JP6575230B2 - 半導体素子の駆動装置 - Google Patents
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Description
本発明は、半導体素子の導通損失を低減し、インバータの電力変換効率の向上を図ることを目的とする。
図1に示すように、インバータ50は、三相交流電源14に接続されている。インバータ50は、三相交流電源14から入力する三相交流電力を全波整流する整流回路15と、整流回路15で整流された電力を平滑化する平滑用コンデンサ16とを有している。図示は省略するが、整流回路15は、6つのダイオードをフルブリッジ接続して構成するかまたは6つのスイッチング素子をフルブリッジ接続している。整流回路15の正極出力端子に正極側ラインLpが接続され、負極出力端子に負極側ラインLnが接続されている。これら正極側ラインLp及び負極側ラインLn間に平滑用コンデンサ16が接続されている。
半導体モジュール2a及び半導体モジュール2bは、ラインLpと負極側ラインLnとの間に直列に接続されて出力アームを構成している。半導体モジュール2c及び半導体モジュール2dは、正極側ラインLpと負極側ラインLnとの間に直列に接続されて出力アームを構成している。半導体モジュール2e及び半導体モジュール2fは、正極側ラインLpと負極側ラインLnとの間に直列に接続されて出力アームを構成している。
半導体モジュール2aは、N型のMOSFET(半導体素子の一例)3aと、MOSFET3aに逆並列接続された還流用ダイオード4aとを有してアーム部を構成している。MOSFET3aのドレイン端子Dに還流用ダイオード4aの陰極が接続され、MOSFET3aのソース端子Sに還流用ダイオード4aの陽極が接続されている。
半導体モジュール2cは、N型のMOSFET(半導体素子の一例)3cと、MOSFET3cに逆並列接続された還流用ダイオード4cとを有してアーム部を構成している。MOSFET3cのドレイン端子Dに還流用ダイオード4cの陰極が接続され、MOSFET3cのソース端子Sに還流用ダイオード4cの陽極が接続されている。
半導体モジュール2eは、N型のMOSFET(半導体素子の一例)3eと、MOSFET3eに逆並列接続された還流用ダイオード4eとを有してアーム部を構成している。MOSFET3eのドレイン端子Dに還流用ダイオード4eの陰極が接続され、MOSFET3eのソース端子Sに還流用ダイオード4eの陽極が接続されている。
MOSFET3a,3b,3c,3d,3e,3fは、ユニポーラ型のパワー半導体素子であり、双方向性を有している。ここで、アーム部を構成するスイッチング素子は、MOSFET3a〜3fのようにSi系の半導体素子だけでなく、炭化ケイ素、窒化ガリウム及びダイアモンドの少なくとも1つを主材料とするワイドバンドギャップ半導体素子であってもよい。また、還流用ダイオード4a〜4fもSi系の半導体素子だけでなく、炭化ケイ素、窒化ガリウム及びダイアモンドの少なくとも1つを主材料とするワイドバンドギャップ半導体素子であってもよい。ワイドバンドギャップ半導体素子はSi素子よりも高温,高電圧動作に優れ、低損失である。なお、還流用ダイオード4a〜4fとして、MOSFET3a〜3fのボディダイオードを利用してもよい。
半導体モジュール2a及び半導体モジュール2bは、例えばU相アームを構成し、半導体モジュール2c及び半導体モジュール2dは、例えばV相アームを構成し、半導体モジュール2e及び半導体モジュール2fは、例えばW相アームを構成している。したがって、インバータ50は、これらのU相アーム、V相アーム及びW相アームが並列接続された三相フルブリッジ回路と、U相アームのスイッチング動作を制御するゲート駆動装置1a,1bと、V相アームのスイッチング動作を制御するゲート駆動装置1c,1dと、W相アームのスイッチング動作を制御するゲート駆動装置1e,1fとを有している。半導体モジュール2a,2c,2eはハイサイドスイッチングアームを構成し、半導体モジュール2b,2c,2fはローサイドスイッチングアームを構成する。
図2に示すように、ゲート駆動装置1bは、MOSFET3bに流れるドレイン電流(主電流の一例)Id(b)を検出する電流検出器(電流検出部の一例)9と、電流検出器9で検出したドレイン電流Id(b)の電流値を検出する電流値検出回路(電流検出部の一例)10と、電流値検出回路10で検出されたドレイン電流Id(b)の電流値の極性を判別する極性判別回路(極性判別部の一例)11と、極性判別回路11で判別された判別結果に応じて電源電圧値を選定する駆動電圧制御回路(駆動電圧制御部の一例)12とを有している。
