JP5517000B2 - 粒径計測装置、及び粒径計測方法 - Google Patents
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Description
1.偏光比法を用いた粒径計測方法の原理説明
2.本発明の一実施形態に係る粒径計測装置
2−1 粒径計測装置の概略構成
2−2 粒径計測方法
本発明の一実施形態に係る粒径計測装置及び粒径計測方法の説明に先立ち、偏光比法を用いた粒径計測方法の原理を説明する。
以降、図1と図2の区別なく、散乱光について同じ定式化を行う。
次に、以上の原理説明を踏まえて、本発明の一実施形態に係る粒径計測装置及び粒径計測方法について説明する。
図5は、本実施形態例の粒径計測装置1の概略構成図である。図5に示すように、本実施形態例の粒径計測装置1は、光源2と、光学レンズ3と、被計測粒子群4と、散乱光検出装置5と、算出部であるコンピュータ6とを有して構成されている。また、図6Aに本実施形態例の粒径計測装置1における光学系の概略構成図を示し、光の散乱場(直線偏光光源)を具体的に示す。図6Aにおいて、図5に対応する部分には同一符号を付して説明する。
次に、本実施形態例の粒径計測装置1を用いた粒径計測方法を、実際の実験例を示しながら説明する。
また、図8A〜Cにおける偏光比ρの計測値も、光源波長毎に異なる値が計測される。
図15は、変形例における粒径計測装置20の概略構成図である。図15において図6A,Bに対応する部分には同一符号を付し重複説明を省略する。
2(2A,2B,2C)・・光源
3・・光学レンズ
4・・被計測粒子群
5・・散乱光検出装置
6・・コンピュータ
7・・石英セル
Claims (10)
- 複数の異なる波長の光を浮遊する被計測粒子又は被計測粒子群に照射するために射出する光源と、
被計測粒子又は被計測粒子群に前記光が照射されることによって散乱された散乱光のうち、第1の偏波面を有する散乱光からなる第1の散乱光と、前記第1の偏波面に垂直な第2の偏波面を有する散乱光からなる第2の散乱光を、前記光源から射出される光の波長を変えながら検出する散乱光検出装置と、
前記散乱光検出装置で検出された前記第1の散乱光と前記第2の散乱光との輝度を数値化し、数値化された前記第1の散乱光の輝度と前記第2の散乱光の輝度の比による偏光比を前記光源から射出される光の波長毎に算出し、波長毎に得られた複数の偏光比と予め保持している解析解とを比較することにより、前記被計測粒子又は前記被計測粒子群の粒径を算出する算出部と、
を有して構成される粒径計測装置。 - 前記光源からは、3つの異なる波長のレーザ光が射出され、前記偏光比は3つの異なる波長毎に算出される、
請求項1に記載の粒径計測装置。 - 前記光源から射出されるレーザ光は、直線偏光である、
請求項1又は2に記載の粒径計測装置。 - 前記光源と前記被計測粒子又は前記被計測粒子との間の領域であって、前記光源から射出される光の光軸上には、前記光の光路を調整する光学レンズが構成されている
請求項1〜3のいずれかに記載の粒径計測装置。 - 前記散乱光検出装置は、前記光源から射出される光の光軸に対して、散乱角度50°〜80°で散乱される散乱光を検出できる位置に配置されている、
請求項1〜4のいずれかに記載の粒径計測装置。 - 光源から波長の異なる複数の光を射出し、浮遊する被計測粒子又は被計測粒子群に照射する工程と、
前記被計測粒子によって散乱された散乱光のうち、第1の偏波面を有する散乱光からなる第1の散乱光と、前記第1の偏波面に垂直な第2の偏波面を有する散乱光からなる第2の散乱光を前記光の波長を異ならせながら所望の散乱光検出装置で検出する工程と、
前記散乱光検出装置で検出された前記第1の散乱光と前記第2の散乱光との輝度を数値化し、数値化された前記第1の散乱光の輝度と前記第2の散乱光の輝度の比による偏光比を、前記光源から射出された光の波長毎に算出し、波長毎に得られた複数の偏光比と理論的に導出された解析解とを比較することにより、前記被計測粒子の粒径を算出する工程と、
を含む粒径計測方法。 - 前記光源からは3つの異なる波長の光を射出し、前記偏光比は3つの異なる波長毎に算出する、
請求項6に記載の粒径計測方法。 - 前記光源から射出される光は、直線偏光である、
請求項6又は7に記載の粒径計測方法。 - 前記光源と前記被計測粒子又は前記被計測粒子との間の領域であって、前記光源から射出される光の光軸上には、前記光の光路を調整する光学レンズが構成されている
請求項6〜8のいずれかに記載の粒径計測方法。 - 前記散乱光検出装置での検出は、前記光源から射出される光の光軸に対して散乱角度50°〜80°で散乱される散乱光を検出できる位置から行う、
請求項6〜9のいずれかに記載の粒径計測方法。
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