JP6601503B2 - 弾性波装置、高周波フロントエンド回路及び通信装置 - Google Patents
弾性波装置、高周波フロントエンド回路及び通信装置 Download PDFInfo
- Publication number
- JP6601503B2 JP6601503B2 JP2017546448A JP2017546448A JP6601503B2 JP 6601503 B2 JP6601503 B2 JP 6601503B2 JP 2017546448 A JP2017546448 A JP 2017546448A JP 2017546448 A JP2017546448 A JP 2017546448A JP 6601503 B2 JP6601503 B2 JP 6601503B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- electrode
- wave
- idt electrode
- elastic wave
- convex portion
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
Images
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H04—ELECTRIC COMMUNICATION TECHNIQUE
- H04B—TRANSMISSION
- H04B1/00—Details of transmission systems, not covered by a single one of groups H04B3/00 - H04B13/00; Details of transmission systems not characterised by the medium used for transmission
- H04B1/06—Receivers
- H04B1/10—Means associated with receiver for limiting or suppressing noise or interference
- H04B1/1027—Means associated with receiver for limiting or suppressing noise or interference assessing signal quality or detecting noise/interference for the received signal
- H04B1/1036—Means associated with receiver for limiting or suppressing noise or interference assessing signal quality or detecting noise/interference for the received signal with automatic suppression of narrow band noise or interference, e.g. by using tuneable notch filters
-
- H—ELECTRICITY
- H03—ELECTRONIC CIRCUITRY
- H03H—IMPEDANCE NETWORKS, e.g. RESONANT CIRCUITS; RESONATORS
- H03H3/00—Apparatus or processes specially adapted for the manufacture of impedance networks, resonating circuits, resonators
- H03H3/007—Apparatus or processes specially adapted for the manufacture of impedance networks, resonating circuits, resonators for the manufacture of electromechanical resonators or networks
- H03H3/08—Apparatus or processes specially adapted for the manufacture of impedance networks, resonating circuits, resonators for the manufacture of electromechanical resonators or networks for the manufacture of resonators or networks using surface acoustic waves
- H03H3/10—Apparatus or processes specially adapted for the manufacture of impedance networks, resonating circuits, resonators for the manufacture of electromechanical resonators or networks for the manufacture of resonators or networks using surface acoustic waves for obtaining desired frequency or temperature coefficient
-
- H—ELECTRICITY
- H03—ELECTRONIC CIRCUITRY
- H03H—IMPEDANCE NETWORKS, e.g. RESONANT CIRCUITS; RESONATORS
- H03H9/00—Networks comprising electromechanical or electro-acoustic devices; Electromechanical resonators
- H03H9/02—Details
- H03H9/02535—Details of surface acoustic wave devices
- H03H9/02543—Characteristics of substrate, e.g. cutting angles
- H03H9/02559—Characteristics of substrate, e.g. cutting angles of lithium niobate or lithium-tantalate substrates
-
- H—ELECTRICITY
- H03—ELECTRONIC CIRCUITRY
- H03H—IMPEDANCE NETWORKS, e.g. RESONANT CIRCUITS; RESONATORS
- H03H9/00—Networks comprising electromechanical or electro-acoustic devices; Electromechanical resonators
- H03H9/02—Details
- H03H9/02535—Details of surface acoustic wave devices
- H03H9/02637—Details concerning reflective or coupling arrays
-
- H—ELECTRICITY
- H03—ELECTRONIC CIRCUITRY
- H03H—IMPEDANCE NETWORKS, e.g. RESONANT CIRCUITS; RESONATORS