ゲート駆動装置1bは、第1及び第2スイッチ素子6,13に接続された第3スイッチ素子7と、第1から第3スイッチ素子6,13,7のスイッチング動作を制御する制御信号が入力されるインターフェイス回路(インターフェイス部の一例)8とを有している。
第2スイッチ素子13のコレクタ端子Cは、第2電源電圧P2(例えば、20+α(V)、αは、0より大きい値)が入力する端子に接続されている。第2スイッチ素子13のベース端子Bは、第1スイッチ素子6のベース端子Bが接続された出力端子とは異なる駆動電圧制御回路12の出力端子に接続されている。
駆動電圧制御回路12は、ゲート駆動装置1bに入力する第1電源電圧P1及び第2電源電圧P2のうち、極性判別回路11による判別結果としてドレイン電流Id(b)の極性が負のときに第2電源電圧P2を選定し、この判別結果が正のときに第1電源電圧P1を選定するようになっている。MOSFET3bは、双方向性を有するため、ドレイン端子Dからソース端子Sに向かう方向と、ソース端子Sからドレイン端子Dに向かう方向の双方にドレイン電流を流すことができる。本実施形態では、ドレイン端子Dからソース端子Sに向かう方向に流れるドレイン電流Id(b)を「正」とし、ソース端子Sからドレイン端子Dに向かう方向に流れるドレイン電流Id(b)を「負」とする。また、ドレイン電流Id(b)が流れていない状態は「正」とする。
モードMD1の動作では、MOSFET3aのゲートソース間電圧Vgs(a)は、図3(C)に示すように、第1電源電圧P1と同電圧となり、MOSFET3bのゲートソース間電圧Vgs(b)は、負電圧N1と同電圧となる。このため、図4(C)に示すように、MOSFET3aはオン状態となり、MOSFET3bはオフ状態となり、MOSFET3aのドレイン電流Id(a)が出力電流Iuとしてモータ19(図1参照)のU相コイルに流れる。このため、図3(F)及び(G)に示すように、MOSFET3aのドレイン電流Id(a)が増加するとともに、出力電流Iuも徐々に増加する。また、出力電流Iuは正の値となる。
一方、第1及び第2スイッチ素子6,13をオフ状態にするためのオフ信号は、第3スイッチ素子7をオン状態とするためのオン信号となる。これにより、第3スイッチ素子7はオン状態となり、MOSFET3bのゲート端子Gには、負電圧N1が印加される。MOSFET3bのソース端子Sには基準電位M(例えば0〔V〕)が印加されているため、MOSFET3bのゲートソース間電圧Vgs(b)は負電圧N1となる。このため、MOSFET3bのゲートソース間電圧Vgs(b)に順バイアス電圧は出力されず、MOSFET3bはオフ状態を維持したままとなる。
モードMD2の動作では、MOSFET3aのゲートソース間電圧Vgs(a)及びMOSFET3bのゲートソース間電圧Vgs(b)は、図3(C)及び(D)に示すように、負電圧N1と同電圧となる。このため、図4(B)に示すように、MOSFET3aはオン状態からオフ状態に切り替わり、MOSFET3bはオフ状態を維持する。
極性判別回路11は、ドレイン電流Id(b)の電流値が負の値であってドレイン電流Id(b)の極性が負方向であると判別し、この判別結果を駆動電圧制御回路12に出力する。駆動電圧制御回路12は、極性判別回路11から入力した判別結果(ドレイン電流Id(b)の極性が「負」)に基づいて、第2電源電圧P2を選定するために、インターフェイス回路8から入力した制御信号を第2スイッチ素子13のベース端子Bに出力する。
一方、第1及び第2スイッチ素子6,13をオフ状態にするためのオフ信号は、第3スイッチ素子7をオン状態とするためのオン信号となる。これにより、第3スイッチ素子7はオン状態となり、MOSFET3bのゲート端子Gには、負電圧N1が印加される。MOSFET3bのソース端子Sには基準電位M(例えば0〔V〕)が印加されているため、MOSFET3bのゲートソース間電圧Vgs(b)は負電圧N1となる。このため、MOSFET3bのゲートソース間電圧Vgs(b)に順バイアス電圧は出力されず、MOSFET3bはオフ状態を維持したままとなる。
