JP6637231B2 - 金属の表面改質方法および金属製品 - Google Patents

金属の表面改質方法および金属製品 Download PDF

Info

Publication number
JP6637231B2
JP6637231B2 JP2014206236A JP2014206236A JP6637231B2 JP 6637231 B2 JP6637231 B2 JP 6637231B2 JP 2014206236 A JP2014206236 A JP 2014206236A JP 2014206236 A JP2014206236 A JP 2014206236A JP 6637231 B2 JP6637231 B2 JP 6637231B2
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
layer
chromium
treatment
metal
base material
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Active
Application number
JP2014206236A
Other languages
English (en)
Other versions
JP2016074948A (ja
Inventor
尚男 冨士川
尚男 冨士川
宮本 篤
篤 宮本
守弘 藤田
守弘 藤田
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Air Water NV Inc
Original Assignee
Air Water NV Inc
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Air Water NV Inc filed Critical Air Water NV Inc
Priority to JP2014206236A priority Critical patent/JP6637231B2/ja
Priority to US15/510,343 priority patent/US10156008B2/en
Priority to ES15848710T priority patent/ES2783523T3/es
Priority to CN201580049447.0A priority patent/CN106687615B/zh
Priority to PCT/JP2015/078129 priority patent/WO2016056491A1/ja
Priority to EP15848710.8A priority patent/EP3205742B8/en
Publication of JP2016074948A publication Critical patent/JP2016074948A/ja
Application granted granted Critical
Publication of JP6637231B2 publication Critical patent/JP6637231B2/ja
Active legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Classifications

    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C23COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
    • C23CCOATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
    • C23C12/00Solid state diffusion of at least one non-metal element other than silicon and at least one metal element or silicon into metallic material surfaces
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C21METALLURGY OF IRON
    • C21DMODIFYING THE PHYSICAL STRUCTURE OF FERROUS METALS; GENERAL DEVICES FOR HEAT TREATMENT OF FERROUS OR NON-FERROUS METALS OR ALLOYS; MAKING METAL MALLEABLE, e.g. BY DECARBURISATION OR TEMPERING
    • C21D1/00General methods or devices for heat treatment, e.g. annealing, hardening, quenching or tempering
    • C21D1/06Surface hardening
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C22METALLURGY; FERROUS OR NON-FERROUS ALLOYS; TREATMENT OF ALLOYS OR NON-FERROUS METALS
    • C22FCHANGING THE PHYSICAL STRUCTURE OF NON-FERROUS METALS AND NON-FERROUS ALLOYS
    • C22F1/00Changing the physical structure of non-ferrous metals or alloys by heat treatment or by hot or cold working
    • C22F1/10Changing the physical structure of non-ferrous metals or alloys by heat treatment or by hot or cold working of nickel or cobalt or alloys based thereon
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C23COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
    • C23CCOATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
    • C23C10/00Solid state diffusion of only metal elements or silicon into metallic material surfaces
    • C23C10/02Pretreatment of the material to be coated
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C23COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
    • C23CCOATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
    • C23C10/00Solid state diffusion of only metal elements or silicon into metallic material surfaces
    • C23C10/28Solid state diffusion of only metal elements or silicon into metallic material surfaces using solids, e.g. powders, pastes
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C23COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
    • C23CCOATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
    • C23C10/00Solid state diffusion of only metal elements or silicon into metallic material surfaces
    • C23C10/28Solid state diffusion of only metal elements or silicon into metallic material surfaces using solids, e.g. powders, pastes
    • C23C10/30Solid state diffusion of only metal elements or silicon into metallic material surfaces using solids, e.g. powders, pastes using a layer of powder or paste on the surface
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C23COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
    • C23CCOATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
    • C23C10/00Solid state diffusion of only metal elements or silicon into metallic material surfaces
    • C23C10/28Solid state diffusion of only metal elements or silicon into metallic material surfaces using solids, e.g. powders, pastes
    • C23C10/30Solid state diffusion of only metal elements or silicon into metallic material surfaces using solids, e.g. powders, pastes using a layer of powder or paste on the surface
    • C23C10/32Chromising
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C23COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
    • C23CCOATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
    • C23C10/00Solid state diffusion of only metal elements or silicon into metallic material surfaces
    • C23C10/28Solid state diffusion of only metal elements or silicon into metallic material surfaces using solids, e.g. powders, pastes
    • C23C10/34Embedding in a powder mixture, i.e. pack cementation
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C23COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
    • C23CCOATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
    • C23C10/00Solid state diffusion of only metal elements or silicon into metallic material surfaces
    • C23C10/28Solid state diffusion of only metal elements or silicon into metallic material surfaces using solids, e.g. powders, pastes
    • C23C10/34Embedding in a powder mixture, i.e. pack cementation
    • C23C10/36Embedding in a powder mixture, i.e. pack cementation only one element being diffused
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C23COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
    • C23CCOATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
    • C23C12/00Solid state diffusion of at least one non-metal element other than silicon and at least one metal element or silicon into metallic material surfaces
    • C23C12/02Diffusion in one step
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C23COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
    • C23CCOATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
    • C23C28/00Coating for obtaining at least two superposed coatings either by methods not provided for in a single one of groups C23C2/00 - C23C26/00 or by combinations of methods provided for in subclasses C23C and C25C or C25D
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C23COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
    • C23CCOATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
    • C23C8/00Solid state diffusion of only non-metal elements into metallic material surfaces; Chemical surface treatment of metallic material by reaction of the surface with a reactive gas, leaving reaction products of surface material in the coating, e.g. conversion coatings, passivation of metals
    • C23C8/02Pretreatment of the material to be coated
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C23COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
    • C23CCOATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
    • C23C8/00Solid state diffusion of only non-metal elements into metallic material surfaces; Chemical surface treatment of metallic material by reaction of the surface with a reactive gas, leaving reaction products of surface material in the coating, e.g. conversion coatings, passivation of metals
    • C23C8/06Solid state diffusion of only non-metal elements into metallic material surfaces; Chemical surface treatment of metallic material by reaction of the surface with a reactive gas, leaving reaction products of surface material in the coating, e.g. conversion coatings, passivation of metals using gases
    • C23C8/08Solid state diffusion of only non-metal elements into metallic material surfaces; Chemical surface treatment of metallic material by reaction of the surface with a reactive gas, leaving reaction products of surface material in the coating, e.g. conversion coatings, passivation of metals using gases only one element being applied
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C23COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
    • C23CCOATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
    • C23C8/00Solid state diffusion of only non-metal elements into metallic material surfaces; Chemical surface treatment of metallic material by reaction of the surface with a reactive gas, leaving reaction products of surface material in the coating, e.g. conversion coatings, passivation of metals
    • C23C8/06Solid state diffusion of only non-metal elements into metallic material surfaces; Chemical surface treatment of metallic material by reaction of the surface with a reactive gas, leaving reaction products of surface material in the coating, e.g. conversion coatings, passivation of metals using gases
    • C23C8/08Solid state diffusion of only non-metal elements into metallic material surfaces; Chemical surface treatment of metallic material by reaction of the surface with a reactive gas, leaving reaction products of surface material in the coating, e.g. conversion coatings, passivation of metals using gases only one element being applied
    • C23C8/24Nitriding
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C23COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
    • C23CCOATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
    • C23C8/00Solid state diffusion of only non-metal elements into metallic material surfaces; Chemical surface treatment of metallic material by reaction of the surface with a reactive gas, leaving reaction products of surface material in the coating, e.g. conversion coatings, passivation of metals
    • C23C8/06Solid state diffusion of only non-metal elements into metallic material surfaces; Chemical surface treatment of metallic material by reaction of the surface with a reactive gas, leaving reaction products of surface material in the coating, e.g. conversion coatings, passivation of metals using gases
    • C23C8/08Solid state diffusion of only non-metal elements into metallic material surfaces; Chemical surface treatment of metallic material by reaction of the surface with a reactive gas, leaving reaction products of surface material in the coating, e.g. conversion coatings, passivation of metals using gases only one element being applied
    • C23C8/24Nitriding
    • C23C8/26Nitriding of ferrous surfaces
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C23COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
    • C23CCOATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
    • C23C8/00Solid state diffusion of only non-metal elements into metallic material surfaces; Chemical surface treatment of metallic material by reaction of the surface with a reactive gas, leaving reaction products of surface material in the coating, e.g. conversion coatings, passivation of metals
    • C23C8/80After-treatment
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C22METALLURGY; FERROUS OR NON-FERROUS ALLOYS; TREATMENT OF ALLOYS OR NON-FERROUS METALS
    • C22FCHANGING THE PHYSICAL STRUCTURE OF NON-FERROUS METALS AND NON-FERROUS ALLOYS
    • C22F1/00Changing the physical structure of non-ferrous metals or alloys by heat treatment or by hot or cold working

