JP2008116247A - 試料分析装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】本発明の試料分析装置は、表面に部分的に凹部が存在するウエハ18に合焦位置を変更可能にして荷電粒子を照射する照射系と、荷電粒子の照射に基づきウエハ18の表面側から得られたルミネッセンスを集光する回転楕円反射鏡17と、回転楕円反射鏡17に導かれたルミネッセンスを検出する光検出器33と、ウエハ18の表面から反射された反射荷電粒子を検出する荷電粒子検出器25と、荷電粒子検出器25の検出信号に基づき凹部の位置を求める信号処理部24とを備え、照射系により荷電粒子を凹部に照射するときに、信号処理部24は光検出器33の検出信号に基づいて荷電粒子の合焦位置を調整する。
【選択図】図2
Description
前記照射系により前記荷電粒子を前記凹部に照射するときに、前記信号処理部は前記光検出器の検出信号に基づいて前記荷電粒子の合焦位置を調整することを特徴とする。
18…ウエハ(試料)
24…信号処理部
25…荷電粒子検出器
33…光検出器
Claims (3)
- 表面に部分的に凹部が存在する試料に合焦位置を変更可能にして荷電粒子を照射する照射系と、前記荷電粒子の照射に基づき前記試料の表面側から得られたルミネッセンスを集光する集光反射鏡部と、該集光反射鏡部に導かれたルミネッセンスを検出する光検出器と、前記試料の表面から反射された反射荷電粒子を検出する荷電粒子検出器と、該荷電粒子検出器の検出信号に基づき凹部の位置を求める信号処理部とを備え、
前記照射系により前記荷電粒子を前記凹部に照射するときに、前記信号処理部は前記光検出器の検出信号に基づいて前記荷電粒子の合焦位置を調整することを特徴とする試料分析装置。 - 前記試料は、レジストが表面に設けられた半導体であり、前記凹部はコンタクトホールであることを特徴とする請求項1に記載の試料分析装置。
- 前記信号処理部は、前記荷電粒子検出器からの検出信号の出力レベルが所定値以上のときに前記試料の表面への照射であると判定し、前記検出信号の出力レベルが所定値未満のときに前記凹部への照射であると判断することを特徴とする請求項1に記載の試料分析装置。
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-
2006
- 2006-11-01 JP JP2006297765A patent/JP2008116247A/ja active Pending
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