JP6572464B2 - 過熱水蒸気を用いた加熱装置及び加熱方法 - Google Patents

過熱水蒸気を用いた加熱装置及び加熱方法 Download PDF

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Description

本発明は、例えばカーボン繊維強化樹脂(CFRP:Carbon Fiber Reinforced Plastic)、ガラス繊維強化樹脂(GFRP:Glass Fiber Reinforced Plastic)等の合成樹脂よりなる板状のワークを短時間かつ均一に加熱するための過熱水蒸気を用いた加熱装置及び加熱方法に関する。
1〜10mm程度の厚みを有する板状のワークを燃焼ガス式の加熱炉で200〜500℃まで加熱するのに1時間程度を要する。この場合、燃焼ガスが高温のまま排出されるため熱効率が悪く、さらに合成樹脂のワークが燃焼するおそれもある。そのような欠点を解消するために、赤外線加熱装置、IH加熱装置等の加熱装置が知られている。それらの加熱装置を使用すれば加熱時間を数分程度に短縮することができる。しかし、これらの加熱装置では、ワーク全体を、温度むらを生じることなく均一に加熱することが困難である。また、過加熱によってワークが燃焼するおそれも解決されていない。そこで、過熱水蒸気を使用した加熱装置が提案されている。
この種の過熱水蒸気を使用した加熱装置として、例えば特許文献1には過熱水蒸気乾燥装置が開示されている。この過熱水蒸気乾燥装置は、水蒸気を過熱するヒータ装置と、電着塗装を施したワークを乾燥するオーブン装置とを備えている。具体的には、オーブン装置内の温度を170℃に保つとともに、オーブン装置内の水蒸気の濃度を変化させてワークを20分間加熱することにより、ワークは所望とする状態に加熱及び乾燥される。
特開2011−80658号公報
前述した特許文献1に記載されている従来の過熱水蒸気乾燥装置において、ワークがオーブン装置内にそのまま保持された状態で、水蒸気の濃度(30〜70体積%)に応じてワーク全体が所定温度に到達するまで待たなければならない。このため、ワーク全体を所定温度まで加熱して乾燥させるまでには、具体的に20分間を要し、ワークを迅速に加熱することができないという問題が、従来の過熱水蒸気乾燥装置にある。さらに、ワーク全体を均一に加熱して所定温度に到達させるためにも十分な加熱時間が必要である。よって、従来の過熱水蒸気乾燥装置には、急速加熱と均一加熱とを両立させることが難しいという問題がある。
そこで、本発明の目的は、急速加熱と均一加熱の両立を図ることができる過熱水蒸気を用いた加熱装置及び加熱方法を提供することにある。
上記の目的を達成するために、本発明の加熱装置は、被加熱体を収容するように構成された密閉容器と、該密閉容器内に過熱水蒸気を供給するノズルと、前記密閉容器内において過熱水蒸気の供給領域及び被加熱体を加熱する加熱領域を区画する仕切り板と、該仕切り板に設けられ、過熱水蒸気を供給領域から加熱領域の被加熱体に向けて吹付け可能な開口部と、前記供給領域において過熱水蒸気の温度を保持する電気ヒータと、過熱水蒸気を供給領域から加熱領域へと循環させる循環機構とを備えている。
このため、ノズルから密閉容器内へ供給される過熱水蒸気は、供給領域で電気ヒータにより加熱されて高温に保持される。この高温の過熱水蒸気は仕切り板の開口部から加熱領域へ送られ、そこで被加熱体に向けて吹付けられる。従って、高温の過熱水蒸気により被加熱体が速やかに加熱されると同時に、被加熱体全体が均一に昇温して加熱処理される。
本発明の過熱水蒸気を用いた加熱装置及び加熱方法によれば、急速加熱と均一加熱の両立を図ることができるという効果を奏する。
本発明の一実施形態における加熱装置全体を示す概略平断面図。 図1における加熱領域を拡大して示す概略平断面図。 加熱装置全体を示す概略右側断面図。 加熱装置全体を示す概略正面図。 仕切り板のスリット及び整流板と板状のワークとの関係を示す斜視図。 仕切り板のスリットの部分に設けられた第1整流板及び第2整流板の構造を示す拡大断面図。 (a)は板状のワークを示す斜視図、(b)は板状のワークを示す正面図。 本発明の別例を示し、加熱領域を拡大して示す概略平断面図。
