JP7309773B2

JP7309773B2 - 成膜装置及び電子デバイスの製造方法

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Publication number: JP7309773B2
Application number: JP2021060069A
Authority: JP
Inventors: 琢治梅津; 昌史森下
Original assignee: Canon Tokki Corp
Current assignee: Canon Tokki Corp
Priority date: 2021-03-31
Filing date: 2021-03-31
Publication date: 2023-07-18
Anticipated expiration: 2041-03-31
Also published as: JP2022156402A; CN115142023A; CN115142023B; KR20220136248A

Description

本発明は、成膜源によって基板上に薄膜を形成する成膜装置及び電子デバイスの製造方法に関する。

成膜装置においては、成膜源が移動可能に構成されている。成膜源を移動可能に構成するために、成膜装置においては、レールと、このレール上をレールに沿って移動する成膜源ユニットとを備えている。なお、成膜源ユニットは、少なくとも成膜源を有している。そして、レールと成膜源ユニットとが接する領域には、成膜源ユニットの内部を通じて、潤滑剤が供給されるように構成されている。成膜装置においては、潤滑剤が飛び散ると、基板への成膜に悪影響が出るため、潤滑剤が飛び散らないように、成膜源ユニットにはカバー部材が設けられている。潤滑剤が飛び散ってしまうことをより確実に抑制させるためには、カバー部材における成膜源ユニットの移動方向の長さを長くするのが望ましい。しかしながら、カバー部材の寸法を長くすると、レール等の設置スペースが広くなり、装置全体が大型化してしまうといった難点がある。

特開２０１９－２６９３１号公報

本発明の目的は、装置の大型化を抑制しつつ、潤滑剤の飛び散りを抑制することのできる成膜装置及び電子デバイスの製造方法を提供することにある。

本発明は、上記課題を解決するために以下の手段を採用した。

すなわち、本発明の成膜装置は、
潤滑剤が付着するレールと、
前記レールに当接しながら前記レールに沿った移動方向に移動する、少なくとも成膜源を有する成膜源ユニットと、
前記成膜源ユニットに取り付けられ、前記レールの一部を覆うカバー部材と、を備え、
前記カバー部材は伸縮可能な伸縮部を有し、
前記レールは前記成膜源ユニットの移動範囲を規定するストッパーを有し、
前記カバー部材が前記ストッパーに押し当てられた際に、前記伸縮部が縮むことにより、前記成膜源ユニットが前記移動範囲の端に位置しているときに、前記カバー部材の前記移動方向における長さが第１の長さより長い第２の長さから変化して前記第１の長さとなり、
前記カバー部材が前記ストッパーから離れる際に、前記伸縮部の弾性力によって前記伸縮部が伸びることにより前記カバー部材の前記移動方向における長さが前記第１の長さから前記第２の長さに変化することにより、前記成膜源ユニットが移動しているときに、前記カバー部材の前記移動方向における長さが前記第２の長さとなる
ことを特徴とする。

本発明によれば、成膜源ユニットが移動している間は、カバー部材は第１の長さより長い第２の長さとなり、潤滑剤の飛び散りをより確実に抑制することができる。また、成膜源ユニットが移動範囲の端に位置する際においては、カバー部材は第２の長さより短い第１の長さとなり、装置の大型化を抑制することができる。

以上説明したように、本発明によれば、装置の大型化を抑制しつつ、潤滑剤の飛び散りを抑制することができる。

本発明の実施形態に係る成膜装置の概略構成図である。本発明の実施形態に係る成膜装置の主要構成図である。本発明の実施形態に係る移動機構の概略構成図である。本発明の実施形態に係る移動機構の模式的断面図である。本発明の実施例１に係る移動機構の一部の構成を示す図である。本発明の実施例１に係るカバーユニットのメカニズム説明図である。本発明の実施例２に係るカバーユニットのメカニズム説明図である。本発明の実施例３に係る移動機構の一部の構成を示す図である。本発明の実施例３に係るカバーユニットのメカニズム説明図である。本発明の実施例４に係るカバーユニットのメカニズム説明図である。有機ＥＬ表示装置の説明図である。

以下に図面を参照して、この発明を実施するための形態を、実施例に基づいて例示的に詳しく説明する。ただし、この実施例に記載されている構成部品の寸法、材質、形状、その相対配置などは、特に特定的な記載がない限りは、この発明の範囲をそれらのみに限定する趣旨のものではない。

（実施形態）
図１～図４を参照して、本発明の実施形態に係る成膜装置について説明する。図１は本発明の実施形態に係る成膜装置の概略構成図であり、装置内部に設けられる主要な構成を概略的に示している。図２は本発明の実施形態に係る成膜装置の主要構成図であり、成膜源を移動させるための機構について平面図にて概略的に示している。図３は本発明の実施形態に係る移動機構の概略構成図であり、同図（ａ）は移動機構の一部の平面図を示し、同図（ｂ）は移動機構の一部の側面図を示している。図４は本発明の実施形態に係る移動機構の模式的断面図であり、図３（ｂ）において、内部の構成が分かり易いように断面図にて示したものである。

