JP6575730B2 - 蒸着マスクの製造方法、および、表示装置の製造方法 - Google Patents
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Description
上記構成によれば、金属板の熱膨張係数、樹脂層の熱膨張係数、および、ガラス基板の熱膨張係数が同程度であるため、蒸着マスクを製造する過程において、金属板、樹脂層、および、ガラス基板から構成される積層体が加熱されても、積層体を構成する層間の熱膨張係数の差に起因して積層体が反ることが抑えられる。
図1および図2を参照して、マスク装置の構成を説明する。
図1が示すように、マスク装置10は、メインフレーム20と、複数の蒸着マスク30とを備えている。メインフレーム20は、複数の蒸着マスク30を支持するための矩形枠状を有する。メインフレーム20は、蒸着を行うための蒸着装置に取り付けられる。メインフレーム20は、蒸着マスク30の数と同数のメインフレーム孔21を有している。1つのメインフレーム孔21は、メインフレーム20のなかで1つの蒸着マスク30が位置する範囲のほぼ全体を貫通する孔である。
図3を参照して、マスク部32とマスクフレーム31との接合構造が有する断面構造を説明する。
図3が示すように、マスクシート32Sにおいて、マスクシート32Sにおける縁を含む部分が、外周縁部32Eである。マスクシート32Sの外周縁部32Eには、マスク孔32Hが形成されていない領域が、マスクシート32Sの縁に沿って連続している。マスク表面32Fのなかで外周縁部32Eに含まれる部分が、マスクフレーム31に接合される。
図4を参照して、蒸着マスク30が備えるマスク孔32Hの数と、マスク部32が備えるマスク孔32Hの数との関係を説明する。
図4(a)が示すように、マスクフレーム31は、複数のマスクフレーム孔33として例えば3つのマスクフレーム孔33を有している。図4(b)が示すように、蒸着マスク30は、各マスクフレーム孔33に対応するマスク部32を1つずつ備えている。より詳しくは、第1マスクフレーム孔33Aを区画する内側縁部31Eは、第1マスク部32Aと接合している。第2マスクフレーム孔33Bを区画する内側縁部31Eは、第2マスク部32Bと接合している。第3マスクフレーム孔33Cを区画する内側縁部31Eは、第3マスク部32Cと接合している。
図5および図6を参照して、蒸着マスク30の製造方法を説明する。なお、図5は、マスク部32を製造するための基材を準備する工程からマスク部32を製造するまでの工程を示している。これに対して、図6は、マスク部32をマスクフレーム31に接合する工程から、マスク部32から樹脂層を除去する工程までを示している。
図7から図9を参照して、試験例を説明する。なお、図8および図9において二点鎖線で囲まれる領域は、308nm以上355nm以下の波長帯である。
[レーザー光線の波長とパターンの位置との関係]
まず、金属の薄板である試験板を準備した。試験板は、中央部と、中央部を取り囲む外周部とを有していた。試験板には、位置の精度を測定するための複数のパターンが中央部に形成され、かつ、外周部にはパターンが形成されていなかった。また、試験板にレーザー光線を照射するレーザーとして、1064nmの波長を有したレーザー光線を照射するレーザーと、355nmの波長を有したレーザー光線を照射するレーザーとを準備した。
ガラス基板A、ガラス基板B、および、ガラス基板Cを準備し、各ガラス基板において、波長ごとの透過率を測定した。ガラス基板Aとして、2.3mmの厚さを有する石英ガラス製の基板(SMS6009E5、信越化学工業(株)製)を準備した。ガラス基板Bとして、0.7mmの厚さを有する無アルカリガラス製の基板(OA−10G,日本電気硝子(株)製)を準備した。ガラス基板Cとして、2.3mmの厚さを有するソーダライムガラス製の基板(ソーダライムガラス、セントラル硝子(株)製)を準備した。
(1)蒸着マスク30において、複数のマスク孔32Hを含むマスク部32が、蒸着マスク30を製造する過程では樹脂層41とガラス基板42とに支持され、かつ、蒸着マスク30においてはマスクフレーム31によって支持されている。そのため、マスク部32のみによって蒸着マスク30が構成される場合と比べて、マスク部32の厚さを薄くすることができる。それゆえに、マスク孔32Hにおける一方の開口と他方の開口との距離を短くすることで、蒸着マスク30を用いて形成されたパターンにおける構造上の精度を向上し、かつ、マスクフレーム31が有する剛性によって蒸着マスク30の取扱性を向上することができる。
・樹脂層41の形成材料は、マスク部32からの除去が可能であれば、ポリイミド以外の合成樹脂であってもよい。なお、マスク部32、樹脂層41、および、ガラス基板42の積層体において熱による反りが生じることを抑える上では、上述した理由から樹脂層41がポリイミド製であることが好ましい。
Claims (10)
- 鉄‐ニッケル系合金製の金属板から形成され、複数のマスク孔を含むマスク部を備える蒸着マスクを製造する蒸着マスクの製造方法であって、
鉄‐ニッケル系合金製の金属板とガラス基板との間に樹脂層を挟み、前記樹脂層を介して前記金属板を前記ガラス基板に接合することと、
前記金属板から複数のマスク孔を含むマスク部を形成することと、
前記マスク部よりも高い剛性を有し、かつ、前記マスク部が含む複数の前記マスク孔を囲む枠状を有したマスクフレームに、前記マスク部のなかで前記樹脂層に接する面とは反対側の面を接合することと、
前記マスク部から、前記樹脂層および前記ガラス基板を剥離することと、を含む
蒸着マスクの製造方法。 - 前記樹脂層および前記ガラス基板を剥離することは、
前記樹脂層と前記ガラス基板との界面に、前記ガラス基板を透過し、かつ、前記樹脂層によって吸収される波長を有したレーザー光線を照射することによって、前記樹脂層から前記ガラス基板を剥離することと、
前記樹脂層から前記ガラス基板を剥離することの後に、薬液を用いて前記樹脂層を溶解することによって、前記マスク部から前記樹脂層を剥離することと、を含む
請求項1に記載の蒸着マスクの製造方法。 - 前記レーザー光線の前記波長において、前記ガラス基板の透過率が、前記樹脂層の透過率よりも高い
請求項2に記載の蒸着マスクの製造方法。 - 前記レーザー光線の前記波長が、308nm以上355nm以下であり、
前記波長における前記ガラス基板の透過率が54%以上であり、
前記波長における前記樹脂層の透過率が1%以下である
請求項3に記載の蒸着マスクの製造方法。 - 前記マスクフレームは、鉄‐ニッケル系合金製であり、
前記マスク部の厚さに対する前記マスクフレームの厚さの比は2以上である
請求項1から4のいずれか一項に記載の蒸着マスクの製造方法。 - 前記マスクフレームの厚さは、50μm以上200μm以下であり、
前記マスク部の厚さは、3μm以上5μm以下であり、
前記マスク部を形成することは、前記マスク部の表面に沿う方向において1インチ当たりに700個以上1000個以下の前記マスク孔が並ぶように複数の前記マスク孔を形成することを含む
請求項5に記載の蒸着マスクの製造方法。 - 前記樹脂層を介して前記金属板を前記ガラス基板に接合することは、前記樹脂層を介して10μm以上の厚さを有する前記金属板を前記ガラス基板に接合することを含み、
前記製造方法は、前記金属板から前記マスク部を形成する前に、前記金属板をエッチングして、前記金属板の厚さをエッチング前の前記金属板における厚さの1/2以下まで減らすことをさらに含む
請求項1から6のいずれか一項に記載の蒸着マスクの製造方法。 - 前記樹脂層は、ポリイミド製である
請求項1から7のいずれか一項に記載の蒸着マスクの製造方法。 - 前記金属板は、第1面と第2面とを含み、
前記金属板を前記ガラス基板に接合することよりも前に、前記金属板を前記第1面からエッチングすることをさらに含み、
前記金属板を前記ガラス基板に接合することは、前記第1面がエッチングされた後に得られる面を、前記樹脂層を介して前記ガラス基板に接合することを含み、
前記金属板を前記ガラス基板に接合することよりも後に、前記金属板を前記第2面からエッチングすることをさらに含む
請求項1から8のいずれか一項に記載の蒸着マスクの製造方法。 - 請求項1から9のいずれか一項に記載の蒸着マスクの製造方法による蒸着マスクを準備することと、
前記蒸着マスクを用いた蒸着によってパターンを形成することと、を含む
表示装置の製造方法。
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