JP2007285980A - プローブ装置 - Google Patents
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Abstract
【課題】 ウェハー状態或いはベアチップ状態の半導体集積回路素子に対して、グランドインダクタンスを低減しかつリターンパスを最短化して高周波電気的特性を高精度にかつ効率的に測定する。
【解決手段】 絶縁基板2に形成したガイド開口部9を閉塞して取り付けられるグランドシート体4を有し、このグランドシート体4とコンタクトプローブ5の先端部の近傍に位置して測定特性を向上するチップ部品8を搭載する。グランドシート体4は、絶縁樹脂シート16にグランドパターン17を形成してなり、コンタクトプローブ5よりも大きな可撓性を有する。
【選択図】 図8
【解決手段】 絶縁基板2に形成したガイド開口部9を閉塞して取り付けられるグランドシート体4を有し、このグランドシート体4とコンタクトプローブ5の先端部の近傍に位置して測定特性を向上するチップ部品8を搭載する。グランドシート体4は、絶縁樹脂シート16にグランドパターン17を形成してなり、コンタクトプローブ5よりも大きな可撓性を有する。
【選択図】 図8
Description
本発明は、ウェハー状態やベアチップ状態の高周波半導体集積回路素子等を対象物としてその電気的特性を測定する際に好適に用いられるプローブ装置に関する。
電子機器、例えばパーソナルコンピュータ、携帯電話機、ビデオ機器或いはオーディオ機器等の各種モバイル機器においては、小型軽量化、多機能化、高機能化等が図られており、搭載される半導体集積回路素子も極めて厳しい小型化、高精度の高周波特性等が要求されている。半導体集積回路素子は、一般にエポキシ系の絶縁合成樹脂やセラミック等で封止した状態で供給されていたが、小型化の要求に対応するいわゆるベアチップ実装技術等の採用によってベアチップ状態での供給も行われるようになっている。
半導体集積回路素子は、各種のプローブ装置が用いられてウェハー状態やベアチップ状態において所定の電気的特性を有するか否かの測定が行われる。プローブ装置は、多数個の電極が微小ピッチで形成された半導体集積回路素子の電気的特性を測定するために用いられることから、電極ピッチに合わせた微小ピッチで配列された多数個のプローブが備えられる。プローブ装置は、半導体集積回路素子の高周波電気的特性を高精度に測定するために、例えばチップコンデンサ、チップコイル或いは電源とグランド間のデカップリング用コンデンサ等の受動素子部品を備えて半導体集積回路素子とのインピーダンス整合が図られるように構成される。なお、プローブ装置においては、例えば受動素子部品や信号線を交換或いは移動させ得る構造とすることによってインピーダンス整合の調整操作を可能とする対応も図られる。
プローブ装置としては、例えば高周波線路の一種であるコプレナー構造のコプレナー型プローブ装置、ポリイミド等のフレキシブル絶縁フィルム上に電気回路を形成して電極に接触させるための端子を設けたメンブレンプローブ装置或いは同軸ケーブルの信号線の先端を延長してプローブとした同軸プローブ装置等が提供されている。また、特許文献1には、マイクロストリップ伝送構造をセラミック基板等の基板上に形成して信号線から短いニードルプローブを突出させたブレード型装置が開示されている。特許文献2には、絶縁基板の下面に鋸歯状の接地探針を形成した接地プレートを取り付けるとともに、この接地プレートに形成した開口部から高周波探針とバイアス探針とを突出させたプローブカードが開示されている。
しかしながら、かかる高周波用プローブ装置においては、搬送周波数帯域の高帯域化に伴って信号損失が大きくなることから、高精度の測定を行うための改善が必要となってくる。すなわち、高周波用プローブ装置においては、いかにして信号損失を少なくして信号線路の電気的、物理的な距離を最短化してリターンパスを短縮化するかということが重要な課題となる。また、高周波用プローブ装置においては、高周波信号をインピーダンス整合のとれた状態に保持して、最短のリターンパス、最短の信号伝達経路を構成することが課題となる。
また、上述した従来のプローブ装置においては、グランドの開口部の接地面積を充分に取ることができないという問題、或いは高周波信号ラインに対するグランドの引き回しが長くなってしまうといった問題がある。さらに、従来のプローブ装置においては、セラミックブレードを用いて例えば50Ωマッチングで整合したにもかかわらず、整合回路との間隔が大きいプローブの先端部においてインピーダンスが変動してしまうといった問題もあった。