＜成膜装置の全体構成＞
本実施形態に係る成膜装置は、内部が真空雰囲気となるチャンバ１と、チャンバ１内に備えられる成膜源１００と、成膜源１００を移動させるための第１移動機構３００及び第２移動機構４００とを備えている。チャンバ１は気密容器であり、不図示の排気ポンプによって、その内部は真空状態（又は減圧状態）に維持される。第１移動手段としての第１移動機構３００は、成膜源１００を第１方向に移動させるために設けられている。より具体的には、成膜源１００は、第１移動機構３００によって、第１方向に直線的に往復移動するように構成されている。また、第２移動手段としての第２移動機構４００は、成膜源１００を第１方向と交差する（より具体的には直交する）第２方向に移動させるために設けられている。より具体的には、成膜源１００は、第２移動機構４００によって、第２方向に直線的に往復移動するように構成されている。また、この第２移動機構４００は、第１移動機構３００により第１方向に移動可能に構成されている。

そして、成膜源１００は、第２移動機構４００に固定されている。この成膜源１００には大気ボックスが設けられている。この大気ボックスの内部は、第１大気アーム２１０及び第２大気アーム２２０の内部を通じて、チャンバ１の外部と連通するように構成されている。このような構成により、成膜源１００に電気配線や冷却管を接続することが可能となっている。なお、第１大気アーム２１０と第２大気アーム２２０は、成膜源１００の移動に追随して動作するように構成されている。より具体的には、第１アーム２１０は、その一端がチャンバ１の底板に対して回動自在に構成されている。そして、第２アーム２２
０は、その一端が第１アーム２１０の他端に対して回動自在に軸支され、その他端が成膜源１００に設けられた大気ボックスに対して回動自在に軸支されている。

本実施形態に係る成膜装置においては、図２中、矢印Ａ側の領域（第１領域と称する）と、矢印Ｂ側の領域（第２領域と称する）のそれぞれの領域において、成膜を行うことができるように構成されている。第１領域で成膜を行う場合には、第１移動機構３００により、成膜源１００を第１領域に移動させた状態で、第２移動機構４００により成膜源１００を移動させつつ成膜源１００を稼働させることで、第１領域に配された基板Ｐ上に、マスクＭを介して成膜することができる。第２領域で成膜を行う場合には、第１移動機構３００により、成膜源１００を第２領域に移動させた状態で、第２移動機構４００により成膜源１００を移動させつつ成膜源１００を稼働させることで、第２領域に配された基板Ｐ上に、マスクＭを介して成膜することができる。

なお、本実施形態に係る成膜装置としては、真空蒸着装置やスパッタ装置を採用することができる。成膜装置が真空蒸着装置の場合には、成膜源１００は蒸発源などにより構成される。また、成膜装置がスパッタ装置の場合には、成膜源１００は、ターゲットなどにより構成される。

＜移動機構＞
第１移動機構３００と第２移動機構４００について、より詳細に説明する。なお、これら第１移動機構３００と第２移動機構４００の基本的な構成及び動作メカニズムは同様であるので、まず、図３及び図４を参照して、移動機構の基本的な構成等について説明する。

移動機構は、直線運動案内装置などと呼ばれる装置を備えており、直線状に伸びる案内レール１０と、案内レール１０に当接しながら案内レール１０に沿って移動する移動体２０とを備えている。なお、移動体２０は、ガイドブロックと呼ばれることもある。直線運動案内装置については公知技術であり、本実施例ではＬＭガイド（登録商標）を用いた場合について記載する。移動体２０の内部には、複数の転動体２１（鉄球等）が無限循環路内を循環するように構成されている。そして、これら複数の転動体２１が、案内レール１０に設けられた転動体用の溝１１を転がりながら移動するように構成されている。転動体２１や溝１１などの摺動摩耗を低減させるために、これらに対して潤滑剤（グリス）が供給できるように、移動体２０には潤滑剤を供給するための通路２２が設けられている。もちろんそれ以外の技術を用いて構成することも可能である。

そして、移動機構においては、移動体２０の内部に設けられた通路２２に潤滑剤を供給するための供給部材５０が、移動体２０における移動方向の端部に固定されている。この供給部材５０には、潤滑剤を供給するための通路５１が設けられている。通路５１の入口には不図示のグリスニップルが設置され、この部分より潤滑剤が供給される。これにより、案内レール１０の溝１１には潤滑剤が付着する。また、移動機構においては、案内レール１０に設けられた溝１１に供給された潤滑剤が飛び散ることを抑制するために、案内レール１０の一部を覆うカバー部材６１を有するカバーユニット６０が設けられている。このカバーユニット６０は、供給部材５０を介して移動体２０とは反対側に、供給部材５０に固定されている。

以上のように構成される移動機構により、移動体２０に固定される固定部材８０を、移動体２０の移動と共に、案内レール１０に沿うように、移動させることが可能となる。そして、本実施形態に係る成膜装置においては、カバー部材６１は、成膜工程等において移動体２０と共に成膜源１００が移動している間の長尺状態（第２の長さの状態または第４の長さの状態）と、移動体２０が案内レール１０の端部に位置する際に上記の長尺状態よ
りも移動体２０の移動方向の長さが短くなる短尺状態（第１の長さの状態または第３の長さの状態）とに変化するように構成されている。つまり、移動体２０と共に成膜源１００等が、移動範囲の端に位置しているときにはカバー部材６１は長尺状態となり、移動しているときにはカバー部材６１は短尺状態となる。

