JP6639794B2

JP6639794B2 - スライドカバー

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Publication number: JP6639794B2
Application number: JP2015061414A
Authority: JP
Inventors: 剛野本; 貴之霜鳥
Original assignee: Sumitomo Heavy Industries Ltd
Current assignee: Sumitomo Heavy Industries Ltd
Priority date: 2015-03-24
Filing date: 2015-03-24
Publication date: 2020-02-05
Anticipated expiration: 2035-03-24
Also published as: JP2016179532A

Description

本発明は、スライドカバーに関し、特に、ステージ装置等の移動装置に用いられるスライドカバーに関する。

ステージ装置では、ベースに対してテーブルが一方向に沿って往復動するときに、テーブルの裏側においてベースに搭載される各種機構が外部に露出してしまう。従来より、このように露出する各種機構をカバーするためにスライドカバーが用いられることがある（特許文献１参照）。

特許文献１のスライドカバーは、ベースに対して複数段に重なるように設けられる複数のカバー部材を備える。複数のカバー部材は、テーブルの往復動方向にそれぞれがスライドすることによって、ベースに対するカバー範囲を増減可能である。このスライドカバーでは、テーブルが往復動方向のうちの一方向に高段側のカバー部材がスライドしたとき、これに隣り合う低段側のカバー部材に接触することで動力が伝達され、これにより、全てのカバー部材が同方向にスライドするように構成されている。

特開２００２−３２１１３６号公報

ところで、ステージ装置等の移動装置では、リニアモータ等のリニア駆動装置により、テーブル等の移動体を一定速度で移動させられるように、高い速度安定性が要求されることがある。このような要求のもと、従来の構造では、複数のカバー部材をスライドさせるうえで、一のカバー部材と他のカバー部材の接触により動力を伝達している。従って、複数のカバー部材同士が動力伝達のために接触したとき、移動体には振動が加わってしまう。また、これと同時に移動体の重量が瞬時に変化し、移動体に加わる慣性力が大きく変動してしまう。これらが相まって、リニア駆動装置により移動体を一定速度で動かし難くなってしまう。

本発明は、こうした状況に鑑みてなされたものであり、その目的は、移動装置に用いるうえで、移動体の速度安定性を確保し易いスライドカバーを提供することにある。

本発明のある態様はスライドカバーに関し、ベースと、前記ベースに対して往復動可能な移動体とを備える移動装置に用いられるスライドカバーであって、前記ベースに対して複数段に重なるように設けられ、前記移動体の往復動方向にそれぞれがスライドすることによって、前記ベースに対するカバー範囲を増減可能な複数のカバー体と、前記往復動方向のうちの一方向に高段側のカバー体がスライドしたとき、前記高段側のカバー体に隣り合う低段側のカバー体に前記一方向の力を付与可能な力付与機構と、を備え、前記力付与機構は、前記高段側のカバー体がスライド可能なスライド範囲の途中位置に該高段側のカバー体があるときに、前記低段側のカバー体に前記一方向の力を付与する

本発明によれば、移動装置に用いるうえで、移動体の速度安定性を確保し易くなる。

実施形態に係るスライドカバーが用いられるステージ装置を模式的に示す構成図である。実施形態に係るスライドカバーを示す平面部分断面図である。実施形態に係るスライドカバーを示す他の平面部分断面図である。図２のＡ−Ａ線断面図である。実施形態に係るスライドカバーを模式的に示す平面図である。実施形態に係るスライドカバーを模式的に示す他の平面図である。実施形態に係るスライドカバーの動作を説明するための図である。実施形態に係るスライドカバーの動作を説明するための他の図である。

以下、実施形態，変形例では、同一の構成要素に同一の符号を付し、重複する説明を省略する。また、各図面では、説明の便宜のため、構成要素の一部を適宜省略する。

図１（ａ）は本実施形態に係るスライドカバー１０が用いられる移動装置としてのステージ装置１２を模式的に示す構成図である。以下、後述するテーブル１６の往復動方向をＸ方向、Ｘ方向と直交して交差する交差方向をＹ方向として説明する。ＸＹ方向は何れも水平方向である。

