JP6604649B1 - 試料検査装置、および、試料検査方法 - Google Patents
試料検査装置、および、試料検査方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP6604649B1 JP6604649B1 JP2019531344A JP2019531344A JP6604649B1 JP 6604649 B1 JP6604649 B1 JP 6604649B1 JP 2019531344 A JP2019531344 A JP 2019531344A JP 2019531344 A JP2019531344 A JP 2019531344A JP 6604649 B1 JP6604649 B1 JP 6604649B1
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- sample
- frequency
- light
- parameter value
- electron beam
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
- 238000007689 inspection Methods 0.000 title claims abstract description 150
- 238000000034 method Methods 0.000 title claims abstract description 65
- 238000010894 electron beam technology Methods 0.000 claims abstract description 132
- 238000001514 detection method Methods 0.000 claims abstract description 62
- 230000004044 response Effects 0.000 claims abstract description 5
- 230000008569 process Effects 0.000 claims description 27
- 238000003079 width control Methods 0.000 claims description 18
- 239000000284 extract Substances 0.000 claims description 13
- 238000000605 extraction Methods 0.000 claims description 12
- 230000001678 irradiating effect Effects 0.000 claims description 9
- 230000006378 damage Effects 0.000 claims description 4
- 230000008859 change Effects 0.000 claims description 3
- 239000000523 sample Substances 0.000 description 246
- 239000010410 layer Substances 0.000 description 43
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 20
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 15
- 239000000463 material Substances 0.000 description 13
- 238000010521 absorption reaction Methods 0.000 description 6
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 6
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 4
- 239000000047 product Substances 0.000 description 4
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 3
- 230000007547 defect Effects 0.000 description 3
- 230000009467 reduction Effects 0.000 description 3
- 238000004590 computer program Methods 0.000 description 2
- 230000005684 electric field Effects 0.000 description 2
- 230000006872 improvement Effects 0.000 description 2
- 230000007246 mechanism Effects 0.000 description 2
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 2
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 2
- 238000004381 surface treatment Methods 0.000 description 2
- 230000001360 synchronised effect Effects 0.000 description 2
- 229910005540 GaP Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910005542 GaSb Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910001218 Gallium arsenide Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910000673 Indium arsenide Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000001133 acceleration Effects 0.000 description 1
- 238000004458 analytical method Methods 0.000 description 1
- 239000012472 biological sample Substances 0.000 description 1
- 229910052802 copper Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000013078 crystal Substances 0.000 description 1
- 230000003247 decreasing effect Effects 0.000 description 1
- 239000012776 electronic material Substances 0.000 description 1
- 230000005284 excitation Effects 0.000 description 1