＜＜第１移動機構＞＞
第１移動機構３００は、互いに平行に設置される一対の第１案内レール３１０を備えている。これら一対の第１案内レール３１０は、いずれも上記の基本的な構成における「案内レール１０」に相当する。そして、これら一対の第１案内レール３１０上には、それぞれの第１案内レール３１０に沿って移動する第１移動体（不図示）が２つずつ設けられている。これらの第１移動体は、いずれも上記の基本的な構成における「移動体２０」に相当する。そして、各々の第１移動体には、それぞれ第１供給部材３５０が固定されている。これらの第１供給部材３５０は、いずれも上記の基本的な構成における「供給部材５０」に相当する。また、各々の第１供給部材３５０には、それぞれ第１カバーユニット３６０が固定されている。これらの第１カバーユニット３６０は、いずれも上記の基本的な構成における「カバーユニット６０」に相当する。また、第１案内レール３１０の両端には、それぞれ、成膜源１００を有する成膜源ユニットの移動範囲を規定するストッパー３７０が設けられている。

そして、第２移動機構４００を構成する一対の第２案内レール（第２のレール）４１０が、複数の第１移動体に固定されている。具体的には、一方の第２案内レール４１０の一端側が、一対の第１案内レール３１０のうちの一方に設けられた第１移動体に固定され、他端側が一対の第１案内レール３１０のうちの他方に設けられた第１移動体に固定されている。他方の第２案内レール４１０についても同様である。また、一対の第２案内レール４１０は、一対の連結部材３３０によって連結されている。そして、これら一対の連結部材３３０のうちの少なくとも一方に、不図示の駆動源（モータなど）により回転するギア３４０が設けられている。このギアは、第１案内レール３１０の側面に形成されたラックと噛み合うように構成されている。以上のような構成により、駆動源によってギア３４０を回転させることで、複数の第１移動体と共に、第２移動機構４００の全体を第１方向に直線的に往復移動させることができる。以上のように構成される第１移動機構３００の観点で考慮した場合、「成膜源ユニット」は、成膜源１００と第２移動機構４００と第１移動体と第１供給部材３５０とを有すると言える。

＜＜第２移動機構＞＞
第２移動機構４００は、互いに平行に設置される一対の第２案内レール４１０を備えている。これら一対の第２案内レール４１０は、いずれも上記の基本的な構成における「案内レール１０」に相当する。そして、これら一対の第２案内レール４１０上には、それぞれの第２案内レール４１０に沿って移動する第２移動体（不図示）が２つずつ設けられている。これらの第２移動体は、いずれも上記の基本的な構成における「移動体２０」に相当する。そして、各々の第２移動体には、それぞれ第２供給部材４５０が固定されている。これらの第２供給部材４５０は、いずれも上記の基本的な構成における「供給部材５０」に相当する。また、各々の第２供給部材４５０には、それぞれ第２カバーユニット４６０が固定されている。これらの第２カバーユニット４６０は、いずれも上記の基本的な構成における「カバーユニット６０」に相当する。また、第２案内レール４１０の両端には、それぞれ、成膜源１００を有する成膜源ユニットの移動範囲を規定するストッパー４７０が設けられている。

そして、複数の第２移動体上に、成膜源１００が固定されている。成膜源１００には、回転軸４４１と、回転軸４４１の両端に設けられるギア４４２が設けられている。これらのギア４４２は、第２案内レール４１０の上面に形成されたラックと噛み合うように構成
されている。以上のような構成により、不図示の駆動源によって回転軸４４１と共にギア４４２を回転させることで、複数の第２移動体と共に、成膜源１００を第２方向に直線的に往復移動させることができる。以上のように構成される第２移動機構４００の観点で考慮した場合、「成膜源ユニット」は、成膜源１００と第２移動体と第２供給部材４５０とを有すると言える。

以上のように、成膜源１００は、第２移動体に対して直接的に固定され、第１移動体に対して間接的に固定されている。なお、上記の第１移動機構３００及び第２移動機構４００において、移動体を移動させるための機構として、いわゆるラックアンドピニオン機構を採用する場合を示した。しかしながら、これらの移動機構において、移動体を移動させるための機構としては、ラックアンドピニオン機構に限定されることはなく、ボールねじ機構など、各種公知技術を採用し得る。

＜本実施例に係る成膜装置の優れた点＞
本実施例に係る成膜装置によれば、成膜源１００が移動している間は、カバー部材６１は長尺状態を維持するため、潤滑剤の飛び散りを抑制することができる。また、移動体２０（第１移動体、第２移動体）が案内レール１０（第１案内レール３１０、第２案内レール４１０）の端部（移動範囲の端）に位置する際においては、カバー部材６１は短尺状態となるため、装置の大型化を抑制することができる。

次に、カバーユニット６０（第１カバーユニット３６０、第２カバーユニット４６０）のより具体的な実施例について説明する。

（実施例１）
図５及び図６には、本発明の実施例１に係るカバーユニットが示されている。図５は本発明の実施例１に係る移動機構の一部の構成を示す図である。図６は本発明の実施例１に係るカバーユニットのメカニズム説明図である。図５は図６中左側からカバーユニット６０Ａ等を見た図に相当する。また、図６においては、各部材を断面的に見た図を示しており、図６中のカバーユニット６０Ａ等の断面は、図５中のＣＣ断面図に相当する。なお、上記実施形態で説明した構成と同一の構成部分については、同一の符号を付して、その説明は適宜省略する。