以下、本発明の一実施形態を図面に基づいて詳細に説明する。
図1及び図3に示すように、加熱装置10を構成する密閉容器11は頂壁12、底壁13及び4つの側壁15すなわち前側壁15a(図1の右側)、後側壁15b(図1の左側)、左側壁15c(図1の上側)及び右側壁15d(図1の下側)により四角箱状に形成されている。
図3に示すように、後側壁15bの後方には支持レール16が支持枠17に支持され、後側壁15bの挿通孔18から密閉容器11内の中心部まで延びている。この支持レール16の下部にはクランプ19が取付けられ、被加熱体としての板状のワーク20が把持される。ワーク20としては、CFRP、GFRP等の合成樹脂や金属、セラミックス等で形成された厚さ1〜10mm程度の板材が用いられる。ワーク20は、互いに反対側に位置する二つの面を有する。
そして、図1及び図3に示すように、支持レール16のクランプ19にワーク20を取付けた状態でワーク20を密閉容器11内へ押圧すると、ワーク20は支持レール16に案内されて密閉容器11内の所定位置まで挿入されるとともに、加熱後のワーク20は支持レール16に案内されて密閉容器11内から取出されるようになっている。ワーク20は密閉容器11内において左右方向の中央位置で鉛直に支持されるとともに、後側壁15bから所定距離だけ前方へ離間した位置に配置される。
図3及び図4に示すように、前記後側壁15bの後方には、挿通孔18に対向して配置されたシャッター21が昇降用シリンダ22によりワイヤ23を介して上下動可能に支持されている。また、シャッター21は4つのクランプシリンダ24により後側壁15bに密着されるように構成されている。そして、シャッター21が昇降用シリンダ22の作動により上昇した状態でワーク20が密閉容器11内に挿入された後、シャッター21が下降して挿通孔18を覆った状態でクランプシリンダ24によりシャッター21が後側壁15bに密着されて密閉容器11内が密閉状態に形成される。
図1に示すように、前側壁15aの両側部には過熱水蒸気を密閉容器11内に供給するための一対のノズル25が貫通して支持され、それぞれ左側壁15c及び右側壁15dに平行に延びている。ノズル25に供給される過熱水蒸気は、図示しないボイラで形成された飽和水蒸気(例えば120℃、0.2MPa)を過熱水蒸気発生器で加熱して生成される(例えば、150〜500℃、0.2MPa)。
図1及び図3に示すように、前記前側壁15aの中心部には回転用のモータ26により回転駆動される回転軸27が支持され、その回転軸27の先端部には複数枚のファン28及び吸い込み部材29が取付けられている。図1の矢印に示すように、複数枚のファン28の回転によりノズル25から吹き出された過熱水蒸気が密閉容器11内に循環されるとともに、ファン28と一体回転する吸い込み部材29により過熱水蒸気が吸い込まれて過熱水蒸気の循環が促される。前記左側壁15c及び右側壁15dにはそれぞれ排気ダクト30が設けられ、密閉容器11内の過熱水蒸気を含むガスを排気できるように構成されている。
ワーク20の二つの面のうち一方の面に対向して、一つの仕切り板31が配置されている。ワーク20の二つの面のうち他方の面に対向して、別の仕切り板31が配置されている。二つの仕切り板31は対をなす。前記ワーク20の両側方に位置する二つの仕切り板31が後側壁15bから吸い込み部材29まで延びている。仕切り板31は、後側壁15bに対して鉛直に配置されている。各仕切り板31は略クランク状に形成されている。各仕切り板31は、ワーク20の両側方ではワーク20と平行に延びる部分と、平行な部分の端部から吸い込み部材29に向かって左側壁15c方向及び右側壁15d方向へ拡幅されるように斜めに延びる部分と、吸い込み部材29の近傍で左側壁15c及び右側壁15dに平行に延びる部分とを有する。
図2に示すように、前記一対の仕切り板31の間隔Lは、ワーク20の両面における過熱水蒸気の流速を速くするためにできるだけ狭く設定することが望ましく、具体的には10〜300mmが好ましく、30〜100mmがさらに好ましい。この仕切り板31の間隔Lが10mmより狭い場合には、両仕切り板31間のスペースが狭くなり過ぎてそこにワーク20を配置することが難しくなるおそれがある。その一方、仕切り板31の間隔Lが300mmより広い場合には、ワーク20の両面における過熱水蒸気の流速を十分に高めることができず、ワーク20の昇温時間を短縮できなくなるおそれがある。
図1に示すように、前記仕切り板31と左側壁15cとの間の空間及び仕切り板31と右側壁15dとの間の空間が過熱水蒸気の供給領域32であり、一対の仕切り板31とワーク20との間の空間が過熱水蒸気によってワーク20を加熱する加熱領域33である。前記過熱水蒸気の供給領域32にはコイル状に形成された第1電気ヒータ34がそれぞれ2列に配置され、ノズル25から密閉容器11内に供給された過熱水蒸気を加熱して過熱水蒸気を高温に維持している。さらに、前記過熱水蒸気による加熱領域33において、ワーク20の両側方には互いに対向するように複数の第2電気ヒータ35が配置されている。
図5に示すように、前記仕切り板31には開口部としての複数のスリット36が各々同一形状で縦長の矩形状に開口されている。これらのスリット36は横5列に配列され、ワーク20に対向して均等に配置されて過熱水蒸気がスリット36を通ってワーク20全体に均等に吹付け可能に構成されている。このスリット36の数は、ワーク20の面積と材質に合せて、3〜100個程度であることが望ましい。
図5及び図6に示すように、各仕切り板31の加熱領域33と対向する面には、第1整流板37及び第2整流板38が突出するように延びている。仕切り板31の各スリット36の両側部に沿って後側に第1整流板37、前側に第2整流板38がそれぞれ配置されている。第1整流板37は仕切り板31に対する傾斜角度αが例えば75°となるように基板37aが折曲げて形成されている。その基板37aには長孔39が設けられるとともに、仕切り板31には貫通孔40が設けられている。ボルト41が基板37aの長孔39から仕切り板31の貫通孔40に挿通され、ナット43に螺合されて締付により固定される。前記第1整流板37の傾斜角度αは、10〜80°の範囲内で設定されることが好ましい。
図6の二点鎖線に示すように、前記ナット43をボルト41に対して緩め、第1整流板37の基板37aをスライドさせた後、ナット43をボルト41に対して締付けることにより、第1整流板37と第2整流板38の間の過熱水蒸気の流路50を拡張したり、縮小したりすることが可能である。
一方、第2整流板38は仕切り板31に対して直交するように突出し、第2整流板38の基端部が仕切り板31に対して溶接により接合されている。このため、第1整流板37と第2整流板38との間の過熱水蒸気の流路50は基端部で広く、先端部で狭く、その流路50を通過する過熱水蒸気の流速が速められるように構成されている。そして、過熱水蒸気が供給領域32からスリット36を経て第1整流板37と第2整流板38との間の流路50を通過して加熱領域33に入り、ワーク20表面に沿って強く吹付けられる。
図1に示すように、前記ワーク20近傍における過熱水蒸気の平均流速は、ワーク20への伝熱効率を上げ、高速昇温を可能とするために高い方が望ましく、好ましくは1m/s以上、さらに好ましくは5m/s以上である。ワーク20近傍における過熱水蒸気の平均流速の上限は加熱装置10の設計によるが、30m/s程度である。
尚、過熱水蒸気の平均流速は、過熱水蒸気供給前における密閉容器内の大気の流速から算出することができる。