- 230000006870 function Effects 0.000 description 1
- 238000010191 image analysis Methods 0.000 description 1
- RPQDHPTXJYYUPQ-UHFFFAOYSA-N indium arsenide Chemical compound [In]#[As] RPQDHPTXJYYUPQ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000013067 intermediate product Substances 0.000 description 1
- 239000004973 liquid crystal related substance Substances 0.000 description 1
- 150000002739 metals Chemical class 0.000 description 1
- 230000010355 oscillation Effects 0.000 description 1
- 230000010287 polarization Effects 0.000 description 1
- 238000006862 quantum yield reaction Methods 0.000 description 1
- 238000001228 spectrum Methods 0.000 description 1
- 239000000126 substance Substances 0.000 description 1
- 239000002344 surface layer Substances 0.000 description 1
- 230000002195 synergetic effect Effects 0.000 description 1
- 230000003685 thermal hair damage Effects 0.000 description 1
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N23/00—Investigating or analysing materials by the use of wave or particle radiation, e.g. X-rays or neutrons, not covered by groups G01N3/00 – G01N17/00, G01N21/00 or G01N22/00
- G01N23/20—Investigating or analysing materials by the use of wave or particle radiation, e.g. X-rays or neutrons, not covered by groups G01N3/00 – G01N17/00, G01N21/00 or G01N22/00 by using diffraction of the radiation by the materials, e.g. for investigating crystal structure; by using scattering of the radiation by the materials, e.g. for investigating non-crystalline materials; by using reflection of the radiation by the materials
- G01N23/203—Measuring back scattering
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N23/00—Investigating or analysing materials by the use of wave or particle radiation, e.g. X-rays or neutrons, not covered by groups G01N3/00 – G01N17/00, G01N21/00 or G01N22/00
- G01N23/22—Investigating or analysing materials by the use of wave or particle radiation, e.g. X-rays or neutrons, not covered by groups G01N3/00 – G01N17/00, G01N21/00 or G01N22/00 by measuring secondary emission from the material
- G01N23/225—Investigating or analysing materials by the use of wave or particle radiation, e.g. X-rays or neutrons, not covered by groups G01N3/00 – G01N17/00, G01N21/00 or G01N22/00 by measuring secondary emission from the material using electron or ion
- G01N23/2251—Investigating or analysing materials by the use of wave or particle radiation, e.g. X-rays or neutrons, not covered by groups G01N3/00 – G01N17/00, G01N21/00 or G01N22/00 by measuring secondary emission from the material using electron or ion using incident electron beams, e.g. scanning electron microscopy [SEM]
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N23/00—Investigating or analysing materials by the use of wave or particle radiation, e.g. X-rays or neutrons, not covered by groups G01N3/00 – G01N17/00, G01N21/00 or G01N22/00
- G01N23/02—Investigating or analysing materials by the use of wave or particle radiation, e.g. X-rays or neutrons, not covered by groups G01N3/00 – G01N17/00, G01N21/00 or G01N22/00 by transmitting the radiation through the material