- H03H9/00—Networks comprising electromechanical or electro-acoustic devices; Electromechanical resonators
- H03H9/02—Details
- H03H9/05—Holders; Supports
- H03H9/10—Mounting in enclosures
- H03H9/1064—Mounting in enclosures for surface acoustic wave [SAW] devices
- H03H9/1092—Mounting in enclosures for surface acoustic wave [SAW] devices the enclosure being defined by a cover cap mounted on an element forming part of the surface acoustic wave [SAW] device on the side of the IDT's
-
- H—ELECTRICITY
- H03—ELECTRONIC CIRCUITRY
- H03H—IMPEDANCE NETWORKS, e.g. RESONANT CIRCUITS; RESONATORS
- H03H9/00—Networks comprising electromechanical or electro-acoustic devices; Electromechanical resonators
- H03H9/02—Details
- H03H9/125—Driving means, e.g. electrodes, coils
- H03H9/145—Driving means, e.g. electrodes, coils for networks using surface acoustic waves
-
- H—ELECTRICITY
- H03—ELECTRONIC CIRCUITRY
- H03H—IMPEDANCE NETWORKS, e.g. RESONANT CIRCUITS; RESONATORS
- H03H9/00—Networks comprising electromechanical or electro-acoustic devices; Electromechanical resonators
- H03H9/02—Details
- H03H9/125—Driving means, e.g. electrodes, coils
- H03H9/145—Driving means, e.g. electrodes, coils for networks using surface acoustic waves
- H03H9/14538—Formation
- H03H9/14541—Multilayer finger or busbar electrode
-
- H—ELECTRICITY
- H03—ELECTRONIC CIRCUITRY
- H03H—IMPEDANCE NETWORKS, e.g. RESONANT CIRCUITS; RESONATORS
- H03H9/00—Networks comprising electromechanical or electro-acoustic devices; Electromechanical resonators
- H03H9/25—Constructional features of resonators using surface acoustic waves
-
- H—ELECTRICITY
- H03—ELECTRONIC CIRCUITRY
- H03H—IMPEDANCE NETWORKS, e.g. RESONANT CIRCUITS; RESONATORS
- H03H9/00—Networks comprising electromechanical or electro-acoustic devices; Electromechanical resonators
- H03H9/46—Filters
- H03H9/64—Filters using surface acoustic waves
- H03H9/6406—Filters characterised by a particular frequency characteristic
-
- H—ELECTRICITY
- H03—ELECTRONIC CIRCUITRY
- H03H—IMPEDANCE NETWORKS, e.g. RESONANT CIRCUITS; RESONATORS
- H03H9/00—Networks comprising electromechanical or electro-acoustic devices; Electromechanical resonators
- H03H9/46—Filters
- H03H9/64—Filters using surface acoustic waves
- H03H9/6489—Compensation of undesirable effects
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10N—ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10N30/00—Piezoelectric or electrostrictive devices
- H10N30/80—Constructional details
- H10N30/87—Electrodes or interconnections, e.g. leads or terminals
- H10N30/877—Conductive materials
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Acoustics & Sound (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Materials Engineering (AREA)
- Computer Networks & Wireless Communication (AREA)
- Signal Processing (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Surface Acoustic Wave Elements And Circuit Networks Thereof (AREA)
Description
オイラー角(0°,30°,0°)のLiNbO3基板を用いた。IDT電極として、LiNbO3基板側から順に、NiCr/Pt/Ti/AlCu/Tiの積層金属膜を用いた。それぞれの膜厚は、10nm/250nm/60nm/340nm/10nmとした。なお、Pt膜の膜厚250nmは、電極指ピッチで定まる波長比で6.25%である。IDT電極の電極指ピッチで定まる波長は4.0μmとし、デューティは0.65とした。
以上、本発明の実施形態に係る弾性波装置、高周波フロントエンド回路及び通信装置について、実施形態及びその変形例を挙げて説明したが、本発明は、上記実施形態及び変形例における任意の構成要素を組み合わせて実現される別の実施形態や、上記実施形態に対して本発明の主旨を逸脱しない範囲で当業者が思いつく各種変形を施して得られる変形例や、本発明に係る高周波フロントエンド回路及び通信装置を内蔵した各種機器も本発明に含まれる。
2…LiNbO3基板
3…IDT電極
3a…電極指
4,5…反射器
