ、基板Wが正常に載置されているかを簡易迅速に判定することができる。
以上、本発明の実施の形態について説明したが、この発明はその趣旨を逸脱しない限りにおいて上述したもの以外に種々の変更を行うことが可能である。
4 基台
5 発熱部
6 伝熱部
7 加熱プレート
9 制御部
51〜56 発熱体
81〜86 温度センサ
901 取得部
902 算出部
903 比較部
904 報知部
ST1〜ST7 ステップ
T1〜T3 時刻
W 基板
Claims (10)
- その上面内における複数の領域を目標温度に調整可能な温調プレートを有し、該温調プレート上に基板を載置して該基板を温調する温調部と、
前記複数の領域の各温度を検出して複数の温度値を取得する取得部と、
前記目標温度に調整された前記温調プレート上に前記基板を載置した後の期間に前記取得部により取得された前記複数の温度値の推移を基に、該期間における前記複数の温度値の平均値がピークに到達するタイミングを算出する算出部と、
前記タイミングにおける前記複数の温度値のばらつきと予め設定された閾値とを比較する比較部と、
を備える、基板処理装置。 - 請求項1に記載の基板処理装置であって、
前記ばらつきは前記複数の温度値の最大値と最小値との差である、基板処理装置。 - 請求項1または請求項2に記載の基板処理装置であって、
前記取得部は、前記複数の領域について検出された複数の検出温度値に補正を行って前記複数の温度値を取得する、基板処理装置。 - 請求項1から請求項3のいずれか1つの請求項に記載の基板処理装置であって、
前記温調部は、前記温調プレート上に配されたシートをさらに有し、
前記基板は前記シートを介して前記温調プレート上に載置される、基板処理装置。 - 請求項1から請求項4のいずれか1つの請求項に記載の基板処理装置であって、
前記温調プレートは、前記基板を加熱する加熱プレートであり、
前記ピークは、前記期間中における前記平均値の最下点である、基板処理装置。 - 温調プレートの上面内における複数の領域を目標温度に調整する温調工程と、
前記複数の領域が前記目標温度に調整された後、前記温調プレート上に基板を載置する載置工程と、
前記複数の領域の各温度を検出して複数の温度値を取得する取得工程と、
前記載置工程の後の期間における前記取得工程で取得された前記複数の温度値の推移を基に、該期間における前記複数の温度値の平均値がピークに到達するタイミングを算出する算出工程と、
前記タイミングにおける前記複数の温度値のばらつきと予め設定された閾値とを比較する比較工程と、
を備える、基板処理方法。 - 請求項6に記載の基板処理方法であって、
前記ばらつきは前記複数の温度値の最大値と最小値との差である、基板処理方法。 - 請求項6または請求項7に記載の基板処理方法であって、
前記取得工程は、前記複数の領域について検出された複数の検出温度値に補正を行って前記複数の温度値を取得する、基板処理方法。 - 請求項6から請求項8のいずれか1つの請求項に記載の基板処理方法であって、
前記温調プレート上にはシートが配され、
前記載置工程では、前記基板が前記シートを介して前記温調プレート上に載置される、基板処理方法。 - 請求項6から請求項9のいずれか1つの請求項に記載の基板処理方法であって、
前記温調プレートは、前記基板を加熱する加熱プレートであり、
前記ピークは、前記期間中における前記平均値の最下点である、基板処理方法。
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