JP2014145859A

JP2014145859A - レンズ付き蓋体の製造方法

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Publication number: JP2014145859A
Application number: JP2013013589A
Authority: JP
Inventors: Saki Ishikawa; 沙季石川; Shintaro Hayashi; 真太郎林; Tomohiro Nakatani; 友洋中谷; Hiroshi Fukushima; 博司福島
Original assignee: Panasonic Corp
Current assignee: Panasonic Corp
Priority date: 2013-01-28
Filing date: 2013-01-28
Publication date: 2014-08-14
Also published as: TW201431131A; WO2014115205A1

Abstract

【課題】歩留まりの向上を図ることが可能なレンズ付き蓋体の製造方法を提供する。
【解決手段】レンズ付き蓋体１は、金属により形成された蓋体２と、硼珪酸ガラスにより形成されたレンズ３とを備え、蓋体２が、筒体２０と、第１フランジ２１と、第２フランジ２２とを有し、レンズ３が、窓孔２３を塞ぐように第２フランジ２２に溶着されている。レンズ付き蓋体１の製造方法では、筒体２０の内側に嵌め込まれる第１型４、筒体２０の外側に位置させる第２型５、レンズ３の元になるレンズ素材３０、及び筒状の外枠６、を配置する第１ステップと、外枠６の外側からレンズ素材３０を加熱して溶融させてから冷却することによりレンズ３を成形し且つレンズ３と第２フランジ２２とを溶着させる第２ステップと、レンズ付き蓋体１を第１型４、第２型５及び外枠６から取り外す第３ステップとを備える。第１型４、第２型５及び外枠６の材料を窒化珪素とする。
【選択図】図１

Description

本発明は、レンズ付き蓋体の製造方法に関するものである。

レンズ付き蓋体は、例えば、光電変換素子を収納するパッケージに用いられている。この種のパッケージとしては、例えば、レンズ付き蓋体と、このレンズ付き蓋体が固着される基台とを備えたＣＡＮパッケージが広く知られている。光電変換素子としては、電気エネルギを光に変換する発光素子や、光を電気エネルギに変換する受光素子等がある。

レンズ付き蓋体の製造方法としては、例えば、グラファイト製の下部冶具及びグラファイト製の上部冶具を金属シェル（蓋体）に接触させた状態で、金属シェルのレンズ封着穴にレンズを溶着するようにした製造方法がある（特許文献１）。ここで、金属シェルは、コバール（Ｆｅ−Ｎｉ−Ｃｏ合金）により形成されている。レンズは、硼珪酸ガラスにより形成されている。

特開昭５６−１９６８５号公報

上述のレンズ付き蓋体の製造方法では、下部冶具及び上部冶具の線膨張係数がガラスレンズの線膨張係数よりも大きく、硼珪酸ガラスの方がコバールよりも圧縮に強いので、冷却の際に金属シェルが変形してしまうことがある。金属シェルが変形した場合には、レンズ付き蓋体を、下部冶具及び上部冶具から取り外しにくくなることがある。また、上述のレンズ付き蓋体の製造方法では、冷却時にレンズにかかる応力により、レンズに割れが発生したり、気密性が低下し、歩留まりが低下してしまうことも考えられる。

本発明は上記事由に鑑みて為されたものであり、その目的は、歩留まりの向上を図ることが可能なレンズ付き蓋体の製造方法を提供することにある。

本発明のレンズ付き蓋体の製造方法は、金属により形成された蓋体と、硼珪酸ガラスにより形成されたレンズとを備え、前記蓋体が、筒体と、前記筒体の第１端部から外方へ突出した第１フランジと、前記筒体の第２端部から内方へ突出した第２フランジとを有し、前記レンズが、前記第２フランジにより囲まれた窓孔を塞ぐように前記第２フランジに溶着されてなるレンズ付き蓋体の製造方法であって、前記筒体の内側に嵌め込まれる第１型、前記筒体の前記第２端部側で前記筒体の外側に位置させる第２型、前記第１型と前記第２型との間に位置し前記レンズの元になるレンズ素材、及び前記第２型と前記蓋体とが嵌め込まれる筒状の外枠、を配置する第１ステップと、前記外枠の外側から前記レンズ素材を加熱して溶融させてから冷却することにより前記レンズを成形し且つ前記レンズと前記第２フランジとを溶着させる第２ステップと、前記レンズ付き蓋体を前記第１型、前記第２型及び前記外枠から取り外す第３ステップとを備え、前記第１型、前記第２型及び前記外枠の材料を窒化珪素とすることを特徴とする。