本実施例に係るカバーユニット６０Ａは、カバー部材６１を備えている。このカバー部材６１は、一方の端部に第１側壁部６３を有し、他方の端部に第２側壁部６４を有している。カバー部材６１は、伸縮可能な伸縮部としての伸縮カバーにより構成されており、金属製かつ蛇腹状の部材（ベローズ）により構成されている。図５に示すように、本実施例に係るカバー部材６１は、正面から見ると円弧形状の部材により構成されているが、多角形状など、各種の形状を採用し得る。また、カバー部材６１は、案内レール１０の上面のうち幅方向全体と、案内レール１０の両側面の一部を覆うように構成されている。更に、本実施例に係るカバー部材６１においては、外力が作用していない状態では、一定の長さ（移動体２０の移動方向における長さ）を保持し、外力が加わることで伸縮し、かつ、外力がなくなると元の状態に戻るような弾性を有している。

また、本実施例に係るカバーユニット６０Ａにおいては、カバー部材６１が伸縮する際に、カバー部材６１の形状の状態を安定化させるためのガイド機構６２が設けられている。本実施例に係るガイド機構６２においては、直線運動案内装置を採用している。すなわち、ガイド機構６２は、第１側壁部６３に一端部が固定される案内レール６２ａと、この案内レール６２ａ上を案内レール６２ａに沿って移動する移動体６２ｂと、一端が移動体６２ｂに固定され、他端が第２側壁部６４に固定される連結部材６２ｃとを備えている。ただし、ガイド機構については、直線運動案内装置に限らず、各種の構成を採用し得る。

以上のように構成されるカバーユニット６０Ａによれば、カバー部材６１の第２側壁部６４が案内レール１０の端部に設けられたストッパー７０に押し当てられて縮むことにより、長尺状態（図６（ａ）参照）から短尺状態（図６（ｂ）参照）に変化する。そして、カバー部材６１がストッパー７０から離れると、カバー部材６１自体の弾性力によって短尺状態から長尺状態に変化する。

（実施例２）
図７には、本発明の実施例２に係るカバーユニットが示されている。図７は本発明の実施例２に係るカバーユニットのメカニズム説明図である。図７においては、各部材を断面的に見た図を示している。なお、上記実施形態及び実施例で説明した構成と同一の構成部分については、同一の符号を付して、その説明は適宜省略する。

本実施例に係るカバーユニット６０Ｂは、カバー部材６１を備えている。このカバー部材６１は、一方の端部に第１側壁部６３を有し、他方の端部に第２側壁部６４を有している。カバー部材６１は、伸縮可能な伸縮部としての伸縮カバーにより構成されており、金属製かつ蛇腹状の部材により構成されているが、収納可能で真空装置内で影響が無ければ材質は問わない。カバー部材が各種の形状を採用し得る点と、案内レール１０の上面のうち幅方向全体と、案内レール１０の両側面の一部を覆うように構成されている点については実施例１と同様である。本実施例に係るカバー部材６１においては、実施例１の場合とは異なり、一定の長さ（移動体２０の移動方向における長さ）を保持する機構を有していることが特徴である。

また、本実施例に係るカバーユニット６０Ｂにおいても、カバー部材６１が伸縮する際に、カバー部材６１の形状の状態を安定化させるためのガイド機構６２が設けられている。ガイド機構６２は、一端が第１側壁部６３に固定され、他端にストッパー６２ｄ１を有するガイドピン６２ｄと、筒状のケース６２ｅと、ケース６２ｅ内に配される弾性部材としてのバネ部材６２ｇと、ガイドピン６２ｄの軸受６２ｆとを備えている。バネ部材６２ｇは、一端がガイドピン６２ｄのストッパー６２ｄ１に接し、他端が第２側壁部６４に接するように設けられている。また、このバネ部材６２ｇは、カバー部材６１を長尺状態に維持させるための役割を担っている。

以上のように構成されるカバーユニット６０Ｂによれば、カバー部材６１が案内レール１０の端部に設けられたストッパー７０に押し当てられると、バネ部材６２ｇが収縮しつつ、カバー部材６１は長尺状態（図７（ａ）参照）から短尺状態（図７（ｂ）参照）に変化する。そして、カバー部材６１がストッパー７０から離れる方向に移動するにつれてバネ部材６２ｇが弾性力により元の状態に戻ることで、カバー部材６１を伸ばす方向に付勢して、カバー部材６１は短尺状態から長尺状態に変化する。

（実施例３）
図８及び図９には、本発明の実施例３に係るカバーユニットが示されている。図８は本発明の実施例３に係る移動機構の一部の構成を示す図である。図９は本発明の実施例３に係るカバーユニットのメカニズム説明図である。図８は図９中左側からカバーユニット６０Ｃ等を見た図に相当する。また、図９においては、各部材を断面的に見た図を示しており、図９中のカバーユニット６０Ｃ等の断面は、図８中のＤＤ断面図に相当する。なお、上記実施形態及び実施例で説明した構成と同一の構成部分については、同一の符号を付して、その説明は適宜省略する。