Landscapes

  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Materials Engineering (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Metallurgy (AREA)
  • Organic Chemistry (AREA)
  • Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Thermal Sciences (AREA)
  • Crystallography & Structural Chemistry (AREA)
  • Solid-Phase Diffusion Into Metallic Material Surfaces (AREA)
  • Other Surface Treatments For Metallic Materials (AREA)

Description

本発明は、金属の表面改質方法およびそれによって得られた金属製品に関するものである。
鉄系金属の表面にクロムの窒化物からなる表面層を形成し、その鉄系金属の耐摩耗性・耐酸化性・耐食性などを改善する技術がしられている。このような技術を開示する文献として、たとえば、つぎに示す特許文献1〜4がある。
米国特許第4242151号公報 特公昭42−24967号公報 特公平3−65435号公報 特開2000−178711号公報
上記特許文献1は、鉄合金材料にあらかじめ窒化処理を施した後にクロマイジング処理を施して、クロムの炭窒化物からなる表面層を形成しようとするものである。
上記特許文献2には、つぎの開示がある。
『一般に本発明は処理しようとするスプラグ部片またはその他の物品に引き続いて行うよく知られているクロマイジング表面硬化処理の順備として窒化または浸炭窒化の熱処理操作を行う。』(公報第1頁右欄3〜6行目)。
『特にアンモニア含有ふん囲気中でまたはその他の任意適当な従来知られている窒化物製法により予備的に窒化することとこれに引き続いてクロマイジング処理することとを組み合わせて行うことにより、普通の炭化クロム外皮の全部の利点を持ち本体の基体金属との一体の結合度とはがれたり破れたり離れたりしにくいことと腐食および摩耗に対する抵抗性等に関して電着法またはその他の被膜や被覆の付着法により得られる表面層または外皮よりすぐれた表面層または外皮が物品上に得られる。』(公報第1頁右欄13〜23行目)
上記特許文献3には、つぎの開示がある。
『本発明は鉄合金材料の表面に鉄・窒素または鉄・炭素・窒素の窒化物層を形成させる窒化処理を施した後、該鉄合金材料と、クロム材料と、アルカリ金属またはアルカリ土類金属の塩化物、ホウ弗化物、弗化物、酸化物、臭化物、ヨウ化物、炭酸塩、硝酸塩、硼酸塩のうちの1種または2種以上あるいはハロゲン化アンモニウム塩または金属ハロゲン化物の一方または双方から成る処理材とを共存せしめて、680℃以下において加熱処理し、クロムを上記鉄合金材料表面に拡散せしめることにより、鉄合金材料表面にクロムの窒化物あるいは炭窒化物から成る表面層を形成せしめることを特徴とする鉄合金材料の表面処理方法である。』(公報第2頁右欄9〜22行目)。
『本発明において、鉄合金材料はクロムの窒化物あるいは炭窒化物層を表面に形成する被処理材である。』(公報第2頁右欄23〜25行目)。
上記特許文献4には、つぎの開示がある。
『本発明は、鉄系材料に窒化処理を施して表面に鉄窒化物および鉄炭窒化物の少なくとも一方からなる窒化層を形成させ、この鉄系材料を、アルカリ金属の塩化物およびアルカリ土類金属の塩化物の少なくとも一方を主成分とし、かつ、酸化珪素を主成分とするガラスおよびクロムを含有させた処理剤中で、500℃以上700℃以下の温度に加熱保持することにより、上記窒化層中にクロムを拡散させてクロム窒化物およびクロム炭窒化物の少なくとも一方の化合物層を形成させる。』〔0014〕。
『上記各窒化処理のなかでも、特に、鉄系材料をあらかじめフッ素系ガス雰囲気中に加熱保持して表面にフッ化物膜を生成したのち、窒化雰囲気中で加熱して窒化層を形成させる、フッ化とガス軟窒化の複合処理法が最も好適に行われる。』〔0017〕。
上記特許文献1は、鉄合金材料に窒化処理を施した後にクロマイジング処理を施すものである。
しかしながら、文献1に開示された窒化処理は、窒素と水素の混合ガス雰囲気のもとで温度450〜650℃で40時間、加熱する方法にすぎない。
つまり、この窒化処理方法で窒化層が得られなければ、その後にクロマイジング処理を行ったとしても、目的とするクロムの炭窒化物からなる表面層が得られない。
上記特許文献2は、鉄系部品に、順備として窒化または浸炭窒化を行い、クロマイジング表面硬化処理を行うものである。
しかしながら、文献2に開示された窒化処理は、アンモニア含有ふん囲気中で予備的に窒化する方法にすぎない。
つまり、この窒化処理方法で窒化層が得られなければ、その後にクロマイジング処理を行ったとしても、目的とするクロムの炭窒化物からなる表面層が得られない。
上記特許文献3は、いわゆる塩浴処理によって鉄系材料の表面に窒化物層を形成させ、その後、上記鉄合金材料表面にクロムを拡散させることにより、鉄合金材料の表面にクロムの窒化物あるいは炭窒化物から成る表面層を形成させるものである。
しかしながら、文献3では、窒化処理を塩浴で行うため、処理剤にシアン系の薬剤を含むため、環境負荷が大きいという問題がある。
上記特許文献4は、鉄系材料にフッ化処理と窒化処理を施して窒化層を形成させ、その鉄系材料に塩浴でクロムを拡散させるものである。
しかしながら、文献4では、塩浴中に溶解させることができるクロムの量が非常に少なく、厚いクロムの炭窒化物層を形成させることができない、という問題がある。
本発明は、上記課題を解決するためになされたもので、つぎの目的をもった金属の表面改質方法およびそれによって得られた金属製品を提供する。
(1)極めて硬度が高く、耐熱性および耐食性に優れた均一で厚い窒化クロムによる表面層を形成する。たとえば自動車部品であれば、ターボチャージャーやタービンブレードにおける耐熱性および耐摩耗性を必要とする部品に適用する。
(2)たとえば、アルミニウム・マグネシウム・亜鉛などのダイカストに用いる金型において、合金への溶損を防止し、優れた性能を維持する。
(3)高温酸化、高温腐食、エロージョン、キャビテーション、キャビテーション・エロージョンなどの環境に優れた性能を発揮し、化学工業・火力発電・代替エネルギーなどの環境における翼材・バルブ材・ポンプ材等をはじめとする多くの部品に適用する。
(4)酸・アルカリの環境や中性環境、海水等の塩化物等の腐食環境においても優れた性能を発揮し、それらの環境で使用される材料や部品に適用する。
請求項1記載の金属の表面改質方法は、上記目的を達成するため、つぎの構成を採用した。
鉄系金属またはニッケル系金属である母材に対し、
窒化源ガスを含む雰囲気で上記母材を加熱保持する窒化処理を行い、上記母材の表面に、窒素濃度が10原子%以上で厚み5μm以上で窒素が拡散された拡散層を形成し、
金属クロム粉末を含む粉末中に上記窒化した母材を存在させて850〜1200℃の温度に加熱保持するクロマイズ処理を行うことにより、
上記母材に、表面側に形成されるクロム化合物層とその下側に形成されるクロム濃化層の2層を含む表面改質層を形成し、
上記表面改質層を、上記クロム化合物層の厚みが18μm以上であり、上記クロム濃化層が実質的に窒素を含まないものとする
請求項記載の金属の表面改質方法は、請求項1記載の構成に加え、つぎの構成を採用した。
上記母材がオーステナイト系金属である。
請求項記載の金属の表面改質方法は、請求項1または2記載の構成に加え、つぎの構成を採用した。
上記窒化処理の前に、ハロゲン系ガスを含む雰囲気で上記母材を加熱保持するハロゲン化処理を行う。
請求項4記載の金属製品は、上記目的を達成するため、つぎの構成を採用した。
鉄系金属またはニッケル系金属を母材とし、
表面側のクロム化合物層とその下側のクロム濃化層との2層を含む表面改質層が形成され、
上記表面改質層は、
上記クロム化合物層が、厚みが18μm以上の実質的に鉄を含まないCr N層であり、上記クロム濃化層が実質的に鉄窒化物を含まない層である
請求項記載の金属製品は、請求項記載の構成に加え、つぎの構成を採用した。
上記母材がオーステナイト系金属である。
請求項1記載の金属の表面改質方法は、鉄系金属またはニッケル系金属である母材を準備する。鉄系金属やニッケル系金属は、酸化皮膜や不動態皮膜で表面が覆われている。表面に酸化皮膜や不動態皮膜が存在すると、一般に窒素原子の拡散浸透の妨げになりやすい。上記母材を、窒化源ガスを含む雰囲気で加熱保持する窒化処理を行う。この窒化処理により、ハロゲン化処理で活性化した母材の表面に窒素原子を拡散浸透させる。その後、上記窒化した母材を、金属クロム粉末を含む粉末中に存在させて850〜1200℃の温度に加熱保持するクロマイズ処理を行う。このクロマイズ処理により、窒素原子が拡散浸透した表層部にクロム原子が拡散浸透し、表面改質層が形成される。