ステージ装置１２は、Ｘ方向に沿って延在するベース１４と、ベース１４に対して一方向（Ｘ方向）に沿って往復動可能な移動体となるテーブル１６とを備える。テーブル１６はベース１４に対してＹ方向に配置される。ステージ装置１２は、有機ＥＬ（electro luminescence）機器等の半導体機器の検査に用いられる。テーブル１６の表面部には半導体機器の検査に用いられる複数のカメラ１８がＸ方向に間隔を空けて搭載される。

テーブル１６は、ベース１４に対して、ガイド機構２０を介してＸ方向にスライド自在に連結される。ガイド機構２０は、ベース１４に搭載されるガイドレール部２０ａと、テーブル１６の裏面部に搭載されるスライダ部２０ｂとを有する。スライダ部２０ｂはガイドレール部２０ａに沿ってスライド自在に取り付けられる。

ステージ装置１２は、テーブル１６をＸ方向に沿って移動させるためのリニア駆動装置としてリニアモータ２２を更に備える。リニアモータ２２は、ベース１４に搭載される固定子２２ａと、テーブル１６の裏面部に搭載される可動子２２ｂとを備える。固定子２２ａは一次側コイル（不図示）を有し、可動子２２ｂは二次側永久磁石（不図示）を有する。リニアモータ２２は、一次側コイルの励磁により生じる磁界と、二次側永久磁石の磁界との相互作用により、テーブル１６にＸ方向の推力を付与する。テーブル１６は、Ｘ方向の推力が付与されると、ガイド機構２０によりＸ方向に沿ってスライドするようにガイドされる。

ステージ装置１２は、ベース１４に対するテーブル１６の相対位置を検出するための位置検出装置２４を更に備える。位置検出装置２４は、ベース１４に搭載されるリニアスケール２４ａと、テーブル１６の裏面部に搭載されるセンサヘッド２４ｂとを備える。リニアスケール２４ａにはＸ方向に目盛りが配列される。センサヘッド２４ｂは、リニアスケール２４ａの目盛りを読み取ることで、ベース１４に対するテーブル１６の相対位置を示す信号を取得する。センサヘッド２４ｂは、この信号を後述する制御部２６に出力する。

ステージ装置１２は、テーブル１６の移動速度を制御するための制御部２６を有する。制御部２６は、センサヘッド２４ｂから出力される信号に基づき、テーブル１６の移動速度を演算する。制御部２６は、センサヘッド２４ｂから出力されるテーブル１６の位置や、演算により得られるテーブル１６の速度が目標位置、目標速度に近づくように、固定子２２ａの一次側コイルに対する通電量を制御する。

テーブル１６は、制御部２６による制御のもとで、所定のストローク範囲Ｓに亘り往復動可能である。図１（ａ）では、このストローク範囲ＳのうちのＸ方向の他端位置（図中右端位置）にテーブル１６がある状態を示す。図１（ｂ）では、このストローク範囲ＳのうちのＸ方向の一端位置（図中左端位置）にテーブル１６がある状態を示す。以下の説明では、テーブル１６の位置関係に関して、Ｘ方向の他端位置（図１（ａ）参照）にあるとき、−側エンド位置Ｐａ１にあるといい、Ｘ方向の一端位置（図１（ｂ）参照）にあるとき、＋側エンド位置Ｐａ２にあるという。

ステージ装置１２は、ベース１４の一部をＹ方向からカバーするスライドカバー１０を更に備える。図１ではスライドカバー１０のある範囲のみ示す。

図２、図３はスライドカバー１０を示す平面部分断面図である。図２はテーブル１６が−側エンド位置Ｐａ１にある状態を示し、図３はテーブル１６が＋側エンド位置Ｐａ２にある状態を示す。本図では後述するカバープレート４０に関して断面を示す。また、本図では、後述する力付与機構４６、第１反発力付与機構４８、第２反発力付与機構５０を省略する。

スライドカバー１０は、後述する固定フレーム３１に対して、Ｙ方向に複数段に重なるように設けられる複数のカバー体３０Ａ〜３０Ｃを備える。複数のカバー体３０Ａ〜３０Ｃには、低段側から高段側にかけて、第１カバー体３０Ａ、第２カバー体３０Ｂ、第３カバー体３０Ｃが順に設けられる。以下、複数のカバー体３０Ａ〜３０Ｃを総称するときは単にカバー体３０という。ここでいう「低段側」とは、後述のように複数のカバー体３０が伸縮するときに、ベース１４に対する移動量が小さい側をいい、「高段側」とはベース１４に対する移動量が大きい側をいう。

