JP6609299B2 - アンテナパッケージ構造、その製造方法および通信装置 - Google Patents
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- アンテナパッケージ構造には以下が含まれる:
第1の誘電材料層と、前記第1の誘電材料層の開口内に形成された第1の金属パターンとを含む第1の再分配層と;
少なくとも1つの金属ビア、少なくとも1つの金属ピラーと、集積回路チップ、モールディング層とを含む第1の再配線層上に形成された集積回路層と、前記モールディング層は、前記第1の再配線層上に配置された金属ビア、金属ピラー及び集積回路チップによって形成された開口部を充填するために使用され、金属ビアは第1の金属パターンの1つに電気的に接続される;
前記金属ピラーは、前記集積回路チップ及び前記第1の金属パターンのうちの1つに電気的に接続され
集積回路層上に形成され、第2の誘電体材料層と、前記第2の誘電体材料層の開口内に形成された第2の金属パターンとを含む、第2の再分配層と、前記金属ビアは、前記第2の金属パターンのうちの1つと電気的に接続され、
第1の誘電体層と、前記第1の誘電体層の開口部に形成された第3の金属パターンとを有する第1のアンテナユニット層と、第3の金属パターンのうちの少なくとも1つは、第2の金属パターンの1つに電気的に接続され、第3の金属パターンは第1のアンテナユニットを形成する、そして;
集積回路チップは、集積回路チップの集積回路上に配置された第2のアンテナユニットを含む。 - 請求項1に記載のアンテナパッケージ構造においては以下が含まれる:
第1のアンテナユニット層と第2の再配線層との間に形成された第1のシールド層と、第2の誘電体層と、第2の誘電体層の開口部に形成された第4の金属パターンとを備え、第4の金属パターンは、第3の金属パターンと第2の金属パターンの一部とに電気的に接続され;
第1の保護層と、前記第1の再配線層は、前記第1の保護層上に配置され;
請求項1のアンテナユニット層上に形成された第2の保護層と、そして
アンテナパッケージ構造は、バンプボールを介して基板上に実装される。 - 請求項1に記載のアンテナパッケージ構造には以下で構成される:第2の誘電体層と、前記第2の誘電体層の開口部に形成された第4の金属パターンとを有する第2のアンテナユニット層と、前記第4の金属パターンのうちの少なくとも1つは前記第1の金属パターンのうちの1つと電気的に接続され、前記第4の金属パターンは第2のアンテナ部を形成し、前記第2のアンテナユニット層上に前記第1の再配線層を形成する
第1のアンテナユニット層と前記第2の再配線層との間に形成された第1のシールド層と、第3の誘電体層と、前記第3の誘電体層の開口部に形成された第5の金属パターンとを備え、前記第5の金属パターンは、前記第3の金属パターン及び前記第2の金属パターンの一部と電気的に連結され、そして
第2のアンテナ層と第1の再配線層との間に形成された第2シールド層と、第4の誘電体層と、前記第4の誘電体層の開口部に形成された第6の金属パターンとを備え、前記第6の金属パターンは第4の金属パターンと第1の金属パターンの一部とに電気的に連結されることを特徴とする。 - 請求項3に記載のアンテナパッケージ構造において備えるものは;
第1の保護層と、前記第1の再配線層は、第1の保護層上に配置され;
前記第1のアンテナユニット層に形成された第2の保護層、そして;
バンプボール、アンテナパッケージ構造は、バンプボールを介して基板上に実装される。 - 請求項3に記載のアンテナパッケージ構造において、第2のアンテナユニットは多入力多出力位相アンテナである。
- アンテナパッケージ構造の製造方法には以下が備わる:
第1の暫定基板に第1の接着層を提供する;
第1の接着層上に第1の誘電体層を形成する段階と、前記第1の誘電体層の開口部に第1の金属パターンを形成する段階;
第1の金属パターンのうちの1つの上に少なくとも1つの金属ビアを形成する;
第1の金属パターンの一部に少なくとも1つの金属ピラーを形成し、金属ピラー上に集積回路チップを配置する;
金属ピラー、金属ビア及び集積回路チップを覆うようにモールディング層が形成され;
モールディング層、金属ビア、金属ピラー及び集積回路チップを含む集積回路チップ層を形成するように、モールディング層を薄くして金属ビアを露出させる;
集積回路チップ層上に第1の再分配層を形成するステップと、前記第1の再配線層は、第2の誘電体材料層と、前記第2の誘電体材料層の開口部に形成された第2の金属パターンとを含み;
第1の再配線層上に第1のアンテナユニット層を形成する工程と、第1のアンテナ部層は第1の誘電体層と前記第1の誘電体層の開口部に形成された第3の金属パターンとを含み、第3の金属パターンのうちの少なくとも1つは前記第2の金属パターンに電気的に接続され、前記第3の金属パターンは第1のアンテナ部を形成する;
第1のアンテナ部層上に第1の保護層を形成して第1の積層構造を形成する段階;
第1の積層構造を第2の仮基板上に第2の接着層を用いて接着するステップと、第1の仮基板を第1の接着層で除去するステップ;
第1の誘電体層及び第1の金属パターンを加工して第2の再配線層を形成する段階と、第2の再分配層は、処理された第1の誘電体材料層および処理された第1の金属パターンを含む;
第2の再配線層上に第2の保護層を形成する工程と;
第2の保護層上にバンプボールを形成、すなわち第2の積層構造を形成する段階;そして
第2の積層構造を下向きにして、第2の接着剤層を有する第2の仮基板を除去し、前記第2の積層構造体をバンプボールを介して基板上に搭載する工程を含み、;
集積回路チップは、集積回路チップの集積回路上に配置された第2のアンテナユニットを含む。 - 通信装置には以下が備えられる:
アンテナパッケージ構造であって:
第1の誘電材料層と、前記第1の誘電材料層の開口内に形成された第1の金属パターンとを含む第1の再分配層と;
少なくとも1つの金属ビアと、少なくとも1つの金属ピラーと、集積回路チップと、モールディング層とを含む第1の再配線層上に形成された集積回路層と、前記モールディング層は、前記第1の再配線層上に配置された金属ビア、金属ピラー及び集積回路チップによって形成された開口部を充填するために使用され、前記金属ピラーは、前記集積回路チップ及び前記第1の金属パターンのうちの1つに電気的に接続される;
集積回路層上に形成された第2の再分配層と、第2の誘電体層と、前記第2の誘電体層の開口部に形成された第2の金属パターンを備え、前記金属ビアは、前記第2の金属パターンのうちの1つと電気的に接続され、そして
第1の誘電体層と、前記第1の誘電体層の開口部に形成された第3の金属パターンとを有する第1のアンテナユニット層と、前記第3の金属パターンのうちの少なくとも1つは、前記第2の金属パターンに電気的に接続され、前記第3の金属パターンは、第1のアンテナ部を形成し、;
集積回路は処理回路であり、集積回路チップは集積回路上に第2のアンテナユニットを有する。 - 請求項7に記載の通信装置は、暗号化された通信装置または周波数変換装置である。
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