JP6672368B2 - 洗浄装置 - Google Patents
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- 238000004140 cleaning Methods 0.000 title claims description 158
- 239000007788 liquid Substances 0.000 claims description 84
- 238000005406 washing Methods 0.000 claims description 3
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 13
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 description 5
- 239000007921 spray Substances 0.000 description 3
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
- 238000006073 displacement reaction Methods 0.000 description 2
- 238000009434 installation Methods 0.000 description 2
- 238000005507 spraying Methods 0.000 description 2
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 1
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 1
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Description
20,30 洗浄ヘッド部
21 供給管
22 受け器
23,24 第1整流板
25 第2整流板
26 側板
40 洗浄槽
50 ポンプ
61,62,63 配管
71 コンベア
81 入口扉開閉装置
82 出口扉開閉装置
91 ワーク群
92 洗浄領域
93,94 ラックレール、(移動機構部)
95,96 ピニオンギヤ、(移動機構部)
97 エアーコンプレッサ、(駆動源)
103 搬送方向
211,212 供給口
221,222 溢水部
223 傾斜板
231,241 鉛直部
232,242 傾斜部
811 入口扉
Claims (7)
- 水平方向に配設され、長手方向に沿って供給口を有し、供給された洗浄液が前記供給口から流出する供給管と、
前記供給管を内部に収容する受け器であって、前記供給管の長手方向に沿って延びる溢水部と、前記溢水部から外側の斜め下方へ延びると共に洗浄液を斜め下方へ流出させる傾斜板と、を有し、前記供給口から流出した洗浄液が前記溢水部から幕状に溢れ出るように構成された受け器と、
を備え、前記溢水部から溢れ出し前記傾斜板に導かれた洗浄液によりワークを洗浄する洗浄装置であって、
前記供給管は、高さ方向において前記受け器の中央よりも下方に設けられ、前記供給口が、前記溢水部の延在方向に対する直交方向に複数並設されると共に、当該複数の供給口は、それぞれから洗浄液が互いに交差しない方向へ流出するように設けられており、前記供給口から流出した洗浄液は、前記受け器内に互いに交差せずに流出して当該受け器内に一旦溜められ、前記受け器に溜められた洗浄液が、前記供給口からの洗浄液の供給に伴って前記溢水部から溢れ出し、
前記受け器は、前記溢水部が設けられた開口部の面積が、前記受け器の内部空間における前記供給管が配置された高さ位置での断面積より大きくなるように構成されている、洗浄装置。 - 前記供給口は、前記供給管の底面に設けられており、洗浄液を下方へ流出させる、請求項1に記載の洗浄装置。
- 前記溢水部は、前記直交方向における前記受け器の両端部のそれぞれに設けられており、
前記供給口は、前記供給管の中心に対して、一方の溢水部側に配置された供給口と、他方の溢水部側に配置された供給口と、を含む、請求項2に記載の洗浄装置。 - 前記供給管の前記供給口は、高さ方向において前記供給管の中央部よりも下方に設けられる、請求項1〜3の何れかに記載の洗浄装置。
- 前記受け器の外側において前記傾斜板に対向するように配置されて前記傾斜板から流れ出た洗浄液を整流する第1整流板をさらに備える、請求項1〜4の何れかに記載の洗浄装置。
- 前記受け器を、前記溢水部の延在方向に直交する方向に移動自在にする移動機構部と、
前記受け器を、前記移動機構部を用いて移動させる駆動源と、
をさらに備える、請求項1〜5の何れかに記載の洗浄装置。 - 前記受け器内において、前記高さ方向における前記供給口と前記溢水部との間に設けられ、前記供給口から前記溢水部へ向けて上方へ流れる洗浄液を整流する第2整流板をさらに備える、請求項1〜6の何れかに記載の洗浄装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2018084780A JP6672368B2 (ja) | 2018-04-26 | 2018-04-26 | 洗浄装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2018084780A JP6672368B2 (ja) | 2018-04-26 | 2018-04-26 | 洗浄装置 |
Related Parent Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2012177786A Division JP6370023B2 (ja) | 2012-08-10 | 2012-08-10 | 洗浄装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2018130722A JP2018130722A (ja) | 2018-08-23 |
JP6672368B2 true JP6672368B2 (ja) | 2020-03-25 |
Family
ID=63249258
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2018084780A Active JP6672368B2 (ja) | 2018-04-26 | 2018-04-26 | 洗浄装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP6672368B2 (ja) |
Family Cites Families (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2568799Y2 (ja) * | 1990-07-10 | 1998-04-15 | 株式会社 カイジョー | ウエハー処理装置 |
JPH06177104A (ja) * | 1992-10-08 | 1994-06-24 | Fuji Electric Co Ltd | ウェーハ洗浄装置 |
JP3857265B2 (ja) * | 2003-10-23 | 2006-12-13 | 島田理化工業株式会社 | スリットシャワーユニット |
JP2005199196A (ja) * | 2004-01-16 | 2005-07-28 | Kaijo Corp | 洗浄方法及び装置 |
JP2006255657A (ja) * | 2005-03-18 | 2006-09-28 | Fujitsu Hitachi Plasma Display Ltd | 液体供給ヘッド |
JP4889565B2 (ja) * | 2007-05-15 | 2012-03-07 | 株式会社日立ハイテクノロジーズ | 洗浄装置、フラットパネルディスプレイの製造装置及びフラットパネルディスプレイ |
-
2018
- 2018-04-26 JP JP2018084780A patent/JP6672368B2/ja active Active
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2018130722A (ja) | 2018-08-23 |
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Date | Code | Title | Description |
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