また、上記窒化処理により、窒素濃度が10原子%以上で厚み5μm以上で窒素が拡散された拡散層を形成する。このような拡散層が形成された母材に対してクロマイズ処理によりクロム原子を拡散浸透させることにより、たとえば上述したような、表面側に形成されるクロム化合物層とその下側に形成されるクロム濃化層の2層を含む表面改質層を形成することができる。上述したクロム化合物層とクロム濃化層の2層を含む表面改質層を形成する意味において特に、上記窒化処理では、最表面に窒素化合物層を形成させることなく上述した窒素拡散層が形成された窒化層を形成するのが好ましい。
さらに、上記表面改質層が、表面側に形成されるクロム化合物層とその下側に形成されるクロム濃化層の2層を含む。上記クロマイズ処理では、窒素原子が拡散浸透した表層部にクロム原子が拡散浸透する。これにより、表面側にはクロム化合物層が形成され、その下側にクロム濃化層が形成される。表面側のクロム化合物層は、硬質で耐摩耗性に優れる。また、上記クロム化合物層が化学的に安定でその厚みが18μm以上であり、その下側に実質的に窒素を含まないクロム濃化層が形成されることにより、低温での溶液腐食に対する高い耐性および高温での高い耐酸化性を発揮する。

請求項記載の金属の表面改質方法は、上記母材がオーステナイト系金属である。
オーステナイト系金属は通常、表面が不動態皮膜に覆われている。それをそのまま窒化雰囲気で加熱保持したとしても窒素原子は極めて拡散浸透しにくい。したがって、オーステナイト系金属に窒化処理とクロマイズ処理を行ったとしても、本発明によって形成される表面改質層は得られない。そこで、オーステナイト系金属である母材に対し、上記ハロゲン化処理により不動態皮膜を除去して表面を活性化し、そこに窒化処理で窒素を拡散浸透することにより、後のクロマイズ処理によって上述したクロム化合物層とクロム濃化層の2層を含む表面改質層を形成することができるのである。
そして、オーステナイト系金属の母材に対し、クロム化合物層とクロム濃化層の2層を含む表面改質層を形成することにより、優れた特性をもった金属製品が得られる。この金属製品は、極めて硬度が高く耐熱性および耐食性にも優れ、高温酸化・高温腐食・エロージョン・キャビテーションなどの環境に優れた性能を発揮する。また、上記金属製品は、酸・アルカリの環境や中性環境や、海水等の塩化物等の腐食環境においても優れた性能を発揮する。そして、上記金属製品は、たとえば自動車部品であれば、ターボチャージャーにおける耐熱性および耐摩耗性を必要とする部品に適用することができる。また、たとえばアルミニウム・マグネシウム・亜鉛などのダイカストに用いる金型において、合金への溶損を防止し、優れた性能を維持する。また、化学工業・火力発電・代替エネルギーなどの環境における翼材・バルブ材・ポンプ材等をはじめとする多くの部品に適用することができる。また、酸・アルカリの環境や中性環境、海水等の塩化物等の腐食環境において使用される材料や部品に適用することができる。
請求項記載の金属の表面改質方法は、上記窒化処理の前に、ハロゲン系ガスを含む雰囲気で上記母材を加熱保持するハロゲン化処理を行う。このハロゲン化処理により、母材の表面に形成された酸化皮膜や不動態皮膜を除去し、ハロゲン化金属の薄膜を形成する。表面の酸化皮膜や不動態皮膜が除去されることにより、表面が活性化し、つぎの窒化処理において窒素原子が拡散浸透しやすくなる。
請求項4記載の金属製品は、鉄系金属またはニッケル系金属を母材とし、表面側のクロム化合物層とその下側のクロム濃化層との2層を含む表面改質層が形成されている。
表面側のクロム化合物層は、硬質で耐摩耗性に優れる。また、上記クロム化合物層が化学的に安定でその厚みが18μm以上の実質的に鉄を含まないCr N層であり、その下側に実質的に鉄窒化物を含まないクロム濃化層が形成されることにより、低温での溶液腐食に対する高い耐性および高温での高い耐酸化性を発揮する。
請求項記載の金属製品は、上記母材がオーステナイト系金属である。
オーステナイト系金属の母材に対し、クロム化合物層とクロム濃化層の2層を含む表面改質層を形成することにより、優れた特性をもった金属製品が得られる。この金属製品は、極めて硬度が高く耐熱性および耐食性にも優れ、高温酸化・高温腐食・エロージョン・キャビテーションなどの環境に優れた性能を発揮する。また、上記金属製品は、酸・アルカリの環境や中性環境や、海水等の塩化物等の腐食環境においても優れた性能を発揮する。そして、上記金属製品は、たとえば自動車部品であれば、ターボチャージャーにおける耐熱性および耐摩耗性を必要とする部品に適用することができる。また、たとえばアルミニウム・マグネシウム・亜鉛などのダイカストに用いる金型において、合金への溶損を防止し、優れた性能を維持する。また、化学工業・火力発電・代替エネルギーなどの環境における翼材・バルブ材・ポンプ材等をはじめとする多くの部品に適用することができる。また、酸・アルカリの環境や中性環境、海水等の塩化物等の腐食環境において使用される材料や部品に適用することができる。
比較例の断面顕微鏡写真である。 比較例の断面硬度分布の測定結果である。 実施例の断面顕微鏡写真である。 実施例の断面硬度分布を測定した結果である。 実施例で形成された表面改質層の元素分布状況である。 実施例で形成された表面改質層の元素分布状況である。 実施例と比較例について塩水噴霧試験を行った結果を示す。 実施例と比較例についてHCl溶液への浸漬試験を実施した結果を示す。 実施例と比較例について分極曲線を測定した結果を示す。 実施例と比較例について高温下での耐酸化性を調べた試験結果である。 実施例と比較例についてアルミ浴での溶損試験を行った結果を示す。 実施例におけるクロマイズ処理前の試験材の断面窒素濃度分布である。
つぎに、本発明を実施するための形態を説明する。
〔開発の経緯〕
窒化処理によって表層に窒化層を形成させたり、クロマイズ処理によって表層にCrに富んだ層を形成させることは古くから行われている。このような窒化処理やクロマイズ処理は一般に、それぞれ単独で行われている。
本発明は、窒化処理とクロマイズ処理を効果的に組み合わせ、厚く均一なクロム化合物層を金属製品の表面に形成させることに成功したものである。
金属製品の表層に窒化クロム層を形成させる技術としては、一般に、PVD法やCVD法が行われている。上記PVD法やCVD法で形成される窒化クロム層の厚みは、せいぜい10μm以下である。
上記PVD法は、形成できる窒化クロム層の厚みに限界がある。本発明で得られるような厚い層を形成させることができない。また、形成される窒化クロムが母材との間で十分に拡散されない。つまり窒化クロム層は、機械的な吸着力やわずかな拡散で密着されるに過ぎない。したがって、機械的な力や温度変化によって窒化クロム層が剥離しやすい。また、表層に形成されるピンホールを防止するのが困難で、十分な耐食性が得られない。
上記CVD法では、窒化クロムと母材のあいだで拡散が行われ、密着性は改善される。しかしながら、形成できる窒化クロム層の厚みに限界がある点は、PVD法と同様である。また、ピンホールの防止が困難で十分な耐食性が得られない点も、PVD法と同様である。
上記PVD法やCVD法でピンホールを防ぐためには、母材の表面に複数の物質層をコーティングし、ピンホールが母材につながらないようにする必要がある。これには極めて複雑な処理が必要で、処理費用が高価なものになってしまう。