モードMD3では、インターフェイス回路8に入力される制御信号CS(b)が図3(B)に示すように、ローレベルからハイレベルに反転し、第1及び第2スイッチ素子6,13をオン状態にするためのオン信号としてインターフェイス回路8から駆動電圧制御回路12に入力される。
駆動電圧制御回路12は、モードMD2において、第2スイッチ素子13を選定し、インターフェイス回路8から入力する制御信号を第2スイッチ素子13のベース端子Bに入力している。この状態でモードMD3になって、不図示の制御回路からインターフェイス回路8に入力する制御信号CS(b)が図3(B)に示すように、ハイレベルとなって、第1及び第2スイッチ素子6,13をオン状態とするオン信号に切り替わると、駆動電圧制御回路12は、このオン信号を第2スイッチ素子13のベース端子Bに入力する。このため、第2スイッチ素子13はオフ状態からオン状態に切り替わる。
MOSFET3bのゲート端子Gに第2電源電圧P2が印加され、ソース端子Sに基準電位Mが印加されるので、MOSFET3bのゲートソース間電圧Vgs(b)は第2電源電圧P2となる。これにより、図3(D)に示すように、MOSFET3bのゲートソース間電圧Vgs(b)には順バイアス電圧が出力されるので、MOSFET3bはオフ状態からオン状態に切り替わる。
なお、図4(C)では、還流電流は破線矢印によって図示されている。このため、モードMD3においても、電流値検出回路10は、電流検出器9で検知されるドレイン電流Id(b)に基づいてドレイン電流Id(b)の電流値を負の値(Id(b)<0〔A〕)と検出し、検出結果を極性判別回路11に出力する。
このため、第2スイッチ素子13はオン状態を維持し、第1及び第3スイッチ素子6,7はオフ状態を維持する。これにより、モードMD3では、モードMD1においてMOSFET3aのゲート端子Gに印加される第1電源電圧P1よりも電圧値の高い第2電源電圧P2をMOSFET3bのゲート端子Gに印加した状態でMOSFET3bをオン状態にできる。
モードMD3における還流電流は、モードMD2の場合と同様に、モータ19に充電されていた電荷の放電に基づく電流であるため、図3(G)に示すように、還流電流の電流値は徐々に0(A)に近付く。これに伴い、図3(E)に示すように、出力電流Iuは正の値を維持しつつ徐々に低下する。
その後、時点t4でモードMD3からモードMD2に切り替わり、次いで点t5でモードMD2からモードMD1に切り替わる。
ここで、比較例としての従来の半導体素子のゲート駆動装置について図1及び図4を参照しつつ図6及び図7を用いて説明する。なお、従来のインバータは、ゲート駆動装置の構成が異なる点を除いて、本実施形態におけるインバータ50と同様の構成を有しているため、以下、図1に示すインバータ50の参照符号を用いつつ説明する。
第2スイッチ素子107のコレクタ端子Cは、基準電位(例えば0〔V〕)よりも低い負電圧N1に接続されている。
時点t11〜時点t12間のモードMD1の動作では、図7(A)及び(B)に示すように、MOSFET3aのゲート駆動装置101に入力される制御信号CS(a)がハイレベルとなり、MOSFET3bのゲート駆動装置101に入力される制御信号CS(b)がローレベルとなる。
このとき、図4(B)において破線矢印で示すように、半導体モジュール2bに内蔵された還流用ダイオード4bを介してモータ19から還流電流が出力電流Iuとしてモータ19に流れる。この還流電流は、モータ19のコイルに充電されていた電荷の放電に基づく電流であるため、図7(G)に示すように、還流電流の電流値Id(b)は徐々に0(A)に近付く。これに伴い、図7(E)に示すように、出力電流Iuの電流値は徐々に低下する。また、モードMD2では、MOSFET3aはオフ状態となるため、図7(F)に示すように、MOSFET3aのドレイン電流Id(a)は0(A)となる。
MOSFET3bのソース端子Sには基準電位M(例えば0(V))が印加されているため、MOSFET3bのゲートソース間電圧Vgs(b)に順バイアス電圧は出力されず、MOSFET3bは、モードMD1からモードMD2を通してオフ状態を維持する。モードMD2における還流電流は、モータ19に充電されていた電荷の放電に基づく電流であるため、図7(E)に示すように、出力電流Iuは正の値を維持しつつ徐々に低下する。