本実施例に係るカバーユニット６０Ｃは、いずれも金属などにより構成される第１カバー部品６１ａと第２カバー部品６１ｂとを備えている。本実施例においては、これら第１
カバー部品６１ａと第２カバー部品６１ｂによって、カバー部材が構成される。第１カバー部品６１ａと第２カバー部品６１ｂは、いずれも正面から見て円弧形状の部分と、円弧形状の部分の一端に設けられる側壁部分とを備えている。そして、第２カバー部品６１ｂは、第１カバー部品６１ａに対して移動体２０の移動方向と平行な方向に一定の範囲内でスライド可能に設けられている。なお、これら第１カバー部品６１ａと第２カバー部品６１ｂについては、これらが一定の範囲内でスライド可能に構成されれば、各種の形状を採用し得る。また、第１カバー部品６１ａと第２カバー部品６１ｂは、案内レール１０の上面のうち幅方向全体と、案内レール１０の両側面の一部を覆うように構成されている。なお、第１カバー部品６１ａと供給部材５０とは固定されている。

また、本実施例に係るカバーユニット６０Ｃにおいては、第１カバー部品６１ａと第２カバー部品６１ｂの移動時の状態を安定させるためのガイド機構６２が設けられている。ガイド機構６２の構成については、上記実施例１と同様である。そして、本実施例に係るカバーユニット６０Ｃにおいては、第２カバー部品６１ｂと案内レール１０に設けられたストッパー７０との対向面には、それぞれ磁力発生部材としての永久磁石Ｍ１，Ｍ２が設けられている。これらの永久磁石Ｍ１，Ｍ２は、異なる磁極が対向するように配されることにより、互いを磁気吸着させるように設けられている。なお、永久磁石Ｍ１，Ｍ２については、電磁石を採用しても構わない。

以上のように構成されるカバーユニット６０Ｃによれば、カバー部材を構成する第２カバー部品６１ｂがストッパー７０に押し当てられると、第２カバー部品６１ｂに対して第１カバー部品６１ａがストッパー７０に向かってスライドする。これにより、カバー部材は長尺状態（図９（ａ）参照）から短尺状態（図９（ｂ）参照）に変化する。そして、第１カバー部品６１ａがストッパー７０から離れる方向に移動すると一定の範囲までは第２カバー部品６１ｂは磁気吸着により移動することなく（図９（ｃ）参照）、一定の範囲に達すると第２カバー部品６１ｂは第１カバー部品６１ａと共に移動する。このような動作によって、カバー部材は短尺状態から長尺状態に変化する。

なお、カバー部材がストッパー７０に近づく方向に移動する際に、上記の長尺状態を維持すべく、第１カバー部品６１ａと第２カバー部品６１ｂとがスライドしてしまわないように、弾性部材としてのバネ部材６１ｃを設けると好適である。バネ部材６１ｃは圧縮バネである。このバネ部材６１ｃを設けることで、第１カバー部品６１ａと第２カバー部品６１ｂとが離れた状態を維持することができる。ただし、第１カバー部品６１ａと第２カバー部品６１ｂとの間の摩擦抵抗だけで、これらが移動中にスライドしてしまうことを抑制できる場合には、バネ部材６１ｃは設けなくてもよい。また、カバー部材がストッパー７０から離れる方向に移動する際に、第２カバー部品６１ｂが第１カバー部品６１ａから抜け落ちないようにストッパーを設けると好適である。ストッパーを設ける位置については、特に限定されるものではないが、例えば、ガイド機構６２において、案内レール６２ａから移動体６２ｂが外れないように、案内レール６２ａにストッパーを設けることができる。

（実施例４）
図１０には、本発明の実施例４に係るカバーユニットが示されている。図１０は本発明の実施例４に係るカバーユニットのメカニズム説明図である。図１０においては、各部材を断面的に見た図を示している。なお、上記実施形態及び実施例で説明した構成と同一の構成部分については、同一の符号を付して、その説明は適宜省略する。

本実施例に係るカバーユニット６０Ｄは、いずれも金属などにより構成される第１カバー部品６１ｓと第２カバー部品６１ｔと第３カバー部品６１ｕとを備えている。本実施例においては、これら第１カバー部品６１ｓと第２カバー部品６１ｔと第３カバー部品６１
ｕによって、カバー部材が構成される。これらのカバー部品は、いずれも正面から見て円弧形状の部材により構成されている。そして、これらのカバー部品は、互いにスライド可能に設けられている。具体的には、第１カバー部品６１ｓと第２カバー部品６１ｔが、移動体２０の移動方向と平行な方向に、互いにスライド可能に設けられ、同様に、第２カバー部品６１ｔと第３カバー部品６１ｕが、移動体２０の移動方向と平行な方向に、互いにスライド可能に設けられている。なお、これらのカバー部品については、これらが互いにスライド可能に構成されれば、各種の形状を採用し得る。また、これらのカバー部品は、案内レール１０の上面のうち幅方向全体と、案内レール１０の両側面の一部を覆うように構成されている。なお、第１カバー部品６１ｓと供給部材５０とは固定されている。