- G01N23/04—Investigating or analysing materials by the use of wave or particle radiation, e.g. X-rays or neutrons, not covered by groups G01N3/00 – G01N17/00, G01N21/00 or G01N22/00 by transmitting the radiation through the material and forming images of the material
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J37/00—Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
- H01J37/02—Details
- H01J37/04—Arrangements of electrodes and associated parts for generating or controlling the discharge, e.g. electron-optical arrangement or ion-optical arrangement
- H01J37/06—Electron sources; Electron guns
- H01J37/073—Electron guns using field emission, photo emission, or secondary emission electron sources
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J37/00—Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
- H01J37/02—Details
- H01J37/244—Detectors; Associated components or circuits therefor
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J37/00—Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
- H01J37/26—Electron or ion microscopes; Electron or ion diffraction tubes
- H01J37/28—Electron or ion microscopes; Electron or ion diffraction tubes with scanning beams
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N2223/00—Investigating materials by wave or particle radiation
- G01N2223/03—Investigating materials by wave or particle radiation by transmission
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N2223/00—Investigating materials by wave or particle radiation
- G01N2223/05—Investigating materials by wave or particle radiation by diffraction, scatter or reflection
- G01N2223/053—Investigating materials by wave or particle radiation by diffraction, scatter or reflection back scatter
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N2223/00—Investigating materials by wave or particle radiation
- G01N2223/10—Different kinds of radiation or particles
- G01N2223/102—Different kinds of radiation or particles beta or electrons
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N2223/00—Investigating materials by wave or particle radiation
- G01N2223/30—Accessories, mechanical or electrical features
- G01N2223/304—Accessories, mechanical or electrical features electric circuits, signal processing
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J2237/00—Discharge tubes exposing object to beam, e.g. for analysis treatment, etching, imaging
- H01J2237/06—Sources
- H01J2237/063—Electron sources
- H01J2237/06325—Cold-cathode sources
- H01J2237/06333—Photo emission
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J2237/00—Discharge tubes exposing object to beam, e.g. for analysis treatment, etching, imaging
- H01J2237/244—Detection characterized by the detecting means
- H01J2237/24495—Signal processing, e.g. mixing of two or more signals
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J2237/00—Discharge tubes exposing object to beam, e.g. for analysis treatment, etching, imaging
- H01J2237/26—Electron or ion microscopes
- H01J2237/28—Scanning microscopes
- H01J2237/2813—Scanning microscopes characterised by the application
- H01J2237/2817—Pattern inspection
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J37/00—Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
- H01J37/02—Details
