JP6589448B2 - 半導体装置 - Google Patents
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Description
この3次元積層技術では、半導体チップ同士又は半導体チップとインタポーザとを電気的に接続するのにフリップチップ接続が用いられる。
そして、半導体チップやインタポーザに、半導体基板の裏面側から半導体基板を貫通する貫通電極を設け、この貫通電極を半導体基板の表面側に設けられた配線層に含まれるパッドや配線に接続することが行なわれる。
そこで、貫通電極とパッドの接続部の周囲に形成されている絶縁膜にクラックや剥離が生じてしまうのを抑制したい。
また、関連する半導体装置は、半導体基板と、半導体基板の表面側に設けられた配線層と、半導体基板の裏面側から半導体基板を貫通し、配線層に含まれる平面状パッドに接続される貫通電極とを備え、貫通電極は、平面状パッドに接する側のサイズが平面状パッドのサイズよりも大きくなっており、貫通電極は、長さ方向の全体にわたってサイズが平面状パッドのサイズよりも大きくなっている。
本実施形態にかかる半導体装置は、半導体チップを積層させて実装する3次元積層技術を用いた3次元積層デバイスである。なお、必要に応じてインタポーザを挟んで半導体チップを積層する場合もある。
なお、図2(A)、図2(B)に示すように、平面状パッド2Xに引き出し配線2Aが接続されている場合、上方から見たときに、貫通電極3の最外周が、平面状パッド2Xに引き出し配線2Aが接続されている箇所を除いた平面状パッド2Xの最外周よりも大きくなっていれば良い。つまり、上方から見たときに、平面状パッド2Xの最外周が、引き出し配線2Aが接続されている箇所を除いて、貫通電極3の最外周よりも内側に位置していれば良い。
上述のような三次元積層デバイスでは、上下に積層した半導体チップを接続するためにTSVを形成し、このTSVを介して、上下の半導体チップを電気的に接続する。
このTSVを形成する方法としては、どの工程でTSVを形成するかによって、ビアファースト・ビアミドル・ビアラストと言われる異なるTSV形成方法がある。また、半導体チップを積層する方法としては、積層する半導体チップの回路面(デバイス面)同士を貼り合わせるフェイストゥフェイスという積層方法と、シリコン基板の裏面側とデバイス面を貼り合わせるバックトゥフェイスという積層方法の2通りの積層方法がある。これらの組み合わせによって、形成されるTSVの周囲の材料やプロセスが異なり、それぞれの構造に起因する課題がある。
つまり、TSVは体積が大きく、TSVの材料(例えばCu)は半導体基板の材料(例えばSi)や絶縁膜の材料(例えばSiOX膜やLow−k絶縁膜)に比べて熱膨張係数が大きい。このため、例えば裏面プロセスやその後の3次元積層の接合プロセスなどの製造プロセス中の熱によって、TSVが膨張・収縮を繰り返すことで、TSVと平面状パッドの接続部の周囲に形成されている絶縁膜との間に応力が生じ、クラックや剥離(界面ハガレ)が生じてしまう場合がある。
しかしながら、平面状パッド20Xのサイズの方がTSV3のサイズよりも大きくなっていると、加熱プロセスを経た後、図3(B)に示すように、TSV3の膨張・収縮(図3(B)中、矢印参照)に起因して、平面状パッド2Yの端部(角部)に応力が集中し、その周囲に形成されている絶縁膜2Yにクラックが発生してしまう場合がある。
しかしながら、この場合に、TSVを形成する際に、Si基板だけでなく、配線層を構成する絶縁膜の一部までオーバーエッチングして、TSVを形成するための貫通孔を形成すると、Si基板と配線層を構成する絶縁膜とTSVとが接する三重点のところに応力が集中してしまい、Si基板と配線層を構成する絶縁膜との界面で剥離(界面ハガレ)が生じてしまう場合がある。また、TSVの周囲にバリア絶縁膜を設ける場合には、バリア絶縁膜が接する界面で剥離が生じてしまう場合もある。