また、本実施例に係るカバーユニット６０Ｄにおいては、互いにスライドし合うカバー部品同士の各一端部には、それぞれ磁力発生部材が互いを磁気的に反発させるように設けられている。より具体的には、第１カバー部品６１ｓと第２カバー部品６１ｔと第３カバー部品６１ｕには、各々の一端部に永久磁石Ｍ３，Ｍ４，Ｍ５がそれぞれ設けられている。そして、第１カバー部品６１ｓに設けられた永久磁石Ｍ３と、第２カバー部品６１ｔに設けられた永久磁石Ｍ４は、同一の磁極が向かい合うように配されている。また、第２カバー部品６１ｔに設けられた永久磁石Ｍ４と、第３カバー部品６１ｕに設けられた永久磁石Ｍ５は、同一の磁極が向かい合うように配されている。なお、永久磁石Ｍ３，Ｍ４，Ｍ５については、電磁石を採用しても構わない。

以上のように構成されるカバーユニット６０Ｄによれば、カバー部材における第３カバー部品６１ｕが案内レール１０の端部に設けられたストッパー７０に押し当てられると、磁気的な反発力に抗して各一端部同士が近付くようにカバー部品同士がスライドする。つまり、第１カバー部品６１ｓの一端部と第２カバー部品６１ｔの一端部同士が近付くように、第１カバー部品６１ｓと第２カバー部品６１ｔとの間でスライドする。また、第２カバー部品６１ｔの一端部と第３カバー部品６１ｕの一端部同士が近付くように、第２カバー部品６１ｔと第３カバー部品６１ｕとの間でスライドする。これにより、カバー部材は長尺状態（図１０（ａ）参照）から短尺状態（図１０（ｂ）参照）に変化する。

そして、ストッパー７０から最も離れた第１カバー部品６１ｓから順にストッパー７０から離れていくと、カバー部材は短尺状態から徐々に長尺状態に変化する（図１０（ｃ）参照）。すなわち、第１カバー部品６１ｓがストッパー７０から離れていくと、永久磁石Ｍ３と永久磁石Ｍ４との磁気的な反発力が徐々に低下する。その後、この反発力と、第１カバー部品６１ｓと第２カバー部品６１ｔとの間の摩擦抵抗力が釣り合うと、第２カバー部品６１ｔも第１カバー部品６１ｓと共に移動する。そして、第２カバー部品６１ｔがストッパー７０から離れていくと、永久磁石Ｍ４と永久磁石Ｍ５との磁気的な反発力が徐々に低下する。その後、この反発力と、第２カバー部品６１ｔと第３カバー部品６１ｕとの間の摩擦抵抗力が釣り合うと、第３カバー部品６１ｕも第２カバー部品６１ｔと共に移動する。

なお、カバー部材がストッパー７０に向かって移動している際においては、隣り合う永久磁石間の反発力と、各カバー部品同士の摩擦力が釣り合った状態が維持されることで、カバー部材を長尺状態で維持させることができる。また、本実施例では、カバー部材が３つのカバー部品により構成される場合を示したが、カバー部品の個数は限定されるものではない。

カバーユニット６０、カバーユニット６０Ａ，カバーユニット６０Ｂ，カバーユニット６０Ｃ，カバーユニット６０Ｄはグリス飛散防止カバーであるため、カバー内部が汚れる。その汚れを洗浄するために着脱可能になっている。例えば、それぞれのカバーユニットの壁部等が供給部材５０にネジで締結されるように構成することで着脱可能にすることが
できる。

＜電子デバイスの製造方法＞
次に、本実施例の成膜装置を用いた電子デバイスの製造方法の一例を説明する。以下、電子デバイスの例として有機ＥＬ表示装置の構成を示し、有機ＥＬ表示装置の製造方法を例示する。

まず、製造する有機ＥＬ表示装置について説明する。図１１（ａ）は有機ＥＬ表示装置９０の全体図、図１１（ｂ）は１画素の断面構造を表している。

図１１（ａ）に示すように、有機ＥＬ表示装置９０の表示領域９１には、発光素子を複数備える画素９２がマトリクス状に複数配置されている。詳細は後で説明するが、発光素子のそれぞれは、一対の電極に挟まれた有機層を備えた構造を有している。なお、ここでいう画素とは、表示領域９１において所望の色の表示を可能とする最小単位を指している。本実施例に係る有機ＥＬ表示装置の場合、互いに異なる発光を示す第１発光素子９２Ｒ、第２発光素子９２Ｇ、第３発光素子９２Ｂの組み合わせにより画素９２が構成されている。画素９２は、赤色発光素子と緑色発光素子と青色発光素子の組み合わせで構成されることが多いが、黄色発光素子とシアン発光素子と白色発光素子の組み合わせでもよく、少なくとも１色以上であれば特に制限されるものではない。

図１１（ｂ）は、図１１（ａ）のＡ－Ｂ線における部分断面模式図である。画素９２は、複数の発光素子からなり、各発光素子は、基板９３上に、第１電極（陽極）９４と、正孔輸送層９５と、発光層９６Ｒ、９６Ｇ、９６Ｂのいずれかと、電子輸送層９７と、第２電極（陰極）９８と、を有している。これらのうち、正孔輸送層９５、発光層９６Ｒ、９６Ｇ、９６Ｂ、電子輸送層９７が有機層に当たる。また、本実施例では、発光層９６Ｒは赤色を発する有機ＥＬ層、発光層９６Ｇは緑色を発する有機ＥＬ層、発光層９６Ｂは青色を発する有機ＥＬ層である。発光層９６Ｒ、９６Ｇ、９６Ｂは、それぞれ赤色、緑色、青色を発する発光素子（有機ＥＬ素子と記述する場合もある）に対応するパターンに形成されている。