図10乃至図13に示した従来のブレード型プローブ装置100は、図12に示すようにウェハー101の主面上に形成される多数個の高周波半導体集積回路素子(以下、高周波半導体素子と略称する。)102を測定対象物として、それぞれについて所定の電気的特性を直接測定する。プローブ装置100は、絶縁基板103と、多数個のブレード104と、グランド金属箔105と、多数個のコンタクトプローブ106とを備えている。プローブ装置100は、絶縁基板103に、半導体路素子102の電極形成面102aよりも大きな開口寸法を有するガイド開口部107を形成するとともに、第1主面103aと第2主面103bとに引き回されてグランドパターン108を形成する。
プローブ装置100は、各ブレード104が、高周波半導体素子102の電極形成面102aに形成された詳細を省略する多数個の電極(パッド)109と相対され、それぞれの先端部をガイド開口部107の開口縁に臨ませて絶縁基板103の第1主面103a上に放射状に配列される。各ブレード104は、それぞれセラミック等によって略薄板状に形成された誘電基体部110と、この誘電基体部110の内層に設けられた信号線路111及び側面に設けられたグランド導体112とから構成される。各ブレード104は、信号線路111が誘電基体部110の底面に形成されたグランド導体パターン133と対向されてマイクロストリップラインを構成する。各ブレード104は、グランド導体112が絶縁基板103の第1主面103a上において重なることによりグランドパターン108と接続される。
プローブ装置100は、グランド金属箔105が、例えば銅箔等の金属箔が用いられて図12に示すように横長矩形に形成される。グランド金属箔105は、高周波半導体素子102の電極形成面102aよりも大きくかつ絶縁基板103のガイド開口部107の開口幅よりも大きな外形を有しており、中央部に位置して電極形成面102aに形成された電極109を内部に位置させるに足る開口寸法を有する横長矩形の電極開口部114が形成されている。グランド金属箔105は、長さ方向の両端部位がクランク状に折曲されることによってそれぞれグランド接続部115、115を構成する。
グランド金属箔105は、略凹型のアンダーブリッジのような形状を有して絶縁基板103の第2主面103bにガイド開口部107を跨ぐようにして組み合わされ、図11に示すようにグランド接続部115、115を第2主面103bに引き回されたグランドパターン108に対してそれぞれ半田付けされる。したがって、グランド金属箔105には、グランドパターン108を介して各ブレード104のグランド導体112がそれぞれ共通接続される。
プローブ装置100は、各ブレード104が、絶縁基板103の第2主面103b側に臨ませられた誘電基体部110の先端部110aに信号線路111を引き回して形成してプローブ接続部111aを構成し、このプローブ接続部111aにそれぞれコンタクトプローブ106が取り付けられる。各コンタクトプローブ106は、導電性を有する金属薄板或いは薄板材を素材として、リソグラフィー技術や電鋳技術によって微細かつ精密に形成される。各コンタクトプローブ106は、基端部106aをプローブ接続部111aに接続されることによってブレード104に片持ち支持され、略直角に折曲された先端部106bがそれぞれグランド金属箔105に形成した電極開口部114を貫通して突出される。
プローブ装置100は、グランド金属箔105の電極開口部114内に電極形成面102aを位置させるようにして高周波半導体素子102に組み合わされ、この高周波半導体素子102に対して所定の電気的特性の測定を行う。プローブ装置100においては、電極開口部114から突出された各コンタクトプローブ106の先端部106bが、それぞれ高周波半導体素子102の相対する電極109上に圧接する。プローブ装置100においては、各コンタクトプローブ106を介して電極109に測定信号や電源を印加し、その出力を計測することによって各高周波半導体素子102が所定の電気的特性を有するか否かを測定する。
ところで、上述した特許文献1に記載されたブレード型プローブカードは、プローブを支持する絶縁基板の厚みに限界があるために、多数個の電極が微小ピッチで配列された半導体集積回路素子への適用が困難であった。ブレード型プローブカードにおいては、各電極に対してプローブを同時に接触させることが困難であり、例えばプローブを移動させながら測定を行うことも可能ではあるが測定効率が悪くなるとともに高精度の測定も行い得なくなる。
上述した従来のプローブ装置100においては、誘電基体部110に信号線路111とグランド導体112とを設けて構成した各ブレード104にコンタクトプローブ106を取り付けた構造であることから、各コンタクトプローブ106の高周波特性の向上が図られている。プローブ装置100においては、電極開口部114を有するグランド金属箔105を備えて高周波半導体素子102の電極形成面102aを囲むグランド導体を構成することにより、グランド面積の向上を図るとともにグランド接続の簡易化が図られる。
