JP6604183B2 - 半導体モジュール - Google Patents
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Description
[第1の実施の形態]
第1の実施の形態の半導体モジュールについて、図1及び図2を用いて説明する。
図2は、第1の実施の形態の半導体モジュールの断面図である。
但し、図2(A)は、図1の一点鎖線Y1−Y1による断面図であり、図2(B)は、図1の一点鎖線X1−X1による断面図をそれぞれ示している。
また、半導体モジュール100は、半導体チップ400と、積層基板310とを電気的に接続する接続部材であるプリント基板500及び導電ポスト501〜504を有する。さらに、ゲート回路板313aにはゲート端子330が、回路板313bには一対のソース端子320がそれぞれ配置されている。なお、ゲート端子330には、ゲート支柱部620を介してゲート接触子610が接続されている。また、ゲート接触子610は、導電性を備える弾性部材により構成されている。
図3〜図8は、第1の実施の形態の半導体モジュールの構成を示す図である。
次いで、図6〜図8に示されるように、半導体チップ400と、積層基板310(ゲート回路板313a及び回路板313b(図3参照))との間が接続部材(プリント基板500及び導電ポスト501〜504)で電気的に接続される。
次に、半導体モジュール100のプリント基板500に形成されているゲート配線層510について、再び、図7を用いて説明する。
一方、ゲート配線層510の配線部511a,511b,511c,511d,511eは、隣接する一対の半導体チップ400のゲート電極間にそれぞれ電気的に接続されている。このような配線部511a,511b,511c,511d,511eの幅は、幅w1である。
配線部513bを導通する制御信号は、配線部512d,512e(幅w2=w1*2)に分岐して、さらに、配線部511d,511e(幅w1)で二手に分かれて半導体チップ400のゲート電極にそれぞれ入力する。
第2の実施の形態では、プリント基板のゲート配線層の幅を一定にして、厚さを異ならせた場合を例に挙げて説明する。
図9は、第2の実施の形態の半導体モジュールの構成を示す図である。
図10は、第2の実施の形態の半導体モジュールのプリント基板の上面図(おもて面)である。
第2の実施の形態の半導体モジュールで利用されるプリント基板900(及び導電ポスト901〜904)は、第1の実施の形態と同様に、半導体チップ400と、積層基板310(ゲート回路板313a及び回路板313b)との間を電気的に接続するものである。
図12は、第2の実施の形態の半導体モジュールのプリント基板の断面図である。
一方、ゲート配線層910の配線部911a,911b,911c,911d,911eは、隣接する一対の半導体チップ400のゲート電極間にそれぞれ電気的に接続されている。このような配線部911a,911b,911c,911d,911eの厚さは、図12(A)に示されるように、厚さt1である。
さらに、配線部914bは、配線部912c,913cに分岐している。このような配線部914bの厚さは、図12(D)に示されるように、配線部912c,913cの厚さよりも厚く、分岐した配線部912cの厚さt2と、配線部913cの厚さt3とを合わせた厚さt4(=t2+t3=t1*6)になっている。
配線部912cを導通する制御信号は、配線部911c(厚さt1)で二手に分かれて半導体チップ400のゲート電極にそれぞれ入力する。
第3の実施の形態では、制御信号が複数箇所から印加され、ゲート配線層の厚さを一定にして、幅を変化させる場合を例に挙げて説明する。
図13は、第3の実施の形態の半導体モジュールのプリント基板を説明するための図である。
ゲート配線層1010は、図13(A)に示したように、導電ポスト1004a,1004bでそれぞれ接続された2箇所のゲート回路板と、導電ポスト1002で接続された各半導体チップ400のゲート電極との間を電気的に接続させるものである。ゲート回路板にそれぞれ接続されたゲート配線層1010は、各半導体チップ400のゲート電極に向けて分岐を繰り返して、各ゲート電極とそれぞれ電気的に接続されている。
配線部1013を導通する制御信号は、配線部1012a,1012b(幅w2=t1*2)に分岐して、さらに、配線部1011a,1011b(幅w1)で二手に分かれて半導体チップ400のゲート電極にそれぞれ入力する。
200 ドレイン板
201,202 溝部
310 積層基板
311 絶縁板
312 金属板
313a ゲート回路板
313b 回路板
320 ソース端子
321 段差面
322 ねじ孔
323 接触面
330 ゲート端子
331 嵌合孔
400 半導体チップ
500 プリント基板
501,502,503,504 導電ポスト
510 ゲート配線層
511a,511b,511c,511d,511e,512a,512b,512c,512d,512e,513a,513b,514 配線部
521,522,540 ソース配線層
600 蓋
601 開口
602 孔
700 ケース
800 冷却装置
813,823 冷却管
Claims (7)
- おもて面にゲート電極及びソース電極を、裏面にドレイン電極をそれぞれ備える複数の半導体チップと、
外部からの制御信号を入力するゲート端子と、
絶縁板と回路板とが積層して構成された積層基板と、
導体で構成され、前記積層基板と前記複数の半導体チップの前記ドレイン電極側とがおもて面に配置されて、前記ドレイン電極と電気的に接続され、裏面に外部からの電流が入力されるドレイン板と、
前記回路板を経由して前記ゲート端子と電気的に接続され、前記ゲート端子に入力された前記制御信号を分岐して、前記複数の半導体チップのそれぞれの前記ゲート電極に導通させるゲート配線層を備え、前記ゲート配線層の断面積は、前記ゲート電極から前記ゲート端子に近づくに伴い広がっている、プリント基板と、
を有する半導体モジュール。 - 前記回路板上に前記ゲート端子が配置されている、
請求項1に記載の半導体モジュール。 - 前記ゲート配線層は、前記ゲート電極から前記ゲート端子に近づくに伴い、分岐ごとに、前記断面積が広がる、
請求項1または2に記載の半導体モジュール。 - 前記ゲート配線層は、前記制御信号が導通する経路の厚さが、前記ゲート電極から前記ゲート端子に近づくに伴い厚くなっている、
請求項1乃至3のいずれかに記載の半導体モジュール。 - 前記ゲート配線層は、前記制御信号が導通する経路の幅が、前記ゲート電極から前記ゲート端子に近づくに伴い広くなっている、
請求項1乃至3のいずれかに記載の半導体モジュール。 - 前記ゲート配線層は、前記ゲート電極近くでの前記制御信号が導通する経路の厚さが、0.1mm以上であって、1.65mm以下である、
請求項4に記載の半導体モジュール。 - 前記ゲート配線層は、前記ゲート電極近くでの前記制御信号が導通する経路の幅が、0.1mm以上であって、1.65mm以下である、
請求項5に記載の半導体モジュール
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