JPS6142936A - 光透過用窓付構体の製造方法 - Google Patents
光透過用窓付構体の製造方法Info
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- JPS6142936A JPS6142936A JP59164671A JP16467184A JPS6142936A JP S6142936 A JPS6142936 A JP S6142936A JP 59164671 A JP59164671 A JP 59164671A JP 16467184 A JP16467184 A JP 16467184A JP S6142936 A JPS6142936 A JP S6142936A
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Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L31/00—Semiconductor devices sensitive to infrared radiation, light, electromagnetic radiation of shorter wavelength or corpuscular radiation and specially adapted either for the conversion of the energy of such radiation into electrical energy or for the control of electrical energy by such radiation; Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment thereof or of parts thereof; Details thereof
- H01L31/02—Details
- H01L31/0203—Containers; Encapsulations, e.g. encapsulation of photodiodes
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は光透過用窓付ｉ体の製造方法に関゛し、一層詳
細には、光透過用窓ガラス面に異物を付着させることな
く製造しうる光透過用窓付構体の製造方法に関する。
細には、光透過用窓ガラス面に異物を付着させることな
く製造しうる光透過用窓付構体の製造方法に関する。
半導体レーザー装置等のように光が透過する光透過用窓
ガラスを有する光透過用窓付構体においては、光損失を
極力抑えるため、光透過用窓ガラス面に極力異物の付着
のないものが要求される。
ガラスを有する光透過用窓付構体においては、光損失を
極力抑えるため、光透過用窓ガラス面に極力異物の付着
のないものが要求される。
従来のこの種の光透過用言付構体の製造方法について、
半導体レーザー装置用などの光透過用キャップをｆｆ１
ｌとして説明する。
半導体レーザー装置用などの光透過用キャップをｆｆ１
ｌとして説明する。
第１面はその革ヤップ１０を示す、１２はキャップ本体
、１４はキャンプ本体１２上面に開口した透孔に低融点
ガラス１６で気密封止された光透過用窓ガラスである。
、１４はキャンプ本体１２上面に開口した透孔に低融点
ガラス１６で気密封止された光透過用窓ガラスである。
光透過用窓ガラス１４をキャップ本体１２に低融点ガラ
ス１６を用いて気密封止するには、まず金属製のキャッ
プ本体１２に、低一点ガラス１６の強固な密着性を得る
ために、６００℃〜９００℃のウェット酸化雰囲気中で
加熱して酸化膜を形成し、次いで有機溶剤等を添加して
ペースト状とした低融点ガラスをキャップ本体１２の透
孔縁に塗布し、加熱してグレーズする。次いで電気炉中
てこのグレーズした低融点ガラス１６によって光透過用
窓ガラス１４を溶着して気密封止する。
ス１６を用いて気密封止するには、まず金属製のキャッ
プ本体１２に、低一点ガラス１６の強固な密着性を得る
ために、６００℃〜９００℃のウェット酸化雰囲気中で
加熱して酸化膜を形成し、次いで有機溶剤等を添加して
ペースト状とした低融点ガラスをキャップ本体１２の透
孔縁に塗布し、加熱してグレーズする。次いで電気炉中
てこのグレーズした低融点ガラス１６によって光透過用
窓ガラス１４を溶着して気密封止する。
そして最後にキャップ本体１２上の酸化膜を剥離してニ
ッケルめっき等のめっきを施すものである。
ッケルめっき等のめっきを施すものである。
従来においては、上記のように耐蝕などのためのめっき