- H01J37/22—Optical, image processing or photographic arrangements associated with the tube
- H01J37/222—Image processing arrangements associated with the tube
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J37/00—Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
- H01J37/252—Tubes for spot-analysing by electron or ion beams; Microanalysers
Landscapes
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Analytical Chemistry (AREA)
- Biochemistry (AREA)
- Health & Medical Sciences (AREA)
- Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Health & Medical Sciences (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Immunology (AREA)
- Pathology (AREA)
- Crystallography & Structural Chemistry (AREA)
- Analysing Materials By The Use Of Radiation (AREA)
- Electron Sources, Ion Sources (AREA)
Abstract
Description
前記周波数変調光の受光に応じて、電子ビームを放出するフォトカソードと、
前記電子ビームが照射された試料から放出される電子を検出し、検出信号を生成する検出器と、
前記検出信号の中から、前記周波数変調光の変調周波数に対応する周波数の信号を抽出する信号抽出器と
を具備する
試料検査装置。
(2)前記信号抽出器は、ロックインアンプを含み、
前記ロックインアンプは、前記検出信号および参照信号を受信し、
前記ロックインアンプは、前記検出信号の中から、前記参照信号の周波数に対応する周波数の信号を抽出する
上記(1)に記載の試料検査装置。
(3)制御パラメータ値に応じて前記光源の動作を制御する光源制御装置と、
前記試料の種類と、前記制御パラメータ値とが関連付けられた第1関連データを記憶する記憶装置と
を更に具備し、
前記制御パラメータ値は、前記周波数変調光の振幅制御パラメータ値またはパルス振幅制御パラメータ値、前記周波数変調光の2つの最大振幅間の時間間隔を規定する制御パラメータ値またはパルス幅制御パラメータ値、前記周波数変調光の単位波形を規定するパラメータ値または単位パルス波形を規定するパラメータ値、および、パルス間隔制御パラメータ値のうちの少なくとも1つを含む
上記(1)または(2)に記載の試料検査装置。
(4)前記光源の動作を制御する光源制御装置を更に具備し、
前記光源制御装置は、前記光源から射出される前記周波数変調光の単位時間当たりの光量を変動させる第1制御モードと、前記光源から射出される前記周波数変調光の単位時間当たりの光量を一定に維持する第2制御モードとを選択的に実行可能である
上記(1)または(2)に記載の試料検査装置。
(5)周波数変調光をフォトカソードに照射する光照射工程と、
前記フォトカソードから放出された電子ビームを試料に照射する電子ビーム照射工程と、
前記試料から放出された電子を、検出器によって検出する検出工程と、
前記検出器によって生成された検出信号の中から、前記周波数変調光の変調周波数に対応する周波数の信号を抽出する信号抽出工程と
を具備する試料検査方法。
(6)前記試料の種類に応じて、前記周波数変調光の振幅または前記周波数変調光のパルス振幅、前記周波数変調光の2つの最大振幅間の時間間隔または前記周波数変調光のパルス幅、前記周波数変調光の単位波形、および、前記周波数変調光のパルス間隔のうちの少なくとも一つを変更する工程を更に含む
上記(5)に記載の試料検査方法。
(7)前記光照射工程と、前記電子ビーム照射工程と、前記検出工程と、前記信号抽出工程とを含む試料検査工程と、
前記試料検査工程の前に実行される耐久検査工程と
を具備し、
前記耐久検査工程は、前記電子ビームに対する前記試料の耐久性を検査すること、または、前記電子ビームに対する前記試料と同種の試料の耐久性を検査することを含み、
前記耐久検査工程の検査結果に応じて、前記試料検査工程において使用される光源の制御パラメータ値が決定される
上記(5)に記載の試料検査方法。
(8)前記光照射工程と、前記電子ビーム照射工程と、前記検出工程と、前記信号抽出工程とを含む試料検査工程と、
前記試料検査工程の前に実行される耐久検査工程と
を具備し、
前記耐久検査工程は、前記電子ビームに対する前記試料の耐久性を検査すること、または、前記電子ビームに対する前記試料と同種の試料の耐久性を検査することを含み、
前記耐久検査工程の検査結果に応じて、前記試料検査工程において使用される光源の制御パラメータ値が決定される
上記(6)に記載の試料検査方法。
(9)前記試料の第1層を検査する第1層検査工程と、
前記第1層の上方に第2層が積層された後に、前記試料の前記第2層を検査する第2層検査工程と
を具備し、
前記第1層検査工程および前記第2層検査工程の各々は、前記光照射工程と、前記電子ビーム照射工程と、前記検出工程と、前記信号抽出工程とを含み、
前記第2層検査工程では、前記電子ビームが前記第1層に達しないように、前記電子ビームが前記第2層に照射される
上記(5)乃至(8)のいずれか一つに記載の試料検査方法。
図1および図2を参照して、第1の実施形態における試料検査装置1Aについて説明する。図1は、第1の実施形態における試料検査装置1Aを模式的に示す図である。図2は、検出信号S1の中から、参照信号S2の周波数に対応する周波数の信号が抽出される様子を模式的に示す図である。
図3乃至図7を参照して、第2の実施形態における試料検査装置1Bについて説明する。図3は、第2の実施形態における試料検査装置1Bの一例を模式的に示す図である。図4Aは、パルス振幅PA、パルス幅PW、パルス間隔PIについて説明するための図である。図4Bは、周波数変調光の振幅ZA、周波数変調光の2つの最大振幅間の時間間隔ZWについて説明するための図である。図5は、試料の種類と、複数の制御パラメータ値とが関連付けられて記憶されている様子を模式的に示す図である。図6は、光源制御装置9が、光源2から射出されるパルス光Lの単位時間当たりの光量を変動させる第1制御モードと、光源2から射出されるパルス光の単位時間当たりの光量を一定に維持する第2制御モードとを選択的に実行可能な様子を模式的に示す図である。図7は、第2の実施形態における試料検査装置1Bの一例を模式的に示す図である。