このモードMD3では、MOSFET3aのゲート駆動装置101に入力される制御信号CS(a)が図7(A)に示すようにローレベルを維持し、MOSFET3bのゲート駆動装置101に入力される制御信号CS(b)が図7(B)に示すようにローレベルからハイレベルに切換わる。
すなわち、MOSFET3bのゲート駆動装置101の第1スイッチ素子106がオン状態となり、第2スイッチ素子107はオフ状態となるので、図7(D)に示すように、MOSFET3bのゲート端子Gには、第1電源電圧P1が印加される。また、MOSFET3bのソース端子Sには基準電位M(例えば0(V))が印加されている。これにより、MOSFET3bのゲートソース間電圧Vgs(b)に順バイアス電圧が出力されるので、MOSFET3bはオフ状態からオン状態に切り替わる。
同期整流方式を採用したインバータは、MOSFETの並列接続数を増やして半導体モジュールのオン電圧を下げることにより、電力変換効率の向上を図ることができる。しかしながら、この方法では、MOSFETの使用個数が増えるため,インバータやこのインバータを備える装置が大形化してしまったり高価格化してしまったりする可能性がある。本実施形態によるゲート駆動装置1は、電流検出器9、電流値検出回路10、極性判別回路11、駆動電圧制御回路12及び第2スイッチ素子13を有しているため、従来のゲート駆動装置101と比較すると回路規模が増大する。
また、通常の順バイアス電圧は、一般的にMOSFETのスイッチング特性(スイッチング損失やスイッチング波形の挙動)から最適な電圧値が決定される。本実施形態において、通常よりも高い順バイアス電圧でMOSFETを駆動するのは、還流電流が流れるモードMD3の動作時だけである。このため、通常よりも高い順バイアス電圧でMOSFETを駆動しても、MOSFETのスイッチング特性への影響はほとんどない。
これにより、半導体素子の駆動装置は、インバータに還流電流が流れる動作モードのときに、半導体モジュールに内蔵されたMOSFETを、通常よりも電圧値の高いゲートソース間電圧で駆動できるので、MOSFETのオン電圧を低減することができる。これにより、ゲート駆動装置は、MOSFETの使用個数を増やさずにMOSFETの導通損失を低減し、インバータの電力変換効率の向上を図ることができる。
この第2の実施形態では、ゲート駆動装置1bが、図8に示すように、構成されている。すなわち、図8に示すゲート駆動装置1bは、前述した第1の実施形態における第2スイッチ素子13が省略されているとともに、電源電圧制御回路の構成が変更されていることを除いては前述した第1の実施形態と同様の構成を有し、図2との対応部分には同一符号を付し、その詳細説明はこれを省略する。
第4スイッチ素子26は、NPN型バイポーラトランジスタで構成され、コレクタが第1電源電圧P1(例えば20〔V〕)が入力される正電源端子に接続され、エミッタが第5スイッチ素子27のエミッタに接続され、ベースが電源電圧制御回路20に接続されている。
第4スイッチ素子26のエミッタ及び第5スイッチ素子27のエミッタの接続点がゲート駆動抵抗5を介して半導体モジュール2bのMOSFET3bのゲートに接続されている。
また、ゲート駆動装置1bは、インターフェイス回路8、電流値検出回路10、極性判別回路11及び駆動電圧制御回路20を備えている。インターフェイス回路8、電流値検出回路10及び極性判別回路11は、前述した第1の実施形態と同様の構成を有する。
オアゲート22は、一方の入力側にパルス形成回路21から出力されるパルス信号PSが入力され、他方の入力側にインターフェイス回路8から出力されるゲートパルス信号GPが入力され、出力側が第4スイッチ素子26のベースに接続されている。
ここで、駆動電圧制御回路20、第4スイッチ素子26および第5スイッチ素子27で駆動電圧制御部が構成されている。
第2の実施形態でも時点t21及びt22間のモードMD1、時点t22及びt23間のモードMD2、時点t23及びt24間のモードMD3、時点t24及びt25間のモードMD2、時点t24以降のモードMD1となることは第1の実施形態と同様である。
したがって、ハイサイドアーム側のゲート駆動装置1aに入力される制御信号CS(a)は、第1の実施形態と同様に、時点t1から時点t2までハイレベルとなり、時点t2でローレベルに反転してから時点t5で再度ハイレベルに反転する。