が、低融点ガラスによる光透過用窓ガラスの気密封止後
、すなわち工程の最後に施される。
が、低融点ガラスによる光透過用窓ガラスの気密封止後
、すなわち工程の最後に施される。
しかしながら、光透過用窓ガラス１４を低融点ガラス１
６で気密封止する光透過用窓付構体にあっては、めっき
工程を低融点ガラスによる気密封止後に行うと以下のよ
うな難点を生ずる。
６で気密封止する光透過用窓付構体にあっては、めっき
工程を低融点ガラスによる気密封止後に行うと以下のよ
うな難点を生ずる。
すなわち、めっきの前処理として酸、アルカリ等を用い
なければならず、まためっき液自体も中性ではないため
、低融点ガラス成分が処理液、めっき液中に溶出し、こ
れが光透過用窓ガラス１４のガラス面に付着する。
なければならず、まためっき液自体も中性ではないため
、低融点ガラス成分が処理液、めっき液中に溶出し、こ
れが光透過用窓ガラス１４のガラス面に付着する。
しかもまた上記付着物除去のため超音波洗浄を行うと、
超音波の振動により低融点ガラスの微粉が脱落するため
、異物除去のための洗浄には最も適しているとされる超
音波洗浄法を採用することもできない。まためっき前処
理などを通じて使用される、処理液中に混入している微
粒子がガラス面に付着するため、異物付着を防止する完
全な対策は極めて困難である。
超音波の振動により低融点ガラスの微粉が脱落するため
、異物除去のための洗浄には最も適しているとされる超
音波洗浄法を採用することもできない。まためっき前処
理などを通じて使用される、処理液中に混入している微
粒子がガラス面に付着するため、異物付着を防止する完
全な対策は極めて困難である。
このように従来においては低融点ガラス成分の溶出およ
びめっき処理液中の微粒子などのため、光透過用窓ガラ
ス面への異物付着を完全に防止することはできなかった
。
びめっき処理液中の微粒子などのため、光透過用窓ガラ
ス面への異物付着を完全に防止することはできなかった
。
本発明は上記難点に鑑みてなされ、その目的とするとこ
ろは、光透過用窓ガラス面に異物を付着させることなく
製造することのできる光透過用窓付構体の製造方法を提
供するにあり、その特徴は、金属製窓枠に低融点ガラス
によって気密封止される光透過用窓ガラスを有する光透
過用窓付構体の製造方法において、前記金属製窓枠に必
要な酸化膜を形成したのち該金属製窓枠の前記光透過用
窓ガラスの封止部に、適宜な有機バインダー、溶剤等を
添加してペースト状とした低融点ガラスを塗布し、次い
で加熱処理して前記有機バインダー。
ろは、光透過用窓ガラス面に異物を付着させることなく
製造することのできる光透過用窓付構体の製造方法を提
供するにあり、その特徴は、金属製窓枠に低融点ガラス
によって気密封止される光透過用窓ガラスを有する光透
過用窓付構体の製造方法において、前記金属製窓枠に必
要な酸化膜を形成したのち該金属製窓枠の前記光透過用
窓ガラスの封止部に、適宜な有機バインダー、溶剤等を
添加してペースト状とした低融点ガラスを塗布し、次い
で加熱処理して前記有機バインダー。
溶剤等を揮散させたのち低融点ガラスをグレーズし、し
かるのちに前記酸化膜を除去して金泥製窓枠を含む必要
部にめっきを施し、次いで上記の低融点ガラスによって
前記光透過用窓ガラスを金属製窓枠に封止するところに
ある。
かるのちに前記酸化膜を除去して金泥製窓枠を含む必要
部にめっきを施し、次いで上記の低融点ガラスによって
前記光透過用窓ガラスを金属製窓枠に封止するところに
ある。
以下本発明の好適な実施例を半導体レーザー装置のキャ
ップを例として添付図面に基づき詳細に説明する。
ップを例として添付図面に基づき詳細に説明する。
まず前記したキャップ本体１２を約６００℃〜９００℃
のウェット酸化雰囲気中で加熱し酸化ｊ戻を形成する。
のウェット酸化雰囲気中で加熱し酸化ｊ戻を形成する。
次いでこのキャップ本体１２の封止部たる透孔周縁に、
適宜な有機バインダー、溶剤等を添加してペースト状と
した低融点ガラスを殖布し、８０℃〜１５０℃に加熱し
て乾燥した後、約３００°Ｃに加熱して有機バインダー
等を揮散させ、さらに約４２０°Ｃに加熱してグレーズ
する。ここまでは従来と同一工程である。
適宜な有機バインダー、溶剤等を添加してペースト状と
した低融点ガラスを殖布し、８０℃〜１５０℃に加熱し
て乾燥した後、約３００°Ｃに加熱して有機バインダー
等を揮散させ、さらに約４２０°Ｃに加熱してグレーズ
する。ここまでは従来と同一工程である。
本発明においてはこの段階でめっきを施してしまうもの
である。
である。
すなわち、上記のキャップ本体１２を酸に浸漬してキャ
ップ本体１２上にあらかじめ形成されている前記酸化膜