6…誘電体膜
6a…凸部
11…密着層
12…主電極層
13…拡散防止層
14…低抵抗層
15…保護層
21…ラダー型フィルタ
101…クワッドプレクサ
102…アンテナ素子
103…RF信号処理回路
104…ベースバンド信号処理回路
111,112,121,122…フィルタ
111A,112A,121A,122A…個別端子
113…受信側スイッチ
114…ローノイズアンプ回路
123…送信側スイッチ
124…パワーアンプ回路
125…アンテナ側スイッチ
130…高周波フロントエンド回路
140…通信装置
Claims (8)
- LiNbO3基板と、
前記LiNbO3基板上に設けられ、複数本の電極指を有したIDT電極と、
前記IDT電極を覆うように前記LiNbO3基板上に設けられており、上面に凸部を有する、誘電体膜とを備え、
前記IDT電極によって励振された弾性波の主モードがレイリー波であり、
前記IDT電極が、Pt、W、Mo、Ta及びCuからなる群から選択された少なくとも一種の金属を含む主電極層を有し、
前記凸部は前記IDT電極の前記複数本の電極指のうち少なくとも一部の電極指の上方に形成され、
該主電極層の膜厚が、前記IDT電極の電極指ピッチで定まる波長λに対し、下記の表1に示す膜厚範囲とされており、
前記凸部の頂点が、前記IDT電極の前記電極指の延びる方向に延び、前記電極指の中心を通る中心線から弾性波伝搬方向にずれており、
前記凸部の高さは、前記IDT電極の電極指ピッチで定まる波長をλとした場合に、前記λの0.5%以上、3.0%以下である、弾性波装置。
- 前記凸部の高さは、前記IDT電極の電極指ピッチで定まる波長をλとした場合に、前記λの0.5%以上、1.0%未満である、請求項1に記載の弾性波装置。
- 前記LiNbO3基板のオイラー角が、(0°±5°,θ,0°±5°)において、θが27.5°以上、31.5°以下の範囲にある、請求項1または2に記載の弾性波装置。
- 前記誘電体膜が、酸化ケイ素からなる、請求項1〜3のいずれか1項に記載の弾性波装置。
- 前記IDT電極が、前記主電極層と、他の電極層とを含む積層金属膜からなる、請求項1〜4のいずれか1項に記載の弾性波装置。
- 帯域通過型フィルタである、請求項1〜5のいずれか1項に記載の弾性波装置。
- 請求項1〜6のいずれか1項に記載の弾性波装置と、
パワーアンプと、
を備える、高周波フロントエンド回路。 - 請求項7に記載の高周波フロントエンド回路と、
RF信号処理回路と、
ベースバンド信号処理回路と、
を備える、通信装置。
Applications Claiming Priority (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2015208923 | 2015-10-23 | ||
JP2015208923 | 2015-10-23 | ||
PCT/JP2016/075995 WO2017068877A1 (ja) | 2015-10-23 | 2016-09-05 | 弾性波装置、高周波フロントエンド回路及び通信装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPWO2017068877A1 JPWO2017068877A1 (ja) | 2018-06-07 |
JP6601503B2 true JP6601503B2 (ja) | 2019-11-06 |
Family
ID=58557427
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2017546448A Active JP6601503B2 (ja) | 2015-10-23 | 2016-09-05 | 弾性波装置、高周波フロントエンド回路及び通信装置 |
Country Status (3)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US10425116B2 (ja) |
JP (1) | JP6601503B2 (ja) |
WO (1) | WO2017068877A1 (ja) |
Families Citing this family (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP6304369B2 (ja) * | 2014-03-13 | 2018-04-04 | 株式会社村田製作所 | 弾性波装置 |
JP6950654B2 (ja) * | 2017-11-24 | 2021-10-13 | 株式会社村田製作所 | 弾性波装置、高周波フロントエンド回路及び通信装置 |
JP2020145567A (ja) * | 2019-03-06 | 2020-09-10 | 株式会社村田製作所 | 弾性波装置 |
Family Cites Families (28)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP3841053B2 (ja) * | 2002-07-24 | 2006-11-01 | 株式会社村田製作所 | 弾性表面波装置及びその製造方法 |
KR101161903B1 (ko) * | 2004-06-30 | 2012-07-03 | 파나소닉 주식회사 | 전자 부품 및 그 제조 방법 |
US20070284680A1 (en) * | 2006-04-20 | 2007-12-13 | Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. | Method for manufacturing semiconductor device and semiconductor device using the same |
DE112007000874B4 (de) * | 2006-04-24 | 2012-11-29 | Murata Manufacturing Co., Ltd. | Oberflächenwellenbauelement |
JP4636179B2 (ja) * | 2006-04-24 | 2011-02-23 | 株式会社村田製作所 | 弾性表面波装置 |
JP2007317997A (ja) * | 2006-05-29 | 2007-12-06 | Toshiba Corp | 高周波フロントエンドモジュール及びその製造方法 |
CN101584115B (zh) * | 2006-12-27 | 2012-09-05 | 株式会社村田制作所 | 声表面波装置 |
JP4943514B2 (ja) * | 2007-12-17 | 2012-05-30 | 太陽誘電株式会社 | 弾性波素子、通信モジュール、および通信装置 |
JP2009194895A (ja) * | 2008-01-17 | 2009-08-27 | Murata Mfg Co Ltd | 弾性表面波装置 |
DE112009003528B4 (de) * | 2008-11-18 | 2015-11-12 | Murata Manufacturing Co., Ltd. | Abstimmbares Filter |
JP2010193429A (ja) * | 2009-01-26 | 2010-09-02 | Murata Mfg Co Ltd | 弾性波装置 |
WO2010101166A1 (ja) * | 2009-03-04 | 2010-09-10 | 株式会社村田製作所 | 弾性表面波素子とその製造方法 |