一方、PVD法やCVD法以外では、低温TD処理によって窒化クロム層を形成させることが行われる。この方法では、窒化した非処理材をアルカリ塩化物を主体とした塩俗に浸漬する。570℃程度の温度で加熱保持することにより、窒化クロムに富んだ5μm前後のごく薄い層を表面に形成させることができる。
しかしながら、この方法は処理温度が低いため、クロム原子が深くまで拡散浸透しない。したがってこの方法では、処理の過程でまず表面に鉄窒化物が形成され、鉄窒化物を構成する鉄原子の一部がクロム原子に置換されることにより、窒化クロムが生成する。このような窒化クロムの生成機構では、ピンホール等の欠陥を完全に防ぐことが困難である。したがって十分な耐食性が得られない。また、表面硬度もHv1000程度に止まる。
本発明は、窒化処理とクロマイズ処理を効果的に組み合わせ、厚く均一なクロム化合物層を含む表面改質層を金属製品の表面に形成させるものである。
本発明では、上述した従来法と異なり、得られる窒化クロム層の厚みに制限が少なく、ピンホールが少なく厚い窒化クロム層が容易に得られる。つまり、窒化クロム層を、用途に応じて必要なだけの厚みで形成することができる。さらに、その下側にも母材よりも高いクロム濃度のクロム濃化層が十分な厚みで生成される。このため、高温腐食や低温の溶液腐食に対しても優れた耐食性が得られる。しかも、Hv1600前後の硬さを有する表面を形成することができ、耐摩耗性も優れたものとなる。
上記窒化処理としては、窒素原子だけを拡散浸透させる窒化処理だけでなく、窒素原子と炭素原子を同時に拡散浸透させる軟窒化処理を適用することもできる。この場合、その後にクロマイズ処理することにより、得られる表面改質層は、炭窒化クロム層となる。耐食性および表面硬度は、ほぼ同程度のものが得られることを見出している。
つまり本発明で得られる表面改質層において形成されるクロム化合物層には、窒化クロム層と炭窒化クロム層の双方が含まれる。窒化処理で窒素原子だけを拡散浸透させ、それにクロマイズ処理を組み合わせると、表面改質層には窒化クロム層が形成される。窒化処理で窒素原子と炭素原子の双方を拡散浸透させ、それにクロマイズ処理を組み合わせると、表面改質層には炭窒化クロム層が形成される。
窒化処理とクロマイズ処理を組み合わせるにあたって、例えば、本発明と逆に、クロマイズ処理後に窒化処理をすることも考えられる。しかし、クロマイズ処理により、表層にCrに非常に富んだ層(最表面で70mass%以上のクロム濃度となる)が形成される。このため、その後に窒化処理をしても窒素が母材中に拡散浸透しない。つまりこの方法では、本発明で得られるような均一で厚い窒化クロム層や炭窒化クロム層は形成されない。
本発明は、複数の技術をコロンブスの卵のように組み合わせることによって、全く新しく得られた知見に関するものである。
〔第1実施形態〕
本実施形態の金属の表面改質方法は、つぎの工程を行う。
鉄系金属またはニッケル系金属である母材に対し、
ハロゲン系ガスを含む雰囲気で上記母材を加熱保持するハロゲン化処理を行い、
窒化源ガスを含む雰囲気で上記ハロゲン化した母材を加熱保持する窒化処理を行い、
金属クロム粉末を含む粉末中に上記窒化した母材を存在させて加熱保持するクロマイズ処理を行うことにより、
上記母材に表面改質層を形成する。
〔母材〕
本実施形態の金属の表面改質方法では、上記母材として鉄系金属またはニッケル系金属を使用する。
上記鉄系金属としては、各種の鉄鋼材料および鉄基合金を用いることができる。上記鉄鋼材料および鉄基合金としては、たとえば、炭素鋼、合金鋼、ニッケルクロム鋼、ニッケルクロムモリブデン鋼、クロム鋼、クロムモリブデン鋼、マンガン鋼、工具鋼、ステンレス鋼、耐熱鋼、窒化鋼、肌焼鋼など、各種の鋼種を適用することができる。
上記ニッケル系金属としては、ニッケル基合金を用いることができる。上記ニッケル基合金としては、たとえば、ニッケル含有量が50重量%以上の合金を使用することができる。具体的には、ニッケル−銅系(モネル)、ニッケル−クロム系(インコネル)、ニッケル−モリブデン系(ハステロイ)などを用いることができる。
上記母材としては特に、オーステナイト系金属であることが好ましい。たとえば、オーステナイト系ステンレス鋼を好適に用いることができる。
〔ハロゲン化処理〕
本実施形態の金属の表面改質方法では、ハロゲン系ガスを含む雰囲気で上記母材を加熱保持するハロゲン化処理を行う。
上記ハロゲン化処理は、雰囲気を制御できる加熱炉を用い、ハロゲンを含む雰囲気ガス中において上記母材を加熱保持することにより行う。
上記雰囲気ガスに用いるハロゲンとしては、たとえば、F、Cl、HCl、NFなどのハロゲンガスまたはハロゲン化物ガスを用いることができる。
上記雰囲気ガスは、ハロゲンを0.5〜20容積%含み、残部を窒素ガス、水素ガスあるいは不活性ガスなどとした混合ガスを用いることができる。
上記ハロゲン化処理は、上記雰囲気ガス中で、母材を200〜550℃にて10分〜3時間程度、加熱保持することにより、表面を活性化させる。
〔窒化処理〕
本実施形態の金属の表面改質方法では、窒化源ガスを含む雰囲気で上記ハロゲン化した母材を加熱保持する窒化処理を行う。
上記窒化処理としては、ガス窒化処理、ガス軟窒化処理、塩浴軟窒化処理、真空窒化処理、イオン窒化(プラズマ窒化)処理のいずれの方法でも適用することができる。
上記ガス窒化・ガス軟窒化は、窒化あるいは軟窒化する雰囲気、すなわち、NHを窒素源とし、N、CO、CO、Hなどを必要に応じて混合させた雰囲気の中に、上記ハロゲン化処理を終えた母材を加熱保持することにより行うことができる。
上記塩浴窒化は、シアンないしはシアン酸を主成分とする塩浴中に、上記ハロゲン化処理を終えた母材を加熱保持することにより行うことができる。
イオン窒化(プラズマ窒化)は、0.1〜10Paの窒素混合ガス雰囲気中で、炉体を陽極に、被処理物を陰極とし、数百ボルトの直流電圧を印加してグロー放電を生じさせ、イオン化されたガス成分を高速に加速して、被処理物表面に衝突させ、これを加熱するとともにスパッタリング作用等により窒化を進行させるものである。
加熱温度と保持時間は、採用する窒化処理の手法や、目的とする表面改質層の特性に応じて適宜決定することができる。例えば、350〜900℃(好ましくは350〜650℃)の範囲内の所定の温度で所定時間、加熱保持することができる。
上記窒化処理により、母材の表層部に窒素濃度の高い窒素拡散層を形成する。その後クロマイズ処理を行うことにより、クロマイズ処理によって拡散浸透するクロム原子と、窒素拡散層に存在する窒素原子が結合し、クロム化合物層として窒化クロム層が生成する。
上記窒化処理として軟窒化処理を行った場合は、母材の表層部に窒素濃度と炭素濃度の高い炭窒素拡散層を形成する。その後クロマイズ処理を行うことにより、クロマイズ処理によって拡散浸透するクロム原子と、炭窒素拡散層に存在する窒素原子および炭素原子が結合し、クロム化合物層として炭窒化クロム層が生成する。
本実施形態の金属の表面改質方法では、上記窒化処理により、窒素濃度が10原子%以上で厚み5μm以上で窒素が拡散された拡散層を形成することが好ましい。
上記窒化処理の後、クロマイズ処理の前に、必要に応じて表面を正常化する処理を行うことができる。正常化する処理としては、例えば、ショットピーニング、バレルなどの処理を採用することができる。
〔クロマイズ処理〕
本実施形態の金属の表面改質方法では、金属クロム粉末を含む粉末中に上記窒化した母材を存在させて加熱保持するクロマイズ処理を行う。
上記クロマイズ処理により、上記窒化処理を終えた母材の表面からクロム原子を拡散浸透させる。