したがって、ハイサイドアーム側の半導体モジュール2aのMOFET3aはモードMD1でオン状態となり、モードMD2及びMD3でオフ状態となる。このため、ハイサイドアーム側の半導体モジュール2aのMOSFET3aのゲートソース間電圧Vgs(a)は、図9(E)に示すように、時点t1から時点t2までは正電圧P1を維持し、時点t2で負電圧N1に反転し、この負電圧N1が時点t5にまで継続し、時点t5で再度正電圧P1に復帰する。
逆に、ローサイドアーム側の半導体モジュール2bのMOSFET3bはモードMD1でオフ状態となり、モードMD2及びMD3でオン状態となる。このため、ローサイドアーム側の半導体モジュール2bのMOSFET3bのゲートソース間電圧Vgs(b)は、図9(F)で一点鎖線図示のように、時点t1から時点t3までは負電圧N1を維持し、時点t3で正電圧P1に反転し、この負電圧N1が時点t5にまで継続し、時点t5で再度正電圧P1に復帰する。
ところで、ローサイドアーム側のゲート駆動装置1bでは、モードMD1からモードMD2に切り替わる時点t2では、図4(B)に示すように、MOSFET3aがオン状態からオフ状態となり、MOSFET3bがオフ状態を継続している。このため、モータ19のコイルに充電された電流による還流電流が還流用ダイオード4bを介して正の出力電流Iuとしてモータ19に流れる。この還流電流は、図4(B)及び図9(I)に示すように、還流用ダイオード4bを介してMOSFET3bのソース端子Sからドレイン端子Dに向かって流れる負の電流である。
駆動電圧制御回路20では、極性判別信号Spdがパルス形成回路21に入力されて、このパルス形成回路21が、極性判別信号Spdのローレベルからハイレベルへの立ち上がりでトリガされる。したがって、パルス形成回路21から、図9(D)に示すように、ハイレベルをデッドタイムTd以上の時間Taだけ継続するパルス信号PSがオアゲート22に出力される。
これにより、正の電源電圧P1が第4スイッチ素子26を介してMOSFET3bのゲートに再度供給開始され、MOSFET3bが一旦オフ状態となった後、還流用ダイオード4bを介して還流電流が流れ始めた直後にオン状態に復帰する。
このように、還流電流が還流用ダイオード4bとMOSFET3bとの双方を通じて並列に流れることにより、還流用ダイオード4bのオン抵抗とMOSFET3bのオン抵抗とが並列となり、双方の合成抵抗が、還流電流が還流用ダイオード4bのみを流れる第1の実施形態のモードMD2と比較して低抵抗となる。
そして、MOSFET3bは、図10で一点鎖線図示の特性線L11で表される電圧の増加に比例して電流が増加する定抵抗特性を示し、還流用ダイオード4bは図10で実線図示の特性線L12で表されるように立ち上がり電圧(オン電圧)がSiC−SBD(ショットキーバリヤダイオード)で約1〔V〕となり、MOSFET3bに対して急峻な抵抗特性となる。
これに対して、第2の実施形態では、還流用ダイオード4bが導通して極性判別回路11で負極性と判別したときに、MOSFET3bをターンオン状態とするので、還流用ダイオード4bが導通したときに、図10で実線図示の特性線L13で示すように、還流用ダイオードの抵抗特性にMOSFET3bの定抵抗特性が加えられた抵抗特性となり、MOSFET3bのドレイン電流Idを流すために必要なオン電圧V4はオン電圧V3より低い電圧となり、この分還流電流が流れる同期整流動作においてMOSFETの導通損失をより小さくすることが可能となる。
しかしながら、第2の実施形態では、MOSFET3bのドレインに印加される電圧が零になって、還流用ダイオード4bが導通し、この還流用ダイオード4bを通じて還流電流が流れ始めることにより、ドレイン電流Id(b)が初めて負極性となる。そして、極性判別回路11は、ドレイン電流Id(b)の負極性を判別したときに、極性判別信号Spdをローレベルからハイレベルに反転させる。したがって、MOSFET3bはMOSFET3aがオフ状態となってからオン状態となり、アーム短絡の発生を確実に防止することができる。
この時点t3から時点t3′の間では、オアゲート22に供給されるインターフェイス回路8からの出力信号とパルス形成回路21から出力されるパルス信号PSとがともにハイレベルとなっているので、オアゲート22の出力はハイレベルを維持し、第4スイッチ素子26がオン状態を継続し、第5スイッチ素子27がオフ状態を継続し、MOSFET3bがオン状態を継続する。このため、還流電流がMOSFET3b及び還流用ダイオード4bを並列に流れて出力電流Iuとしてモータ19に出力される。