US8698257B2 (en) * | 2009-06-30 | 2014-04-15 | Panasonic Corporation | Resonator and production method thereof |
JP5304898B2 (ja) * | 2009-08-10 | 2013-10-02 | 株式会社村田製作所 | 弾性境界波装置 |
EP2533422A3 (en) * | 2010-01-28 | 2013-07-17 | Murata Manufacturing Co., Ltd. | Tunable filter |
JP2013145930A (ja) | 2010-04-21 | 2013-07-25 | Murata Mfg Co Ltd | 弾性表面波装置及びその製造方法 |
WO2012073871A1 (ja) * | 2010-11-30 | 2012-06-07 | 株式会社村田製作所 | 弾性波装置及びその製造方法 |
WO2012086441A1 (ja) * | 2010-12-24 | 2012-06-28 | 株式会社村田製作所 | 弾性波装置及びその製造方法 |
WO2012098816A1 (ja) * | 2011-01-18 | 2012-07-26 | 株式会社村田製作所 | 弾性表面波フィルタ装置 |
JP5671713B2 (ja) | 2011-03-04 | 2015-02-18 | スカイワークス・パナソニック フィルターソリューションズ ジャパン株式会社 | 弾性波デバイス |
JP5690711B2 (ja) * | 2011-12-28 | 2015-03-25 | スカイワークス・パナソニック フィルターソリューションズ ジャパン株式会社 | 弾性波素子 |
JP5817928B2 (ja) * | 2012-05-15 | 2015-11-18 | 株式会社村田製作所 | 弾性波装置 |
WO2014054580A1 (ja) * | 2012-10-05 | 2014-04-10 | 株式会社村田製作所 | 弾性表面波装置 |
JP2014158138A (ja) | 2013-02-15 | 2014-08-28 | Panasonic Corp | 弾性波装置とそれを用いたアンテナ共用器 |
JP2014187568A (ja) | 2013-03-25 | 2014-10-02 | Panasonic Corp | 弾性波装置 |
JP5888786B2 (ja) * | 2013-04-02 | 2016-03-22 | 太陽誘電株式会社 | 回路基板 |
JP5891198B2 (ja) * | 2013-04-12 | 2016-03-22 | スカイワークス・パナソニック フィルターソリューションズ ジャパン株式会社 | アンテナ共用器およびこれを用いた電子機器 |
JP6432512B2 (ja) | 2013-08-14 | 2018-12-05 | 株式会社村田製作所 | 弾性表面波装置、電子部品、および弾性表面波装置の製造方法 |
-
2016
- 2016-09-05 JP JP2017546448A patent/JP6601503B2/ja active Active
- 2016-09-05 WO PCT/JP2016/075995 patent/WO2017068877A1/ja active Application Filing
-
2018
- 2018-03-16 US US15/922,955 patent/US10425116B2/en active Active
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
WO2017068877A1 (ja) | 2017-04-27 |
US20180205403A1 (en) | 2018-07-19 |
US10425116B2 (en) | 2019-09-24 |
JPWO2017068877A1 (ja) | 2018-06-07 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP6915466B2 (ja) | 弾性波装置、高周波フロントエンド回路及び通信装置 | |
JP6791266B2 (ja) | 弾性表面波装置、高周波フロントエンド回路及び通信装置 | |
JP6913619B2 (ja) | マルチプレクサ、高周波フロントエンド回路及び通信装置 | |
US10938374B2 (en) | Multiplexer, radio-frequency front end circuit, and communication device | |
JP6620908B2 (ja) | マルチプレクサ、高周波フロントエンド回路及び通信装置 | |
CN110268628B (zh) | 弹性波装置、高频前端电路以及通信装置 | |
JP2018056630A (ja) | 弾性波装置、高周波フロントエンド回路及び通信装置 | |
JP6652221B2 (ja) | 弾性波装置、高周波フロントエンド回路及び通信装置 | |
JP6601503B2 (ja) | 弾性波装置、高周波フロントエンド回路及び通信装置 | |
US10819308B2 (en) | Elastic wave device, high-frequency front-end circuit, and communication apparatus | |
WO2019031201A1 (ja) | マルチプレクサ、高周波フロントエンド回路及び通信装置 | |
JP6624337B2 (ja) | 弾性波装置、マルチプレクサ、高周波フロントエンド回路及び通信装置 | |
JP2018101849A (ja) | 弾性波装置、高周波フロントエンド回路及び通信装置 | |
US10680578B2 (en) | Elastic wave device, filter, multiplexer, radio-frequency front-end circuit, and communication device | |
WO2020050402A1 (ja) | 弾性波装置、弾性波フィルタ及び複合フィルタ装置 | |
WO2018123545A1 (ja) | マルチプレクサ | |
US11271545B2 (en) | Multiplexer, radio-frequency front end circuit, and communication device | |
WO2017195446A1 (ja) | 弾性波装置、高周波フロントエンド回路及び通信装置 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20180216 |
|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20180216 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20190205 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20190403 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20190910 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20190923 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 6601503 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |