JP6774590B1 - プローブユニット - Google Patents
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Abstract
Description
図1は、本発明の実施の形態1にかかるプローブユニットの要部の構成を示す部分断面図である。図1に示すプローブユニット1は、検査対象物である半導体集積回路(後述する半導体集積回路100)の電気特性検査を行う際に使用する装置であって、半導体集積回路と半導体集積回路へ検査用信号を出力する回路基板(後述する回路基板200)との間を電気的に接続する装置である。
ホルダ孔33〜36の形成位置は、半導体集積回路100の検査信号用の配線パターンに応じて定められる。また、各ホルダ孔の形状は、収容する信号用プローブ2やグランド用プローブ4の構成に応じて定められる。
また、ホルダ孔34および36は、互いの軸線が一致するように形成されている。ホルダ孔34および36は、ともに貫通方向に沿って直径が異なる段付き孔形状をなしている。すなわち、ホルダ孔34は、プローブホルダ3の端面に開口を有する小径部34aと、この小径部34aよりも直径が大きい大径部34bとからなる。
ホルダ孔36は、プローブホルダ3の端面に開口を有する小径部36aと、この小径部36aよりも直径が大きい大径部36bとからなる。
絶縁部材37は、プローブホルダ3の端面に開口を有する小径部37aと、この小径部37aよりも直径が大きい大径部37bとからなる。
絶縁部材38は、プローブホルダ3の端面に開口を有する小径部38aと、この小径部38aよりも直径が大きい大径部38bとからなる。
第1プランジャ41は、ホルダ孔34の小径部34aと大径部34bとの境界壁面にフランジが当接することにより、グランド用プローブ4のプローブホルダ3からの抜止機能を有する。また、第2プランジャ42は、ホルダ孔36の小径部36aと大径部36bとの境界壁面にフランジが当接することにより、グランド用プローブ4のプローブホルダ3からの抜止機能を有する。
貫通孔51の直径は、貫通孔52の直径よりも大きい。なお、半導体集積回路100の電極の大きさが異なる場合、電極の大きさと貫通孔51間の隙間が電極の大きさと貫通孔52間の隙間より大きければよい。フローティング5を用いることによって、コンタクトプローブに対する電極(半導体集積回路100)の位置を容易に決めることができる。なお、ここでいう直径とは、貫通方向と直交する方向の長さをさす。
図3は、本発明の実施の形態1の変形例1にかかるプローブユニットの要部の構成を示す部分断面図である。変形例1にかかるプローブユニットは、上述したフローティング5に代えてフローティング5Aを備える。そのほかの構成についてはプローブユニット1と同じ構成であるため、説明を省略する。フローティング5Aは、貫通孔51の内周面に、絶縁部材55が設けられる。絶縁部材55は、ポリテトラフルオロエチレン(Polytetrafluoroethylene:PTFE)等の絶縁性材料を用いて形成され、筒状をなしている。絶縁部材55の外周の直径は、貫通孔51の直径と同じである。また、絶縁部材55の内周の直径は、電極101の最大径よりも大きく、かつ貫通孔52の直径以下である。なお、絶縁部材に代えて絶縁性の皮膜としてもよい。
図4は、本発明の実施の形態1の変形例2にかかるプローブユニットの要部の構成を示す部分断面図である。変形例2にかかるプローブユニットは、上述したフローティング5に代えてフローティング5Bを備える。そのほかの構成についてはプローブユニット1と同じ構成であるため、説明を省略する。フローティング5Bは、上述した貫通孔51に代えて貫通孔51Aが形成されている。なお、その他の構成は、フローティング5と同じである。
図5は、本発明の実施の形態1の変形例3にかかるプローブユニットの要部の構成を示す部分断面図である。変形例3にかかるプローブユニットは、上述したフローティング5に代えてフローティング5Cを備える。そのほかの構成についてはプローブユニット1と同じ構成であるため、説明を省略する。フローティング5Cは、上述した貫通孔51に代えて貫通孔51Bが形成されている。なお、その他の構成は、フローティング5と同じである。
図6は、本発明の実施の形態2にかかるプローブユニットの要部の構成を示す部分断面図であって、プローブユニット1Aにおける半導体集積回路100の検査時の状態を示す図である。本実施の形態2にかかるプローブユニット1Aは、上述したプローブユニット1のプローブホルダ3に代えてプローブホルダ3Aを備える。そのほかの構成についてはプローブユニット1と同じ構成であるため、説明を省略する。