を除去し、次にめっき前処理を行い、めっきに通した表
面状態にする。この状態のキャップ本体１２をめっき液
に浸し、ニッケルめっきを施す。キャップ本体１２は孔
あき状態であるから、めっき液等の液切りも良好である
。
ップ本体１２上にあらかじめ形成されている前記酸化膜
を除去し、次にめっき前処理を行い、めっきに通した表
面状態にする。この状態のキャップ本体１２をめっき液
に浸し、ニッケルめっきを施す。キャップ本体１２は孔
あき状態であるから、めっき液等の液切りも良好である
。
次に、あらかじめ十分に洗浄して異物の付着のない状態
とした光透過用窓ガラス１４をキャップ本体１２に組み
込み、これを電気炉中にセントして、約５００℃の８２
ガス等の非酸化性雰囲気中で低融点ガラス１６を溶融し
、光透過用窓ガラス１４をキャップ本体１２に気密封止
する。
とした光透過用窓ガラス１４をキャップ本体１２に組み
込み、これを電気炉中にセントして、約５００℃の８２
ガス等の非酸化性雰囲気中で低融点ガラス１６を溶融し
、光透過用窓ガラス１４をキャップ本体１２に気密封止
する。
電気炉を非酸化性雰囲気に保つのは、キャップ本体１２
に施したニッケルめっき皮膜上にニッケルの強固な酸化
膜を形成させないためである。この酸化膜が形成される
と容易には除去できず、はんだ付は性が阻害される不具
合がある。
に施したニッケルめっき皮膜上にニッケルの強固な酸化
膜を形成させないためである。この酸化膜が形成される
と容易には除去できず、はんだ付は性が阻害される不具
合がある。
なお上記においては半導体レーザー装置などの光透過用
キャップで説明したが、本発明はこれに限られず、金属
製窓枠に光透過用窓ガラスを低融点ガラスを用いて気密
封止するものであればいかなるものにも応用しうろこと
はもちろんである。
キャップで説明したが、本発明はこれに限られず、金属
製窓枠に光透過用窓ガラスを低融点ガラスを用いて気密
封止するものであればいかなるものにも応用しうろこと
はもちろんである。
以上のように本発明方法によれば、必要部にめっきを施
してのち、低融点ガラスで光透過用窓ガラスを気密封止
するものであるから、光透過用窓ガラスがめつき前処理
液やめっき液に浸漬されることがなく、低融点ガラス成
分や処理液中の微粒子などの異物がガラス面上に付着す
るという不具合が解消され、光損失のない、清浄なガラ
ス面ををする光透過用窓付構体を提供しうる。
してのち、低融点ガラスで光透過用窓ガラスを気密封止
するものであるから、光透過用窓ガラスがめつき前処理
液やめっき液に浸漬されることがなく、低融点ガラス成
分や処理液中の微粒子などの異物がガラス面上に付着す
るという不具合が解消され、光損失のない、清浄なガラ
ス面ををする光透過用窓付構体を提供しうる。
以上本発明につき好適な実施例を挙げて種々説明したが
、本発明はこの実施例に限定されるものではなく、発明
の精神を逸脱しない範囲内で多くの改変を施し得るのは
もちろんのことである。
、本発明はこの実施例に限定されるものではなく、発明
の精神を逸脱しない範囲内で多くの改変を施し得るのは
もちろんのことである。
第１図は半導体レーザー装置用などの光透過用キャップ
の断面説明図である。
の断面説明図である。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １、金属製窓枠に低融点ガラスによって気密封止される
光透過用窓ガラスを有する光透過用窓付構体の製造方法
において、 前記金属製窓枠に必要な酸化膜を形成した のち該金属製窓枠の前記光透過用窓ガラスの封止部に、
適宜な有機バインダー、溶剤等を添加してペースト状と
した低融点ガラスを塗布し、次いで加熱処理して前記有
機バインダー、溶剤等を揮散させたのち低融点ガラスを
グレーズし、しかるのちに前記酸化膜を除去して金属製
窓枠を含む必要部にめっきを施し、次いで上記の低融点
ガラスによって前記光透過用窓ガラスを金属製窓枠に封
止することを特徴とする光透過用窓付構体の製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP59164671A JPS6142936A (ja) | 1984-08-06 | 1984-08-06 | 光透過用窓付構体の製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP59164671A JPS6142936A (ja) | 1984-08-06 | 1984-08-06 | 光透過用窓付構体の製造方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6142936A true JPS6142936A (ja) | 1986-03-01 |
