JP6681241B2 - 電子部品実装装置および電子部品製造方法 - Google Patents
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Description
以下、本発明の実施の形態に係る電子部品実装装置1の全体構成について、図面を参照しながら説明する。
以上説明した電子部品実装装置1は、図9に示すように、制御部90を有している。次に、電子部品実装装置1の制御系および動作について図9を参照しながら説明する。
図10は、電子部品実装装置1を用いた電子部品実装方法および電子部品製造方法を示すフローチャートである。電子部品実装装置1は、図7および図8で説明したキャリブレーションを実施してあるものとする。実装工程をスタートする前の準備工程として、オペレーターは、基板Pをボンディングステージ10の所定位置に所定の姿勢で載置する。基板Pは、ボンディングステージ10に吸着固定される。続いて、オペレーターは、複数の電子部品Mが搭載された電子部品トレイ14A,14Bを電子部品トレイユニット11にセットする。次に、オペレーターは、ボンディングツール15A、15Bをボンディングツールユニット12の所定位置にセットする。なお、ボンディングツール15A、15Bは、そのうちの一つをセットする場合と、同じ種類のものを二つセットする場合がある。
3…電子部品昇降機構
7…テーブル
10…ボンディングステージ
10A……上面(ボンディングステージ)
11…電子部品トレイユニット
12…ボンディングツールユニット
13…キャリブレーションユニット
14(14A,14B)…電子部品トレイ
15(15A,15B)…ボンディングツール
16…ボンディングツールホルダー部
17…上下2視野カメラユニット
18…撮像部
50…キャリブレーションカメラ
51…ターゲットガラス
51A…上面(ターゲットガラス)
51B…下面(ターゲットガラス)
52…照明装置
65…ホルダー部
66…ボンディング部
68…貫通孔(電子部品吸着用孔)
80…基準マーク
M…電子部品
Me…電子部品電極(電極)
Ms…電子部品半田層(接合材)
P…基板
Pe…基板電極(電極)
Ps…基板半田層(接合材)
Claims (12)
- 電子部品の複数の電極と基板の複数の電極との間に溶融可能な接合材を介在させ、該接合材を加熱溶融、固化させて、前記電子部品の複数の電極と前記基板の複数の電極とを接合する電子部品実装装置であって、
前記電子部品を保持するボンディングツールを有し、前記ボンディングツールを前記基板に向けて昇降移動させる電子部品昇降機構と、
前記基板を保持するボンディングステージと、
前記電子部品を待機位置に配置する電子部品トレイユニットと、
前記電子部品昇降機構の前記ボンディングステージ側の先端部に取り付けられる前記ボンディングツールを待機位置に配置するボンディングツールユニットと、
前記ボンディングツールおよび前記各ユニットの基準位置を規定するキャリブレーションユニットと、
水平面に対して垂直なZ軸方向の上方および下方の撮像が可能な上下2視野カメラユニットと、
テーブルと、
を有し、
前記ボンディングステージ、前記ボンディングツールユニット、前記電子部品トレイユニットおよび前記キャリブレーションユニットが、前記テーブルの同一平面上に配置されている、
ことを特徴とする電子部品実装装置。 - 請求項1に記載の電子部品実装装置において、
前記電子部品トレイユニットには、複数の前記電子部品が整列された電子部品トレイが2個以上配置される、
ことを特徴とする電子部品実装装置。 - 請求項1または請求項2に記載の電子部品実装装置において、
前記ボンディングツールユニットには、前記電子部品の複数種類のサイズ各々に対応する前記ボンディングツールが1個または2種類以上配置され、選択された前記ボンディングツールの一つが前記電子部品昇降機構に設けられるボンディングツールホルダー部の下方に移動され、前記ボンディングツールホルダー部に吸着される、
ことを特徴とする電子部品実装装置。 - 請求項1から請求項3のいずれか1項に記載の電子部品実装装置において、
前記ボンディングツールは、ボンディングツールホルダー部に装着されるホルダー部と、前記電子部品を前記基板に接合するボンディング部とを有し、前記ホルダー部が、ボンディングツールホルダー部側に向けて配置されている、
ことを特徴とする電子部品実装装置。 - 請求項3または請求項4に記載の電子部品実装装置において、
前記ボンディングツールは、電子部品吸着用孔を有するセラミックヒーターで構成されている、
ことを特徴とする電子部品実装装置。 - 請求項1から請求項5のいずれか1項に記載の電子部品実装装置において、
前記キャリブレーションユニットは、前記Z軸方向に対して直交するY軸方向に移動可能で基準マークを有する光透過性のターゲットガラスと、
該ターゲットガラスを照明する照明装置と、
X軸と該X軸に直交するY軸とで構成される平面の前記X軸方向および前記Y軸方向に移動可能なテーブルに固定され、前記基準マークを直下から撮像するキャリブレーションカメラと、
を有する、
ことを特徴とする電子部品実装装置。 - 請求項6に記載の電子部品実装装置において、
前記上下2視野カメラユニットは、前記電子部品と前記基板との接合時には前記テーブルから前記Y軸方向に離れた待機位置に配置され、前記Y軸方向および前記Z軸方向に移動可能であり、
前記Z軸方向において上方側の前記ボンディングツールまたは該ボンディングツールに保持された電子部品の電極と、下方側の前記ターゲットガラスの前記基準マークまたは前記基板の電極と、を同時に撮像することが可能である、
ことを特徴とする電子部品実装装置。 - 請求項7に記載の電子部品実装装置において、
前記ターゲットガラスに設けられた前記基準マークは、前記ターゲットガラスの前記電子部品昇降機構側の上面または該上面に対して反対側の下面に設けられた十文字マークである、
ことを特徴とする電子部品実装装置。 - 請求項8に記載の電子部品実装装置において、
前記ターゲットガラスの前記基準マークが設けられた前記上面または前記下面は、前記ボンディングステージの前記電子部品昇降機構側上面の高さとほぼ同じ高さ位置になるように配置されている、
ことを特徴とする電子部品実装装置。 - 請求項6から請求項9のいずれか1項に記載の電子部品実装装置において、
前記ターゲットガラスに設けられた前記基準マークおよび前記上下2視野カメラユニットの撮像部が同一軸上に配置された状態で、前記キャリブレーションユニットおよび前記上下2視野カメラユニットによる同時撮像が可能である、
ことを特徴とする電子部品実装装置。 - 請求項1から請求項10のいずれか1項に記載の電子部品実装装置を用いた電子部品製造方法であって、
ボンディングツールをボンディングツールホルダー部に装着する工程と、
前記電子部品を前記ボンディングツールに吸着する工程と、
上下2視野カメラユニットで、前記電子部品の電極および前記基板の電極を認識する工程と、
前記電子部品の電極と前記基板の電極との位置ずれの有無を判定する工程と、
前記電子部品と前記基板とを接合する接合工程と、
前記電子部品が接合された前記基板を除材する工程と、
を含む、
ことを特徴とする電子部品製造方法。 - 請求項11に記載の電子部品製造方法において、
キャリブレーションユニットに設けられたターゲットガラスの基準マークを、固定されたキャリブレーションカメラで撮像して前記電子部品実装装置の平面方向の基準位置と規定し、
前記上下2視野カメラユニットおよび前記キャリブレーションユニットによって、前記基準位置に対して前記ボンディングツールの位置を規定するキャリブレーション工程を有し、
前記電子部品実装装置の稼働途中において、定期的または随時に前記キャリブレーション工程を実行する、
ことを特徴とする電子部品製造方法。
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