上記クロマイズ処理は、粉末パック法によって行うことができる。粉末パック法は、
耐熱ケースに充填した処理剤粉末のなかに窒化処理を終えた母材を埋設し、上記耐熱ケースを雰囲気炉内に入れて反応促進のためのガスを流しながら加熱保持することによって行う。このようにすることにより、上記窒化処理を終えた母材の表面からクロム原子が拡散浸透するよう処理する。
上記処理剤粉末としては、金属クロム粉末または鉄−クロム合金粉末と、焼結防止用のAl粉末と、反応促進用のNHClまたはNHFを微量添加した粉末剤を用いることができる。
上記反応促進のためのガスとしては、HまたはArを用いることができる。
加熱保持は、850〜1200℃(好ましくは900〜1200℃)の範囲内の所定温度において所定時間保持する。このようにすることにより、窒化処理を終えた母材の表面からクロム原子を拡散浸透させ、表面改質層を形成する。
〔表面改質層〕
本実施形態の金属の表面改質方法では、上記ハロゲン化処理、窒化処理およびクロマイズ処理により、上記母材に表面改質層を形成する。
上記表面改質層は、この表面改質層は窒化クロムを主体とした層であり、その下側にはクロムに富んだ層が形成される。上記窒化クロムを主体とした表面改質層は厚み1μm〜100μm程度に形成することができる。その下側に形成されるクロムに富んだ層は厚み100μm以下程度形成することができる。
上記表面改質層は、表面側に形成されるクロム化合物層とその下側に形成されるクロム濃化層の2層を含むことが好ましい。
〔実施形態の効果〕
上記実施形態の金属の表面改質方法は、つぎの効果を奏する。
本実施形態の金属の表面改質方法は、鉄系金属またはニッケル系金属である母材を準備する。鉄系金属やニッケル系金属は、酸化皮膜や不動態皮膜で表面が覆われている。表面に酸化皮膜や不動態皮膜が存在すると、一般に窒素原子の拡散浸透の妨げになりやすい。上記母材を、ハロゲン系ガスを含む雰囲気で加熱保持するハロゲン化処理を行う。このハロゲン化処理により、母材の表面に形成された酸化皮膜や不動態皮膜を除去し、ハロゲン化金属の薄膜を形成する。表面の酸化皮膜や不動態皮膜が除去されることにより、表面が活性化し、つぎの窒化処理において窒素原子が拡散浸透しやすくなる。つぎに、上記ハロゲン化した母材を、窒化源ガスを含む雰囲気で加熱保持する窒化処理を行う。この窒化処理により、ハロゲン化処理で活性化した母材の表面に窒素原子を拡散浸透させる。その後、上記窒化した母材を、金属クロム粉末を含む粉末中に存在させて加熱保持するクロマイズ処理を行う。このクロマイズ処理により、窒素原子が拡散浸透した表層部にクロム原子が拡散浸透し、表面改質層が形成される。
また、本実施形態の金属の表面改質方法は、上記表面改質層が、表面側に形成されるクロム化合物層とその下側に形成されるクロム濃化層の2層を含む。
上記クロマイズ処理では、窒素原子が拡散浸透した表層部にクロム原子が拡散浸透する。これにより、表面側にはクロム化合物層が形成され、その下側にクロム濃化層が形成される。表面側のクロム化合物層は、硬質で耐摩耗性に優れる。また、上記クロム化合物層が化学的に安定で、その下側にクロム濃化層が形成されることにより、低温での溶液腐食に対する高い耐性および高温での高い耐酸化性を発揮する。
また、本実施形態の金属の表面改質方法は、上記窒化処理により、窒素濃度が10原子%以上で厚み5μm以上の窒素拡散層を含む窒化層を形成する。
このような窒化層が形成された母材に対してクロマイズ処理によりクロム原子を拡散浸透させることにより、たとえば上述したような、表面側に形成されるクロム化合物層とその下側に形成されるクロム濃化層の2層を含む表面改質層を形成することができる。
上述したクロム化合物層とクロム濃化層の2層を含む表面改質層を形成する意味において特に、上記窒化処理では、最表面に窒素化合物層を形成させることなく上述した窒素拡散層が形成された窒化層を形成するのが好ましい。
また、本実施形態の金属の表面改質方法は、上記母材がオーステナイト系金属である。
オーステナイト系金属は通常、表面が不動態皮膜に覆われている。それをそのまま窒化雰囲気で加熱保持したとしても窒素原子は極めて拡散浸透しにくい。したがって、オーステナイト系金属に窒化処理とクロマイズ処理を行ったとしても、本発明によって形成される表面改質層は得られない。そこで、オーステナイト系金属である母材に対し、上記ハロゲン化処理により不動態皮膜を除去して表面を活性化し、そこに窒化処理で窒素を拡散浸透することにより、後のクロマイズ処理によって上述したクロム化合物層とクロム濃化層の2層を含む表面改質層を形成することができるのである。
そして、オーステナイト系金属の母材に対し、クロム化合物層とクロム濃化層の2層を含む表面改質層を形成することにより、優れた特性をもった金属製品が得られる。この金属製品は、極めて硬度が高く耐熱性および耐食性にも優れ、高温酸化・高温腐食・エロージョン・キャビテーションなどの環境に優れた性能を発揮する。また、上記金属製品は、酸・アルカリの環境や中性環境や、海水等の塩化物等の腐食環境においても優れた性能を発揮する。そして、上記金属製品は、たとえば自動車部品であれば、ターボチャージャーにおける耐熱性および耐摩耗性を必要とする部品に適用することができる。また、たとえばアルミニウム・マグネシウム・亜鉛などのダイカストに用いる金型において、合金への溶損を防止し、優れた性能を維持する。また、化学工業・火力発電・代替エネルギーなどの環境における翼材・バルブ材・ポンプ材等をはじめとする多くの部品に適用することができる。また、酸・アルカリの環境や中性環境、海水等の塩化物等の腐食環境において使用される材料や部品に適用することができる。
〔金属製品〕
上記金属の表面改質方法によって得られた金属製品は、下記の構成となる。
鉄系金属またはニッケル系金属を母材とし、
表面側のクロム化合物層とその下側のクロム濃化層との2層を含む表面改質層が形成されている。
上記母材は、オーステナイト系金属であることが好ましい。
上記実施形態の金属製品は、つぎの効果を奏する。
すなわち、本実施形態の金属製品は、表面側のクロム化合物層は、硬質で耐摩耗性に優れる。また、上記クロム化合物層が化学的に安定で、その下側にクロム濃化層が形成されることにより、低温での溶液腐食に対する高い耐性および高温での高い耐酸化性を発揮する。
また、本実施形態の金属製品は、オーステナイト系金属の母材に対し、クロム化合物層とクロム濃化層の2層を含む表面改質層を形成することにより、優れた特性をもった金属製品が得られる。この金属製品は、極めて硬度が高く耐熱性および耐食性にも優れ、高温酸化・高温腐食・エロージョン・キャビテーションなどの環境に優れた性能を発揮する。また、上記金属製品は、酸・アルカリの環境や中性環境や、海水等の塩化物等の腐食環境においても優れた性能を発揮する。そして、上記金属製品は、たとえば自動車部品であれば、ターボチャージャーにおける耐熱性および耐摩耗性を必要とする部品に適用することができる。また、たとえばアルミニウム・マグネシウム・亜鉛などのダイカストに用いる金型において、合金への溶損を防止し、優れた性能を維持する。また、化学工業・火力発電・代替エネルギーなどの環境における翼材・バルブ材・ポンプ材等をはじめとする多くの部品に適用することができる。また、酸・アルカリの環境や中性環境、海水等の塩化物等の腐食環境において使用される材料や部品に適用することができる。