前記加熱領域33の吸い込み部材29近傍の領域には酸素濃度計45の先端部が差し込まれ、加熱領域33中における酸素濃度が計測される。加熱領域33中の酸素濃度は、ワーク20が例えばCFRP、GFRP等の合成樹脂である場合にワーク20の燃焼を抑制するために5体積%以下であることが好ましい。この酸素濃度計45で測定された酸素濃度が所定値よりも過剰であることが判明した場合には、ノズル25の開度を大きくして過熱水蒸気の供給量を増大させることにより、酸素濃度が常に低くなるように制御することができる。このような制御により、CFRP等の可燃性のワーク20の燃焼を抑制することができる。
なお、密閉容器11内の適宜の箇所に温度センサを設けて供給領域32及び加熱領域33における温度調整を実施したり、熱電対によりワーク20表面の温度測定を実施したりすることができる。
次に、前記のように構成された本実施形態の加熱装置10について作用を説明する。
さて、図1に示すように、CFRP、GFRP等の材料からなるワーク20を加熱処理する場合には、ワーク20をクランプ19で把持して密閉容器11内の所定位置まで挿入した後、シャッター21を閉じて密閉容器11が密閉状態に保持される。図1の矢印に示すように、その状態で一対のノズル25から過熱水蒸気を密閉容器11内へ吹き込むとともに、ファン28及び吸い込み部材29を回転させることにより、過熱水蒸気は両供給領域32へ流れ、各仕切り板31のスリット36を通過して加熱領域33へ流れ込む。
この場合、各供給領域32には第1電気ヒータ34が加熱されて過熱水蒸気が高温に保持される。各加熱領域33のワーク20近傍にはそれぞれ複数の第2電気ヒータ35が加熱されて、第2電気ヒータ35が過熱水蒸気をワーク20近傍で加熱する。この加熱領域33で、過熱水蒸気がワーク20に吹付けられてワーク20を加熱処理した後、吸い込み部材29に吸い込まれ、ファン28により両供給領域32へと再び送られ、過熱水蒸気が密閉容器11内を循環する。
このとき、各仕切り板31にはワーク20に対向して複数のスリット36が均等に配置されていることから、過熱水蒸気がそれらのスリット36を通過してワーク20に均等に吹付けられる。
また、各スリット36の両側部にはそれぞれ第1整流板37及び第2整流板38が設けられ、第2整流板38は仕切り板31に直交するように配置されている。これに対し、第1整流板37の仕切り板31に対する傾斜角度αが例えば75°に設定されることから、第1整流板37と第2整流板38との間の過熱水蒸気の流路50が先端ほど絞られている。そのため、スリット36を通過した過熱水蒸気の流速が速められ、過熱水蒸気がワーク20に強く吹付けられ、ワーク20の温度上昇が速められる。
さらに、第1整流板37は仕切り板31に対して前側へ傾斜して配置されていることから、過熱水蒸気はワーク20の表面に沿って前方へ吸い込み部材29に向かって流れる。このため、ワーク20全体の加熱が一層速められる。
加えて、加熱領域33におけるワーク20両面の近傍位置にはそれぞれ複数の第2電気ヒータ35がワーク20表面に対向して均一に配置されていることから、それらの第2電気ヒータ35によって過熱水蒸気がさらに加熱された状態でワーク20に吹付けられる。さらには、各第2電気ヒータ35の電熱によりワーク20が直接加熱される。従って、ワーク20全体の加熱が一層促進される。
なお、過熱水蒸気によるワーク20の加熱は過熱水蒸気の凝縮伝熱と強制対流伝熱に基づいており、熱伝達率が高いためワーク20をその全体に亘って急速に昇温させることができる。
ここで、前述した実施形態の加熱装置10を用いたワーク20の急速加熱と均一加熱の効果を確認する試験を以下の条件下で行った。
まず、ノズル25から密閉容器11内に過熱水蒸気を供給する前に、密閉容器11内にワーク20が設置される。密閉容器11を密閉状態に保持した状態でファン28及び吸い込み部材29が下記の条件で回転されたときのワーク20の両面近傍における雰囲気下の大気の流速(m/s)が測定される。その測定値に対して密度換算及び温度換算を行うことにより380℃の過熱水蒸気を用いた際の流速が算出される。過熱水蒸気の流速は、ワークの9ヵ所の位置で上述したように算出され、その結果が表1に示されている。