このレンズ付き蓋体の製造方法において、前記レンズは、両凸型の非球面レンズ部と、前記非球面レンズ部の外周部から全周に亘って外方に突出したベース部とを有し、前記非球面レンズ部が前記窓孔に配置され、前記ベース部が前記第２フランジに溶着されたものであり、前記レンズ素材の形状を球状とし、前記第１型として、前記第２フランジ側の表面が前記非球面レンズ部及びベース部の形状に対応したものを用意し、且つ、前記第２型として、前記第２フランジ側の表面が前記非球面レンズ部及び前記第２フランジに対応したものを用意し、前記第１ステップでは、前記第２型において前記第２フランジに対応する部分を前記第２フランジに接するように配置することが好ましい。

このレンズ付き蓋体の製造方法において、前記レンズ素材の形状を真球状とすることが好ましい。

本発明のレンズ付き蓋体の製造方法においては、歩留まりの向上を図ることが可能となる。

図１は、実施形態のレンズ付き蓋体の製造方法を説明するための主要工程断面図である。図２は、実施形態におけるレンズ付き蓋体の概略断面図である。図３は、実施形態におけるレンズ付き蓋体の概略斜視図である。図４は、実施形態のレンズ付き蓋体の変形例の製造方法を説明するための主要工程断面図である。

以下では、まず、レンズ付き蓋体１について図２及び図３に基づいて説明し、その後、レンズ付き蓋体１の製造方法について図１に基づいて説明する。

レンズ付き蓋体１は、例えば、光電変換素子を収納するパッケージの一部に適用することができる。光電変換素子としては、電気エネルギを光に変換する発光素子や、光を電気エネルギに変換する受光素子等がある。発光素子としては、例えば、発光ダイオード、半導体レーザ等がある。受光素子としては、例えば、フォトダイオード、フォトトランジスタ等がある。レンズ３は、透過対象の波長の光（電磁波）に対する透過率が７０％以上であるのが好ましく、８０％以上であるのがより好ましい。

レンズ付き蓋体１は、レンズ３の材料として硼珪酸ガラスを採用することにより、特に、光電変換素子が紫外線を放射する発光素子の場合に、発光素子から放射される光に対するレンズ３の透過率を８０％以上とすることが可能となる。

レンズ付き蓋体１は、金属により形成された蓋体２と、硼珪酸ガラスにより形成されたレンズ３とを備える。

蓋体２は、筒体２０と、筒体２０の第１端部から外方へ突出した第１フランジ２１と、筒体２０の第２端部から内方へ突出した第２フランジ２２とを有する。筒体２０は、円筒状の形状としてある。筒体２０の外径は、８ｍｍに設定してあるが、この値に限定するものではない。筒体２０は、円筒状に限らず、筒状の形状であればよく、例えば、角筒状でもよい。第１フランジ２１の外周形状は、円形状である。第１フランジ２１の外周形状は、円形状に限らず、例えば、楕円形状や多角形状等でもよい。

レンズ３は、第２フランジ２２により囲まれた窓孔２３を塞ぐように第２フランジ２２に溶着されている。第２フランジ２２の内周形状は、円形状である。よって、窓孔２３は、円形状の孔である。窓孔２３の内径は、３ｍｍに設定してあるが、この値に限定するものではない。第２フランジ２２の内周形状は、円形状に限らず、例えば、楕円形状や多角形状等でもよい。

レンズ３は、両凸型の非球面レンズ部３１と、非球面レンズ部３１の外周部から全周に亘って外方に突出したベース部３２とを有する。ベース部３２は、円環状に形成されている。ベース部３２は、厚み寸法が一様であるのが好ましい。非球面レンズ部３１は、第１レンズ面３１ａと、第２レンズ面３１ｂとを備える。非球面レンズ部３１は、第１レンズ面３１ａが筒体２０の内側に位置し、第２レンズ面３１ｂが蓋体２の外側に位置している。第１レンズ面３１ａは、非球面の第１凸曲面である。第２レンズ面３１ｂは、非球面の第２凸曲面である。第１凸曲面及び第２凸曲面は、それぞれ、曲率が連続的に変化している。第１レンズ面３１ａと第２レンズ面３１ｂとは、同じ形状でもよいし、異なる形状でもよい。