パルス光の波形を調整する手順の第1例について説明する。図3に記載の例では、試料検査装置1Bは、試料Tの種類と、制御パラメータ値とが関連付けられた第1関連データDAを記憶する記憶装置M(ROM、RAM、ハードディスク等)を備える。図5に記載の例では、記憶装置Mは、第1試料T1と、複数の制御パラメータ値とを関連付けて記憶している。より具体的には、記憶装置Mは、第1試料T1と、パルス振幅制御パラメータ値VA1と、パルス幅制御パラメータ値VW1と、パルス間隔制御パラメータ値VI1とを関連付けて記憶している。また、図5に記載の例では、記憶装置Mは、第2試料T2と、複数の制御パラメータ値とを関連付けて記憶している。より具体的には、記憶装置Mは、第2試料T2と、パルス振幅制御パラメータ値VA2と、パルス幅制御パラメータ値VW2と、パルス間隔制御パラメータ値VI2とを関連付けて記憶している。
パルス光の波形を調整する手順の第2例について説明する。図6に記載の例では、光源制御装置9は、光源2から射出されるパルス光Lの単位時間当たりの光量を変動させる第1制御モードと、光源2から射出されるパルス光の単位時間当たりの光量を一定に維持する第2制御モードとを選択的に実行可能である。
図3に記載の例において、試料検査装置1Bは、アノード4とフォトカソード3(より具体的には、フォトカソード3を含むカソード)との間に電圧を印加する電源40と、アノード4とフォトカソード3との間に印加される電圧の大きさを制御する電圧制御装置42とを備える。
図7を参照して、試料を電子ビームBによって走査するメカニズムの例について説明する。
図3に示されるように、試料検査装置1Bは、信号抽出器8によって抽出された信号を記録する記憶装置11、および/または、信号抽出器8によって抽出された信号を視覚的に表示する表示装置12を備えていてもよい。記憶装置11は、試料T中における電子ビームBの照射位置と、信号抽出器8によって抽出された信号とを関連付けて記録するようにしてもよい。この場合、照射位置と信号抽出器8によって抽出された信号の強度との関係を参照することにより、試料T中の欠陥位置を特定することができる。また、表示装置12は、試料T中における電子ビームBの照射位置と、信号抽出器8によって抽出された信号とを関連付けて表示してもよい。
図8を参照して、実施形態における試料検査方法の一例について説明する。図8は、実施形態における試料検査方法の一例を示すフローチャートである。
上述のパルス光照射工程と、電子ビーム照射工程と、検出工程と、信号抽出工程とによって、試料検査工程が構成される。なお、試料検査工程に先立ち、試料Tまたは試料Tと同種の試料の耐久性を検査する耐久検査工程が実行されてもよい。耐久検査工程では、電子ビームに対する試料T(または、試料Tと同種の試料T’)の耐久性が検査される。
図9を参照して、積層体である試料Tの検査方法を説明する。図9に記載の例では、試料Tの第1層LA1が検査され、その後、第1層LA1上に積層された第2層LA2が検査される。
Claims (8)
- 周波数変調光を射出する光源と、
前記周波数変調光の受光に応じて、電子ビームを放出するフォトカソードと、
前記電子ビームが照射された試料から放出される電子を検出し、検出信号を生成する検出器と、
前記検出信号の中から、前記周波数変調光の変調周波数に対応する周波数の信号を抽出することで、試料から放出された信号ではないノイズ信号を除去する信号抽出器と
を具備する
試料検査装置。 - 前記信号抽出器は、ロックインアンプを含み、
前記ロックインアンプは、前記検出信号および周波数変調光の変調周波数に対応する周波数の信号である参照信号を受信し、
前記ロックインアンプは、前記検出信号の中から、前記参照信号の周波数に対応する周波数の信号を抽出する
請求項1に記載の試料検査装置。 - 制御パラメータ値に応じて前記光源の動作を制御する光源制御装置と、
前記試料の種類と、前記制御パラメータ値とが関連付けられた第1関連データを記憶する記憶装置と
を更に具備し、
前記制御パラメータ値は、前記周波数変調光の振幅制御パラメータ値またはパルス振幅制御パラメータ値、前記周波数変調光の2つの最大振幅間の時間間隔を規定する制御パラメータ値またはパルス幅制御パラメータ値、前記周波数変調光の単位波形を規定するパラメータ値または単位パルス波形を規定するパラメータ値、および、パルス間隔制御パラメータ値のうちの少なくとも1つを含む
請求項1または2に記載の試料検査装置。 - 前記光源の動作を制御する光源制御装置を更に具備し、
前記光源制御装置は、前記光源から射出される前記周波数変調光の単位時間当たりの光量を変動させる第1制御モードと、前記光源から射出される前記周波数変調光の単位時間当たりの光量を一定に維持する第2制御モードとを選択的に実行可能である
請求項1または2に記載の試料検査装置。 - 周波数変調光をフォトカソードに照射する光照射工程と、
前記フォトカソードから放出された電子ビームを試料に照射する電子ビーム照射工程と、
前記試料から放出された電子を、検出器によって検出する検出工程と、
前記検出器によって生成された検出信号の中から、前記周波数変調光の変調周波数に対応する周波数の信号を抽出することで、試料から放出された信号ではないノイズ信号を除去する信号抽出工程と
を具備する試料検査方法。 - 前記試料の種類に応じて、前記周波数変調光の振幅または前記周波数変調光のパルス振幅、前記周波数変調光の2つの最大振幅間の時間間隔または前記周波数変調光のパルス幅、前記周波数変調光の単位波形、および、前記周波数変調光のパルス間隔のうちの少なくとも一つを変更する工程を更に含む
請求項5に記載の試料検査方法。 - 前記光照射工程と、前記電子ビーム照射工程と、前記検出工程と、前記信号抽出工程とを含む試料検査工程と、
前記試料検査工程の前に実行される耐久検査工程と
を具備し、
前記耐久検査工程は、前記電子ビームに対する前記試料の耐久性を検査すること、または、前記電子ビームに対する前記試料と同種の試料の耐久性を検査することを含み、
前記耐久検査工程の検査結果である電子ビームの光量と試料の損傷との関係に応じて、前記試料検査工程において使用される光源の制御パラメータ値が決定され、
前記制御パラメータ値は、前記周波数変調光の振幅制御パラメータ値またはパルス振幅制御パラメータ値、前記周波数変調光の2つの最大振幅間の時間間隔を規定する制御パラメータ値またはパルス幅制御パラメータ値、前記周波数変調光の単位波形を規定するパラメータ値または単位パルス波形を規定するパラメータ値、および、パルス間隔制御パラメータ値のうちの少なくとも1つを含む
請求項5に記載の試料検査方法。 - 前記試料の第1層を検査する第1層検査工程と、
前記第1層の上方に第2層が積層された後に、前記試料の前記第2層を検査する第2層検査工程と
を具備し、
前記第1層検査工程および前記第2層検査工程の各々は、前記光照射工程と、前記電子ビーム照射工程と、前記検出工程と、前記信号抽出工程とを含み、
前記第2層検査工程では、前記電子ビームが前記第1層に達しないように、前記電子ビームが前記第2層に照射される
請求項5乃至7のいずれか一項に記載の試料検査方法。
Applications Claiming Priority (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2017252709 | 2017-12-27 | ||
JP2017252709 | 2017-12-27 | ||