ベース１４にはベース１４の一部となる固定フレーム３１が固定され、１段目の第１カバー体３０Ａはスライド機構３２を介して固定フレーム３１に連結される。２段目以降の高段側の第２カバー体３０Ｂはスライド機構３２を介して低段側の第１カバー体３０Ａに連結され、高段側の第３カバー体３０Ｃはスライド機構３２を介して低段側の第２カバー体３０Ｂに連結される。最も高段側の第３カバー体３０Ｃは接続ブラケット３４を介してテーブル１６に接続される。複数のカバー体３０は、固定フレーム３１又は低段側のカバー体３０Ａ、３０Ｂにスライド機構３２を介してＸ方向にスライド自在に連結される。

図４は図２のＡ−Ａ線断面図である。
スライド機構３２は、図２、図４に示すように、一のカバー体３０を支持する低段側の他のカバー体３０Ａ、３０Ｂ又は固定フレーム３１に搭載されるガイドレール部３２ａと、一のカバー体３０に搭載されるスライド部３２ｂとを有する。ガイドレール部３２ａはＸ方向に沿って延在する。スライド部３２ｂはガイドレール部３２ａに沿ってスライド自在に取り付けられる。

カバー体３０は、図３に示すように、一のカバー体３０を支持する低段側の他のカバー体３０Ａ、３０Ｂ又は固定フレーム３１に、スライド機構３２を介してスライド自在に連結されるスライダフレーム３６を備える。また、複数のカバー体３０は、スライダフレーム３６にカバーブラケット３８を介して取り付けられるカバー部材としてのカバープレート４０を備える。複数のカバープレート４０は、Ｙ方向に重なるように入れ子構造で設けられる（図４も参照）。

高段側の第３カバー体３０Ｃのスライダフレーム３６には、図３に示すように、テーブル１６がＸ方向のうちの一方向Ｘａ（以下、伸び方向Ｘａという）に移動したとき、テーブル１６から接続ブラケット３４を介して同方向への移動力が伝達される。このとき、低段側のカバー体３０Ａ、３０Ｂには、後述する力付与機構４６により、伸び方向Ｘａへの力が付与される。これにより、複数のカバー体３０のスライダフレーム３６は、伸び方向Ｘａにそれぞれがスライドし、これにより複数のカバープレート４０全体が伸びるように移動し、複数のカバープレート４０によるベース１４に対するカバー範囲Ｓｃが増大する。このとき、ベース１４に搭載される内部機構のうち、テーブル１６の変位により露出する内部機構の一部が、複数のカバープレート４０によりＹ方向からカバーされる。ここでの「内部機構の一部」には、ガイド機構２０のガイドレール部２０ａが含まれる。

また、複数のカバー体３０のスライダフレーム３６には、図２に示すように、テーブル１６がＸ方向のうちの他方向Ｘｂ（以下、縮み方向Ｘｂという）に移動したとき、後述する力付与機構４６により、テーブル１６の移動に追従して同方向への力が付与される。これにより、複数のカバー体３０のスライダフレーム３６は、縮み方向Ｘｂにそれぞれがスライドし、これにより複数のカバープレート４０全体が縮むように移動し、複数のカバープレート４０によるベース１４に対するカバー範囲Ｓｃが減少する。つまり、複数のカバー体３０は、テーブル１６の往復動方向Ｘにそれぞれがスライドすることによって全体が伸縮可能であるとともに、Ｘ方向でのベース１４に対するカバー範囲Ｓｃを増減可能である。

図５、図６はスライドカバー１０を模式的に示す平面図であり、図５はテーブル１６が−側エンド位置Ｐａ１にあるときの状態を示し、図６はテーブル１６が＋側エンド位置Ｐａ２にあるときの状態を示す。本図では、説明の便宜のため、スライド機構３２、カバープレート４０を省略する。