レンズ３は、非球面レンズ部３１が窓孔２３に配置され、ベース部３２が第２フランジ２２に溶着されている。ベース部３２は、第２フランジ２２の厚み方向の一面の全周に亘って溶着されている。ベース部３２は、非球面レンズ部３１の径方向に沿った方向の幅寸法が大きいほうが好ましい。要するに、レンズ付き蓋体１は、ベース部３２の幅寸法と第２フランジ２２の幅寸法とが略同じであるのが好ましい。これにより、レンズ付き蓋体１は、接合信頼性及び気密性を向上させることが可能となる。ここで、レンズ付き蓋体１の気密性とは、蓋体２とレンズ３との接合部位の気密性を意味する。

よって、レンズ付き蓋体１を備えたパッケージは、このパッケージの気密性を高めることが可能となり、長寿命化を図ることが可能となる。レンズ付き蓋体１を適用するパッケージは、例えば、ＣＡＮパッケージ、表面実装型のパッケージ、その他の種々の形態のパッケージ等が挙げられるが、特に限定するものではない。

レンズ付き蓋体１は、レンズ３の材料である硼珪酸ガラスの線膨張係数よりも蓋体２の材料である金属の線膨張係数が大きい。ここで、レンズ付き蓋体１は、硼珪酸ガラスと金属との線膨張係数差が小さいほうが好ましい。これにより、レンズ付き蓋体１は、レンズ３と蓋体２との線膨張係数差に起因してレンズ３に発生する応力を低減することが可能となる。

レンズ付き蓋体１は、例えば、２３０ｎｍ〜３５０ｎｍの紫外波長領域で発光する発光素子のパッケージに適用する場合、発光素子から放射される紫外線に対する透過率が８０％以上の硼珪酸ガラスを採用することが好ましい。このような硼珪酸ガラスとしては、例えば、ＳＣＨＯＴＴ社製の８３３７Ｂを採用することができる。この硼珪酸ガラスは、線膨張係数が４．１×１０^-6Ｋ^-1、粘度が１０^7.6ｄＰａ・ｓとなる温度が７０５℃である。

蓋体２の材料である金属としては、ステンレス鋼を採用している。ステンレス鋼としては、例えば、フェライト系ステンレス鋼等を採用することができる。フェライト系ステンレス鋼としては、例えば、ＳＦ２０Ｔ等を採用することができる。ＳＦ２０Ｔの線膨張係数は、例えば、１０．４×１０^-6Ｋ^-1である。蓋体２の材料である金属は、ステンレス鋼に限らず、例えば、コバール（Kovar）を採用することができる。コバールは、鉄にニッケル、コバルトを配合した合金である。コバールの成分比の一例は、重量％で、鉄：５３．５重量％、ニッケル：２９重量％、コバルト：１７重量％、シリコン：０．２重量％、マンガン：０．３重量％、である。このような成分比のコバールの線膨張係数は、５×１０^-6Ｋ^-1である。コバールの成分比は、特に限定するものではなく、コバールの線膨張係数が、硼珪酸ガラスの線膨張係数よりも小さくなるような成分比のものを採用することができる。蓋体２は、金属がコバールの場合、この金属からなる母体の表面を酸化することにより酸化膜が形成されたものでもよい。

以下では、レンズ付き蓋体１の製造方法について、図１に基づいて説明する。

レンズ付き蓋体１の製造にあたっては、第１ステップ、第２ステップ及び第３ステップを順次行う。

第１ステップでは、まず、筒体２０に第１型４を嵌め込み、その後、レンズ３の元になるレンズ素材３０を第１型４における第２フランジ２２側の一面４１側に載置し、その後、筒状の外枠６に蓋体２を嵌め込み（図１（ａ））、続いて、外枠６に第２型５を嵌め込む（図１（ｂ））。

要するに、第１ステップでは、筒体２０の内側に嵌め込まれる第１型４、筒体２０の前記第２端部側で筒体２０の外側に位置させる第２型５、第１型４と第２型５との間に位置しレンズ３の元になるレンズ素材３０、及び第２型５と蓋体２とが嵌め込まれる筒状の外枠６、を配置する。なお、本実施形態のレンズ付き蓋体１の製造方法では、第１型４を下型とし、第２型５を上型とする。第１型４は、ステージ７に保持されており、ステージ７の上面を含む平面に対して上下方向に移動可能となっている。第１型４は、第１駆動装置（例えば、エアシリンダや油圧シリンダ等）により上下方向に移動される。また、第２型５及び外枠６は、図示しない第２駆動装置（例えば、エアシリンダや油圧シリンダ等）によりそれぞれ上下方向に移動される。また、本明細書では、第１型４と第２型５と外枠６とを併せて成形型と称する。