炭素鋼、工具鋼、ステンレス鋼、Ni基合金について、フッ化処理に続いて窒化処理または軟窒化処理した後、粉末パック法によるクロマイズ処理を行った。
以下の実施例および比較例では、具体的には以下の鋼種を用いた。
炭素鋼:S45C
工具鋼:SKD61
ステンレス鋼:SUS304,SUS316,SUS301
Ni基合金:Alloy718
以下の実施例および比較例におけるフッ化処理、窒化処理、軟窒化処理、クロマイズ処理、それぞれの処理条件は、つぎのとおりである。
〔フッ化処理〕
雰囲気:フッ素系ガス(NF 10vol%+N 90vol%)
温度:300℃
時間:15分
〔窒化処理〕
ガス窒化処理を行った。
雰囲気:NH 50vol%+N 50vol%
温度:570℃
時間:30分
〔軟窒化処理〕
ガス軟窒化処理を行った。
雰囲気:NH 25vol%+N 60vol%+CO 10vol%+CO 5vol%
温度:570℃
時間:2時間
〔クロマイズ処理〕
処理剤の粉末中に被処理材を埋没させ、気流を流しながら加熱保持した。
処理剤:粉末状のCrないしはFe-Cr合金に焼結防止用のAlを必要量添加し、反応促進用のNHClを少量添加した粉末
気流:水素ないしはアルゴン気流
温度:1050℃
時間:特記しない限り、10時間
図1は、比較例として示す断面顕微鏡写真である。フッ化処理と窒化処理を施し、クロマイズ処理をしない状態の試験材について、断面を観察した。母材は、a)SUS304、b)S45C、c)SKD61である。
図2は、比較例として示す断面硬度分布の測定結果である。フッ化処理と窒化処理を施し、クロマイズ処理をしない状態の試験材について、断面硬度を測定した。母材は、SUS304、S45C、SKD61である。
図3は、実施例の断面顕微鏡写真である。フッ化処理と窒化処理とクロマイズ処理をした試験材の断面を観察した。母材は、a)SUS304、b)S45C、c)SKD61である。図1の状態と比較することにより、表面改質層ができていることがわかる。
図4は、実施例の断面硬度分布を測定した結果である。窒化処理とクロマイズ処理をした試験材について断面硬度を測定した。
母材とクロマイズ処理時間は、つぎのとおりである。
a)母材SUS304+クロマイズ処理2Hr
b)母材SUS304+クロマイズ処理5Hr
c)母材SUS304+クロマイズ処理10Hr
d)母材S45C+クロマイズ処理2Hr
e)母材S45C+クロマイズ処理5Hr
f)母材S45C+クロマイズ処理10Hr
g)母材SKD61+クロマイズ処理10Hr
鋼種やクロマイズ処理時間によって多少の差があるが、全体的にみて、Hv1300以上の硬質な表面層が20〜35μm程度形成されている。
図5(a)図5(b)は、実施例で形成された表面改質層の元素分布状況である。測定は、EPMA(X線マイクロアナライザー)により、材料断面の濃度分布を測定した。
図5(a)はSUS304母材に、フッ化処理、軟窒化処理およびクロマイズ処理を施して形成された表面改質層である。軟窒化処理は570℃×2時間行った。
図5(b)はSUS304母材に、フッ化処理、窒化処理およびクロマイズ処理を施して形成された表面改質層である。窒化処理は570℃×30分行った。
いずれも、表面側の50μm程度の厚みにおいてCrとNの濃度が高く、Feの濃度が低い層が形成されている。これが窒化クロム層とみることができる。この窒化クロム層は、クロムが約82重量%、窒素が約11重量%であり、CrNであると同定することができる。また、その下側の60μm程度の厚みにおいて、窒素の濃度が低く、FeとCrの濃度が高い層が形成されている。これは、母材にクロムが拡散浸透したクロム濃化層とみることができる。
このように、従来他の方法で得られている窒化クロム皮膜とは顕著に異なって、窒化クロム層が厚く、かつ窒化クロム層の内側にもクロム濃度の顕著に高い層が厚く形成していることが認められ、画期的な処理であることが明らかである。
図6は、実施例と比較例について、JIS Z2371に従って塩水噴霧試験を行った結果を示す。
比較例:フッ化処理と窒化処理を行い、クロマイズ処理を実施しなかった試験材である。母材はSUS316である。これは1週間で試験材の全体に赤錆が発生した。
実施例:フッ化処理と窒化処理の後にクロマイズ処理した試験材である。母材はSUS304である。これは2ヶ月経過しても変化を生じなかった。
実施例が比較例に比べて耐食性に優れていることがわかる。
図7は、実施例と比較例について、1%HCl溶液への浸漬試験を実施した結果を示す。液温は60℃、浸漬時間は6時間である。
比較例:SUS316の未処理材である。これは、約2.1g/m・Hrの腐食量であった。
実施例:SUS304にフッ化と窒化後にクロマイズ処理したものである。これは、約0.1g/m・Hrの腐食量であった。
実施例が比較例よりもはるかに腐食量は少なく、極めて優れた耐食性を示した。
図8は、実施例と比較例について、HCL0.5mol+NaCL0.5mol溶液で分極曲線を測定した結果を示す。液温は60℃である。
比較例:SUS316の未処理材である。これは、−0.3V付近から電流密度が急増し、活性溶解のピークを示し、0.3V付近から孔食が発生して急激に電流密度が増加した。
実施例:フッ化と窒化の後にクロマイズ処理した試験材である。母材はSUS304である。これは、活性溶解のピークを示さず、1V近くまで不動態化状態を維持している。
実施例が比較例よりも極めて優れた耐食性を有することを示した。
図9は、実施例と比較例について、高温下での耐酸化性を調べた試験結果である。温度950℃の大気中で100時間の連続酸化を行い、酸化増量を測定した。
比較例:SUS304の未処理材である。これは、約29mg/cmの増量であった。
実施例:フッ化と窒化の後にクロマイズ処理したSUS304材である。これは、約0.3mg/cmの増量であった。
実施例:フッ化処理と窒化処理の後にクロマイズ処理をしたAlloy718である。これは、約0.2mg/cmの増量であった。
実施例は、SUS304の未処理材に比べて優れた耐酸化性を示し、SUS310の未処理材と同様に安定した耐酸化性を有することが明らかとなった。
図10は、実施例と比較例について、アルミ浴での溶損試験を行った結果を示す。試験片を700℃のアルミニウム溶湯に浸漬し、溶損して減量する速度を測定した。
比較例:SKD61の未処理材である。これの溶損減量速度は、約21%/Hrであった。
比較例:SKD61の軟窒化処理材である。これの溶損減量速度は、約13%/Hrであった。
実施例:SKD61の窒化後にクロマイズ処理したものである。これの溶損減量速度は、約1%/Hrであった。
実施例は比較例に比べて優れた性能であることが明瞭である。
図11は、実施例におけるクロマイズ処理前の試験材の断面窒素濃度分布である。
母材はSUS304である。フッ化処理と窒化処理を行い、クロマイズ処理を実施する前に測定した。測定は、EPMA(X線マイクロアナライザー)により、材料断面の濃度分布を測定した。
窒素濃度が10原子%以上となる層が、表面から35μmの深さまで形成されている。所望の厚みの窒化クロム層を得るためには、窒素濃度が10原子%以上となる層が、表面から少なくとも5μm以上、好ましくは10μm以上の深さまで形成するのが好ましい。
〔変形例〕
以上は本発明の特に好ましい実施形態について説明したが、本発明は示した実施形態に限定する趣旨ではなく、各種の態様に変形して実施することができ、本発明は各種の変形例を包含する趣旨である。

