JP6663084B2 - プローブユニット - Google Patents
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Description
図1は、本発明の実施の形態1にかかるプローブユニットの構成を示す斜視図である。図1に示すプローブユニット1は、検査対象物である半導体集積回路100の電気特性検査を行う際に使用する装置であって、半導体集積回路100と半導体集積回路100へ検査用信号を出力する回路基板200との間を電気的に接続する装置である。
図5は、本発明の実施の形態1の変形例1にかかるプローブユニットを構成する接続部材の構成を示す模式図である。図6は、図5のA−A線断面図である。変形例1にかかる接続部材7Aは、中空円盤状をなす絶縁性の円盤部73と、円盤部73の一部の側面から延出する絶縁性の延出部74と、円盤部73における第2グランド用プローブ6が配設される側の面から、延出部74の第1グランド用プローブ5に向かい合う面にかけて形成される導電性皮膜75とを有する。円盤部73の中空部73aと、導電性皮膜75の開口部75aとは、互いに連通している。中空部73aと開口部75aとにより形成される孔には、信号用プローブ2と、プローブホルダ3の一部とが貫通している(例えば図2を参照)。
図7は、本発明の実施の形態1の変形例2にかかるプローブユニットを構成する接続部材の構成を示す模式図である。図8は、図7のB−B線断面図である。変形例2にかかる接続部材7Bは、中空円盤状をなす絶縁性の円盤部73と、円盤部73の一部の側面から延出する絶縁性の延出部74と、円盤部73における第2グランド用プローブ6が配設される側の面に設けられる導電板76とを有する。
図9は、本発明の実施の形態1の変形例3にかかるプローブユニットを構成する接続部材の構成を示す模式図である。上述した実施の形態1および変形例1では、延出部72の端部側で第1プランジャ51または第2プランジャ52に当接させるものとして説明したが、本変形例3では、第1プランジャ51または第2プランジャ52と接触する部分が孔形状をなす。接続部材7Cは、中空円盤状をなす導電性の円盤部71と、円盤部71の一部の側面から延出する導電性の延出部77とを有する。延出部77には、第1プランジャ51または第2プランジャ52が挿通可能な挿通孔77aが形成されている。例えば、第1プランジャ51が挿通孔77aを貫通する場合、挿通孔77aの内壁の一部と、第1プランジャ51の一部とが接触することによって、接続部材7Cと第1グランド用プローブ5とが電気的に接続される。
図10は、本発明の実施の形態1の変形例4にかかるプローブユニットを構成する接続部材の構成を示す模式図である。本変形例4は、上述した変形例3の延出部77を変形例1に適用した構成である。変形例4にかかる接続部材7Dは、中空円盤状をなす絶縁性の円盤部73と、円盤部73の一部の側面から延出する絶縁性の延出部78と、円盤部73における第2グランド用プローブ6が配設される側の面に設けられる導電板79とを有する。延出部78には、第1プランジャ51または第2プランジャ52が挿通可能な挿通孔78aが形成されている。
図11は、本発明の実施の形態2にかかるプローブユニットの要部の構成を示す部分断面図である。図12は、本発明の実施の形態2にかかるプローブユニットを構成する接続部材の構成を示す模式図である。本実施の形態2にかかるプローブユニットは、上述した信号用プローブ2、第1グランド用プローブ5および第2グランド用プローブ6と、複数のコンタクトプローブを所定のパターンにしたがって収容して保持するプローブホルダ3Aと、プローブホルダ3Aの上面および下面に積層される接続部材8と、プローブホルダ3Aおよび接続部材8の周囲に設けられ、検査の際に複数の信号用プローブ2および第1グランド用プローブ5とそれぞれ接触する半導体集積回路100の位置ずれが生じるのを抑制するホルダ部材4とを有する。
図13は、本発明の実施の形態3にかかるプローブユニットの要部の構成を示す部分断面図である。上述した実施の形態1、2では、複数の第2グランド用プローブ6を用いてインピーダンスを調整するものとして説明したが、本実施の形態3では、接続パイプ9を用いてインピーダンスの調整を行う。
図14は、本発明の実施の形態3の変形例1にかかるプローブユニットの要部の構成を示す部分断面図である。上述した実施の形態3では、接続パイプ9により信号用プローブ2を抜け止めするものとして説明したが、本実変形例では、接続部材8Aにより信号用プローブ2を抜け止めする。