しかしながら、かかるプローブ装置100においても、高周波半導体素子102の電極形成面102aに対して充分なグランド面積を確保することが困難であり、高周波帯域になるにしたがってリターンパスも大きくなる。また、プローブ装置100は、各ブレード104のグランド導体112とグランド金属箔105とを絶縁基板103に引き回して形成したグランドパターン108によって電気的なグランドを接続することから、リターンパスの短縮化が困難であった。したがって、プローブ装置100においても、高周波帯域における信号損失が大きくなることで、例えば高精度の電気的特性が要求される高周波IC(MMIC)等の測定用に用いることができなかった。
したがって、本発明は、ウェハー状態或いはベアチップ状態の半導体集積回路素子に対して、グランドインダクタンスを低減するとともにリターンパスを最短として高周波電気的特性を高精度にかつ効率的に測定することを可能とするプローブ装置を提供することを目的とする。
上述した目的を達成する本発明にかかるプローブ装置は、絶縁基板と多数個のブレードとグランドシート体と多数個のコンタクトプローブと受動素子部品とを備え、高周波半導体集積回路素子の電極形成面に組み合わせてコンタクトプローブを電極に接触させることによりその電気的特性を測定する。プローブ装置は、絶縁基板に、高周波半導体集積回路素子の電極形成面よりも大きな開口寸法を有するガイド開口部が形成される。プローブ装置は、各ブレードが、高周波半導体集積回路素子の電極形成面に形成された電極と相対されるとともにそれぞれの先端部を絶縁基板に形成したガイド開口部内に突出させて第2主面に臨ませるようにして絶縁基板の第1主面上に放射状に配列され、それぞれ誘電基体部とこの誘電基体部に設けられた線路とグランド導体とから構成される。プローブ装置は、グランドシート体が、絶縁基板の第2主面側にガイド開口部を閉塞するようにして設けられ、このガイド開口部の開口縁の近傍において各ブレードのグランド導体と接続されるとともに、高周波半導体集積回路素子の各電極よりも大きな開口寸法を有して対向された各電極を臨ませることにより各電極に対して各コンタクトプローブを接触させる多数個の電極開口部が形成される。プローブ装置は、各コンタクトプローブが、金属薄板により形成されることにより弾性変形特性を有し、先端部を回路基板の相対する電極開口部からそれぞれ突出させて各ブレードの先端部に片持ち支持される。プローブ装置は、受動素子部品が、コンタクトプローブの先端近傍に搭載されて、このコンタクトプローブとグランドシート体とに電気的かつ機械的に接続される。
プローブ装置は、各信号線路用コンタクトプローブに、受動素子部品としてインピーダンスを整合させる整合回路の構成部品或いは終端抵抗素子を搭載する。また、プローブ装置は、電源線路用コンタクトプローブに、受動素子部品としてバイパスコンデンサ素子を搭載する。
プローブ装置は、グランドシート体が、例えばフレキシブル配線基板に用いられるポリイミド樹脂シート等の絶縁樹脂シートを基材としてその主面上にグランドパターンを形成することにより、コンタクトプローブよりも弾性変形しやすい大きな可撓特性を有して構成される。プローブ装置は、絶縁樹脂シートに形成するグランドパターンを、網目状パターンにより構成する。
プローブ装置においては、高周波半導体集積回路素子の電極形成面に組み合わすことにより、グランドシート体に形成した各電極開口部内にそれぞれ相対する電極を臨ませるとともに各電極に対してコンタクトプローブが接触する。プローブ装置においては、各コンタクトプローブを介して高周波半導体集積回路素子の各電極に対して高周波信号や電源を印加し、その出力を検出することによって高周波半導体集積回路素子の電気的特性を測定する。プローブ装置においては、グランドシート体に形成した各電極開口部内にそれぞれ相対する電極を臨ませるようにすることで、高周波半導体集積回路素子の電極形成面に対してほぼ最大限のグランド面積が確保されるようにする。
プローブ装置においては、グランドシート体と各ブレードのグランド導体部が引回しパターンを介さずに直接接続される構造であることから、リターンパスが短縮化されてグランドインダクタンスの低減が図られる。プローブ装置においては、各電極開口部内にそれぞれ相対する電極を位置させるグランドシート体が、コンタクトプローブを介して各電極から入出力される高周波信号の大きな面積を有するグランドとして作用することにより、リターンパスの短縮化を図るようにする。
プローブ装置においては、高周波半導体集積回路素子の電極形成面に設けられた各電極に当接される各コンタクトプローブの先端近傍において、グランドシート体と接続されて所定の電気的特性を得る整合回路や終端抵抗或いはバイパスキャパシタ等を構成する受動素子部品を直接搭載する。プローブ装置においては、高周波半導体集積回路素子に対して近接した位置において各コンタクトプローブに所定の特性向上回路を構成することで、配線引回しの最短化によりインダクタンス成分の低減が図られて、高精度の電気的特性の測定が行われるようにする。
