JP6659062B2 - ナノ粒子評価方法およびナノ粒子観察装置 - Google Patents
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Description
図1は、本発明の実施形態に係るナノ粒子観察装置10を模式的に示している。ナノ粒子観察装置10は、ステージ12と、光源である白色LED14と、集光レンズ16,18と、マルチモードファイバー20と、偏光フィルター22と、接眼レンズ24と、投影レンズ26と、デジタル機器であるカラーデジタルカメラ28と、デジタル処理装置であるコンピュータ30と、走査型プローブ顕微鏡であるAFM40とを備えている。
本発明の実施形態に係るナノ粒子評価方法は、照射工程と、測定工程と、算出工程と、評価工程と、観察工程とを備えている。本実施形態のナノ粒子評価方法は、ナノ粒子観察装置10を使って行ってもよいし、他の装置を使って行ってもよい。照射工程では、分散しているナノ粒子を含む試料のナノ粒子に、三原色を含む光を照射する。測定工程では、ナノ粒子による光の散乱光の波長と強度を測定する。測定工程では、撮像素子で認識された散乱光の波長と強度をデジタルデータとして記録する過程を含むことが好ましい。
12 ステージ
14 白色LED
16,18 集光レンズ
20 マルチモードファイバー
22 偏光フィルター
24 対物レンズ
26 投影レンズ
28 カラーデジタルカメラ
30 コンピュータ
40 AFM
42 ステージ制御装置
44 AFMヘッド
46 AFMカンチレバー
48 探針
S 試料
P 基板
N ナノ粒子
Claims (12)
- 分散しているナノ粒子を含む試料の前記ナノ粒子に、三原色を含む光を照射する照射工程と、
前記ナノ粒子による前記光の散乱光の波長と強度を測定する測定工程と、
前記測定工程で測定された散乱光の波長と強度から、三原色の光の強度の総和である全散乱光強度と、青色の光の強度である青色光強度と、前記全散乱光強度に対する前記青色光強度の割合である青色光比率とを、前記試料の所定の領域内で算出する算出工程と、
前記青色光比率を指標として、前記ナノ粒子の分散状態を前記領域内の所定の部分ごとに評価する評価工程と、
を有するナノ粒子評価方法。 - 請求項1において、
前記評価工程では、さらに前記全散乱光強度を指標として、前記ナノ粒子の分散状態を前記領域内の所定の部分ごとに評価するナノ粒子評価方法。 - 請求項1または2において、
前記試料が、基板と、前記基板上で分散しているナノ粒子とを含み、
前記照射工程では、基板上面に対して斜め方向に前記光を照射するナノ粒子評価方法。 - 請求項1から3のいずれかにおいて、
前記評価工程で評価した前記試料の所定の部分ごとの前記ナノ粒子の分散状態に基づいて、前記試料の観察部分を選定し、電子顕微鏡および走査型プローブ顕微鏡の少なくとも一方で前記観察部分を観察する観察工程をさらに有するナノ粒子評価方法。 - 請求項1から4のいずれかにおいて、
前記ナノ粒子の平均粒径が50〜100nmであるナノ粒子評価方法。 - 請求項1から5のいずれかにおいて、
前記測定工程では、撮像素子で認識された前記散乱光の波長と強度をデジタルデータとして記録する過程を含むナノ粒子評価方法。 - 分散しているナノ粒子を含む試料を載置するためのステージと、
前記試料が載置された状態で、前記ステージの上面に対して斜め方向から、前記ナノ粒子に三原色を含む光を照射するように設けられた光源と、
前記光源から照射された前記光の前記ナノ粒子による散乱光のうち、前記試料の所定の領域内の散乱光の波長と強度をデジタルデータとして記録するデジタル機器と、
前記デジタル機器が記録したデジタルデータに基づいて、青色の光の強度である青色光強度と、三原色の光の強度の総和である全散乱光強度と、前記全散乱光強度に対する前記青色光強度の割合である青色光比率とを、前記試料の所定の領域内で算出し、前記青色光比率を指標として、前記ナノ粒子の分散状態を前記領域内の所定の部分ごとに評価するデジタル処理装置と、
前記ステージの上面と対向するように設けられた探針と、前記ステージを三次元に移動するステージ制御装置とを備える走査型プローブ顕微鏡と、
を有するナノ粒子観察装置。 - 分散しているナノ粒子を含む試料を載置するためのステージと、
前記試料が載置された状態で、前記ステージの上面に対して斜め方向から、前記ナノ粒子に三原色を含む光を照射するように設けられた光源と、
前記光源から照射された前記光の前記ナノ粒子による散乱光のうち、前記試料の所定の領域内の散乱光の波長と強度をデジタルデータとして記録するデジタル機器と、
前記デジタル機器が記録したデジタルデータに基づいて、青色の光の強度である青色光強度と、三原色の光の強度の総和である全散乱光強度と、前記全散乱光強度に対する前記青色光強度の割合である青色光比率とを、前記試料の所定の領域内で算出し、前記青色光比率を指標として、前記ナノ粒子の分散状態を前記領域内の所定の部分ごとに評価するデジタル処理装置と、
前記ステージの上面と対向するように設けられた電子銃と、前記ステージを三次元に移動するステージ制御装置とを備える電子顕微鏡と、
を有するナノ粒子観察装置。 - 請求項7または8において、
前記デジタル機器がカラーデジタルカメラであるナノ粒子観察装置。 - 請求項7から9のいずれかにおいて、
前記ステージと前記デジタル機器の間に、光学顕微鏡をさらに有するナノ粒子観察装置。 - 請求項7から10のいずれかにおいて、
前記ステージと前記光源の間に、前記光源が射出した光の偏光を変えられる偏光フィルターをさらに有するナノ粒子観察装置。 - 請求項7から11のいずれかにおいて、
前記光源が、前記ナノ粒子に照射する前記光の入射角を変更できるナノ粒子観察装置。
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