| JPH032347B2 JPH032347B2 (ja) | 1991-01-14 |
Family
ID=15797615
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP59164671A Granted JPS6142936A (ja) | 1984-08-06 | 1984-08-06 | 光透過用窓付構体の製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6142936A (ja) |
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6331139A (ja) * | 1986-07-25 | 1988-02-09 | Toshiba Components Kk | 半導体用窓付パツケ−ジの製造方法 |
| JPS6331140A (ja) * | 1986-07-25 | 1988-02-09 | Toshiba Components Kk | 半導体用窓付パツケ−ジの製造方法 |
| JPS63124483A (ja) * | 1986-11-13 | 1988-05-27 | Shinko Electric Ind Co Ltd | 光透過用キヤツプおよびその製造方法 |
| US6420205B1 (en) | 1999-03-24 | 2002-07-16 | Kyocera Corporation | Method for producing package for housing photosemiconductor element |
| JP2019040996A (ja) * | 2017-08-25 | 2019-03-14 | エーディーワイ株式会社 | 紫外線光素子、紫外線光素子用パッケージ及び紫外線光素子に用いられる光学部材並びにその光学部材の製造方法 |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5846657A (ja) * | 1981-09-11 | 1983-03-18 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | ガラス窓付キヤツプの製造方法 |
-
1984
- 1984-08-06 JP JP59164671A patent/JPS6142936A/ja active Granted
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5846657A (ja) * | 1981-09-11 | 1983-03-18 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | ガラス窓付キヤツプの製造方法 |
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6331139A (ja) * | 1986-07-25 | 1988-02-09 | Toshiba Components Kk | 半導体用窓付パツケ−ジの製造方法 |
| JPS6331140A (ja) * | 1986-07-25 | 1988-02-09 | Toshiba Components Kk | 半導体用窓付パツケ−ジの製造方法 |
| JPS63124483A (ja) * | 1986-11-13 | 1988-05-27 | Shinko Electric Ind Co Ltd | 光透過用キヤツプおよびその製造方法 |
| US6420205B1 (en) | 1999-03-24 | 2002-07-16 | Kyocera Corporation | Method for producing package for housing photosemiconductor element |
| JP2019040996A (ja) * | 2017-08-25 | 2019-03-14 | エーディーワイ株式会社 | 紫外線光素子、紫外線光素子用パッケージ及び紫外線光素子に用いられる光学部材並びにその光学部材の製造方法 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH032347B2 (ja) | 1991-01-14 |
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