プローブ装置においては、各コンタクトプローブとグランドシート体に対して受動素子部品が例えば半田付けやロウ付け或いは接着剤等により電気的かつ機械的に接続される。プローブ装置においては、各コンタクトプローブが先端部を高周波半導体集積回路素子の相対する電極に当接されることにより弾性変形が生じる。プローブ装置においては、可撓性を付与されたグランドシート体が各コンタクトプローブの弾性変形に追従して弾性変形することで、グランドシート体と各コンタクトプローブとの対向間隔が略一定状態に保持される。したがって、プローブ装置においては、受動素子部品と各コンタクトプローブ及びグランドシート体の接続部位における応力集中が低減され、半田付け部位等におけるクラックや破断の発生が防止される。
本発明にかかるプローブ装置によれば、高周波半導体集積回路素子の各電極に当接される各コンタクトプローブの先端近傍に、各電極をそれぞれ臨ませる多数個の電極開口部を形成したグランドシート体とを接続して所定の電気的特性を得る整合回路や終端抵抗或いはバイパスキャパシタ等を構成する受動素子部品を直接搭載する。プローブ装置によれば、引回し配線の最短化によるインダクタンス成分の低減が図られて、高周波半導体集積回路素子の電気的特性を高精度に測定することが可能となる。
また、プローブ装置によれば、コンタクトプローブよりも弾性変形しやすい大きな可撓特性を付与されたグランドシート体が高周波半導体集積回路素子の相対する電極に当接して弾性変形する各コンタクトプローブに追従して弾性変形することにより、このコンタクトプローブとグランドシート体との間に接続された受動素子部品の接続部位における応力集中を低減する。プローブ装置によれば、受動素子部品の接続部位におけるクラックや破断の発生が抑制されて信頼性の向上が図られる。
以下、本発明の実施の形態として図面に示したプローブ装置1について、詳細に説明する。プローブ装置1も、上述した従来のプローブ装置100と同様に図示しない測定用本体装置に設置され、この本体装置に適宜のハンドリング装置等により供給されるウェハー101の主面上に形成されるいわゆるウェハー状態の多数個の高周波半導体素子102を測定対象物として、1個ずつ順番にその動作確認や所定の高周波電気的特性等の測定、検査を行う。なお、プローブ装置1は、適宜の保持部材に載置された高周波半導体素子にも用いることが可能であることは勿論である。
プローブ装置1も、基本的な構成をプローブ装置100と同様とされ、図1及び図2に示すように、絶縁基板2と、多数個のブレード3と、グランドシート体4と、多数個のコンタクトプローブ5とを備えている。プローブ装置1は、詳細を後述するように、グランドシート体4を絶縁基板2に取り付けるための台座部材6を備える。プローブ装置1は、詳細を後述するが各コンタクトプローブ5にインピーダンス整合回路7を構成するチップ部品8が搭載され、例えば50Ωのマッチング整合を行って高周波半導体素子102の高周波電気的特性を測定する。
プローブ装置1は、絶縁基板2が、適宜の絶縁合成樹脂材料、例えばCFR(Carbon Fiber Reinforced Plastics)等を素材として形成され、詳細を後述するように各ブレード3やグランドシート体4を取り付けるとともに図示しない本体装置のフレームに取り付けられて支持基台を構成する。絶縁基板2には、図1に示すようにその中央部に位置して半導体路素子102の電極形成面102aよりも大きな開口径を有する円形のガイド開口部9が形成されている。
プローブ装置1は、各ブレード3が、高周波半導体素子102の電極形成面102aに形成された詳細を省略する多数個の電極109とそれぞれ相対して同数が備えられる。各ブレード3は、それぞれセラミック等を素材として略薄板状に形成された誘電基体部10と、この誘電基体部10の内層に設けられた信号用伝送線路や電源線路からなる線路11及び側面に設けられたグランド導体12及び線路11と対向する底面に設けられたグランド導体パターン13とから構成される。各ブレード3は、図1及び図2に示すように各誘電基体部10が先端部10aを絶縁基板2側に向かって略直角に折曲されており、この先端部10aをガイド開口部9の開口縁に沿って第2主面2b側に突出させて第1主面2a上に、換言すれば図3に示すように後述するグランドシート体4と対向して放射状に配列して接合される。
各ブレード3は、線路11が、例えば誘電基体部10に銅箔層を形成するとともにこの銅箔層に対してフォトリソグラフィー処理を施すことにより誘電基体部10の長さ方向の全長に亘って形成される。各線路11は、図1に示すように絶縁基板2のガイド開口部9内に突出された誘電基体部10の先端部10aの端面まで引き回し形成されており、この引き回し部位が後述するコンタクトプローブ5を取り付けるプローブ取付部11aを構成する。各線路11は、誘電基体部10の基端部側に引き回されることにより、信号線路が詳細を省略する検出回路部14(図5参照)と高周波専用コネクタを介して接続されるとともに、電源線路が電源15と電源コネクタを介して接続される。各線路11は、誘電基体部10を介してグランド導体パターン13と対向されることによって、高周波信号を効率よく伝送するマイクロストリップラインを構成する。