ワーク:CFRP、縦300mm、横300mm、厚さ2mm
密閉容器11の内容積:縦1.134m×横1.02m×高さ0.78m=0.90m
仕切り板31のスリット36:ワーク20に対向して均一になるように、横方向に5列に均等に配列されている。縦長の各スリット36は、縦350mm、横16mm、第1整流板37は上下方向の長さが120mmで、仕切り板31に対する傾斜角度αは75°、第2整流板38は上下方向の長さが350mmで、仕切り板31に対する傾斜角度αは90°に設定されている。また、第1整流板37の先端部と第2整流板38の先端部との間の距離は10mmに設定されている。
両仕切り板31間の間隔Lは240mmに設定され、ワーク20はその中央部に配置されている。
ファン28及び吸い込み部材29の回転数:2363rpm(モータ26:60Hz、1793rpm)
過熱水蒸気の流速を算出するワーク20両面の位置は、図7(b)に示す(1)〜(9)である。
Figure 0006572464

表1に示したように、ファン28による過熱水蒸気の流速は5.3〜6.0m/sの範囲内である。
続いて、ノズル25から過熱水蒸気が下記の条件で密閉容器11内へ供給され、第1電気ヒータ34が下記の条件で加熱され、過熱水蒸気がファン28と吸い込み部材29で密閉容器11内に循環される。初期には排気ダクト30を開口して密閉容器11内の酸素濃度を低下させた後、排気ダクト30が閉じられる。その後の密閉容器11内における酸素濃度は、酸素濃度計45で測定した結果、0.18vol%であった。
ノズル25からの過熱水蒸気の供給量:3.0kg/h(飽和水蒸気の供給量)
第1電気ヒータ34:コイル状のヒータを使用し、左側壁15c側のヒータと右側壁15d側のヒータがそれぞれ24kWで加熱される。なお、第2電気ヒータ35は使用されなかった。
そして、試験1及び試験2では、350℃の過熱水蒸気がノズル25から密閉容器11内へ供給され、加熱領域33における温度は試験1では380℃、試験2では450℃に設定された。また、試験3では、350℃の過熱水蒸気がノズル25から密閉容器11内へ供給され、加熱領域33における温度が400℃に設定された。
そして、ワーク20を所定温度まで加熱するための加熱時間(s)が測定されるとともに、図7(a)に示すa〜d(ワーク20の左面の四隅)とe〜h(ワーク20の右面の辺中央)における温度が熱電対で測定された。それらの結果が表2に示されている。表2中のΔt(℃)は、a〜hの各位置における加熱終了後から10秒後の温度の最大値と最小値との差のうちの最大差を表す。
Figure 0006572464

この表2に示したように、試験1〜試験3において、ワーク20の加熱時間は29〜36秒であって、短時間でワーク20の昇温を図ることができ、急速加熱を達成することができた。さらに、ワーク20の各部における温度差は30℃以内に抑えられ、ワーク20全体として均一加熱できることが確認できた。
以上の実施形態により発揮される効果を以下にまとめて記載する。
(1)この実施形態の加熱装置10は、密閉容器11と、過熱水蒸気のノズル25と、供給領域32及び加熱領域33を区画する仕切り板31と、仕切り板31の開口部と、供給領域32に配置された第1電気ヒータ34と、循環機構とを備えている。
このため、供給領域32で第1電気ヒータ34により加熱された高温の過熱水蒸気が開口部から加熱領域33のワーク20に向けて吹付けられ、ワーク20全体が速やかに加熱される。
従って、実施形態の加熱装置10によれば、ワーク20の急速加熱と均一加熱の両立を図ることができる。このように、加熱装置10の熱効率が良いことから、加熱装置10の小型化を図ることができる。
(2)前記被加熱体は板状のワーク20であり、そのワーク20の近傍位置には第2電気ヒータ35が備えられている。そのため、スリット36から加熱領域33に吹き出された過熱水蒸気は第2電気ヒータ35でさらに高温になってワーク20に吹付けられるとともに、ワーク20は第2電気ヒータ35の電熱により直接加熱される。従って、ワーク20の加熱効率を高めることができる。