PCT/JP2018/046926 WO2019131410A1 (ja) | 2017-12-27 | 2018-12-20 | 試料検査装置、および、試料検査方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP6604649B1 true JP6604649B1 (ja) | 2019-11-13 |
JPWO2019131410A1 JPWO2019131410A1 (ja) | 2020-01-16 |
Family
ID=67063623
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2019531344A Active JP6604649B1 (ja) | 2017-12-27 | 2018-12-20 | 試料検査装置、および、試料検査方法 |
Country Status (8)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US11150204B2 (ja) |
EP (1) | EP3734641A4 (ja) |
JP (1) | JP6604649B1 (ja) |
KR (1) | KR102238479B1 (ja) |
CN (1) | CN110582833B (ja) |
IL (1) | IL270143B2 (ja) |
TW (1) | TWI794375B (ja) |
WO (1) | WO2019131410A1 (ja) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2023038002A1 (ja) | 2021-09-07 | 2023-03-16 | 株式会社Photo electron Soul | 電子線適用装置における検出データの作成方法および照射対象の画像合成方法、プログラム、記録媒体、並びに、電子線適用装置 |
KR20230154973A (ko) | 2021-05-26 | 2023-11-09 | 가부시키가이샤 포토 일렉트론 소울 | 전자총, 전자선 적용 장치, 및, 전자 빔의 사출 방법 |
Families Citing this family (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP7291235B2 (ja) * | 2019-10-31 | 2023-06-14 | 株式会社日立ハイテク | 電子銃および電子線応用装置 |
JP6722958B1 (ja) * | 2019-11-20 | 2020-07-15 | 株式会社Photo electron Soul | 電子線適用装置および電子線適用装置における電子ビームの射出方法 |
CN110890256B (zh) * | 2019-11-26 | 2021-07-27 | 华中科技大学 | 一种会聚角可调无磁飞秒电子源装置 |
US11933668B2 (en) * | 2020-02-03 | 2024-03-19 | Rohde & Schwarz Gmbh & Co. Kg | Sampling assembly and testing instrument |
WO2021213870A1 (en) * | 2020-04-20 | 2021-10-28 | Asml Netherlands B.V. | An inspection tool, inspection tool operating method |
WO2022091234A1 (ja) * | 2020-10-28 | 2022-05-05 | 株式会社日立ハイテク | 荷電粒子ビーム装置および試料観察方法 |
JP7054281B1 (ja) * | 2021-10-19 | 2022-04-13 | 株式会社Photo electron Soul | 電子線適用装置および電子線適用装置における検出データの作成方法 |
CN117928722A (zh) * | 2023-12-08 | 2024-04-26 | 江苏省环境监测中心 | 基于自主网的噪声监测装置及噪声溯源优化方法 |
Citations (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS61184445A (ja) * | 1985-02-12 | 1986-08-18 | Shimadzu Corp | X線光電子分光装置 |
JPS63266754A (ja) * | 1987-04-24 | 1988-11-02 | Hitachi Ltd | パターン検査方法およびその装置 |
US5260648A (en) * | 1989-05-29 | 1993-11-09 | Brust Hans Detlef | Process and system for rapid analysis of the spectrum of a signal at one or several points of measuring |
US5281909A (en) * | 1987-11-12 | 1994-01-25 | Brust Hans Detlef | Process and system for measuring the course of a signal at a point of measurement on a sample |
JPH09298032A (ja) * | 1996-04-30 | 1997-11-18 | Hamamatsu Photonics Kk | 電子ビーム発生装置 |
JP2003303565A (ja) * | 2002-04-10 | 2003-10-24 | Hitachi High-Technologies Corp | 電子線検査装置 |
US6812461B1 (en) * | 2002-11-07 | 2004-11-02 | Kla-Tencor Technologies Corporation | Photocathode source for e-beam inspection or review |
WO2017168554A1 (ja) * | 2016-03-29 | 2017-10-05 | 株式会社日立ハイテクノロジーズ | 電子顕微鏡 |
Family Cites Families (19)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US3908193A (en) * | 1972-11-27 | 1975-09-23 | Albert Macovski | Color television encoding and decoding system |
JPS6475928A (en) * | 1987-09-17 | 1989-03-22 | Hamamatsu Photonics Kk | Optical heterodyne detector |
DE3839707A1 (de) * | 1988-11-24 | 1990-05-31 | Integrated Circuit Testing | Verfahren zum betrieb eines elektronenstrahlmessgeraetes |
JP2709135B2 (ja) * | 1989-04-11 | 1998-02-04 | 浜松ホトニクス株式会社 | 光信号検出装置 |