また、貫通電極3は、銅(Cu)からなる貫通電極(金属貫通電極)である。つまり、貫通電極3の材料は銅である。このように、貫通電極3は、シリコン基板1を貫通するシリコン貫通電極(シリコン貫通ビア;TSV;Through Silicon Via)である。
ここで、上述の実施形態のもの及び比較例のものについて、貫通電極3の長さ方向の応力(Y方向応力)の分布及びせん断応力の分布をシミュレーション解析したところ、Y方向応力もせん断応力も低減でき、応力の集中を緩和できることが確認できた。
ここで、図7(A)は、比較例1のもの、即ち、貫通電極3のサイズが長さ方向の全体にわたって平面状パッド20Xのサイズよりも小さくなっているもののシミュレーションモデルである。また、図7(B)は、上述の実施形態のもの、即ち、貫通電極3のサイズが長さ方向の全体にわたって平面状パッド2Xのサイズよりも大きくなっているもののシミュレーションモデルである。また、図7(C)は、比較例2のもの、即ち、貫通電極3のサイズが長さ方向の全体にわたってパッド20Yのサイズよりも大きくなっているが、貫通電極3を形成するための貫通孔が配線層2を構成する絶縁膜2Yまでオーバーエッチングされて形成されており、かつ、密着度を向上させるために貫通電極3が接続されるパッド20Yが凹凸形状になっているもののシミュレーションモデルである。
まず、シミュレーション解析の結果であるY方向応力分布において、図7(A)に示すような比較例1のシミュレーションモデルでは、平面状パッド20Xの端部、即ち、図7(A)中、符号Xで示す箇所で、最も応力が高くなり、この箇所に応力が集中していた。
このように、上述の実施形態のように、貫通電極3のサイズを、長さ方向の全体にわたって平面状パッド2Xのサイズよりも大きくすることで、Y方向応力の応力集中箇所は、平面状パッド20Xの端部(図7(A)中、符号X参照)から平面状パッド2Xと貫通電極3の接続部分(図7(B)中、符号Y参照)へ移動し、その値は半分くらいに低減した。つまり、上述の実施形態のように、貫通電極3のサイズを、長さ方向の全体にわたって平面状パッド2Xのサイズよりも大きくすることで、Y方向応力の応力集中箇所を、貫通電極3が接続されている平面状パッド2X(20X)の凸部(図7(A)中、符号X参照;この部分でクラックが生じやすい)から凹部(図7(B)中、符号Y参照)に変化させることができ、また、その値を半分くらいに低減することができた。
また、図7(B)に示すような上述の実施形態のシミュレーションモデルでは、平面状パッド2Xと貫通電極3の接続部分、即ち、図7(B)中、符号Yで示す箇所で最も応力が高くなり、この箇所に応力が集中していた。
このように、上述の実施形態のように、貫通電極3のサイズを、長さ方向の全体にわたって平面状パッド2Xのサイズよりも大きくし、比較例2のように貫通電極3を形成するのにオーバーエッチングしないようにすることで、信頼性不良につながる界面剥離などを引き起こしやすいせん断応力の値を半分くらいに低減できた。
なお、応力集中を緩和させる貫通電極3の構造は、上述の実施形態の構造に限られるものではない。
例えば、図8(A)〜図8(D)に示すように、貫通電極3を、平面状パッド2Xに接する側にサイズ拡大部(断面積拡大部)3Xを備えるものとし、サイズ拡大部3Xのサイズが平面状パッド2Xのサイズよりも大きくなっているものとしても良い。このように、貫通電極3と平面状パッド3Xの接続部の周囲での応力集中を緩和できる位置に、平面状パッド2Xのサイズよりもサイズが大きいサイズ拡大部3Xを設けても良い。つまり、応力集中を緩和するためには、貫通電極3のサイズが長さ方向の全体にわたって平面状パッド2Xのサイズよりも大きくなっていなくても良く、平面状パッド2Xに接する側の一部分だけサイズ(断面積)が大きくなっていても良い。