スライドカバー１０は、伸び方向Ｘａに高段側のカバー体３０がスライドしたとき、そのカバー体３０に隣り合う低段側のカバー体３０に伸び方向Ｘａの力を付与可能な力付与機構４６を備える。力付与機構４６は、２段目以降の高段側のカバー体３０のそれぞれに対応して設けられる。また、スライドカバー１０は、一段目の第１カバー体３０Ａが伸び方向Ｘａにスライドしたとき、元の位置に第１カバー体３０Ａを戻すための付勢力を第１カバー体３０Ａに付与する付勢力付与機構４７を備える。力付与機構４６、付勢力付与機構４７の詳細は後述する。

スライドカバー１０は、図６に示すように、カバー体３０がスライドするとき、カバー体３０の伸び方向Ｘａでのスライド範囲を制限するための第１ストッパ機構４２を備える。第１ストッパ機構４２は、一のカバー体３０の縮み方向Ｘｂの端部に設けられる第１ストッパ部４２ａと、一のカバー体３０を支持する低段側のカバー体３０Ａ、３０Ｂ又は固定フレーム３１の伸び方向Ｘａの端部に設けられる第１被規制部４２ｂとを有する。カバー体３０は、第１ストッパ部４２ａと第１被規制部４２ｂとの係合により、カバー体３０の伸び方向Ｘａでのスライド範囲が制限される。

スライドカバー１０は、図５に示すように、カバー体３０がスライドするとき、カバー体３０の縮み方向Ｘｂでのスライド範囲を制限するための第２ストッパ機構４４を備える。第２ストッパ機構４４は、一のカバー体３０の伸び方向Ｘａの端部に設けられる第２ストッパ部４４ａと、一のカバー体３０を支持する低段側のカバー体３０又は固定フレーム３１の伸び方向Ｘａの端部に設けられる第２被規制部４４ｂとを有する。第３カバー体３０Ｃの第２ストッパ部４４ａは接続ブラケット３４に設けられる。カバー体３０は、第２ストッパ部４４ａと第２被規制部４４ｂとの係合により、カバー体３０の縮み方向Ｘｂでのスライド範囲が制限される。

以上の第１ストッパ機構４２、第２ストッパ機構４４により、カバー体３０がスライド可能なスライド範囲が制限される。以下の説明では、カバー体３０の位置関係に関して、このスライド範囲のうちの縮み方向Ｘｂの末端位置（図中右端位置）にあるとき縮み側末端位置にあるといい、伸び方向Ｘａの末端位置（図中左端位置）にあるとき、伸び側末端位置にあるという。

力付与機構４６は、弾性部材としてのバネ部材４６ａを含む。付勢力付与機構４７も、弾性部材としてのバネ部材４７ａを含む。バネ部材４６ａ、４７ａは引っ張りバネである。一のカバー体３０の伸び方向Ｘａの端部にはバネ部材４６ａ、４７ａを取り付けるための第１取付部４９ａが設けられる。一のカバー体３０を支持する低段側のカバー体３０Ａ、３０Ｂ又は固定フレーム３１の縮み方向Ｘｂの端部には、バネ部材４６ａ、４７ａを取り付けるための第２取付部４９ｂが設けられる。バネ部材４６ａ、４７ａは一端部が第１取付部４９ａに取り付けられ、他端部が第２取付部４９ｂに取り付けられる。一のカバー体３０と、一のカバー体３０を支持する低段側のカバー体３０Ａ、Ｂ又は固定フレーム３１とはバネ部材４６ａ、４７ａにより接続される。バネ部材４６ａ、４７ａは、テーブル１６が−側エンド位置Ｐａ１にあるとき、第１取付部４９ａと第２取付部４９ｂにＸ方向に縮むような付勢力を付与する。

第１ストッパ機構４２は、図６に示すように、第１ストッパ部４２ａに搭載される伸び規制用第１磁石４８ａと、第１被規制部４２ｂに搭載される伸び規制用第２磁石４８ｂとを更に有する。各磁石４８ａ、４８ｂは永久磁石である。各磁石４８ａ、４８ｂはＸ方向が着磁方向となり、Ｘ方向に対向する面が同極となる。つまり、各磁石４８ａ、４８ｂは同極がＸ方向に対向して設けられる。各磁石４８ａ、４８ｂは、カバー体３０がスライド範囲の伸び側末端位置に近づいたとき、伸び側末端位置から遠ざける方向Ｆａの反発力（斥力）をカバー体３０に付与する第１反発力付与機構４８となる。この方向Ｆａの反発力は、一のカバー体３０とともに、一のカバー体３０を支持する低段側のカバー体３０又は固定フレーム３１にも付与される。

第２ストッパ機構４４は、図５に示すように、第２ストッパ部４４ａに搭載される縮み規制用第１磁石５０ａと、第２被規制部４４ｂに搭載される縮み規制用第２磁石５０ｂとを更に有する。各磁石５０ａ、５０ｂは永久磁石である。各磁石５０ａ、５０ｂはＸ方向が着磁方向となり、Ｘ方向に対向する面が同極となる。つまり、各磁石５０ａ、５０ｂは同極がＸ方向に対向して設けられる。各磁石５０ａ、５０ｂは、カバー体３０がスライド範囲の縮み側末端位置に近づいたとき、縮み側末端位置から遠ざける方向Ｆｂの反発力（斥力）をカバー体３０に付与する第２反発力付与機構５０となる。この方向Ｆｂの反発力は、一のカバー体３０とともに、一のカバー体３０を支持する低段側のカバー体３０又は固定フレーム３１にも付与される。

以上のスライドカバー１０の動作を図７、図８を用いて説明する。
図７を用いて、テーブル１６が−側エンド位置Ｐａ１から＋側エンド位置Ｐａ２に移動する場合、つまり、テーブル１６が伸び方向Ｘａに沿って移動する場合を考える。第３カバー体３０Ｃには、図７（ａ）に示すように、テーブル１６から伸び方向Ｘａの移動力Ｆｃ１が伝達される。これにより、第３カバー体３０Ｃは、図７（ｂ）に示すように、テーブル１６に追従して伸び方向Ｘａにスライドする。

第３カバー体３０Ｃは第２カバー体３０Ｂに対して伸び方向Ｘａに相対移動するようにスライドし、第３カバー体３０Ｃの第１取付部４９ａと第２カバー体３０Ｂの第２取付部４９ｂとの距離Ｌａが増加するように変化する。このとき、力付与機構４６のバネ部材４６ａは、このスライドに追従して伸びるように弾性変形する。バネ部材４６ａに作用する付勢力は、距離Ｌａの増加に伴い、つまり、第３カバー体３０Ｃのスライド量の増加に伴い連続的に増大する。これにより、第２カバー体３０Ｂの第１取付部４９ａには連続的に増大する伸び方向Ｘａへの付勢力Ｆｃ２が付与される。ここで、第２カバー体３０Ｂと第１カバー体３０Ａを連結するスライド機構３２（図４参照）に作用する静止摩擦抵抗をＲａとする。第２カバー体３０Ｂは、この静止摩擦抵抗Ｒａよりも付勢力Ｆｃ２が大きくなったところで、図７（ｃ）に示すように、テーブル１６に追従して伸び方向Ｘａにスライドさせられる。

第２カバー体３０Ｂは第１カバー体３０Ａに対して伸び方向Ｘａに相対移動するようにスライドし、第２カバー体３０Ｂの第１取付部４９ａと第１カバー体３０Ａの第２取付部４９ｂとの距離Ｌｂが増加するように変化する。前述と同様の理由により、第１カバー体３０Ａの第１取付部４９ａには、力付与機構４６のバネ部材４６ａにより、連続的に増大する伸び方向Ｘａへの付勢力Ｆｃ３が付与される。第１カバー体３０Ａと固定フレーム３１を連結するスライド機構３２（図４参照）に作用する静止摩擦力をＲｂとする。第１カバー体３０Ａは、この静止摩擦抵抗Ｒｂよりも付勢力Ｆｃ３が大きくなったところで、テーブル１６に追従して伸び方向Ｘａにスライドさせられる。このとき、第１カバー体３０Ａは固定フレーム３１に対して伸び方向Ｘａに相対移動するようにスライドする。

以上のように、力付与機構４６は、テーブル１６に追従して伸び方向Ｘａに高段側のカバー体３０Ｂ、３０Ｃがスライドしたとき、高段側のカバー体３０Ｂ、３０Ｃに隣り合う低段側のカバー体３０Ａ、３０Ｂに伸び方向Ｘａの付勢力を付与する。これらの付勢力は、カバー体３０がスライド可能なスライド範囲の途中位置にあるときに常時に付与される。