グランド導体12は、誘電基体部10に形成される上述した線路11の形成工程と同時に、図2に示すように誘電基体部10の側面に沿って大きな面積を有する銅箔層によって形成される。グランド導体12は、絶縁基板2に設けたガイド開口部9に臨ませられた誘電基体部10の先端部10aまで延長して形成されており、この延長部位が後述するグランドシート体4と電気的に接続するグランドシート体接続部12aを構成する。なお、グランド導体12は、各ブレード3において、線路11と絶縁を保持されて誘電基体部10に形成されることは勿論である。
プローブ装置1は、グランドシート体4が、絶縁基板2のガイド開口部9の開口径よりも大きくかつ高周波半導体素子102の電極形成面102aよりも大きな外径を有して図4に示すように円板形に形成される。グランドシート体4は、例えばフレキシブル配線基板等に用いられる可撓特性と絶縁特性を有するポリイミド樹脂シートやポリエステル樹脂シート等の絶縁樹脂シート16を基材とし、この絶縁樹脂シート16の組立状態において絶縁基板2と対向する主面16a上に略全面に亘ってグランドパターン17を形成して構成される。
グランドシート体4には、図2及び図4に示すように高周波半導体素子102に形成された電極109と同数でそれぞれに相対するようにして配列された多数個の電極開口部18が厚み方向に貫通して形成されている。各電極開口部18は、それぞれが高周波半導体素子102の微小な電極109の外形寸法よりもやや大きい開口寸法を有する微小な開口部として精密に形成されており、測定時に図2及び図3に示すように各電極109を1個ずつ対応位置させて臨ませるようにする。
グランドシート体4は、後述するように台座部材6を介して絶縁基板2に対してガイド開口部9を閉塞するようにして位置決めして固定される。グランドシート体4には、図4に示すように外周部の近傍位置に、第1取付孔19Aと第2取付孔19Bとが中心対称で形成されている。グランドシート体4は、例えば第1取付孔19Aが円周方向の長孔として形成されるとともに第2取付孔19Bが直径方向の長孔として形成されることにより、それぞれの長孔の長さ範囲で絶縁基板2に対して円周方向と直径方向とに移動して位置調整が行われて取り付けられる。
グランドシート体4には、後述する構造により絶縁基板2に取り付けた状態で、グランドリード20を介して各ブレード3のグランド導体12がそれぞれ接続される。グランドリード20は、グランドシート体4に対して、図4に示すように取付孔13の内側で各電極開口部18に近接した外側位置でありかつ第1取付孔19Aと第2取付孔19Bの内側位置においてリード接続部21に底面部をそれぞれ半田付けやロウ付け或いはスポット溶接や導電接着剤等による第1接続部26を介して電気的かつ機械的に接続される。したがって、グランドシート体4は、高周波半導体素子102の電極形成面102aにおいて、各電極109のみを相対する各電極開口部18に臨ませるようにして延在することで充分に大きな接地面を構成する。また、グランドシート体4は、各電極開口部18に近接した位置において、グランドリード20を介して最短長を以って各ブレード3のグランド導体12を共通に接続する。
グランドシート体4には、各コンタクトプローブ5に搭載された詳細を後述するチップ部品8がそれぞれ接続される。グランドシート体4は、図4に示すようにそれぞれ各電極開口部18とリード接続部21との間に位置するチップ接続部22において、チップ部品8を第1接続部26を介して電気的かつ機械的に接続する。グランドシート体4は、後述する各コンタクトプローブ5に対してチップ部品8が、高周波半導体素子102の各電極109に当接される測定端部5bに近接した位置において搭載されるようにする。
グランドシート体4は、絶縁樹脂シート16の主面16aに形成するグランドパターン17を、例えば図6に示すように主面16aの全面に適宜に分割されてベタパターンにより構成する。グランドシート体4は、かかるベタパターンからなるグランドパターン17を絶縁樹脂シート16に形成することにより、後述するように基材として用いる絶縁樹脂シート16が有する可撓性が保持される。なお、グランドシート体4は、上述したようにグランドパターン17上においてチップ部品8を第2接続部27により接続し、また図示しないがリード接続部21を介してグランドリード21を接続する。
また、グランドシート体4は、絶縁樹脂シート16の主面16aに形成するグランドパターン17を、例えば図7に示すように主面16aの全面に形成した網目状パターンによって構成するようにしてもよい。グランドシート体4は、網目状パターンによりグランドパターン17を構成することにより絶縁樹脂シート16の可撓性がより保持される。