また、貫通電極3と平面状パッド2Xの接続部からサイズ拡大部3Xが離れすぎていると、貫通電極3と平面状パッド2Xの接続部の周囲での応力集中の緩和が難しくなる。このため、貫通電極3の全体の体積を考慮し、十分に応力集中を緩和できるという観点から、サイズ拡大部3Xは、平面状パッド2Xから貫通電極3の長さ(図8(C)中、符号Xで示す矢印参照)の1/5以下の範囲内(図8(C)中、符号Yで示す矢印参照)に設けられているのが好ましい。つまり、貫通電極3のサイズ拡大部3X、即ち、平面状パッド2Xのサイズよりも貫通電極3のサイズが大きい部分は、貫通電極3と平面状パット2Xとが接続されている位置から、貫通電極3の高さ方向(長さ方向)に、貫通電極3の高さ(長さ)の1/5以下の位置になるように設けられているのが好ましい。
この場合、貫通電極3のサイズ拡大部3Xのサイズが変化する箇所の貫通電極3の高さ方向(縦方向)の間隔が50nm以上になる。これにより、貫通電極3のサイズ拡大部3Xが、くさび形の急峻なノッチ形状にならないようにすることができ、応力が集中するのを防止することができる。つまり、貫通電極3は、基板1をエッチングして形成された貫通孔に形成されるが、サイズ拡大部3Xの厚さが50nm以上になるように、即ち、パッドサイズよりも大きいサイズ(断面積)が50nm以上維持されるようにエッチングすることで、くさび形の急峻なノッチ形状にならないようにすることができ、応力が集中するのを防止することができる。
以下、上述の実施形態及び変形例に関し、更に、付記を開示する。
(付記1)
半導体基板と、
前記半導体基板の表面側に設けられた配線層と、
前記半導体基板の裏面側から前記半導体基板を貫通し、前記配線層に含まれる平面状パッドに接続される貫通電極とを備え、
前記貫通電極は、前記平面状パッドに接する側のサイズが前記平面状パッドのサイズよりも大きくなっていることを特徴とする半導体装置。
前記貫通電極は、長さ方向の全体にわたってサイズが前記平面状パッドのサイズよりも大きくなっていることを特徴とする、付記1に記載の半導体装置。
(付記3)
前記貫通電極は、前記平面状パッドに接する側にサイズ拡大部を備え、前記サイズ拡大部のサイズが前記平面状パッドのサイズよりも大きくなっていることを特徴とする、付記1に記載の半導体装置。
前記サイズ拡大部は、前記平面状パッドから前記貫通電極の長さの1/5以下の範囲内に設けられていることを特徴とする、付記3に記載の半導体装置。
(付記5)
前記サイズ拡大部は、前記平面状パッドに接していることを特徴とする、付記3又は4に記載の半導体装置。
前記サイズ拡大部は、厚さが50nm以上であることを特徴とする、付記3〜5のいずれか1項に記載の半導体装置。
2 配線層
2X、20X 平面状パッド
20Y パッド(凹凸構造のパッド)
2Y 絶縁膜(Low−k絶縁膜)
2A 引き出し配線
3 貫通電極(TSV)
3X サイズ拡大部(断面積拡大部)
30X、30Y ノッチ
4 回路層
4A 絶縁膜(酸化膜;シリコン酸化膜)
5 バリア絶縁膜
6 バリアメタル膜
7 シード膜
Claims (3)
- 半導体基板と、
前記半導体基板の表面側に設けられた配線層と、
前記半導体基板の裏面側から前記半導体基板を貫通し、前記配線層に含まれる平面状パッドに接続される貫通電極と、
前記貫通電極と前記平面状パッドの接続部の周囲に形成された絶縁膜とを備え、
前記貫通電極の材料は、前記半導体基板及び前記絶縁膜の材料よりも熱膨張係数が大きく、
前記貫通電極は、前記平面状パッドに接する側にサイズ拡大部を備え、前記サイズ拡大部のサイズが前記平面状パッドのサイズよりも大きくなっており、
前記サイズ拡大部は、前記平面状パッドに接していることを特徴とする半導体装置。 - 前記サイズ拡大部は、前記平面状パッドから前記貫通電極の長さの1/5以下の範囲内に設けられていることを特徴とする、請求項1に記載の半導体装置。
- 前記サイズ拡大部は、厚さが50nm以上であることを特徴とする、請求項1又は2に記載の半導体装置。
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