テーブル１６が＋側エンド位置Ｐａ２に近づくと、カバー体３０はスライド範囲の伸び側末端位置（図６参照）に近づく。このとき、前述の第１反発力付与機構４８により、伸び側末端位置から遠ざける方向Ｆａの反発力が第１ストッパ部４２ａと第１被規制部４２ｂに付与される。

次に、図８を用いてテーブル１６が＋側エンド位置Ｐａ２から−側エンド位置Ｐａ１に移動する場合、つまり、テーブル１６が縮み方向Ｘｂに沿って移動する場合を考える。
テーブル１６が＋側エンド位置Ｐａ２に停止した状態にあるとき、テーブル１６には、複数の力付与機構４６の付勢力Ｆｄ１と、付勢力付与機構４７の付勢力Ｆｄ２とが縮み方向Ｘｂに付与される。また、テーブル１６には、これらの付勢力Ｆｄ１、Ｆｄ２の合力に釣り合うような伸び方向Ｘａの力がリニアモータ２２により付与される。この状態からリニアモータ２２による伸び方向Ｘａの力を減少させると、各カバー体３０は、力付与機構４６、付勢力付与機構４７のバネ部材４６ａ、４７ａの付勢力Ｆｄ１、Ｆｄ２により、縮み方向Ｘｂにスライドする。このとき、複数のカバー体３０は、一のカバー体３０を支持する低段側のカバー体３０Ａ、３０Ｂ又は固定フレーム３１に対して縮み方向Ｘｂに相対移動するようにスライドする。

テーブル１６が−側エンド位置Ｐａ１に近づくと、カバー体３０はスライド範囲の縮み側末端位置に近づく。このとき、前述の第２反発力付与機構５０により、縮み側末端位置から遠ざける方向Ｆｂ（図５参照）の反発力が第２ストッパ部４４ａと第２被規制部４４ｂに付与される。

以上のスライドカバー１０によれば、高段側のカバー体３０が伸び方向Ｘａにスライドするとき、そのカバー体３０がスライド範囲の途中位置にあるときに、力付与機構４６により低段側のカバー体３０に同方向の力を付与できる。よって、低段側のカバー体３０を伸び方向Ｘａにスライドさせるうえで、高段側のカバー体３０と低段側のカバー体３０の一部を直接に接触させて力を伝達させずともよくなり、両者の衝突によりテーブル１６に振動が加わるのを防止できる。

また、低段側のカバー体３０を伸び方向Ｘａにスライドさせるうえで、低段側のカバー体３０には、高段側のカバー体３０のスライド量の増大（変化）に伴い伸び方向Ｘａに連続的に大きくなるような付勢力を力付与機構４６により付与できる。低段側のカバー体３０に段階的に急激に大きくなるような伸び方向Ｘａの力が付与されると、これらに振動が加わり易くなり、これらの振動によりテーブル１６にも振動が加わり易くなる。この点、本実施形態によれば、低段側のカバー体３０に伸び方向Ｘａに連続的に大きくなるような付勢力を付与できるため、これらに振動が加わるのを防止して、テーブル１６に振動が加わるのを効果的に防止できる。

また、力付与機構４６は、カバー体３０のスライドに追従して弾性変形する弾性部材としてのバネ部材４６ａを含んでいる。よって、テーブル１６が伸び方向Ｘａに移動するとき、バネ部材４６ａの付勢力により低段側のカバー体３０を伸び方向Ｘａにスライド可能となるうえ、テーブル１６が縮み方向Ｘｂに移動するとき、バネ部材４６ａの付勢力により高段側のカバー体３０を縮み方向Ｘｂにスライド可能となる。このため、カバー体３０を縮み方向Ｘｂにスライドさせるうえで、高段側のカバー体３０と低段側のカバー体３０の一部を直接に接触させて力を伝達させずともよくなり、両者の衝突によりテーブル１６に振動が加わるのを防止できる。また、カバー体３０を伸び方向Ｘａ、縮み方向Ｘｂのそれぞれにスライドさせるうえで、別々の機構を用いずともよくなり、機構数の低減により製品コストの増大を抑えられる。