Claims (5)

  1. 鉄系金属またはニッケル系金属である母材に対し、
    窒化源ガスを含む雰囲気で上記母材を加熱保持する窒化処理を行い、上記母材の表面に、窒素濃度が10原子%以上で厚み5μm以上で窒素が拡散された拡散層を形成し、
    金属クロム粉末を含む粉末中に上記窒化した母材を存在させて850〜1200℃の温度に加熱保持するクロマイズ処理を行うことにより、
    上記母材に、表面側に形成されるクロム化合物層とその下側に形成されるクロム濃化層の2層を含む表面改質層を形成し、
    上記表面改質層を、上記クロム化合物層の厚みが18μm以上であり、上記クロム濃化層が実質的に窒素を含まないものとする
    ことを特徴とする金属の表面改質方法。
  2. 上記母材がオーステナイト系金属である
    請求項1記載の金属の表面改質方法。
  3. 上記窒化処理の前に、ハロゲン系ガスを含む雰囲気で上記母材を加熱保持するハロゲン化処理を行う
    請求項1または2記載の金属の表面改質方法。
  4. 鉄系金属またはニッケル系金属を母材とし、
    表面側のクロム化合物層とその下側のクロム濃化層との2層を含む表面改質層が形成され、
    上記表面改質層は、
    上記クロム化合物層が、厚みが18μm以上の実質的に鉄を含まないCr N層であり、上記クロム濃化層が実質的に鉄窒化物を含まない層である
    ことを特徴とする金属製品。
  5. 上記母材がオーステナイト系金属である
    請求項4記載の金属製品。
JP2014206236A 2014-10-07 2014-10-07 金属の表面改質方法および金属製品 Active JP6637231B2 (ja)