プローブ装置1においては、上述したように各ブレード3が誘電基体部10の先端部10aを絶縁基板2のガイド開口部9内に突出させるとともに線路11の先端部を引き回すことにより、この先端部にプローブ取付部11aを形成している。プローブ装置1においては、図1に示すようにコンタクトプローブ5が各ブレード3に対して、プローブ取付部11aに基端部5aを半田付けすることによってそれぞれ片持ち状態で取り付けている。各コンタクトプローブ5は、導電性を有する金属薄板等を素材として、リソグラフィー技術や電鋳技術によって微細かつ精密に形成される。
各コンタクトプローブ5は、図2に示すように略直角に折曲されて測定端部5bを構成する先端部がそれぞれグランドシート体4に形成した相対する電極開口部18から200ミクロン程度の突出量を以って貫通される。各コンタクトプローブ5は、後述する測定操作に際して、測定端部5bが高周波半導体素子102の電極109に対して弾性変形しながら圧接することによりスクラブ部を構成する。各コンタクトプローブ5は、その素材の特性により弾性変形特性を有しているが、上述したグランドシート体4よりも剛性が大きく、換言すればグランドシート体4よりも可撓性が小さい。
各コンタクトプローブ5は、上述した素材の特性から厚み方向と高さ方向とに対してある程度の弾性変形が可能とされ、測定端部5bが鋭利な形状に形成されている。各コンタクトプローブ5は、後述するように測定操作に際して各電極開口部18から突出された測定端部5bが、この電極開口部18に臨ませられた高周波半導体素子102の相対する電極109に圧接する。各コンタクトプローブ5は、これによって弾性力が蓄勢され、この弾性力により測定端部5bが電極109との当接状態を保持されるようにする。なお、各コンタクトプローブ5は、プローブ装置1がウェハー状態の高周波半導体素子102の電気的特性を測定する場合に、測定端部5bが電極109の表面に形成された薄い酸化膜層を剥離して電気的接続が確実に行われるようにする。
各コンタクトプローブ5は、図2及び図8に示すように測定端部5bよりも基端側でグランドシート体4と対向する部位にチップ部品8を搭載する。チップ部品8は、上述したように底面側をグランドシート体4のチップ接続部22に接続され、上面側を半田付けやロウ付け或いはスポット溶接や導電接着剤等による第2接続部27を介して電気的かつ機械的に接続される。チップ部品8は、コンタクトプローブ5を介して信号用伝送線路や電源線路からなる線路11とグランドシート体4との間に介在して配置される。
プローブ装置1においては、例えば各チップ部品8がグランドリード20とともにあらかじめグランドシート体4上にグランドパターン17と接続されて実装される。プローブ装置1においては、グランドシート体4が絶縁基板2に設けられた台座部材6を介して位置決めされて組み付けられることにより、各チップ部品8が相対するコンタクトプローブ5と対向される。プローブ装置1においては、この状態で各チップ部品8が第1接続部26により相対するコンタクトプローブ5と接続される。プローブ装置1においては、これにより比較的簡易な作業によりグランドシート体4と微小なコンタクトプローブ5とに対してチップ部品8を正確に取り付けることを可能とする。
プローブ装置1には、例えば図5(A)に示すように線路11の本体装置側の検出回路部14と接続される信号線路23に接続されたコンタクトプローブ5に搭載するチップ部品8として、グランドシート体4を介してグランドに接続されるコンデンサ7Aと抵抗7Bを有してインピーダンス整合機能を奏するインピーダンス整合回路7を構成するチップ部品が搭載される。また、プローブ装置1には、同図(B)に示すように線路11の本体装置側の検出回路部14と接続される信号線路23に接続されたコンタクトプローブ5に搭載するチップ部品8として、コンタクトプローブ5を測定端部5bの近傍においてグランドシート体4を介してグランドに接続することにより測定特性を安定化させる終端抵抗素子8Bが搭載される。プローブ装置1には、例えば同図(C)に示すように線路11の本体装置側の電源15と接続される電源線路24に接続されたコンタクトプローブ5に搭載するチップ部品8として、グランドシート体4を介してグランドに接続される電源用バイパスコンデンサ素子25が搭載される。
プローブ装置1においては、上述したように高周波半導体素子102の各電極109に当接される各コンタクトプローブ5の測定端部5bの近傍において、グランドシート体4との間に接続される特性向上回路を構成するチップ部品8を搭載する。プローブ装置1においては、上述した構成による各コンタクトプローブ5と検出回路部14との間における配線引回しの最短化によるンダクタンス成分の低減と、測定箇所の近傍に配置したチップ部品8との構成とにより、高周波半導体素子102に対して高精度の電気的特性の測定を行うことを可能とする。