また、力付与機構４６のバネ部材４６ａは、高段側のカバー体３０の伸び方向Ｘａでの端部と、低段側のカバー体３０Ａ、３０Ｂの縮み方向Ｘｂでの端部とを接続している。従って、高段側のカバー体３０がスライドしたとき、バネ部材４６ａの伸び量を大きくし易くなる。この利点を説明する。バネ部材４６ａは、前述のように、スライド機構３２に作用する静止摩擦力より大きい所定の付勢力を付与できるように、伸び量、バネ係数を設計することになる。このとき、バネ部材４６ａの伸び量を大きくし易くなるということは、所定の付勢力を付与するうえで、バネ部材４６ａのバネ係数を小さく設計できることを意味する。バネ係数を小さくした場合、何らかの原因によりバネ部材４６ａの伸び量が増減するように振動したときでも、それだけ付勢力の変動を小さくでき、ステージ１５に大振幅の振動が加わるのを防止できるという利点につながる。

また、カバー体３０がスライド範囲の末端位置に近づいたとき、末端位置から遠ざける方向の反発力を付与する各反発力付与機構４８、５０がある。よって、テーブル１６が＋側エンド位置Ｐａ２や−側エンド位置Ｐａ１で停止するときに、第１ストッパ機構４２の第１ストッパ部４２ａと第１被規制部４２ｂや、第２ストッパ機構４４の第２ストッパ部４４ａと第２被規制部４４ｂが、慣性により衝突するのを防止できる。また、テーブル１６がストローク範囲Ｓの途中位置にあるとき、第１ストッパ機構４２の第１ストッパ部４２ａと第１被規制部４２ｂや、第２ストッパ機構４４の第２ストッパ部４４ａと第２被規制部４４ｂが衝突しようとしたときでも、各反発力付与機構４８、５０の反発力により、両者の衝突を防止できる。つまり、カバー体３０がスライド範囲の末端位置で他部材と衝突するのを防止できる。従って、テーブル１６を移動させるときに、カバー体３０のスライド範囲の末端位置での他部材との衝突により振動が加わるのを効果的に防止できる。

以上のように、テーブル１６に振動が加わるのを防止できるうえ、テーブル１６に大きな慣性力の変動が加わるのを防止できる。よって、テーブル１６に加わる負荷が大きく変動するのを防止でき、この結果、リニアモータ２２によりテーブル１６を一定速度で動かし易くなる。また、テーブル１６に振動が加わるのを防止することによって、センサヘッド２４ｂのリニアスケール２４ａの読み取り位置が振動により変化するのを防止できる。この結果、位置検出装置２４によるテーブル１６の相対位置を精度よく検出でき、制御部２６によりリニアモータ２２を精度よく制御し易くなる。これらが相まって、テーブル１６の速度安定性を確保し易くなる

以上、実施の形態に基づき本発明を説明したが、実施の形態は、本発明の原理、応用を示すにすぎない。また、実施の形態には、請求の範囲に規定された本発明の思想を逸脱しない範囲において、多くの変形例や配置の変更が可能である。

スライドカバー１０はステージ装置１２に用いられる例を説明した。ステージ装置１２は、半導体機器の検査に用いられる例を説明したが、これに限られず、液晶機器等の種々の機器を対象として、その検査、製造等に用いられてもよい。また、スライドカバー１０の用途はステージ装置１２に限られず、種々の移動装置に用いられていればよい。

また、力付与機構４６は、高段側のカバー体３０が伸び方向Ｘａにスライドしたとき、バネ部材４６ａを用いて、低段側のカバー体３０に伸び方向Ｘａの力を付与する例を説明した。このような力を付与するうえでは、バネ部材４６ａの他に、磁石による反発力を用いてもよい。磁石を用いた場合でも、高段側のカバー体３０がスライド範囲の途中位置にあるときに、低段側のカバー体３０に反発力を付与できる。

また、力付与機構４６は、高段側のカバー体３０が伸び方向Ｘａにスライドしたときに、低段側のカバー体３０に伸び方向Ｘａの力を付与する例を説明した。この他にも、高段側のカバー体３０が縮み方向Ｘｂにスライドしたときに、低段側のカバー体３０に縮み方向Ｘｂの力を付与するようにしてもよい。

１０…スライドカバー、１４…ベース、３０Ａ〜３０Ｃ…カバー体、４６…力付与機構、４６ａ…バネ部材（弾性部材）、４８…第１反発力付与機構、５０…第２反発力付与機構。