また、第１電極９４は、発光素子毎に分離して形成されている。正孔輸送層９５と電子輸送層９７と第２電極９８は、複数の発光素子９２Ｒ、９２Ｇ、９２Ｂで共通に形成されていてもよいし、発光素子毎に形成されていてもよい。なお、第１電極９４と第２電極９８とが異物によってショートするのを防ぐために、第１電極９４間に絶縁層９９が設けられている。さらに、有機ＥＬ層は水分や酸素によって劣化するため、水分や酸素から有機ＥＬ素子を保護するための保護層９８Ｘが設けられている。

図１１（ｂ）では正孔輸送層９５や電子輸送層９７は一つの層で示されているが、有機ＥＬ表示素子の構造によっては、正孔ブロック層や電子ブロック層を備える複数の層で形成されてもよい。また、第１電極９４と正孔輸送層９５との間には第１電極９４から正孔輸送層９５への正孔の注入が円滑に行われるようにすることのできるエネルギーバンド構造を有する正孔注入層を形成することもできる。同様に、第２電極９８と電子輸送層９７の間にも電子注入層が形成することもできる。

次に、有機ＥＬ表示装置の製造方法の例について具体的に説明する。

まず、有機ＥＬ表示装置を駆動するための回路（不図示）及び第１電極９４が形成された基板９３を準備する。

第１電極９４が形成された基板９３の上にアクリル樹脂をスピンコートで形成し、アク
リル樹脂をリソグラフィ法により、第１電極９４が形成された部分に開口が形成されるようにパターニングし絶縁層９９を形成する。この開口部が、発光素子が実際に発光する発光領域に相当する。

絶縁層９９がパターニングされた基板９３を第１の有機材料成膜装置に搬入し、基板支持台及び静電チャックにて基板を保持し、正孔輸送層９５を、表示領域の第１電極９４の上に共通する層として成膜する。正孔輸送層９５は真空蒸着により成膜される。実際には正孔輸送層９５は表示領域９１よりも大きなサイズに形成されるため、高精細なマスクは不要である。

次に、正孔輸送層９５までが形成された基板９３を第２の有機材料成膜装置に搬入し、基板支持台及び静電チャックで保持する。基板とマスクとのアライメントを行い、基板をマスクの上に載置し、基板９３の赤色を発する素子を配置する部分に、赤色を発する発光層９６Ｒを成膜する。

発光層９６Ｒの成膜と同様に、第３の有機材料成膜装置により緑色を発する発光層９６Ｇを成膜し、さらに第４の有機材料成膜装置により青色を発する発光層９６Ｂを成膜する。発光層９６Ｒ、９６Ｇ、９６Ｂの成膜が完了した後、第５の成膜装置により表示領域９１の全体に電子輸送層９７を成膜する。電子輸送層９７は、３色の発光層９６Ｒ、９６Ｇ、９６Ｂに共通の層として形成される。

電子輸送層９７まで形成された基板を金属性蒸着材料成膜装置で移動させて第２電極９８を成膜する。

その後プラズマＣＶＤ装置に移動して保護層９８Ｘを成膜して、有機ＥＬ表示装置９０が完成する。

絶縁層９９がパターニングされた基板９３を成膜装置に搬入してから保護層９８Ｘの成膜が完了するまでは、水分や酸素を含む雰囲気にさらしてしまうと、有機ＥＬ材料からなる発光層が水分や酸素によって劣化してしまうおそれがある。従って、本実施例において、成膜装置間の基板の搬入搬出は、真空雰囲気又は不活性ガス雰囲気の下で行われる。

１チャンバ
１０案内レール
３１０第１案内レール
４１０第２案内レール
２０移動体
５０供給部材
３５０第１供給部材
４５０第２供給部材
６０，６０Ａ，６０Ｂ，６０Ｃ，６０Ｄカバーユニット
３６０第１カバーユニット
４６０第２カバーユニット
６１カバー部材
７０ストッパー
１００成膜源
３００第１移動機構
４００第２移動機構