図15は、本発明の実施の形態3の変形例2にかかるプローブユニットの要部の構成であって、導電性パイプの構成を示す部分断面図である。本変形例2では、上述した実施の形態3や変形例1の接続パイプ9、9Aにおいて、導電性パイプ92に代えて図15に示す導電性パイプ92Aを備える。本変形例2は、導電性パイプを変えた以外、実施の形態3(または変形例1)の構成と同じである。以下、上述した構成とは異なる導電性パイプ92Aについて説明する。
図16は、本発明の実施の形態3の変形例3にかかるプローブユニットの要部の構成であって、導電性パイプの構成を示す部分断面図である。本変形例3では、上述した実施の形態3や変形例1の接続パイプ9、9Aにおいて、導電性パイプ92に代えて図16に示す導電性パイプ92Bを備える。本変形例3は、導電性パイプを変えた以外、実施の形態3(または変形例1)の構成と同じである。以下、上述した構成とは異なる導電性パイプ92Bについて説明する。
2 コンタクトプローブ(信号用プローブ)
3、3A プローブホルダ
4 ホルダ部材
5 第1コンタクトプローブ(第1グランド用プローブ)
6 第2コンタクトプローブ(第2グランド用プローブ)
7、7A、7B、7C、8、8A 接続部材
9 接続パイプ
21 第1プランジャ
22 第2プランジャ
23 バネ部材
23a 密着巻き部
23b 粗巻き部
100 半導体集積回路
101、102、201、202 電極
200 回路基板
Claims (11)
- 長手方向の一方の端部側で接触対象の電極とそれぞれ接触する複数のコンタクトプローブと、
外部のグランドに接続する第1のグランド部材と、
前記コンタクトプローブの周囲に設けられる第2のグランド部材と、
前記第1のグランド部材と電気的に接続し、かつ前記第2のグランド部材の一端と電気的に接続する第1の接続部材と、
前記第1のグランド部材と電気的に接続し、かつ前記第2のグランド部材の他端と電気的に接続する第2の接続部材と、
前記コンタクトプローブ、前記第1および第2のグランド部材、ならびに前記第1および第2の接続部材を保持するプローブホルダと、
を備えることを特徴とするプローブユニット。 - 前記第2のグランド部材は、前記コンタクトプローブの周囲に設けられ、各々が前記第1および第2の接続部材と電気的に接続し、長手軸方向に伸縮自在な導電性部材からなる
ことを特徴とする請求項1に記載のプローブユニット。 - 前記第1および第2の接続部材は、板状の導電性部材である
ことを特徴とする請求項1または2に記載のプローブユニット。 - 前記第1および第2の接続部材には、前記第1のグランド部材を挿通しつつ、一部が接触する挿通孔が形成されている
ことを特徴とする請求項3に記載のプローブユニット。 - 前記第1および第2の接続部材は、
絶縁性材料を用いて形成される基部と、
前記基部の外表面のうち、当該第1および第2の接続部材と前記第2のグランド部材とが接続する側の面に設けられ、前記第1のグランド部材と電気的に接続する導電性部材と、
を有することを特徴とする請求項1または2に記載のプローブユニット。 - 前記基部には、前記第1のグランド部材を挿通可能な挿通孔が形成され、
前記導電性部材は、前記第1および第2の接続部材と前記第2のグランド部材とが接続する側の面から前記挿通孔の内壁まで延びている
ことを特徴とする請求項5に記載のプローブユニット。 - 前記導電性部材は、導電性材料からなる皮膜である
ことを特徴とする請求項5または6に記載のプローブユニット。 - 前記導電性部材は、導電性材料からなる板状の部材である
ことを特徴とする請求項5または6に記載のプローブユニット。 - 前記第2のグランド部材は、
前記コンタクトプローブの周囲に設けられる絶縁性のパイプ部材と、
前記パイプ部材の外周に設けられるとともに、前記第1および第2の接続部材と電気的に接続する導電性部材と、
を有することを特徴とする請求項1に記載のプローブユニット。 - 前記導電性部材には、当該導電性部材の長手軸と直交する径方向に貫通する複数の貫通孔が形成されている
ことを特徴とする請求項9に記載のプローブユニット。 - 前記第1の接続部材は、前記第1のグランド部材の一端側に接触し、
前記第2の接続部材は、前記第1のグランド部材の他端側に接触する
ことを特徴とする請求項1に記載のプローブユニット。
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