Claims

ベースと、前記ベースに対して往復動可能な移動体とを備える移動装置に用いられるスライドカバーであって、
前記ベースに対して複数段に重なるように設けられ、前記移動体の往復動方向にそれぞれがスライドすることによって、前記ベースに対するカバー範囲を増減可能な複数のカバー体と、
前記往復動方向のうちの一方向に高段側のカバー体がスライドしたとき、前記高段側のカバー体に隣り合う低段側のカバー体に前記一方向の力を付与可能な力付与機構と、を備え、
前記力付与機構は、前記高段側のカバー体がスライド可能なスライド範囲の途中位置に該高段側のカバー体があるときに、前記低段側のカバー体に前記一方向の力を付与し、
前記カバー体がスライド可能なスライド範囲の末端位置に該カバー体が近づいたとき、該末端位置から遠ざける方向の反発力を該カバー体に付与する反発力付与機構を備え、
前記反発力付与機構は、前記反発力として斥力を前記カバー体に付与する一対の磁石を備えることを特徴とするスライドカバー。
前記力付与機構は、前記カバー体のスライドに追従して弾性変形可能な弾性部材を含むことを特徴とする請求項１に記載のスライドカバー。
ベースと、前記ベースに対して往復動可能な移動体とを備える移動装置に用いられるスライドカバーであって、
前記ベースに対して複数段に重なるように設けられ、前記移動体の往復動方向にそれぞれがスライドすることによって、前記ベースに対するカバー範囲を増減可能な複数のカバー体と、
前記往復動方向のうちの一方向に高段側のカバー体がスライドしたとき、前記高段側のカバー体に隣り合う低段側のカバー体に前記一方向の力を付与可能な力付与機構と、を備え、
前記力付与機構は、前記高段側のカバー体がスライド可能なスライド範囲の途中位置に該高段側のカバー体があるときに、前記低段側のカバー体に前記一方向の力を付与し、
前記カバー体がスライド可能なスライド範囲のうち、前記複数のカバー体の伸び方向の末端位置を伸び側末端位置というとき、
前記伸び側末端位置に該カバー体が近づいたとき、該伸び側末端位置から遠ざける方向の反発力を該カバー体に付与する反発力付与機構を備え、
前記反発力付与機構は、前記力付与機構とは別体に設けられ、
前記力付与機構は、前記カバー体のスライドに追従して弾性変形可能な弾性部材を含み、
前記複数のカバー体は、前記往復動方向と直交する交差方向に複数段に重なるように設けられ、
前記弾性部材は、隣り合うカバー体に対して前記交差方向に挟まれた位置に配置されることを特徴とするスライドカバー。
ベースと、前記ベースに対して往復動可能な移動体とを備える移動装置に用いられるスライドカバーであって、
前記ベースに対して複数段に重なるように設けられ、前記移動体の往復動方向にそれぞれがスライドすることによって、前記ベースに対するカバー範囲を増減可能な複数のカバー体と、
前記往復動方向のうちの一方向に高段側のカバー体がスライドしたとき、前記高段側のカバー体に隣り合う低段側のカバー体に前記一方向の力を付与可能な力付与機構と、を備え、
前記力付与機構は、前記高段側のカバー体がスライド可能なスライド範囲の途中位置に該高段側のカバー体があるときに、前記低段側のカバー体に前記一方向の力を付与し、
前記カバー体がスライド可能なスライド範囲のうち、前記複数のカバー体の伸び方向の末端位置を伸び側末端位置というとき、
前記伸び側末端位置に該カバー体が近づいたとき、該伸び側末端位置から遠ざける方向の反発力を該カバー体に付与する反発力付与機構を備え、
前記反発力付与機構は、前記力付与機構とは別体に設けられ、
前記力付与機構は、前記カバー体のスライドに追従して弾性変形可能な弾性部材を含み、
前記複数のカバー体は、前記往復動方向にそれぞれがスライドすることによって全体が伸縮可能であり、
前記弾性部材は、隣り合うカバー体のうちの高段側のカバー体の伸び方向での端部と、前記隣り合うカバー体のうちの低段側のカバー体の縮み方向での端部とを接続することを特徴とするスライドカバー。