プローブ装置1は、絶縁基板2の第2主面2bに、ガイド開口部9を挟んで一対の台座部材6A、6Bが位置決めされて固定されている。台座部材6A、6Bには、図1に示すように上述したグランドシート体4の取付孔19A、19Bに対応して位置決めピン26A、26Bが突設されており、これら位置決めピン26A、26Bを相対する取付孔19A、19Bに嵌合してグランドシート体4が外周部を固定される。台座部材6A、6Bは、グランドシート体4とコンタクトプローブ5とを所定の間隔に保持することにより、グランドシート体4を折曲部を有しない平坦な円板状とする。台座部材6A、6Bは、取付孔19A、19Bの長さ範囲で、グランドシート体4を位置決めして取り付けることを可能とする。
プローブ装置1は、上述したように各ブレード3が誘電基体部10の先端部10aを絶縁基板2のガイド開口部6内に突出させるとともに、この先端部10aまでグランド導体12の先端部を延長してグランドシート体接続部12aを形成している。プローブ装置1においては、図2に示すようにグランドシート体接続部12aに、上述したように一端をリード接続部21に接続したグランドリード20の他端を半田付けやロウ付け或いは接着剤等により電気的かつ機械的に接続する。プローブ装置1においては、グランドリード20を介してグランド導体12とグランドシート体4とが接続される。
プローブ装置1においては、上述した構造によって測定時において高周波半導体素子102の電極形成面102aに接触して最大限の接地面積を構成するグランドシート体4に対して各ブレード3のグランド導体12が共通接続された構造となる。プローブ装置1においては、かかる構造により引き回し配線の短縮化が図られるとともに、全体の配線構造も簡易化される。プローブ装置1においては、各ブレード3のグランド導体12がコンタクトプローブ5や高周波半導体素子102の電極109の近傍位置でグランドシート体4と接続する最短構造とされることによって、線路長の短縮化が図られる。
以上のように構成されたプローブ装置1においては、図8(A)に示すように各コンタクトプローブ5が、その測定端部5bをグランドシート体4に設けた相対する各電極開口部18から突出させる。プローブ装置1においては、供給された高周波半導体素子102に対して、グランドシート体4の各電極開口部18にそれぞれ電極形成面102aに形成した相対する電極109を臨ませるようにして当てがわれ、当該高周波半導体素子102に対して所定の電気的特性の測定を行う。
プローブ装置1おいては、図8(B)に示すように各電極開口部18からそれぞれ突出した各コンタクトプローブ5の測定端部5bが、それぞれ高周波半導体素子102の相対する電極109上に圧接する。プローブ装置1においては、各コンタクトプローブ5を介して高周波信号や電源を電極109に印加し、その出力を検出回路部14において計測することによって高周波半導体素子102の電気的特性を測定する。
プローブ装置1においては、上述したように高周波半導体素子102に対して大きなグランド面積を確保するとともにリターンパスの最短化が図られ、特性向上回路を構成するチップ部品8を各コンタクトプローブ5の測定端部5bの近傍に位置して搭載した構造であることから、信号損失の低減が図られ、高周波数帯域においても信号レベルの減衰量が低減されることによって高精度の測定を行うことが可能である。
プローブ装置1においては、弾性特性を有してブレード3に片持ち支持された各コンタクトプローブ5が測定端部5bを高周波半導体素子102の相対する電極109上に接触し、さらに押し下げ動作が行われると弾性変形しながら図8(B)にΔxで示す上方へと変位する。プローブ装置1においては、上述したように各コンタクトプローブ5が弾性変形することにより弾性力を蓄勢し、この弾性力によって測定端部5bの電極109との圧接状態が保持されて高周波半導体素子102の電気的特性の測定が精密に行われるようにする。
ところで、プローブ装置1においては、図9(A)に示すようにコンタクトプローブ5とグランドシート体4との間に、第1接続部26と第2接続部27により電気的かつ機械的に接続されてチップ部品8が搭載されている。プローブ装置1においては、例えばコンタクトプローブ5よりも大きな剛性特性を有するグランドシート体4Hが用いられる場合に、このグランドシート体4が上述したコンタクトプローブ5の変位動作にかかわらず同図(B)に示すように変位動作が生じることなく初期位置を保持する。したがって、プローブ装置1においては、同図矢印で示すように第1接続部26に対して引き剥がし方向の応力集中が生じ、弾性疲労等によりこの第1接続部26にクラック28が発生したり破損する虞もある。プローブ装置1においては、これによりチップ部品8を搭載して測定特性の向上を図るようにしても、接続部位の破断等によりその機能が損なわれる。
