JP6644745B2 - 紫外線光素子、紫外線光素子用パッケージ及び紫外線光素子に用いられる光学部材並びにその光学部材の製造方法 - Google Patents
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Description
紫外線を発光する光素子と、
前記光素子が実装されるセラミック製のパッケージ基板と、
前記基板に実装された前記光素子と対向する部分にレンズを有し、前記基板に接合される光学部材と、を備えた紫外線光素子であって、
前記光学部材は、軟化点が1000℃以下であり、且つ波長250〜400nmの光に対する平均透過率が80%以上であるガラスで形成されており、
前記光学部材のうち前記基板との接合部には、該接合部と略同形状であって、前記ガラスの熱膨張係数と略等しい熱膨張係数を有する金属で形成された枠体が一体的に接合されており、
前記基板のうち前記光学部材との接合部には、メタライズ処理が施されたメタライズ部が形成されており、
前記枠体と前記メタライズ部とが無機材料により接合されることを特徴とする。
紫外線を発光する光素子が実装されるセラミック製のパッケージ基板と、前記基板に接合される光学部材と、を備えた紫外線光素子用パッケージであって、
前記光学部材は、軟化点が1000℃以下であり、且つ波長250〜400nmの光に対する平均透過率が80%以上であるガラスで形成されており、
前記光学部材のうち前記基板との接合部には、該接合部と略同形状であって、前記ガラスの熱膨張係数と略等しい熱膨張係数を有する金属で形成された枠体が一体的に接合されており、
前記基板のうち前記光学部材との接合部には、メタライズ処理が施されたメタライズ部が形成されており、
前記枠体と前記メタライズ部とが無機材料により接合されることを特徴とする。
紫外線を発光する光素子が実装されるセラミック製の基板に接合される光学部材であって、
軟化点が1000℃以下であり、且つ波長250〜400nmの光に対する平均透過率が80%以上であるガラスで形成されており、
前記光学部材のうち前記基板との接合部には、該接合部と略同形状であって、前記ガラスの熱膨張係数と略等しい熱膨張係数を有する金属で形成された枠体が一体的に接合されていることを特徴とする。
紫外線を発光する光素子が実装されるセラミック製の基板に接合される光学部材の製造方法であって、
軟化点が1000℃以下であり、且つ波長250〜400nmの光に対する平均透過率が80%以上であるガラスを所定サイズのガラスペレットに切断する工程と、
前記ガラスの熱膨張係数と略等しい熱膨張係数を有する金属を、前記基板のうち前記光学部材との接合部と略同形状の枠体に形成する工程と、
前記枠体の表面に酸化膜を形成し、該酸化膜によって前記枠体と前記ガラスと封止接合する工程と、
窒素ガス環境下において、所定形状に形成された治具に前記枠体及び前記ガラスペレットを載置し、前記軟化点よりも高い第1の温度に加熱して前記ガラスペレットを溶融させ、前記治具の形状を転写させた所定形状の光学部材を成形する工程と、
前記枠体のうち前記ガラスと接合していない面の酸化膜を除去する工程と、を備えたことを特徴とする。
前記ガラスの軟化点よりも高く前記第1の温度よりも低い第2の温度に加熱し、前記光学部材の表面を熱研磨する工程を更に備えることが好ましい。
前記治具は、カーボンパウダーを固めて成形したものであることが好ましい。
2 光素子
3 パッケージ基板(基板)
3F 基板
4 光学部材
5 枠体
10 ガラスペレット
20 治具
25 治具
33 上端部(接合部、メタライズ部)
41、42 レンズ
Claims (10)
- 紫外線を発光する光素子と、
前記光素子が実装されるセラミック製の基板と、
前記基板に実装された前記光素子と対向する部分にレンズを有し、前記基板に接合される光学部材と、を備えた紫外線光素子であって、
前記光学部材は、軟化点が1000℃以下であり、且つ波長250〜400nmの光に対する平均透過率が80%以上であるガラスで形成されており、
前記光学部材のうち前記基板との接合部には、該接合部と略同形状であって、前記ガラスの熱膨張係数と略等しい熱膨張係数を有する金属で形成された枠体が一体的に接合されており、
前記基板のうち前記光学部材との接合部には、メタライズ処理が施されたメタライズ部が形成されており、
前記枠体と前記メタライズ部とが無機材料により接合されることを特徴とする紫外線光素子。 - 前記枠体は、その表面に形成された酸化膜によって前記ガラスと封止接合されることを特徴とする請求項1に記載の紫外線光素子。
- 前記枠体と前記メタライズ部とは、金属プリフォームにより接合されることを特徴とする請求項1又は請求項2に記載の紫外線光素子。
- 前記枠体は、前記メタライズ部と接合される面が前記光学部材の前記基板と対向する面から露出するように、前記光学部材に埋没されていることを特徴とする請求項1乃至請求項3のいずれか一項に記載の紫外線光素子。
- 前記基板には、複数の前記光素子が所定の配列パターンで実装され、
前記光学部材は、前記光素子の配列パターンに対応するように配列された複数のレンズを有することを特徴とする請求項1乃至請求項4のいずれか一項に記載の紫外線光素子。 - 紫外線を発光する光素子が実装されるセラミック製の基板と、前記基板に接合される光学部材と、を備えた紫外線光素子用パッケージであって、
前記光学部材は、軟化点が1000℃以下であり、且つ波長250〜400nmの光に対する平均透過率が80%以上であるガラスで形成されており、
前記光学部材のうち前記基板との接合部には、該接合部と略同形状であって、前記ガラスの熱膨張係数と略等しい熱膨張係数を有する金属で形成された枠体が一体的に接合されており、
前記基板のうち前記光学部材との接合部には、メタライズ処理が施されたメタライズ部が形成されており、
前記枠体と前記メタライズ部とが無機材料により接合されることを特徴とする紫外線光素子用パッケージ。 - 紫外線を発光する光素子が実装されるセラミック製の基板に接合される光学部材であって、
軟化点が1000℃以下であり、且つ波長250〜400nmの光に対する平均透過率が80%以上であるガラスで形成されており、
前記光学部材のうち前記基板との接合部には、該接合部と略同形状であって、前記ガラスの熱膨張係数と略等しい熱膨張係数を有する金属で形成された枠体が一体的に接合されていることを特徴とする光学部材。 - 紫外線を発光する光素子が実装されるセラミック製の基板に接合される光学部材の製造方法であって、
軟化点が1000℃以下であり、且つ波長250〜400nmの光に対する平均透過率が80%以上であるガラスを所定サイズのガラスペレットに切断する工程と、
前記ガラスの熱膨張係数と略等しい熱膨張係数を有する金属を、前記基板のうち前記光学部材との接合部と略同形状の枠体に形成する工程と、
前記枠体の表面に酸化膜を形成し、該酸化膜によって前記枠体と前記ガラスと封止接合する工程と、
窒素ガス環境下において、所定形状に形成された治具に前記枠体及び前記ガラスペレットを載置し、前記軟化点よりも高い第1の温度に加熱して前記ガラスペレットを溶融させ、前記治具の形状を転写させた所定形状の光学部材を成形する工程と、
前記枠体のうち前記ガラスと接合していない面の酸化膜を除去する工程と、を備えたことを特徴とする光学部材の製造方法。
- 前記ガラスの軟化点よりも高く前記第1の温度よりも低い第2の温度に加熱し、前記光学部材の表面を熱研磨する工程を更に備えることを特徴とする請求項8に記載の光学部材の製造方法。
- 前記治具は、カーボンパウダーを固めて成形したものであることを特徴とする請求項8又は請求項9に記載の光学部材の製造方法。
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