第１型４としては、第２フランジ２２側の表面が非球面レンズ部３１及びベース部３２の形状に対応したものを予め用意する。第１型４は、非球面レンズ部３１の第１レンズ面３１ａ及びベース部３２の露出面を成形する機能を有する。第１型４は、筒体２０の内側に嵌るように側面の形状を筒体２０の内側面に沿った形状に設計してある。このため、第１型４は、円柱状の形状に形成されている。第１型４は、フランジ２２側の一面４１の中央部が凹曲面４１ａに形成されている。凹曲面４１ａは、非球面レンズ部３１の第１レンズ面３１ａの所定形状に合致する形状に形成されている。第１型４は、一面４１における凹曲面４１ａの周部が第２フランジ２２との間に所定ギャップが形成されるように配置する。所定ギャップは、例えば、レンズ３のベース部３２の所望の厚み寸法に設定すればよい。第１型４は、一面４１が成形面である。なお、第２フランジ２２において、レンズ３が溶着される面は、鏡面であるのが好ましい。これにより、レンズ付き蓋体１の製造方法では、ベース部３２と第２フランジ２２との接合部位の気密性を向上させることが可能となる。鏡面とは、鏡面研磨されている面を意味し、例えば、ＪＩＳＢ０６０１−２００１（ＩＳＯ４２８７−１９９７）で規定されている算術平均粗さＲａが１０ｎｍ以下であることが好ましく、数ｎｍ以下であることが、より好ましい。

レンズ素材３０の材料は、硼珪酸ガラスである。レンズ素材３０の材料である硼珪酸ガラスは、屈伏点及び融点が低いものが好ましい。これにより、レンズ付き蓋体１の製造方法では、レンズ３における非球面レンズ部３１の第１レンズ面３１ａ及び第２レンズ面３１ｂの形状精度の高精度化を図ることが可能となる。レンズ素材３０の材料である硼珪酸ガラスは、透過対象の光に対する透過率が高いほうが好ましい。

レンズ素材３０の形状は、球状としている。球状のレンズ素材３０は、例えば、円柱状にプリフォームされた硼珪酸ガラス製の円柱部材を所定の厚みでスライスした円板状の塊を球状に成形することで形成することができる。球状のレンズ素材３０の成形方法は、特に限定するものではない。球状のレンズ素材３０は、真球状であるのが、より好ましい。これにより、レンズ素材３０は、体積の管理が容易になり、且つ、体積の精度を高めることが可能となる。よって、レンズ付き蓋体１の製造方法においては、レンズ３の形状精度の向上を図ることが可能となる。つまり、レンズ付き蓋体１の製造方法においては、レンズ３の非球面レンズ部３１の形状精度を向上させることが可能となる。

レンズ素材３０は、球状の形状とし、その直径を窓孔２３の内径よりも小さく設定することにより、レンズ素材３０の自重により第１型４の一面４１の凹曲面４１ａの中心線上にレンズ素材３０の中心が位置するようにセルフアライメントされる。これにより、レンズ付き蓋体１の製造方法では、第１型４に対するレンズ素材３０の位置決め精度を高めることが可能となる。

レンズ素材３０は、その直径を、例えば、レンズ３の所望の厚み寸法に設定すればよい。レンズ３の所望の厚み寸法とは、レンズ３の中心線上でのレンズ３の厚み寸法である。なお、レンズ素材３０は、球状に限らず、例えば、円板状等の板状としてもよい。

外枠６は、内周形状が筒体２の外周形状及び第２型５の外周形状に合致する筒状であればよく、円筒状の形状としてある。外枠６は、第１型４の中心軸と第２型５の中心軸とを一直線上に揃える機能を有する。また、外枠６は、蓋体２、第１型４及び第２型５を保持する機能を有する。