プローブ装置1においては、上述したようにグランドシート体4が絶縁樹脂シート16を基材としてグランドパターン17を形成し、コンタクトプローブ5よりも弾性変形しやすい大きな可撓特性を付与される。プローブ装置1においては、かかる特性を有するグランドシート体4が、図9(C)Δyに示すようにコンタクトプローブ5の変位動作に追従してチップ接続部22を頂点として上方に向かって大きく弾性変形する。換言すれば、プローブ装置1においては、コンタクトプローブ5とグランドシート体4に対して、いわゆるフローティング構造によりチップ部品8を搭載した構成が採用される。
プローブ装置1においては、上述したグランドシート体4の弾性変形動作により、このグランドシート体4とコンタクトプローブ5との対向間隔が一定状態に保持されるようになる。したがって、プローブ装置1においては、コンタクトプローブ5やグランドシート体4にチップ部品8を接続する第1接続部26や第2接続部27における応力集中が低減されるようになる。プローブ装置1においては、これにより第1接続部26や第2接続部27の接続部位におけるクラックや破断の発生が防止され、測定特性の向上を図る機能が保持される。プローブ装置1においては、弾性力が蓄勢されたコンタクトプローブ5に大きな変位が生じた場合でも、グランドシート体4がこれを吸収してクラックの発生等を確実に防止する。
なお、実施の形態として示したプローブ装置1においては、上述したようにブレード3に片持ち支持した微小なコンタクトプローブ5と絶縁樹脂シート16にグランドパターン17を形成したグランドシート体4との間に第1接続部26と第2接続部27を介してチップ部品8を搭載したが、本発明はかかるプローブ装置1に限定されるものでは無い。本発明は、様々な形状及びサイズのコンタクトプローブに対しても対応可能であり、またカンチレバータイプ、同軸タイプ或いはブレードタイプのプローブに対しても対応可能であり、それぞれの測定端部の近傍に位置してチップ部品を設けて測定特性の向上を図ることを可能とする。
1 プローブ装置、2 絶縁基板、3 ブレード、4 グランドシート体、5 コンタクトプローブ、6 台座部材、7 インピーダンス整合回路、8 チップ部品、9 ガイド開口、10 誘電基体部、11 線路、12 グランド導体、13 グランド導体パターン、14 検出回路部、15 電源、16 絶縁樹脂シート、17 グランドパターン、18 電極開口部、19 取付孔、20 グランドリード、21 リード接続部、22 チップ接続部、23 信号線路、24 電源線路、25 位置決めピン、26 第1接続部、27 第2接続部、28 クラック
Claims (5)
- 高周波半導体集積回路素子の電極形成面に組み合わせることによりその電気的特性を測定するプローブ装置において、
上記高周波半導体集積回路素子の電極形成面よりも大きな開口寸法を有するガイド開口部が形成された絶縁基板と、
上記高周波半導体集積回路素子の上記電極形成面に形成された各電極と相対されるとともにそれぞれの先端部を上記ガイド開口部内に突出させて第2主面に臨ませるようにして上記絶縁基板の第1主面上に放射状に配列され、それぞれ誘電基体部と、この誘電基体部に設けられた線路と、グランド導体とから構成される多数個のブレードと、
上記絶縁基板の第2主面側に上記ガイド開口部を閉塞するようにして設けられ、上記ガイド開口部の開口縁の近傍において上記各ブレードの上記グランド導体と接続されるとともに、上記高周波半導体集積回路素子の上記各電極よりも大きな開口寸法を有して対向された上記各電極を臨ませることにより上記各電極に対して上記各コンタクトプローブを接触させる多数個の電極開口部が形成されたグランドシート体と、
金属薄板により形成されることにより弾性変形特性を有し、先端部を上記回路基板に相対して設けられた上記電極開口部からそれぞれ突出させて上記各ブレードの先端部に片持ち支持される多数個のコンタクトプローブと、
上記コンタクトプローブの先端近傍に搭載されて、このコンタクトプローブと上記グランドシート体とに電気的かつ機械的に接続される受動素子部品と
を備えることを特徴とするプローブ装置。 - 上記受動素子部品が、信号線路用コンタクトプローブに搭載されてインピーダンスを整合させる整合回路構成部品或いは終端抵抗素子であることを特徴とする請求項1に記載のプローブ装置。
- 上記受動素子部品が、電源線路用コンタクトプローブに搭載されたバイパスコンデンサ素子であることを特徴とする請求項1に記載のプローブ装置。
- 上記グランドシート体が、絶縁樹脂シートを基材としてその主面にグランドパターンを形成して構成され、上記コンタクトプローブよりも弾性変形しやすい可撓特性を有することを特徴とする請求項1に記載のプローブ装置。
- 上記グランドパターンが、上記絶縁樹脂シートの主面に、網目状パターンにより形成されることを特徴とする請求項4に記載のプローブ装置。
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