(3)前記開口部は、ワーク20に対向して均等に配置された複数のスリット36である。このため、過熱水蒸気が複数のスリット36からワーク20に対して均等に吹付けられる。従って、ワーク20に対する均一加熱の向上を図ることができる。
(4)前記仕切り板31の加熱領域33と対向する面には、スリット36からの過熱水蒸気をワーク20に向けて吹付けるとともに、ワーク20表面に沿って通過させる第1整流板37及び第2整流板38が配置されている。そのため、ワーク20に吹付ける過熱水蒸気の方向を制御でき、ワーク20の加熱効率を向上させることができる。
(5)前記仕切り板31は、板状のワーク20の両面に対向して対をなすように配置されている。このため、ワーク20の両面に対して過熱水蒸気を同時に吹付けることができ、ワーク20の加熱を促進することができる。
(6)前記循環機構は、回転して密閉容器11内の過熱水蒸気を供給領域32から加熱領域33へと循環させるためのファン28と、加熱領域33の過熱水蒸気の一部を吸い込むための吸い込み部材29とを備えている。このため、密閉容器11における過熱水蒸気の循環を促進することができ、ワーク20の加熱効率を高めることができる。
(7)前記密閉容器11内には、密閉容器11内の酸素濃度を測定するための酸素濃度計45が配置されている。そのため、酸素濃度を計測して密閉容器11内に存在する酸素の濃度を低下させることができ、ワーク20として可燃性の合成樹脂を加熱処理する際の燃焼を抑制することができる。
(8)前記加熱装置10を用いた加熱方法は、密閉容器11内にワーク20を配置した状態で、ノズル25から供給領域32に送られた過熱水蒸気を第1電気ヒータ34で加熱し、加熱された高温の過熱水蒸気を仕切り板31のスリット36から加熱領域33のワーク20に吹付けてワーク20を加熱処理するものである。従って、高温の過熱水蒸気をワーク20全体に吹付けることができ、ワーク20の急速加熱と均一加熱を達成することができる。
(9)前記仕切り板31は板状のワーク20の両面に対向して対をなすように配置され、各仕切り板31のスリット36から過熱水蒸気がワーク20の両面に吹付けられる。そのため、ワーク20の両面に対して過熱水蒸気を同時に吹付けることができ、ワーク20の加熱を促進することができる。
なお、前記実施形態を次のように変更して具体化することも可能である。
・図8に示すように、ワーク20の両側方に位置するスリット36、第1整流板37、第2整流板38及び第2電気ヒータ35が、互い違いに千鳥状に配置されてもよい。この場合には、第2電気ヒータ35の数を減少させてワーク20の加熱効率を高めることができる。
・前記スリット36の断面形状を、ワーク20のサイズや材質に応じて正方形、円形、楕円形等の任意の形状に変更したり、各スリット36の大きさを変更したり、スリット36の数を適宜変更したり、スリット36の配置を適宜変更したりしてもよい。
・前記実施形態において、スリット36を上下方向に均等に複数に分割してもよい。例えば、スリット36は3分割されてもよい。また、スリット36を横方向に延びるように形成してもよい。
・前記第2整流板38を、第1整流板37と同様に仕切り板31に対して同方向に傾斜させ、過熱水蒸気の流れを吸い込み部材29へ向けてもよい。
・前記開口部として、スリット36に代え、過熱水蒸気吹き出し用のノズルを用いてもよい。
・前記ワーク20は板状のものに限られず、柱状、管状、塊状等の種々の形状のものとすることができる。また、板厚等が均一である必要はなく、湾曲部や凹凸部を備えていてもよい。
・前記ノズル25から常に過熱水蒸気循環量の0.1〜10%程度の過熱水蒸気を補給するとともに、排気ダクト30から同量の過熱水蒸気を排気するように構成してもよい。この場合には、ワーク20の合成樹脂から揮発した可燃性物質が密閉容器11内に濃縮しないため、可燃性物質の燃焼を抑制することができる。