第２型５としては、第２フランジ２２側の表面が非球面レンズ部３１及び第２フランジ２２に対応したものを予め用意する。第２型５は、非球面レンズ部３１の第２レンズ面３１ｂを成形する機能を有する。第２型５は、外枠６の内側に嵌るように側面の形状を筒体２０の外側面に沿った形状に設計してある。このため、第２型５は、円柱状の形状に形成されている。ここで、第２型５の外径寸法は、筒体２０の外径寸法と同じ値に設定してある。第２型５は、フランジ２２側の一面５１の中央部が凹曲面５１ａに形成されている。凹曲面５１ａは、非球面レンズ部３１の第２レンズ面３１ｂの所定形状に合致する形状に形成されている。第２型５は、一面５１における凹曲面５１ａの周部が第２フランジ２２に接するように配置するのが好ましい。第２型５は、この第２型５において第２フランジ２２に対応する部分が第２フランジ２２に接するように配置するのが好ましい。第２型５は、一面５１の凹曲面５１ａが成形面である。成形型では、第１型４と第２型５との間隔をレンズ素材３０により規定することが可能となる。

第１型４、第２型５及び外枠６は、セラミックスの一種である窒化珪素により形成されている。

第１型４、第２型５及び外枠６は、線膨張係数が同じであるのが好ましい。第１型４、第２型５及び外枠６の材料である窒化珪素の線膨張係数は、レンズ３の材料である硼珪酸ガラスの線膨張係数よりも小さい。第１型４、第２型５及び外枠６の材料である窒化珪素の線膨張係数は、１．６×１０^-6Ｋ^-1である。第１型４は、レンズ付き蓋体１の離型性を向上させる観点から、第１面４１に貴金属の被膜が設けられているのが好ましい。同様に、第２型５は、第２面５１に貴金属の被膜が設けられているのが好ましい。これらにより、レンズ付き蓋体１の製造方法では、離型性を向上させることが可能となる。貴金属としては、例えば、Ｐｔ等を採用することができる。

第２ステップでは、外枠６の外側からレンズ素材３０を加熱して軟化させてから冷却することによりレンズ３を成型し且つレンズ３と第２フランジ２２とを溶着させる（図１（ｃ））。第２ステップでは、成形型を加熱することでレンズ素材３０を加熱する。第２ステップでは、レンズ素材３０が屈伏点（例えば、６００℃）以上の所定温度（例えば、６２０℃）となるように成形型を前記所定温度よりも高い規定温度（例えば、６２０℃）まで昇温し、前記規定温度に加熱された状態を規定時間だけ維持した後、成形型の冷却を開始する。成形型の加熱は、不活性ガスの雰囲気中で行うのが好ましい。不活性ガスとしては、例えば、窒素ガスを採用することができる。不活性ガスは、窒素ガスに限らず、例えば、アルゴンガス等でもよい。成形型の加熱を行う加熱装置としては、例えば、トンネル炉、オーブン、ホットプレート、高周波加熱装置などを採用することができる。前記所定温度は、レンズ素材３０の融点が６００℃の場合、例えば、６２０℃に設定すればよいが、特に限定するものではない。また、前記規定時間は、例えば、１５〜１２０秒程度の範囲で適宜設定すればよい。また、レンズ素材３０を冷却する場合には、レンズ３のひけ（sink mark）や歪を抑制するために、徐冷するのが好ましい。徐冷する場合は、例えば、冷却速度を５〜３０℃／ｍｉｎ程度の範囲で設定すればよい。また、成形型の冷却を終了する温度は、例えば、常温でもよいが、生産性を向上させる観点から、例えば、１００℃程度としてもよい。

第２ステップでは、外枠６がセラミックの一種である窒化珪素により形成されているので、外枠６がグラファイトである場合に比べて、外枠６の内側面側の最表面部が蓋体２に転写されるのを抑制することが可能となる。よって、レンズ付き蓋体１の製造方法では、外枠６の劣化を抑制することが可能となり、外枠６の長寿命化を図ることが可能となる。

第２ステップでは、レンズ素材３０が球状の場合、レンズ素材３０が板状の場合に比べて気泡が抜けやすくなり、レンズ３や、レンズ３と筒体２との接合部位付近に気泡が発生するのを抑制することが可能となる。これにより、レンズ付き蓋体１の製造方法では、気泡に起因したレンズ３の透過率の低下や、気密性の低下を抑制することが可能となる。