US5179565A (en) * | 1990-06-07 | 1993-01-12 | Hamamatsu Photonics, K.K. | Low noise pulsed light source utilizing laser diode and voltage detector device utilizing same low noise pulsed light source |
US5270780A (en) * | 1991-09-13 | 1993-12-14 | Science Applications International Corporation | Dual detector lidar system and method |
US5684360A (en) * | 1995-07-10 | 1997-11-04 | Intevac, Inc. | Electron sources utilizing negative electron affinity photocathodes with ultra-small emission areas |
JPH10334842A (ja) * | 1997-05-28 | 1998-12-18 | Shimadzu Corp | 光走査型電子顕微鏡 |
US20030048427A1 (en) * | 2001-01-31 | 2003-03-13 | Applied Materials, Inc. | Electron beam lithography system having improved electron gun |
US6724002B2 (en) * | 2001-01-31 | 2004-04-20 | Applied Materials, Inc. | Multiple electron beam lithography system with multiple beam modulated laser illumination |
JP2002313273A (ja) * | 2001-04-17 | 2002-10-25 | Hitachi Ltd | 電子顕微鏡装置 |
US6946655B2 (en) * | 2001-11-07 | 2005-09-20 | Applied Materials, Inc. | Spot grid array electron imaging system |
US7446474B2 (en) * | 2002-10-10 | 2008-11-04 | Applied Materials, Inc. | Hetero-junction electron emitter with Group III nitride and activated alkali halide |
US7068363B2 (en) * | 2003-06-06 | 2006-06-27 | Kla-Tencor Technologies Corp. | Systems for inspection of patterned or unpatterned wafers and other specimen |
JP4443167B2 (ja) * | 2003-08-25 | 2010-03-31 | 株式会社日立製作所 | 走査型電子顕微鏡 |
US7250618B2 (en) * | 2005-02-02 | 2007-07-31 | Nikon Corporation | Radiantly heated cathode for an electron gun and heating assembly |
JP5102580B2 (ja) | 2007-10-18 | 2012-12-19 | 株式会社日立ハイテクノロジーズ | 荷電粒子線応用装置 |
JP5610399B2 (ja) * | 2011-08-02 | 2014-10-22 | 独立行政法人科学技術振興機構 | ポンププローブ測定装置 |
JP6166032B2 (ja) * | 2012-11-06 | 2017-07-19 | 浜松ホトニクス株式会社 | 半導体デバイス検査装置及び半導体デバイス検査方法 |
-
2018
- 2018-12-20 IL IL270143A patent/IL270143B2/en unknown
- 2018-12-20 US US16/609,728 patent/US11150204B2/en active Active
- 2018-12-20 KR KR1020197031879A patent/KR102238479B1/ko active IP Right Grant
- 2018-12-20 WO PCT/JP2018/046926 patent/WO2019131410A1/ja unknown
- 2018-12-20 CN CN201880028185.3A patent/CN110582833B/zh active Active
- 2018-12-20 EP EP18897698.9A patent/EP3734641A4/en active Pending
- 2018-12-20 JP JP2019531344A patent/JP6604649B1/ja active Active
- 2018-12-21 TW TW107146282A patent/TWI794375B/zh active
Patent Citations (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS61184445A (ja) * | 1985-02-12 | 1986-08-18 | Shimadzu Corp | X線光電子分光装置 |
JPS63266754A (ja) * | 1987-04-24 | 1988-11-02 | Hitachi Ltd | パターン検査方法およびその装置 |
US5281909A (en) * | 1987-11-12 | 1994-01-25 | Brust Hans Detlef | Process and system for measuring the course of a signal at a point of measurement on a sample |
US5260648A (en) * | 1989-05-29 | 1993-11-09 | Brust Hans Detlef | Process and system for rapid analysis of the spectrum of a signal at one or several points of measuring |
JPH09298032A (ja) * | 1996-04-30 | 1997-11-18 | Hamamatsu Photonics Kk | 電子ビーム発生装置 |
JP2003303565A (ja) * | 2002-04-10 | 2003-10-24 | Hitachi High-Technologies Corp | 電子線検査装置 |
US6812461B1 (en) * | 2002-11-07 | 2004-11-02 | Kla-Tencor Technologies Corporation | Photocathode source for e-beam inspection or review |