Priority Applications (6)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2014206236A JP6637231B2 (ja) 2014-10-07 2014-10-07 金属の表面改質方法および金属製品
US15/510,343 US10156008B2 (en) 2014-10-07 2015-10-05 Method for altering surface of metal, and metallic product
ES15848710T ES2783523T3 (es) 2014-10-07 2015-10-05 Método para modificar superficies de metales, y producto metálico
CN201580049447.0A CN106687615B (zh) 2014-10-07 2015-10-05 金属的表面改性方法及金属制品
PCT/JP2015/078129 WO2016056491A1 (ja) 2014-10-07 2015-10-05 金属の表面改質方法および金属製品
EP15848710.8A EP3205742B8 (en) 2014-10-07 2015-10-05 Method for altering surface of metal, and metallic product

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2014206236A JP6637231B2 (ja) 2014-10-07 2014-10-07 金属の表面改質方法および金属製品

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JP2016074948A JP2016074948A (ja) 2016-05-12
JP6637231B2 true JP6637231B2 (ja) 2020-01-29

Family

ID=55653102

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2014206236A Active JP6637231B2 (ja) 2014-10-07 2014-10-07 金属の表面改質方法および金属製品

Country Status (6)

Country Link
US (1) US10156008B2 (ja)
EP (1) EP3205742B8 (ja)
JP (1) JP6637231B2 (ja)
CN (1) CN106687615B (ja)
ES (1) ES2783523T3 (ja)
WO (1) WO2016056491A1 (ja)

Families Citing this family (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP6543962B2 (ja) * 2015-03-02 2019-07-17 日本製鉄株式会社 オーステナイト系ステンレス鋼板とその製造方法
CN108286033A (zh) * 2018-01-31 2018-07-17 武汉科技大学 一种涂覆Cr2N涂层的马氏体不锈钢及其制备方法
US20210340661A1 (en) * 2018-06-11 2021-11-04 John Eric Chapman Hybrid Washer and Method of Manufacture
US20210292881A1 (en) * 2018-07-24 2021-09-23 Gary L. Doll Erosive wear and corrosion resistant coatings including metal carbide, metal boride, metal nitride, and corresponding methods
JP7189321B2 (ja) * 2018-08-10 2022-12-13 アプライド マテリアルズ インコーポレイテッド 自己組織化単分子層を使用する選択的堆積のための方法
WO2021106233A1 (ja) * 2019-11-26 2021-06-03 エア・ウォーターNv株式会社 金属製品およびその製造方法
CN114892125A (zh) * 2022-05-25 2022-08-12 台州学院 一种40Cr钢表面PN-Al复合渗层的制备方法

Family Cites Families (16)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
FR2439824A1 (fr) * 1978-10-25 1980-05-23 Creusot Loire Perfectionnement dans la chromisation des aciers par voie gazeuse
JPS57134551A (en) * 1981-02-14 1982-08-19 Sumitomo Metal Ind Ltd Manufacture of corrosion resistant steel pipe with superior workability and high temperature strength
JPS63274753A (ja) * 1987-05-07 1988-11-11 Mitsubishi Heavy Ind Ltd 金属の表面硬化法
JPH01177354A (ja) * 1988-01-05 1989-07-13 Mitsubishi Heavy Ind Ltd 金属の表面硬化方法
DE68908705T2 (de) * 1988-06-24 1994-02-24 Combustion Eng Vorrichtung und verfahren zum diffusionsverchromen von gegenständen.
RU2010886C1 (ru) * 1991-05-20 1994-04-15 Романенко Григорий Васильевич Способ диффузионного хромирования изделий из углеродистых нелегированных сталей
KR100307504B1 (ko) * 1998-11-10 2001-11-30 이상율 크로마이징(chromizing)과이온질화처리에의한금속표면처리방법
JP3978116B2 (ja) * 2002-11-18 2007-09-19 東芝機械株式会社 ダイカストマシン用部材及びその製造方法
JP4771718B2 (ja) * 2005-03-10 2011-09-14 エア・ウォーターNv株式会社 金属の窒化方法
JP5118947B2 (ja) * 2006-11-21 2013-01-16 株式会社アキタファインブランキング 高温耐久性を高めたナノ表面改質方法並びにナノ表面改質方法が施された金属部材並びにこれを構成部材に適用したvgsタイプターボチャージャにおける排気ガイドアッセンブリ
CN100516278C (zh) * 2007-07-16 2009-07-22 牛君 防腐耐磨油管和套管的氮化处理方法
CN100587118C (zh) * 2007-10-30 2010-02-03 华南理工大学 一种直接在钢材上生长纳米晶氮化铬薄膜的方法
JP5378715B2 (ja) * 2008-06-27 2013-12-25 エア・ウォーターNv株式会社 鋼材の表面処理方法および表面処理装置
CN100567552C (zh) * 2008-08-06 2009-12-09 中国原子能科学研究院 奥氏体钢制件的渗铬渗氮工艺
JP5891859B2 (ja) * 2012-03-08 2016-03-23 東京電力株式会社 蒸気用配管及びその製造方法
CN103741133A (zh) * 2013-12-30 2014-04-23 浙江工业大学 基于微波技术制备氮化钛/氮化铬涂层的方法

Also Published As

Publication number Publication date
EP3205742A4 (en) 2018-08-22
WO2016056491A1 (ja) 2016-04-14
CN106687615B (zh) 2020-07-17
ES2783523T3 (es) 2020-09-17
EP3205742A1 (en) 2017-08-16
EP3205742B8 (en) 2020-05-13
JP2016074948A (ja) 2016-05-12
EP3205742B1 (en) 2020-02-26
US10156008B2 (en) 2018-12-18
US20170283934A1 (en) 2017-10-05
CN106687615A (zh) 2017-05-17

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP6637231B2 (ja) 金属の表面改質方法および金属製品
Singhal A hard diffusion boride coating for ferrous materials
CN107109615B (zh) 自钝化金属的增强活化
Kulka et al. Two-stage gas boriding of Nisil in N2–H2–BCl3 atmosphere
JP3976599B2 (ja) 耐高温腐食性、耐酸化性に優れた耐熱性Ti合金材料およびその製造方法
US3765954A (en) Surface-hardened titanium and titanium alloys and method of processing same
Kheyrodin et al. Wear and corrosion behaviors of duplex surface treated 316L austenitic stainless steel via combination of boriding and chromizing
JPS6035989B2 (ja) ガスによる鋼のクロマイジング方法に関する改良
US20100037991A1 (en) Diffusion promoters for low temperature case hardening
JP4598499B2 (ja) 複合層被覆部材の製造方法
Christiansen et al. Hard surface layers by pack boriding and gaseous thermo-reactive deposition and diffusion treatments
JP7370263B2 (ja) 金属製品およびその製造方法
CN114585768B (zh) 金属制品及其制造方法
JP6101058B2 (ja) フェライト系表面改質金属部材の製造方法
JP2786529B2 (ja) オーステナイト系ステンレス鋼の表面改質処理方法
JP5561638B2 (ja) 金属の硬化処理方法
JP4641091B2 (ja) 金属材料表面に対する炭窒化物層形成方法及び表面に炭窒化物層を備えるチタン系金属材料
JP2918765B2 (ja) 表面が窒化硬化されたニッケル合金製品
JP4361814B2 (ja) 耐摩耗性に優れたチタン材
Tarelnyk et al. New Process for Nitriding Steel Parts
WO2020023469A1 (en) Erosive wear and corrosion resistant coatings including metal carbide, metal boride, metal nitride, and corresponding methods
JP2014070269A (ja) オーステナイト系表面改質金属部材およびオーステナイト系表面改質金属部材の製造方法
JPH0570930A (ja) 耐隙間腐食性表面改質TiまたはTi基合金部材
KR20230052220A (ko) 처리 방법
Karakira et al. Diffusion Model of Aluminide Coatings

Legal Events

Date Code Title Description
A621 Written request for application examination

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621

Effective date: 20170904

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20181002

A521 Request for written amendment filed

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20181106

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20190423

A521 Request for written amendment filed

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20190624

TRDD Decision of grant or rejection written
A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

Effective date: 20191126

A61 First payment of annual fees (during grant procedure)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61

Effective date: 20191220

R150 Certificate of patent or registration of utility model

Ref document number: 6637231

Country of ref document: JP

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250