第３ステップでは、レンズ付き蓋体１を第１型４、第２型５及び外枠６から取り外す（図１（ｄ）〜（ｆ））。要するに、第３ステップでは、離型を行う。この第３ステップでは、例えば、第２型５及び外枠６をレンズ付き蓋体１から離れるように上方向に移動させ（図１（ｄ））、その後、第１型４をステージ７に収納するように下方向に移動させて第１型４をレンズ付き蓋体１から取り外せばよい（図１（ｅ）、（ｆ））。その後は、ステージ７上のレンズ付き蓋体１を、ロボット、ピックアップツール、手等により取ればよい。本実施形態のレンズ付き蓋体１の製造方法では、〔筒体２の線膨張係数〕＞〔硼珪酸ガラスの線膨張係数〕＞〔外枠６の線膨張係数〕の関係を満たしているので、図１（ｆ）の状態で、レンズ付き蓋体１における筒体２の外側面と外枠６の内側面との間に隙間が発生している。このため、レンズ付き蓋体１を外枠６から簡単に取り外すことが可能となる。

以上説明したレンズ付き蓋体１の製造方法では、上述の第１ステップと、第２ステップと、第３ステップとを備え、第１型４、第２型５及び外枠６の材料を窒化珪素とする。これにより、レンズ付き蓋体１の製造方法では、蓋体２の変形を抑制でき、第１型４、第２型５及び外枠６から容易に取り外すことが可能となり、また、冷却時にレンズ３にかかる応力により、レンズ３に割れが発生したり、気密性が低下したりするのを抑制することが可能となる。

レンズ付き蓋体１の構造及びその製造方法は、図１で説明した形態に限らない。例えば、レンズ付き蓋体１の製造方法は、図４（ａ）に示すように、球状のレンズ素材３０の直径を窓孔２３の内径よりも大きくして、図４（ｂ）に示すように、第２ステップにおいてレンズ３を成形し且つレンズ３と第２フランジ２２とを溶着させるようにしてもよい。

上述の実施形態では、非球面レンズ部３１の形状が両凸型の非球面レンズの形状である場合について説明したが、これに限らず、例えば、非球面レンズ部３１の形状を平凸型や平凹型の非球面レンズの形状としてもよい。

なお、上述の実施形態において説明した各図は、模式的なものであり、各構成要素の大きさや厚さそれぞれの比が、必ずしも実際のものの寸法比を反映しているとは限らない。

１レンズ付き蓋体
２蓋体
３レンズ
４第１型
５第２型
６外枠
２０筒体
２１第１フランジ
２２第２フランジ
２３窓孔
３０レンズ素材
３１非球面レンズ部
３２ベース部

Claims

金属により形成された蓋体と、硼珪酸ガラスにより形成されたレンズとを備え、前記蓋体が、筒体と、前記筒体の第１端部から外方へ突出した第１フランジと、前記筒体の第２端部から内方へ突出した第２フランジとを有し、前記レンズが、前記第２フランジにより囲まれた窓孔を塞ぐように前記第２フランジに溶着されてなるレンズ付き蓋体の製造方法であって、前記筒体の内側に嵌め込まれる第１型、前記筒体の前記第２端部側で前記筒体の外側に位置させる第２型、前記第１型と前記第２型との間に位置し前記レンズの元になるレンズ素材、及び前記第２型と前記蓋体とが嵌め込まれる筒状の外枠、を配置する第１ステップと、前記外枠の外側から前記レンズ素材を加熱して溶融させてから冷却することにより前記レンズを成形し且つ前記レンズと前記第２フランジとを溶着させる第２ステップと、前記レンズ付き蓋体を前記第１型、前記第２型及び前記外枠から取り外す第３ステップとを備え、前記第１型、前記第２型及び前記外枠の材料を窒化珪素とすることを特徴とするレンズ付き蓋体の製造方法。
前記レンズは、両凸型の非球面レンズ部と、前記非球面レンズ部の外周部から全周に亘って外方に突出したベース部とを有し、前記非球面レンズ部が前記窓孔に配置され、前記ベース部が前記第２フランジに溶着されたものであり、前記レンズ素材の形状を球状とし、前記第１型として、前記第２フランジ側の表面が前記非球面レンズ部及びベース部の形状に対応したものを用意し、且つ、前記第２型として、前記第２フランジ側の表面が前記非球面レンズ部及び前記第２フランジに対応したものを用意し、前記第１ステップでは、前記第２型において前記第２フランジに対応する部分を前記第２フランジに接するように配置すること特徴とする請求項１記載のレンズ付き蓋体の製造方法。
前記レンズ素材の形状を真球状とすることを特徴とする請求項２記載のレンズ付き蓋体の製造方法。