ホルダ孔33Aおよび35Aは、互いの軸線が一致するように形成されている。
ホルダ孔34Aおよび36は、互いの軸線が一致するように形成されている。
ホルダ孔34Aは、貫通方向に沿って一様な径を有する孔形状をなしている。
また、ホルダ孔33A、35Aおよび36は、ともに貫通方向に沿って径が異なる段付き孔形状をなしている。すなわち、ホルダ孔33Aは、プローブホルダ3の端面に開口を有する小径部33aと、この小径部33aよりも径が大きい大径部33bとからなる。
ホルダ孔35Aは、プローブホルダ3の端面に開口を有する小径部35aと、この小径部35aよりも径が大きい大径部35bとからなる。
図8は、本発明の実施の形態3にかかるプローブユニットの要部の構成を示す部分断面図であって、プローブユニット1Bにおける半導体集積回路100の検査時の状態を示す図である。本実施の形態3にかかるプローブユニット1Bは、上述したプローブユニット1のベース部材6に代えてベース部材6Aを備える。そのほかの構成についてはプローブユニット1と同じ構成であるため、説明を省略する。なお、本実施の形態3では、フローティング5にアース電位接続用の導電ピン81が取り付けられ、プローブホルダ3にアース電位接続用の導電ピン82が取り付けられている。導電ピン81、82は、例えば導電性のネジによって構成される。
ここで、アース導線83は、導電ピン81に接続している。また、アース導線84は、導電ピン82に接続している。
2 コンタクトプローブ(信号用プローブ)
3、3A プローブホルダ
4 コンタクトプローブ(グランド用プローブ)
5、5A、5B、5C フローティング
6、6A ベース部材
7 導電部材
21、41 第1プランジャ
22、42 第2プランジャ
23、43、54 バネ部材
23a、43a 密着巻き部
23b、43b 粗巻き部
51、52 貫通孔
53 接続ピン
71 円盤部
71a 第1孔部
72 延出部
72a 第1収容部
72b 第2収容部
100 半導体集積回路
101、102、201、202 電極
200 回路基板
Claims (6)
- 長手方向の一方の端部側で、接触対象に設けられた信号用の電極と接触する第1のコンタクトプローブと、
長手方向の一方の端部側で、前記接触対象に設けられたグランド用の電極と接触する第2のコンタクトプローブと、
前記第1のコンタクトプローブを挿通する第1ホルダ孔と、前記第2のコンタクトプローブを挿通する第2ホルダ孔とが形成されたプローブホルダと、
一端側から前記第1のコンタクトプローブの一方の端部が挿入され、他端側から前記信号用の電極が挿入される第1貫通孔と、一端側から前記第2のコンタクトプローブの一方の端部が挿入され、他端側から前記グランド用の電極が挿入され、開口の大きさが前記第1貫通孔の開口の大きさとは異なる第2貫通孔とが形成された導電性のフローティングと、
を備え、
前記プローブホルダは、少なくとも前記第1ホルダ孔の内周面が絶縁性を有し、
前記第1のコンタクトプローブの中心軸と、前記フローティングの前記第1貫通孔の中心軸とが一致した同軸構造をなす
ことを特徴とするプローブユニット。 - 前記フローティングは、直接または間接的に前記第2のコンタクトプローブと電気的に接続する
ことを特徴とする請求項1に記載のプローブユニット。 - 前記第1貫通孔の最大直径は、前記第2貫通孔の最大直径よりも大きい
ことを特徴とする請求項1または2に記載のプローブユニット。 - 前記第1貫通孔の内周面には、筒状の絶縁部材が設けられ、
前記絶縁部材の内周面の直径は、前記第2貫通孔の直径以下である
ことを特徴とする請求項1〜3のいずれか一つに記載のプローブユニット。 - 前記第1貫通孔は、前記第1のコンタクトプローブの一方の端部と、前記信号用の電極とに応じた直径を有する段付き形状をなす
ことを特徴とする請求項1〜4のいずれか一つに記載のプローブユニット。 - 前記フローティングは、
前記プローブホルダに対して位置決めする接続ピン、
を備え、
前記プローブホルダは、
前記第1ホルダ孔と、前記第2ホルダ孔の一部を構成する部分ホルダ孔とが形成された絶縁性の本体部と、
前記第2ホルダ孔の一部を構成し、前記第2のコンタクトプローブを挿通する第1孔部と、前記接続ピンの一部を収容する第2孔部とを有する導電性の導電部材と、
を備えることを特徴とする請求項1〜5のいずれか一つに記載のプローブユニット。
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