このとき、ドレイン電流Id(b)は図9(I)に示すように負極性を継続しているので、極性判別回路11からはハイレベルの極性判別信号Spdが図9(C)に示すように継続して出力されており、ローレベルからハイレベルは立ち上がることはないので、パルス形成回路21はトリガされることなくローレベルのパルス信号PSをオアゲート22に出力している。
したがって、モードMD4では、還流電流が還流用ダイオード4bのみを通って出力電流Iuとしてモータ19に出力される
その後、時点t5で、ハイサイド側のゲート駆動装置1aに対する制御信号CS(a)が、図9(A)に示すように、ローレベルからハイレベルに復帰することにより、
図4(A)に示すように、MOSFET3aがオン状態なり、MOSFET3bがオフ状態を継続し、さらに還流用ダイオード4bが逆バイアス状態となって非導通状態となる。このため、正極ラインLpからMOSFET3aを介してモータ19へ出力される。
2a,2b,2c,2d,2e,2f 半導体モジュール
3a,3b,3c,3d,3e,3f MOSFET
4a,4b,4c,4d,4e,4f 還流用ダイオード
5 ゲート駆動抵抗
6 第1スイッチ素子
7 第3スイッチ素子
8 インターフェイス回路
9 電流検出器
10 電流値検出回路
11 極性判別回路
12 駆動電圧制御回路
13 第2スイッチ素子
14 三相交流電源
15 整流回路
16 平滑用コンデンサ
19 モータ
20 駆動電圧制御回路
21 パルス形成回路
22 オアゲート
26 第4スイッチ素子
27 第5スイッチ素子
50 インバータ
Claims (6)
- 電圧駆動型半導体素子及び該電圧駆動型半導体素子に逆並列に接続された還流用ダイオードを有するアーム部に流れる主電流を検出する電流検出部と、
前記電流検出部で検出された主電流の極性を判別する極性判別部と、
前記極性判別部で判別された判別結果に応じて前記電圧駆動型半導体素子の制御端子に供給する駆動電圧値を選定する駆動電圧制御部と
を有し、
前記極性判別部は、前記電圧駆動型半導体素子のドレイン端子からソース端子に向かう方向に流れる前記主電流の極性を正と判別し、前記電圧駆動型半導体素子のソース端子からドレイン端子に向かう方向に流れる前記主電流の極性を負と判別し、
前記駆動電圧制御部は、前記電圧駆動型半導体素子をオン状態とするために前記制御端子に供給する電圧として、前記判別結果が前記正のときに第1電源電圧を選定し、前記判別結果が前記負のときに前記第1電源電圧よりも電圧値の高い第2電源電圧を選定すること
を特徴とする半導体素子の駆動装置。 - 前記駆動電圧制御部は、
前記第1電源電圧が入力される第1スイッチ素子と、
前記第2電源電圧が入力される第2スイッチ素子とを有すること
を特徴とする請求項1記載の半導体素子の駆動装置。 - 前記第1スイッチ素子及び第2スイッチ素子に接続された第3スイッチ素子と、
前記第1スイッチ素子、第2スイッチ素子及び第3スイッチ素子のスイッチング動作を制御する制御信号が入力されるインターフェイス部とを有し、
前記インターフェイス部は、前記制御信号を前記駆動電圧制御部及び前記第3スイッチ素子に出力すること
を特徴とする請求項2記載の半導体素子の駆動装置。 - 前記駆動電圧制御部は、入力される前記制御信号を、前記第1スイッチ素子及び第2スイッチ素子の選定した一方に出力すること
を特徴とする請求項3記載の半導体素子の駆動装置。 - 正極側ライン及び負極側ライン間に、2つの前記電圧駆動型半導体素子が直列に接続されて出力アームが形成され、2つの前記電圧駆動型半導体素子の接続部が誘導性負荷の一端に接続され、2つの前記電圧駆動型半導体素子の一方に供給される第1制御信号と他方に供給される第2制御信号との双方は一方がオン状態であるときに他方がオフ状態とされ、オン状態及びオフ状態の反転時に前記第1制御信号及び前記第2制御信号がともにオフ状態となるデッドタイム区間が形成されていること
を特徴とする請求項1から4の何れか1項に記載の半導体素子の駆動装置。 - 前記電圧駆動型半導体素子は、炭化ケイ素、窒化ガリウム及びダイアモンドの少なくとも1つを主材料とするワイドバンドギャップ半導体素子であること
を特徴とする請求項1から5のいずれか1項に記載の半導体素子の駆動装置。
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