Claims

潤滑剤が付着するレールと、
前記レールに当接しながら前記レールに沿った移動方向に移動する、少なくとも成膜源を有する成膜源ユニットと、
前記成膜源ユニットに取り付けられ、前記レールの一部を覆うカバー部材と、を備え、
前記カバー部材は伸縮可能な伸縮部を有し、
前記レールは前記成膜源ユニットの移動範囲を規定するストッパーを有し、
前記カバー部材が前記ストッパーに押し当てられた際に、前記伸縮部が縮むことにより、前記成膜源ユニットが前記移動範囲の端に位置しているときに、前記カバー部材の前記移動方向における長さが第１の長さより長い第２の長さから変化して前記第１の長さとなり、
前記カバー部材が前記ストッパーから離れる際に、前記伸縮部の弾性力によって前記伸縮部が伸びることにより前記カバー部材の前記移動方向における長さが前記第１の長さから前記第２の長さに変化することにより、前記成膜源ユニットが移動しているときに、前記カバー部材の前記移動方向における長さが前記第２の長さとなる
ことを特徴とする成膜装置。
潤滑剤が付着するレールと、
前記レールに当接しながら前記レールに沿った移動方向に移動する、少なくとも成膜源を有する成膜源ユニットと、
前記成膜源ユニットに取り付けられ、前記レールの一部を覆うカバー部材と、を備え、
前記カバー部材は、伸縮可能な伸縮部を伸ばす方向に付勢する弾性部材を有し、
前記レールは前記成膜源ユニットの移動範囲を規定するストッパーを有し、
前記カバー部材が前記ストッパーに押し当てられた際に、前記伸縮部が縮むことにより、前記成膜源ユニットが前記移動範囲の端に位置しているときに、前記カバー部材の前記移動方向における長さが第１の長さより長い第２の長さから変化して前記第１の長さとなり、
前記カバー部材が前記ストッパーから離れる際に、前記弾性部材の弾性力によって前記伸縮部が伸びることにより前記カバー部材の前記移動方向における長さが前記第１の長さ
から前記第２の長さに変化することにより、前記成膜源ユニットが移動しているときに、前記カバー部材の前記移動方向における長さが前記第２の長さとなる
ことを特徴とする成膜装置。
潤滑剤が付着するレールと、
前記レールに当接しながら前記レールに沿った移動方向に移動する、少なくとも成膜源を有する成膜源ユニットと、
前記成膜源ユニットに取り付けられ、前記レールの一部を覆うカバー部材と、
磁力発生部材と、
を備え、
前記カバー部材は、第１カバー部品と、前記第１カバー部品に対してスライド可能に設けられる第２カバー部品と、を有し、
前記レールは前記成膜源ユニットの移動範囲を規定するストッパーを有し、
前記磁力発生部材は、前記第２カバー部品と前記ストッパーとの対向面とを互いに磁気吸着させるように設けられており、
前記カバー部材が前記ストッパーに押し当てられた際に、前記第２カバー部品に対して前記第１カバー部品が前記ストッパーに向かってスライドすることにより、前記カバー部材の前記移動方向における長さが第１の長さよりも長い第２の長さから前記第１の長さに変化することにより、前記成膜源ユニットが前記移動範囲の端に位置しているときに、前記カバー部材の前記移動方向における長さが前記第１の長さとなり、
前記第１カバー部品が前記ストッパーから離れる方向に移動する際に、一定の範囲までは前記第２カバー部品は前記磁気吸着により移動することなく、前記第２カバー部品に対して前記第１カバー部品がスライドし、前記一定の範囲に達すると前記第２カバー部品は前記第１カバー部品と共に移動することにより、前記成膜源ユニットが移動しているときに、前記カバー部材の前記移動方向における長さが前記第２の長さとなる
ことを特徴とする成膜装置。
前記成膜源ユニット及び前記レールを第１方向に移動させるための第１移動手段と、
前記成膜源ユニットを、前記レールに沿って、前記第１方向と交差する第２方向に移動させるための第２移動手段と、をさらに備える
ことを特徴とする請求項１から３のいずれか１項に記載の成膜装置。
前記成膜源ユニットを前記レールに沿って第１方向に移動させるための第１移動手段をさらに備え、
前記成膜源ユニットが、前記成膜源を前記第１方向と交差する第２方向に移動させるための第２移動手段を有する
ことを特徴とする請求項１から３のいずれか１項に記載の成膜装置。
前記成膜源ユニットを前記レールに沿って第１方向に移動させるための第１移動手段をさらに備え、
前記成膜源ユニットが、
第２のレールと、
前記第２のレールに当接しながら、前記第２のレールに沿って、前記第１方向に交差する第２方向に移動する前記成膜源と、
前記成膜源を、前記第２のレールに沿って、前記第１方向と交差する第２方向に移動させるための第２移動手段と、
前記第２のレールの一部を覆う第２のカバー部材と、を有し、
前記成膜源が前記移動範囲の端に位置しているときに、前記第２のカバー部材の前記第２方向における長さが第３の長さとなり、
前記成膜源が移動しているときに、前記第２のカバー部材の前記第２方向における長さ
が、前記第３の長さより長い第４の長さとなる
ことを特徴とする請求項１から３のいずれか１項に記載の成膜装置。
前記ストッパーに取り付けられた磁力発生部材を備え、
前記カバー部材が前記ストッパーから離れる際に、前記磁力発生部材の磁力によって前記伸縮部が伸びる
ことを特徴とする請求項１または２に記載の成膜装置。
前記伸縮部はベローズを含む
ことを特徴とする請求項１または２に記載の成膜装置。
前記潤滑剤を供給するための供給部材を備える
ことを特徴とする請求項１から８のいずれか１項に記載の成膜装置。
前記カバー部材は前記成膜源ユニットに対して着脱可能である
ことを特徴とする請求項１から９のいずれか１項に記載の成膜装置。
請求項１から１０のいずれか１項に記載の成膜装置を用いて、基板に成膜を行う成膜工程を有する
ことを特徴とする電子デバイスの製造方法。