・前記ファン28及び吸い込み部材29を密閉容器11の頂壁12又は底壁13に配置してもよい。
・加熱装置10の故障等によってワーク20が密閉容器11内に所定時間より長く放置された場合には、過熱水蒸気発生器の出力を下げて150〜250℃の低温の過熱水蒸気をノズル25から密閉容器11内に供給して密閉容器11内の温度を下げるように制御することができる。この場合、故障等でワーク20が密閉容器11内に長く放置されても、ワーク20が高温にならないため、ワーク20が変質したり、溶解したりすることを抑制することができる。
・前記過熱水蒸気に代え、高温流体としてアルゴンガス、窒素ガス等の任意の不活性ガス、空気、又は任意の不活性ガスと空気との組み合わせを使用することも可能である。
10…加熱装置、11…密閉容器、20…被加熱体としてのワーク、25…ノズル、28…循環機構を構成するファン、29…循環機構を構成する吸い込み部材、31…仕切り板、32…供給領域、33…加熱領域、34…第1電気ヒータ、35…第2電気ヒータ、36…開口部としてのスリット、37…第1整流板、38…第2整流板、45…酸素濃度計。

Claims (9)

  1. 被加熱体を収容するように構成された密閉容器と、
    該密閉容器内に過熱水蒸気を供給するノズルと、
    前記密閉容器内において過熱水蒸気の供給領域及び被加熱体を加熱する加熱領域を区画する仕切り板と、
    該仕切り板に設けられ、過熱水蒸気を供給領域から加熱領域の被加熱体に向けて吹付け可能な開口部と、
    前記供給領域において過熱水蒸気を加熱する電気ヒータと、
    過熱水蒸気を供給領域から加熱領域へと循環させる循環機構とを備える加熱装置。
  2. 前記被加熱体は板状のワークであり、
    前記加熱装置は、前記ワークの近傍位置に設けられた第2の電気ヒータを備える請求項1に記載の加熱装置。
  3. 前記開口部は、前記ワークに対向して均等に配置された複数のスリットを有する請求項2に記載の加熱装置。
  4. 前記加熱装置は、前記仕切り板の前記加熱領域と対向する面に設けられた整流板を備え、前記整流板は、前記スリットから過熱水蒸気を前記ワークに向けて吹付けるとともに、前記ワークの表面に沿って通過させる請求項3に記載の加熱装置。
  5. 前記ワークは二つの面を有し、
    前記仕切り板は、前記ワークの前記二つの面のうち一方の面に対向して配置され、
    前記加熱装置は、前記ワークの前記二つの面のうち他方の面に対向して配置されて前記仕切り板と対をなす別の仕切り板を備えている請求項2から請求項4のいずれか1項に記載の加熱装置。
  6. 前記循環機構は、
    回転して密閉容器内の過熱水蒸気を供給領域から加熱領域へと循環させるファンと、
    加熱領域の過熱水蒸気の一部を吸い込む吸い込み部材とを備える請求項1から請求項5のいずれか1項に記載の加熱装置。
  7. 前記密閉容器内には、該密閉容器内の酸素濃度を測定するための酸素濃度計が配置されている請求項1から請求項6のいずれか1項に記載の加熱装置。
  8. 請求項1から請求項7のいずれか1項に記載の加熱装置を用いた加熱方法であって、
    前記密閉容器内に被加熱体を配置した状態で、過熱水蒸気を前記ノズルから密閉容器内の前記供給領域に送り、そこで前記電気ヒータにより前記過熱水蒸気を加熱し、加熱された高温の過熱水蒸気を前記仕切り板の前記開口部から加熱領域へ導いて被加熱体に吹付けて被加熱体を加熱処理する加熱方法。
  9. 前記被加熱体は板状のワークであり、
    前記ワークは二つの面を有し、
    前記仕切り板は前記ワークの前記二つの面のうち一方の面に対向して配置され、
    前記加熱装置は、前記ワークの前記二つの面のうち他方の面に対向して配置されて前記仕切り板と対をなす別の仕切り板を備え、
    各仕切り板の開口部から過熱水蒸気が前記ワークの前記二つの面に吹付けられる請求項8に記載の加熱方法。
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