WO2017168554A1 (ja) * | 2016-03-29 | 2017-10-05 | 株式会社日立ハイテクノロジーズ | 電子顕微鏡 |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR20230154973A (ko) | 2021-05-26 | 2023-11-09 | 가부시키가이샤 포토 일렉트론 소울 | 전자총, 전자선 적용 장치, 및, 전자 빔의 사출 방법 |
WO2023038002A1 (ja) | 2021-09-07 | 2023-03-16 | 株式会社Photo electron Soul | 電子線適用装置における検出データの作成方法および照射対象の画像合成方法、プログラム、記録媒体、並びに、電子線適用装置 |
JP2023038446A (ja) * | 2021-09-07 | 2023-03-17 | 株式会社Photo electron Soul | 電子線適用装置における検出データの作成方法および照射対象の画像合成方法、プログラム、記録媒体、並びに、電子線適用装置 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
WO2019131410A1 (ja) | 2019-07-04 |
CN110582833A (zh) | 2019-12-17 |
US20200080949A1 (en) | 2020-03-12 |
JPWO2019131410A1 (ja) | 2020-01-16 |
IL270143B1 (en) | 2023-07-01 |
EP3734641A1 (en) | 2020-11-04 |
TW201933411A (zh) | 2019-08-16 |
TWI794375B (zh) | 2023-03-01 |
CN110582833B (zh) | 2022-07-01 |
KR20190133231A (ko) | 2019-12-02 |
US11150204B2 (en) | 2021-10-19 |
KR102238479B1 (ko) | 2021-04-09 |
IL270143A (ja) | 2019-12-31 |
EP3734641A4 (en) | 2021-04-07 |
IL270143B2 (en) | 2023-11-01 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP6604649B1 (ja) | 試料検査装置、および、試料検査方法 | |
JP6578529B1 (ja) | 電子銃、電子線適用装置、および、電子銃の制御方法 | |
WO2015030202A1 (ja) | 光学測定装置、光学測定方法、及び顕微イメージングシステム | |
TW200944821A (en) | Method for testing a semiconductor device and a semiconductor device testing system | |
CN102914525A (zh) | 基于光学加法外差调制的新型荧光寿命显微成像装置及方法 | |
JP4631704B2 (ja) | 半導体デバイスの電界分布測定方法と装置 | |
WO2003100399A1 (fr) | Système de mesure d'image de répartition de la durée de vie de fluorescence et procédé de mesure associé | |
JPH02262038A (ja) | 光波形測定装置 | |
JP6317321B2 (ja) | 電界集中位置観察装置および電界集中位置観察方法 | |
WO2023038002A1 (ja) | 電子線適用装置における検出データの作成方法および照射対象の画像合成方法、プログラム、記録媒体、並びに、電子線適用装置 | |
JP7054281B1 (ja) | 電子線適用装置および電子線適用装置における検出データの作成方法 | |
Murzyn et al. | Point-spread function reduction through high-harmonic generation deactivation | |
CN113970559A (zh) | 一种半导体深能级缺陷检测装置及检测方法 | |
JP4824527B2 (ja) | 試料分析装置 | |
JP7218034B1 (ja) | 局所観察方法、プログラム、記録媒体および電子線適用装置 | |
JPH02234051A (ja) | 光波形測定装置 | |
JP2656106B2 (ja) | 光波形測定装置 | |
KR20230154973A (ko) | 전자총, 전자선 적용 장치, 및, 전자 빔의 사출 방법 | |
CN118841299A (en) | Ultrafast Lorentz transmission electron microscope system and application method thereof | |
JP2008116247A (ja) | 試料分析装置 | |
JPH07111285A (ja) | 誘起接合電流測定装置 | |
JP2012207933A (ja) | カソードルミネッセンス特性の測定方法 | |
JP2013211429A (ja) | 半導体基材の表面モニター方法及び表面モニター装置 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20190611 |
|
A871 | Explanation of circumstances concerning accelerated examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A871 Effective date: 20190611 |
|
A975 | Report on accelerated examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971005 Effective date: 20190625 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20190716 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20190807 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20190826 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20190910 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20190930 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20191009 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 6604649 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |