JP6568637B1 - プリント基板及びその製造方法 - Google Patents

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健二 久原
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武 三室
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Abstract

【課題】上面側コア層間回路と、下面側コア層間回路と、コア平面回路とが接続不良の起こりにくいプリント基板を提供する。【解決手段】板状の金属体5を上面側から2回エッチングし、深さの異なる2種の凹み部を設けて、絶縁体39を埋め込む。その後、下面側からも2回エッチングし、絶縁体39が露出する凹み部と絶縁体39が露出しない凹み部の2種を設けて絶縁体39を埋め込むことで、上面側コア層間回路21と下面側コア層間回路22とコア平面回路23とが同じ金属から一体に設けられたコア部2が作成される。コア部2の表面が整面処理され、面一の状態でメッキ処理されて導電体が設けられ、その導電体を用いて、上面側表層回路27と下面側表層回路28とが設けられる。よって、高電圧かつ大電流が流されることにより、プリント基板に熱膨張が生じても、回路の接続不良の起こりにくい櫓(出願人登録商標)基板となる。【選択図】図1

Description

本発明は、上面側コア層間回路と下面側コア層間回路とコア平面回路との接続が良好なプリント基板及びその製造方法に関する。
従来図に示したプリント基板901は、プリント基板901に搭載される図示しない電子部品から放出される熱を放出する目的で金属片902が内部に設けられている。金属プレートを打ち抜いた金属片902と、金属片902の空間部分に絶縁体903とを埋め込んだ板状のコア部904を作成し、このコア部904の上面及び下面に内層平面回路905が設けられ、さらに、内層平面回路905の上面及び下面に絶縁層906と最上面及び最下面に外層平面回路907が設けられる。そして、金属片902と内層平面回路905と外層平面回路907とが導電体で接続するように、スルーホール908が設けられることにより、プリント基板901の表面に熱が伝わるようになっている。
スルーホール908は、プリント基板901の厚さ方向における上下面に貫通する孔がプリント基板901に設けられた後、メッキ処理により、導電体911がプリント基板901の上下面の前記孔の周辺及び当該孔の内壁に設けられた構造になっている。しかしながら、プリント基板901の高密度実装を実現するには、スルーホールの孔径をなるべく小さくすることから、導電体911と金属片902との接合面912、導電体911と内層平面回路905との接合面913、導体911と外層平面回路907との接合面914がスルーホール908の形成後にプリント基板の熱膨張によって剥離が生じ、接続不良が生じる場合がある。
特開2006−332449号公報
本発明は、上記背景技術に鑑みてなされたものであり、スルーホールを設けることなく、上面側コア層間回路と下面側コア層間回路とコア平面回路との間で接続不良のおこりにくいプリント基板の及びその製造方法の提供を目的とする。
本発明のプリント基板の製造方法は、
プリント基板の製造方法であって、
表面が平坦な板状の導電体に上面側コア層間回路となる部分及びコア平面回路となる部分を覆う上面側第一エッチングレジストが設けられる第一工程と、
前記導電体に、下面側コア層間回路となる部分及び前記コア平面回路となる部分を覆う下面側第一エッチングレジストが設けられる第二工程と、
前記上面側第一エッチングレジストに従い前記導電体に対してエッチング処理が行われ、前記導電体の上面から内部に凹む上面側凹み部が設けられる第三工程と、
前記下面側第一エッチングレジストに従い前記導電体に対してエッチング処理が行われ、前記導電体の下面から内部に凹む下面側凹み部が設けられる第四工程と、
前記上面側第一エッチングレジストを除去する第五工程と、
前記下面側第一エッチングレジストを除去する第六工程と、
前記導電体の上面に前記上面側コア層間回路となる部分を覆う上面側第二エッチングレジストと、前記導電体の下面側全体を覆う下面側第二エッチングレジストと、が設けられる第七工程と、
前記上面側第二エッチングレジストに従い前記導電体に対してエッチング処理が行われ、前記第三工程で設けられた前記上面側凹み部がさらにエッチングされて形成された上面側凹み部と、前記上面側凹み部よりも浅い上面側凹み部と、前記上面側コア層間回路と、コア平面回路中間体と、が形成される第八工程と、
前記導電体から前記上面側第二エッチングレジストと、前記下面側第二エッチングレジストと、が除去される第九工程と、
前記第八工程で設けられた前記上面側凹み部と、前記浅い上面側凹み部と、に絶縁体が充填され、上面側コア絶縁層が設けられ、前記上面側コア絶縁層の上面と前記上面側コア層間回路の上面とに渡って全面が整面処理される第十工程と、
前記導電体の下面に前記下面側コア層間回路となる部分を覆う下面側第二エッチングレジストと、前記導電体の上面側全体を覆う上面側第二エッチングレジストと、を設ける第十一工程と、
前記下面側第二エッチングレジストに従い前記導電体に対してエッチング処理が行われ、前記下面側凹み部がさらにエッチングされて形成された下面側凹み部と、前記下面側凹み部よりも浅い下面側凹み部と、前記下面側コア層間回路と、前記コア平面回路と、が形成される第十二工程と、
前記下面側第二エッチングレジストと、前記上面側第二エッチングレジストと、が除去される第十三工程と、
第十二工程で設けられた前記下面側凹み部と、第十二工程で設けられた前記浅い下面側凹み部と、に前記絶縁体が充填され、下面側コア絶縁層が設けられ、前記下面側コア絶縁層の下面と下面側コア層間回路の下面とに渡って全面が整面処理される第十四工程と、が行われ、
平面方向に延びる前記コア平面回路と、前記コア平面回路の一端部側に設けられた前記上面側コア層間回路と、前記コア平面回路の他端部側に設けられた前記下面側コア層間回路と、前記上面側コア絶縁層と、前記下面側コア絶縁層と、からなり、平面方向に延びる前記コア平面回路と、前記コア平面回路の一端部側に設けられた前記上面側コア層間回路と、前記コア平面回路の他端部側に設けられた前記下面側コア層間回路と、が接続面のない一体の導電体から形成されたコア部が製造され、
前記コア部の上面全体を覆う上面側導電体がメッキ処理により設けられる第十五工程と、
上面側表層エッチングレジストが設けられる第十七工程と、
前記上面側表層エッチングレジストに従いエッチング処理がされて、前記上面側コア層間回路と前記上面側コア絶縁層とに渡って上面側表層回路が形成される第十九工程と、
前記上面側表層エッチングレジストを除去する第二十一工程と、
前記コア部の下面全体を覆う下面側導電体がメッキ処理により設けられる第十六工程と、
下面側表層エッチングレジストが設けられる第十八工程と、
前記下面側表層エッチングレジストに従いエッチング処理がされて、前記下面側コア層間回路と前記下面側コア絶縁層とに渡って下面側表層回路が形成される第二十工程と、
前記下面側表層エッチングレジストを除去する第二十二工程と、
からなることを特徴とするか、
又は、
プリント基板の製造方法であって、
表面が平坦な板状の導電体に上面側コア層間回路となる部分及びコア平面回路となる部分を覆う上面側第一エッチングレジストと、前記導電体の下面側全体を覆う下面側第一エッチングレジストと、が設けられる第百一工程と、
前記上面側第一エッチングレジストに従い導電体に対してエッチング処理が行われ、導電体の上面から内部に凹む上面側凹み部が設けられる第百三工程と、
前記上面側第一エッチングレジストと、前記下面側第一エッチングレジストと、を除去する第百五工程と、
前記導電体の上面に前記上面側コア層間回路となる部分を覆う上面側第二エッチングレジストと、前記導電体の下面側全体を覆う下面側第二エッチングレジストと、を設ける第百七工程と、
前記上面側第二エッチングレジストに従い前記導電体に対してエッチング処理が行われ、前記第百三工程で設けられた前記上面側凹み部がさらにエッチングされて形成された上面側凹み部と、前記上面側凹み部よりも浅い上面側凹み部と、前記上面側コア層間回路と、コア平面回路中間体と、が形成される第百八工程と、
前記上面側第二エッチングレジストと、前記下面側第二エッチングレジストと、が除去される第百九工程と、
前記第百八工程で設けられた前記上面側凹み部と、前記浅い上面側凹み部とに絶縁体が充填され、上面側コア絶縁層が設けられ、前記上面側コア絶縁層の上面と前記上面側コア層間回路の上面とに渡って全面が整面処理される第百十工程と、
前記導電体の下面に前記下面側コア層間回路となる部分を覆う下面側第二エッチングレジストと、前記導電体の上面側全体を覆う上面側第二エッチングレジストと、を設ける第百十一工程と、
前記下面側第二エッチングレジストに従い前記導電体に対してエッチング処理が行われ、前記絶縁体が露出する下面側凹み部と、前記下面側コア層間回路と、前記コア平面回路と、が形成される第百十二工程と、
前記下面側第二エッチングレジストと前記上面側第二エッチングレジストとが除去される第百十三工程と、
第百十二工程で設けられた前記下面側凹み部に前記絶縁体が充填され、下面側コア絶縁層が設けられ、前記下面側コア絶縁層の下面と下面側コア層間回路の下面とに渡って全面が整面処理される第百十四工程と、が行われ、
平面方向に延びる前記コア平面回路と、前記コア平面回路の一端部側に設けられた前記上面側コア層間回路と、前記コア平面回路の他端部側に設けられた前記下面側コア層間回路と、前記上面側コア絶縁層と、前記下面側コア絶縁層と、からなり、平面方向に延びる前記コア平面回路と、前記コア平面回路の一端部側に設けられた前記上面側コア層間回路と、前記コア平面回路の他端部側に設けられた前記下面側コア層間回路と、が接続面のない一体の導電体から形成されたコア部が製造され、
前記コア部の上面全体を覆う上面側導電体がメッキ処理により設けられる第十五工程と、
上面側表層エッチングレジストが設けられる第十七工程と、
前記上面側表層エッチングレジストに従いエッチング処理がされて、前記上面側コア層間回路と前記上面側コア絶縁層とに渡って上面側表層回路が形成される第十九工程と、
前記上面側表層エッチングレジストを除去する第二十一工程と、
前記コア部の下面全体を覆う下面側導電体がメッキ処理により設けられる第十六工程と、
下面側表層エッチングレジストが設けられる第十八工程と、
前記下面側表層エッチングレジストに従いエッチング処理がされて、前記下面側コア層間回路と前記下面側コア絶縁層とに渡って下面側表層回路が形成される第二十工程と、
前記下面側表層エッチングレジストを除去する第二十二工程と、
からなることを特徴とする。
本発明のプリント基板の製造方法は、
プリント基板の製造方法であって、
請求項1記載の前記第一工程乃至前記第十四工程又は請求項2記載の前記第百一工程乃至第百十四工程と、
前記コア部の上面全体を覆う上面側導電体がメッキ処理により設けられる第十五工程と、
前記上面側導電体に対し、上面側内層層間回路となる部分及び上面側内層平面回路となる部分を覆う上面側内層第一エッチングレジストが設けられる第三十一工程と、
前記上面側内層第一エッチングレジストに従いエッチング処理がされ、前記コア部の前記絶縁体が露出する上面側凹み部が設けられる第三十二工程と、
前記上面側内層第一エッチングレジストが除去される第三十三工程と、
前記上面側導電体の前記上面側内層層間回路となる部分を覆う上面側内層第二エッチングレジストが設けられる第三十四工程と、
前記上面側内層第二エッチングレジストに従いエッチング処理がされ、前記絶縁体が露出しない凹み部と、前記絶縁体が露出する前記上面側凹み部と、前記上面側内層層間回路と、前記上面側内層平面回路と、が形成される第三十五工程と、
前記上面側内層第二エッチングレジストが除去される第三十六工程と、
前記絶縁体が露出する前記上面側凹み部と、前記絶縁体が露出しない前記凹み部とに絶縁体が充填され、上面側内層絶縁層が設けられ、前記上面側内層絶縁層の上面と前記上面側内層層間回路の上面とに渡って全面が整面処理される第三十七工程と、が行われ、
前記上面側内層層間回路と、前記上面側内層平面回路と、前記上面側内層絶縁層と、からなり、前記上面側内層層間回路と、前記上面側内層平面回路と、が接続面のない一体の導電体から形成された上面側内層部が形成され、
メッキ処理により、前記上面側内層部の上面全体を覆う上面側導電体が設けられる第三十八工程と、
前記上面側導電体に対し、エッチング処理が行われ、前記上面側内層部とは異なる他の上面側内層部が設けられる工程又は上面側表層回路が形成される工程と、
前記コア部の下面側全体を覆う下面側導電体がメッキ処理により設けられる第十六工程と、
前記下面側導電体に対し、エッチング処理が行われ、下面側内層層間回路と、下面側内層平面回路と、下面側内層絶縁層と、からなり、前記下面側内層層間回路と、前記下面側内層平面回路と、が接続面のない一体の導電体から形成された下面側内層部が形成される工程又は下面側表層回路が形成される工程と、を含むことを特徴とする。
又、本発明のプリント基板の製造方法にあっては、
プリント基板の製造方法であって、
請求項1記載の前記第一工程乃至前記第十四工程又は請求項2記載の前記第百一工程乃至第百十四工程と、
前記コア部の上面全体を覆う上面側導電体がメッキ処理により設けられる第十五工程と、
前記上面側導電体に対し、上面側内層層間回路となる部分及び上面側内層平面回路となる部分を覆う上面側内層第一エッチングレジストが設けられる第五十一工程と、
前記上面側内層第一エッチングレジストに従いエッチング処理がされ、前記コア部の前記絶縁体が露出しない上面側凹み部が設けられる第五十二工程と、
前記上面側内層第一エッチングレジストが除去される第五十三工程と、
前記上面側導電体の前記上面側内層層間回路となる部分を覆う上面側内層第二エッチングレジストが設けられる第五十四工程と、
前記上面側内層第二エッチングレジストに従いエッチング処理がされ、前記第五十二工程で設けられた前記上面側凹み部よりも深く前記コア部の前記絶縁体が露出する上面側凹み部と、前記コア部の前記絶縁体が露出する前記上面側凹み部よりも浅く前記絶縁体が露出しない上面側凹み部と、前記上面側内層層間回路と、前記上面側内層平面回路と、が形成される第五十五工程と、
前記上面側内層第二エッチングレジストが除去される第五十六工程と、
前記絶縁体が露出する前記上面側凹み部と、前記絶縁体が露出しない前記上面側凹み部とに絶縁体が充填され、上面側内層絶縁層が設けられ、前記上面側内層絶縁層の上面と前記上面側内層層間回路の上面とに渡って全面が整面処理される第三十七工程と、が行われ、
前記上面側内層層間回路と、前記上面側内層平面回路と、前記上面側内層絶縁層と、からなり、前記上面側内層層間回路と、前記上面側内層平面回路と、が接続面のない一体の導電体から形成された上面側内層部が形成され、
メッキ処理により、前記上面側内層部の上面全体を覆う上面側導電体が設けられる第三十八工程と、
前記上面側導電体に対し、エッチング処理が行われ、前記上面側内層部とは異なる他の上面側内層部が設けられる工程又は上面側表層回路が形成される工程と、
前記コア部の下面側全体を覆う下面側導電体がメッキ処理により設けられる第十六工程と、
前記下面側導電体に対し、エッチング処理が行われ、下面側内層層間回路と、下面側内層平面回路と、下面側内層絶縁層と、からなり、前記下面側内層層間回路と、前記下面側内層平面回路と、が接続面のない一体の導電体から形成された下面側内層部が形成される工程又は下面側表層回路が形成される工程と、を含むことを特徴とする。
又、本発明のプリント基板の製造方法にあっては、
プリント基板の製造方法であって、
請求項1記載の前記第一工程乃至前記第十四工程又は請求項2記載の前記第百一工程乃至第百十四工程と、
前記コア部の上面全体を覆う上面側導電体がメッキ処理により設けられる第十五工程と、
前記上面側導電体に対し、上面側内層層間回路となる部分を覆う上面側内層第一エッチングレジストが設けられる第七十一工程と、
前記上面側内層第一エッチングレジストに従いエッチング処理がされ、前記コア部の前記絶縁体が露出しない上面側凹み部が設けられる第七十二工程と、
前記上面側内層第一エッチングレジストが除去される第七十三工程と、
前記上面側導電体の前記上面側内層層間回路となる部分及び前記上面側内層平面回路となる部分を覆う上面側内層第二エッチングレジストが設けられる第七十四工程と、
前記上面側内層第二エッチングレジストに従いエッチング処理がされ、前記第七十二工程で設けられた前記絶縁体が露出しない前記上面側凹み部よりも深く前記絶縁体が露出する上面側凹み部と、前記絶縁体が露出しない前記上面側凹み部と、前記上面側内層層間回路と、前記上面側内層平面回路と、が形成される第七十五工程と、
前記上面側内層第二エッチングレジストが除去される第七十六工程と、
前記絶縁体が露出する前記上面側凹み部と、前記絶縁体が露出しない前記上面側凹み部とに絶縁体が充填され、上面側内層絶縁層が設けられ、前記上面側内層絶縁層の上面と前記上面側内層層間回路の上面とに渡って全面が整面処理される第三十七工程と、が行われ、
前記上面側内層層間回路と、前記上面側内層平面回路と、前記上面側内層絶縁層と、からなり、前記上面側内層層間回路と、前記上面側内層平面回路と、が接続面のない一体の導電体から形成された上面側内層部が形成され、
メッキ処理により、前記上面側内層部の上面全体を覆う上面側導電体が設けられる第三十八工程と、
前記上面側導電体に対し、エッチング処理が行われ、前記上面側内層部とは異なる他の上面側内層部が設けられる工程又は上面側表層回路が形成される工程と、
前記コア部の下面側全体を覆う下面側導電体がメッキ処理により設けられる第十六工程と、
前記下面側導電体に対し、エッチング処理が行われ、下面側内層層間回路と、下面側内層平面回路と、下面側内層絶縁層と、からなり、前記下面側内層層間回路と、前記下面側内層平面回路と、が接続面のない一体の導電体から形成された下面側内層部が形成される工程又は下面側表層回路が形成される工程と、を含むことを特徴とする。
本発明のプリント基板の製造方法は、
プリント基板の製造方法であって、
表面が平坦な板状の導電体に上面側コア層間回路となる部分及びコア平面回路となる部分を覆う上面側第一エッチングレジストが設けられる第一工程と、
前記導電体に、下面側コア層間回路となる部分及び前記コア平面回路となる部分を覆う下面側第一エッチングレジストが設けられる第二工程と、
前記上面側第一エッチングレジストに従い前記導電体に対してエッチング処理が行われ、前記導電体の上面から内部に凹む上面側凹み部が設けられる第三工程と、
前記下面側第一エッチングレジストに従い前記導電体に対してエッチング処理が行われ、前記導電体の下面から内部に凹む下面側凹み部が設けられる第四工程と、
前記上面側第一エッチングレジストを除去する第五工程と、
前記下面側第一エッチングレジストを除去する第六工程と、
前記導電体の上面に前記上面側コア層間回路となる部分を覆う上面側第二エッチングレジストと、前記導電体の下面側全体を覆う下面側第二エッチングレジストと、が設けられる第七工程と、
前記上面側第二エッチングレジストに従い前記導電体に対してエッチング処理が行われ、前記第三工程で設けられた前記上面側凹み部がさらにエッチングされて形成された上面側凹み部と、前記上面側凹み部よりも浅い上面側凹み部と、前記上面側コア層間回路と、コア平面回路中間体と、が形成される第八工程と、
前記導電体から前記上面側第二エッチングレジストと、前記下面側第二エッチングレジストと、が除去される第九工程と、
前記第八工程で設けられた前記上面側凹み部と、前記浅い上面側凹み部と、に絶縁体が充填され、上面側コア絶縁層が設けられ、前記上面側コア絶縁層の上面と前記上面側コア層間回路の上面とに渡って全面が整面処理される第十工程と、
前記導電体の下面に前記下面側コア層間回路となる部分を覆う下面側第二エッチングレジストと、前記導電体の上面側全体を覆う上面側第二エッチングレジストと、を設ける第十一工程と、
前記下面側第二エッチングレジストに従い前記導電体に対してエッチング処理が行われ、前記下面側凹み部がさらにエッチングされて形成された下面側凹み部と、前記下面側凹み部よりも浅い下面側凹み部と、前記下面側コア層間回路と、前記コア平面回路と、が形成される第十二工程と、
前記下面側第二エッチングレジストと、前記上面側第二エッチングレジストと、が除去される第十三工程と、
第十二工程で設けられた前記下面側凹み部と、第十二工程で設けられた前記浅い下面側凹み部と、に前記絶縁体が充填され、下面側コア絶縁層が設けられ、前記下面側コア絶縁層の下面と下面側コア層間回路の下面とに渡って全面が整面処理される第十四工程と、が行われ、
平面方向に延びる前記コア平面回路と、前記コア平面回路の一端部側に設けられた前記上面側コア層間回路と、前記コア平面回路の他端部側に設けられた前記下面側コア層間回路と、前記上面側コア絶縁層と、前記下面側コア絶縁層と、からなり、平面方向に延びる前記コア平面回路と、前記コア平面回路の一端部側に設けられた前記上面側コア層間回路と、前記コア平面回路の他端部側に設けられた前記下面側コア層間回路と、が接続面のない一体の導電体から形成されたコア部が製造され、
前記コア部の上面全体を覆う上面側導電体がメッキ処理により設けられる第十五工程と、
上面側表層エッチングレジストが設けられる第十七工程と、
前記上面側表層エッチングレジストに従いエッチング処理がされて、前記上面側コア層間回路と前記上面側コア絶縁層とに渡って上面側表層回路が形成される第十九工程と、
前記上面側表層エッチングレジストを除去する第二十一工程と、
前記コア部の下面全体を覆う下面側導電体がメッキ処理により設けられる第十六工程と、
下面側表層エッチングレジストが設けられる第十八工程と、
前記下面側表層エッチングレジストに従いエッチング処理がされて、前記下面側コア層間回路と前記下面側コア絶縁層とに渡って下面側表層回路が形成される第二十工程と、
前記下面側表層エッチングレジストを除去する第二十二工程と、
からなることを特徴とするか、
又は、
プリント基板の製造方法であって、
表面が平坦な板状の導電体に上面側コア層間回路となる部分及びコア平面回路となる部分を覆う上面側第一エッチングレジストと、前記導電体の下面側全体を覆う下面側第一エッチングレジストと、が設けられる第百一工程と、
前記上面側第一エッチングレジストに従い導電体に対してエッチング処理が行われ、導電体の上面から内部に凹む上面側凹み部が設けられる第百三工程と、
前記上面側第一エッチングレジストと、前記下面側第一エッチングレジストと、を除去する第百五工程と、
前記導電体の上面に前記上面側コア層間回路となる部分を覆う上面側第二エッチングレジストと、前記導電体の下面側全体を覆う下面側第二エッチングレジストと、を設ける第百七工程と、
前記上面側第二エッチングレジストに従い前記導電体に対してエッチング処理が行われ、前記第百三工程で設けられた前記上面側凹み部がさらにエッチングされて形成された上面側凹み部と、前記上面側凹み部よりも浅い上面側凹み部と、前記上面側コア層間回路と、コア平面回路中間体と、が形成される第百八工程と、
前記上面側第二エッチングレジストと、前記下面側第二エッチングレジストと、が除去される第百九工程と、
前記第百八工程で設けられた前記上面側凹み部と、前記浅い上面側凹み部とに絶縁体が充填され、上面側コア絶縁層が設けられ、前記上面側コア絶縁層の上面と前記上面側コア層間回路の上面とに渡って全面が整面処理される第百十工程と、
前記導電体の下面に前記下面側コア層間回路となる部分を覆う下面側第二エッチングレジストと、前記導電体の上面側全体を覆う上面側第二エッチングレジストと、を設ける第百十一工程と、
前記下面側第二エッチングレジストに従い前記導電体に対してエッチング処理が行われ、前記絶縁体が露出する下面側凹み部と、前記下面側コア層間回路と、前記コア平面回路と、が形成される第百十二工程と、
前記下面側第二エッチングレジストと前記上面側第二エッチングレジストとが除去される第百十三工程と、
第百十二工程で設けられた前記下面側凹み部に前記絶縁体が充填され、下面側コア絶縁層が設けられ、前記下面側コア絶縁層の下面と下面側コア層間回路の下面とに渡って全面が整面処理される第百十四工程と、が行われ、
平面方向に延びる前記コア平面回路と、前記コア平面回路の一端部側に設けられた前記上面側コア層間回路と、前記コア平面回路の他端部側に設けられた前記下面側コア層間回路と、前記上面側コア絶縁層と、前記下面側コア絶縁層と、からなり、平面方向に延びる前記コア平面回路と、前記コア平面回路の一端部側に設けられた前記上面側コア層間回路と、前記コア平面回路の他端部側に設けられた前記下面側コア層間回路と、が接続面のない一体の導電体から形成されたコア部が製造され、
前記コア部の上面全体を覆う上面側導電体がメッキ処理により設けられる第十五工程と、
上面側表層エッチングレジストが設けられる第十七工程と、
前記上面側表層エッチングレジストに従いエッチング処理がされて、前記上面側コア層間回路と前記上面側コア絶縁層とに渡って上面側表層回路が形成される第十九工程と、
前記上面側表層エッチングレジストを除去する第二十一工程と、
前記コア部の下面全体を覆う下面側導電体がメッキ処理により設けられる第十六工程と、
下面側表層エッチングレジストが設けられる第十八工程と、
前記下面側表層エッチングレジストに従いエッチング処理がされて、前記下面側コア層間回路と前記下面側コア絶縁層とに渡って下面側表層回路が形成される第二十工程と、
前記下面側表層エッチングレジストを除去する第二十二工程と、からなることから、平面方向に延びるコア平面回路と、コア平面回路の一端部側に設けられた上面側コア層間回路と、コア平面回路の他端部側に設けられた下面側コア層間回路とが接続面のない同じ金属から一体に製造できるため、上面側コア層間回路と下面側コア層間回路とコア平面回路との間で接続不良のおこりにくい効果がある。
(1)図は発明を実施するための形態1に係るプリント基板の平面図。(2)図は(1)図に記載のA−A断面図。 発明を実施するための形態1に係るプリント基板の製造方法の工程図。 発明を実施するための形態1に係るプリント基板の製造方法の工程図。 発明を実施するための形態1に係るプリント基板の製造方法の工程図。 発明を実施するための形態1に係るプリント基板の製造方法の工程図。 発明を実施するための形態2に係るプリント基板の断面図。 発明を実施するための形態2に係るプリント基板の製造方法の工程図。 発明を実施するための形態2に係るプリント基板の製造方法の工程図。 発明を実施するための形態3に係るプリント基板の製造方法の工程図。 発明を実施するための形態4に係るプリント基板の製造方法の工程図。 発明を実施するための形態5に係るプリント基板の製造方法の工程図。 発明を実施するための形態5に係るプリント基板の製造方法の工程図。 発明を実施するための形態5に係るプリント基板の製造方法の工程図。 (1)図は発明を実施するための形態6に係るプリント基板の平面図。(2)図は(1)図に記載のA−A断面図。 従来のプリント基板のスルーホール部分の断面図。
図1を参照し、発明を実施するための形態1に係るプリント基板の構造について説明する。図1(1)はプリント基板1の平面図である。従来のプリント基板と異なり、各層間を接続するためのZ軸(板厚)方向の貫通孔が設けられていない。図1(2)について説明すると、プリント基板1はコア部2と表層部3とを有する。コア部2はコア回路部12とコア絶縁層13とを備える。尚、本明細書内で作成される導電体からなる回路は、電気が流れるように電子部品と接続され、電気を流すための回路となる場合と、電気を流す目的ではなく、プリント基板の熱やプリント基板に取り付けられた電子部品の熱を放出させるための回路となる場合との両方を含む。しかしながら、電気を流すための回路に適用することで、電気が流れなくなる接続不良が起こりにくいプリント基板とすることができる。
コア回路部12は、板状の導電体を上面側及び下面側からエッチング処理を行うことにより作成される。コア回路部12は、上面側コア層間回路21と下面側コア層間回路22とコア平面回路23とを備える。上面側コア層間回路21と下面側コア層間回路22は板厚方向(Z軸方向)に延びる回路であり、コア平面回路23は平面(X−Y軸方向)方向に延びる回路である。
上面側コア層間回路21とコア平面回路23は、板状の導電体を同じ面側から2回エッチング処理することにより、背の高い上面側コア層間回路21と背の低いコア平面回路23とが接続面のない同じ金属で一体に形成される。よって、上面側コア層間回路21とコア平面回路23との接続部分がない構造となっている。
又、下面側コア層間回路22とコア平面回路23は、板状の導電体を同じ面側から2回エッチング処理することにより、背の高い下面側コア層間回路22と背の低いコア平面回路23とが接続面のない同じ金属で一体に形成される。よって、下面側コア層間回路22とコア平面回路23との接続部分がない構造となっている。
以上のことから、コア回路部12は、上面側コア層間回路21と下面側コア層間回路22とコア平面回路23は互いに接続面のない同じ金属から一体に形成された導電体であり、接続面の剥離による接続不良の起こりにくい構造になっている。従来のメッキ処理による接続面を有する回路とは異なり、接続面を有することによる電気抵抗がない。
コア絶縁層13は、上面側コア絶縁層24と下面側コア絶縁層25とを備える。上面側コア絶縁層24は、上面側から2回エッチング処理して形成された凹み部に後述する絶縁体39が埋め込まれた構成である。下面側コア絶縁層25は、下面側から2回エッチング処理して形成された凹み部に絶縁体39が埋め込まれた構成である。
コア絶縁層13は、上面側コア絶縁層24の下面と下面側コア絶縁層25上面とが互いに接触して接合された状態であり、接続面26がプリント基板1のX−Y平面方向に存在する。又、上面側コア絶縁層24は、上面側コア層間回路21とコア平面回路23と接合しており、下面側コア絶縁層25は、下面側コア層間回路22とコア平面回路23と接合している。接続面26は、コア平面回路23の上面と下面との中間部分に存在し、プリント基板1の板厚方向であるZ軸と交差する面である。
表層部3は上面側表層回路27と下面側表層回路28とを備える。表層部3はメッキ処理により上面側導電体が設けられ、上面側導電体がエッチング処理されて上面側表層回路27と下面側表層回路28が設けられる。上面側表層回路27は、上面側コア層間回路21の上面と上面側コア絶縁層24とに渡って設けられている。又、下面側表層回路28は、下面側コア層間回路22の下面と下面側コア絶縁層25の下面とに渡って設けられている。
上面側コア絶縁層24の上面と上面側コア層間回路21の上面が整面処理されて面一の状態にされ、面一になった面の全体がメッキ処理される。よって、メッキ液が上面側コア絶縁層24の上面と上面側コア層間回路21の上面とに良好に接触することから、上面側導電体が良好で設けられ、接続不良がおこりにくい。上面側表層回路27は、上面側コア層間回路21の上面全体と上面側コア絶縁層24の上面の一部と接合した状態である。
又、下面側コア絶縁層25の下面と下面側コア層間回路22の下面が整面処理されて面一の状態にされ、面一になった面の全体がメッキ処理される。よって、メッキ液が下面側コア絶縁層25の下面と下面側コア層間回路22の下面とに良好に接触することから、下面側導電体が良好に設けられ、接続不良がおこりにくい。下面側表層回路28は、下面側コア層間回路22の下面全体かつ下面側コア絶縁層25の下面の一部と接合した状態である。
以上のように、従来のスルーホールを有するプリント基板に比べ、プリント基板1は、メッキ処理時にメッキ液と導電体との接触を良好な状態で行いかつメッキ処理時に作成される導電体とコア部2の上面側導電体及び下面側導電体との接続箇所が最小限になる構造としたため、プリント基板1が熱膨張を起こしても接続箇所が少ないことから接続不良の起こりにくい効果を有する。
図2乃至図5を参照し、発明を実施するための形態1に係るプリント基板1の製造方法について説明する。
図2(1)に示すように、コア部2を作成するために、表面が平坦な板状の導電体として金属体5が準備される。金属体5は、銅やアルミニウムを用いることが可能であるが、これらに限定されることなく、プリント基板の電気回路として電気を通す物質であれば導電体として利用可能である。
図2(2)に示すように、金属体5に上面側コア層間回路21とコア平面回路23となる部分を覆う上面側第一エッチングレジスト31を設ける第一工程と、下面側コア層間回路22とコア平面回路23となる部分を覆う下面側第一エッチングレジスト32を設ける第二工程とが行われる。
次に、金属体5に対するエッチング処理が行われる。図2(3)に示すように、第一工程と第二工程の後に、上面側第一エッチングレジスト31と下面側第一エッチングレジスト32に従い金属体5に対してエッチング処理を行う。金属体5の上面から内部に凹む上面側凹み部33が設けられる。この工程は第三工程に該当する。又、金属体5の下面から内部に凹む下面側凹み部34が設けられる。この工程は第四工程に該当する。
図2(4)に示すように、第三工程及び第四工程の後に金属体5から上面側第一エッチングレジスト31を除去する第五工程と、金属体5から下面側第一エッチングレジスト32を除去する第六工程とが行われる。
図3(1)に示すように、第五工程及び第六工程の後に、金属体5の上面に上面側コア層間回路21となる部分を覆う上面側第二エッチングレジスト35と、金属体5の下面側全体を覆う下面側第二エッチングレジスト235が設けられる。この工程は第七工程に該当する。
次に、第七工程の後に、金属体5の上面側に対するエッチング処理が行われる。図3(2)に示すように、上面側第二エッチングレジスト35に従い金属体5に対してエッチング処理を行う。この工程は第八工程に該当し、上面側凹み部36と上面側凹み部37とが設けられる。上面側凹み部33がさらにエッチングされて上面側凹み部36となり、上面側第一エッチングレジスト31で覆われていた箇所がエッチングされることにより、上面側凹み部36よりも浅い上面側凹み部37が設けられる。この工程により、上面側コア層間回路21と、コア平面回路中間体38が形成される。
第八工程の後、図3(3)に示すように、上面側第二エッチングレジスト35と下面側第二エッチングレジスト235とが除去される。この工程は第九工程に該当する。
その後、第九工程の後に、金属体5の上面側表面と絶縁体39との密着性を上げるため、金属体5の上面側表面の粗化が行われる。そして、図3(4)に示すように、第八工程で設けられた上面側凹み部36と上面側凹み部37とに絶縁体39が充填されて硬化させられることにより、上面側コア絶縁層24が設けられる。上面側コア絶縁層24の上面と上面側コア層間回路21の上面とに渡って全面が整面処理され、上面全体が面一となる。この整面処理は第十工程に該当する。
図4(1)に示すように、第十工程の後に、金属体5の下面に下面側コア層間回路22となる部分を覆う下面側第二エッチングレジスト40と、金属体5の上面側全体を覆う上面側第二エッチングレジスト240が設けられる。この工程は第十一工程に該当する。
次に、第十一工程の後に、金属体5の下面側に対するエッチング処理が行われる。図4(2)に示すように、下面側第二エッチングレジスト40に従い金属体5に対してエッチング処理を行う。下面側凹み部34がさらにエッチングされて下面側凹み部41となり、下面側第一エッチングレジスト32で覆われていた箇所がエッチングされることにより、下面側凹み部41よりも浅い下面側凹み部42が設けられる。この工程は第十二工程に該当する。この工程により、下面側コア層間回路22と、コア平面回路23が形成される。尚、この第十二工程では、下面側凹み部41は、上面側コア絶縁層24の絶縁体39が露出するまでエッチングされる。又、下面側凹み部42は、絶縁体39が露出していない状態である。
第十二工程の後、図4(3)に示すように、下面側第二エッチングレジスト40と上面側第二エッチングレジスト240とが除去される。この工程は第十三工程に該当する。
その後、第十三工程の後に、金属体5の下面側表面と絶縁体39との密着性を上げるため、金属体5の下面側表面の粗化が行われる。そして、図4(4)に示すように、第十二工程で設けられた下面側凹み部41と下面側凹み部42とに絶縁体39が充填されて硬化させられることにより、下面側コア絶縁層25が設けられる。この工程により、上面側コア絶縁層24の下面と下面側コア絶縁層25上面とに互いに接触する接続面26が構成される。下面側コア絶縁層25の下面と下面側コア層間回路22の下面とに渡って全面が整面処理され、下面全体が面一となる。この整面処理は第十四工程に該当し、コア部2が製造される。
図5(1)に示すように、第十四工程の後にコア部2の上面の全面と下面の全面とを粗面化処理した後、メッキ処理が行われる。メッキ処理により、コア部2の上面全体を覆う表層部3の上面側導電体45が設けられる第十五工程が行われ、コア部2の下面全体を覆う表層部3の下面側導電体46が設けられる第十六工程が行われる。
その後、図5(2)に示すように、上面側表層エッチングレジスト47が設けられる。この工程は第十七工程に該当する。又、下面側表層エッチングレジスト48が設けられる。この工程は第十八工程に該当する。
次に、図5(3)に示すように、上面側表層エッチングレジスト47に従い、エッチング処理がされて、上面側表層回路27が形成される。この工程は第十九工程に該当する。又、下面側表層エッチングレジスト48に従い、エッチング処理がされて、下面側表層回路28が形成される。この工程は第二十工程に該当する。
その後、上面側表層エッチングレジスト47を除去する第二十一工程と下面側表層エッチングレジスト48を除去する第二十二工程が行われ、その後、ソルダーレジスト等の塗布が行われる。
以上、第一工程乃至第二十二工程を行うことにより、プリント基板1が製造される。このプリント基板1は、高電圧かつ大電流が流されてプリント基板に熱膨張が生じても、上面側導電体45と下面側導電体46とコア部2の導電体からなる回路の接続不良の起こりにくい櫓(出願人登録商標)基板となる。コア部2は、金属体5からなるコア回路部12がコア絶縁層13の内部に埋め込まれた状態となる。尚、第一工程、第三工程、第五工程、第七工程乃至第十工程を行った後、第二工程、第四工程、第六工程、第十一工程乃至第十四工程を行うことも可能である。尚、本発明を実施するための形態では、図1において、平面方向に延びるコア平面回路23と、コア平面回路23の一端部側に設けられた上面側コア層間回路21と、コア平面回路23の他端部側に設けられた下面側コア層間回路22とを備えた場合を例示した。しかしながら、図14に示す実施の形態6のコア部2のように、コア平面回路23と、上面側コア層間回路21と、下面側コア層間回路22とが、同一平面(X−Y軸)上に配置されかつ板厚(Z軸)方向に一直線上に繋がった回路として設けられる場合もある。又、同様に、表層部3が設けられたプリント基板1の状態において、上面側表層回路27と下面側表層回路28とコア平面回路23と上面側コア層間回路21と下面側コア層間回路22とがプリント基板1の同一平面(X−Y軸)上に配置されかつ板厚(Z軸)方向に一直線上に繋がった回路として設けられる場合もある。
図6を参照し、発明を実施するための形態2に係るプリント基板51の構造について説明する。図6に示すコア部2の構造と表層部3の構造は、発明を実施するための形態1と同じである。発明を実施するための形態2では、コア部2と表層部3の間に第一内層部52が設けられた点が、実施の形態1のプリント基板1と異なる。
第一内層部52は、上面側第一内層部53と下面側第一内層部54とを備える。上面側第一内層部53は、上面側内層層間回路55と上面側内層平面回路56と上面側内層絶縁層57とを備える。
上面側内層層間回路55と上面側内層平面回路56は、メッキにより作成された上面側導電体65(図7(1)参照)を同じ面の側から2回エッチング処理することにより、背の高い上面側内層層間回路55と背の低い上面側内層平面回路56とが接続面のない同じ金属で一体に形成される。よって、上面側内層層間回路55と上面側内層平面回路56とは接続部分がない構造となっており、接続面を有することによる電気抵抗がない。上面側内層平面回路56は、上面側コア層間回路21の上面と上面側コア絶縁層24とに渡って設けられている。
上面側内層絶縁層57は、上面側から2回エッチング処理して形成された凹み部に後述する絶縁体63が埋め込まれた構成である。上面側内層絶縁層57は、コア部2の絶縁体39と接触して接合された状態であり、接続面61がプリント基板51のX−Y平面方向に存在する。
上面側内層層間回路55の上面側表層回路27の側の面は、上面側内層絶縁層57が設けられた後、整面処理されて面一の状態で全体がメッキ処理される。よって、メッキ液が上面側内層層間回路55の上面側表層回路27の側の面と良好に接触する。従って、上面側コア層間回路21の上面と上面側内層平面回路56のコア部2の側の面とは、良好なメッキ処理が可能であり、接続不良がおこりにくい。メッキ処理により作成された上面側導電体65(図7(1)参照)がエッチング処理されて上面側内層層間回路55と上面側内層平面回路56が設けられる。
下面側第一内層部54は、下面側内層層間回路58と下面側内層平面回路59と下面側内層絶縁層60とを備える。下面側内層層間回路58と下面側内層平面回路59は、メッキにより作成された下面側導電体66(図7(1)参照)を同じ面側から2回エッチング処理することにより、背の高い下面側内層層間回路58と背の低い下面側内層平面回路59とが接続面のない同じ金属で一体に形成される。よって、下面側内層層間回路58と下面側内層平面回路59とは接続部分がない構造となっており、接続面を有することによる電気抵抗がない。下面側内層平面回路59は、下面側表層回路28は、下面側コア層間回路22の下面と下面側コア絶縁層25の下面とに渡って設けられている。
下面側内層絶縁層60は、下面側から2回エッチング処理して形成された凹み部に後述する絶縁体63が埋め込まれた構成である。下面側内層絶縁層60は、コア部2の絶縁体39と接触して接合された状態であり、接続面62がプリント基板51のX−Y平面方向に存在する。
下面側内層層間回路58の下面側表層回路28の側の面は、下面側内層絶縁層60が設けられた後、整面処理されて面一の状態で全体がメッキ処理される。よって、メッキ液が下面側内層層間回路58の下面側表層回路28の側の面と良好に接触する。従って、下面側コア層間回路22の下面と下面側内層平面回路59のコア部2の側の面とは、良好なメッキ処理が可能であり、接続不良がおこりにくい。メッキ処理により作成された下面側導電体66(図7(1)参照)がエッチング処理されて下面側内層層間回路58と下面側内層平面回路59が設けられる。
以上のように、従来のスルーホールを有するプリント基板に比べ、プリント基板51は、メッキ処理時にメッキ液と導電体との接触を良好な状態で行うことができる。メッキ処理時に作成される上面側導電体45;65と下面側導電体46;66どうし及び上面側導電体65と下面側導電体66とコア部2の導電体どうしとの接続箇所が最小限になる構造であるため、プリント基板51が熱膨張を起こしても、接続箇所が少ないことから接続不良の起こりにくい効果を有する。
図7乃至図8を参照し、発明を実施するための形態2に係るプリント基板51の製造方法について説明する。プリント基板51のコア部2の製造方法は、発明を実施するための形態1の第一工程乃至第十六工程と同じ工程により作成される。第十五工程及び第十六工程において、メッキ処理により、コア部2の上面全体を覆う第一内層部52の上面側導電体65及び下面全体を覆う第一内層部52の下面側導電体66が作成される。
その後、図7(1)に示すように、上面側内層層間回路55と上面側内層平面回路56となる部分を覆う上面側内層第一エッチングレジスト67が設けられる。この工程は、第三十一工程に該当する。又、下面側内層層間回路58と下面側内層平面回路59となる部分を覆う下面側内層第一エッチングレジスト68が設けられる。この工程は、第四十一工程に該当する。
その後、上面側導電体65に対するエッチング処理が行われる。図7(2)に示すように、上面側内層第一エッチングレジスト67に従いエッチング処理がされる。本工程は第三十二工程に該当する。エッチング処理がされることにより、上面側凹み部69が形成される。上面側凹み部69はコア部2の側の絶縁体39が露出する状態となる。
又、下面側内層第一エッチングレジスト68に従いエッチング処理がされる。本工程は第四十二工程に該当する。エッチング処理がされることにより、下面側凹み部70が形成される。下面側凹み部70はコア部2の側の絶縁体39が露出する状態となる。
次に、上面側内層第一エッチングレジスト67が除去される。この工程は、第三十三工程に該当する。又、下面側内層第一エッチングレジスト68が除去される。この工程は、第四十三工程に該当する。
図7(3)に示すように、上面側導電体65の上面側内層層間回路55となる部分を覆う上面側内層第二エッチングレジスト71が設けられる。この工程は第三十四工程に該当する。又、下面側導電体66の下面側内層層間回路58となる部分を覆う下面側内層第二エッチングレジスト72が設けられる。この工程は第四十四工程に該当する。
その後、上面側導電体65に対するエッチング処理が行われる。図7(4)に示すように、上面側内層第二エッチングレジスト71に従いエッチング処理がされる。本工程は第三十五工程に該当する。エッチング処理がされることにより、上面側凹み部73が形成される。上面側凹み部73は上面側凹み部69よりも深さが浅い凹みであり、絶縁体39が露出しない状態である。本工程により、上面側内層層間回路55と上面側内層平面回路56とが形成される。
又、下面側導電体66に対するエッチング処理が行われる。図7(4)に示すように、下面側内層第二エッチングレジスト72に従いエッチング処理がされる。本工程は第四十五工程に該当する。エッチング処理がされることにより、下面側凹み部74が形成される。下面側凹み部74は下面側凹み部70よりも深さが浅い凹みであり、絶縁体39が露出しない状態である。本工程により、下面側内層層間回路58と下面側内層平面回路59とが形成される。
次に、上面側内層第二エッチングレジスト71が除去される。この工程は、第三十六工程に該当する。又、下面側内層第二エッチングレジスト72が除去される。この工程は、第四十六工程に該当する。
第三十六工程の後に、上面側導電体65と絶縁体39との密着性を上げるため、表面の粗化が行われる。そして、図8(1)に示すように、上面側凹み部69と上面側凹み部73とに絶縁体63が充填されて硬化させられることにより、上面側内層絶縁層57が設けられる。上面側内層絶縁層57の表層部3の側の面と上面側内層層間回路55の表層部3の側の面とが全面に渡って整面処理され、上面側第一内層部53の表層部3の側の面全体が面一となる。この整面処理は第三十七工程に該当する。
又、第四十六工程の後に、下面側導電体66と絶縁体39との密着性を上げるため、表面の粗化が行われる。そして、図8(1)に示すように、下面側凹み部70と下面側凹み部74とに絶縁体63が充填されて硬化させられることにより、下面側内層絶縁層60が設けられる。下面側内層絶縁層60の表層部3の側の面と下面側内層層間回路58の表層部3の側の面とが整面処理により下面側第一内層部54の表層部3の側の面全体が面一となる。この整面処理は第四十七工程に該当する。
次に、図8(2)に示すように、メッキ処理が行われ、上面側第一内層部53の表層部3の側の面全体を覆う表層部3の上面側導電体45が設けられる。この工程は三十八工程に該当する。又、下面側第一内層部54の表層部3の側の面全体を覆う表層部3の下面側導電体46が設けられる。この工程は第四十八工程に該当する。
その後、発明を実施するための形態1の第一七工程乃至第二十二工程が行われ、上面側表層回路27及び下面側表層回路28が設けられることにより、図6に示すプリント基板51が作成される。
本実施の形態では、コア部2に対し、上面側第一内層部53と下面側第一内層部54とを設けたが、上面側第一内層部53又は下面側第一内層部54のどちらか一方のみを設けて表層部3を設けても良い。つまり、第三十一工程乃至第三十八工程を行うことにより上面側第一内層部53を設けた後、上面側表層回路27及び下面側表層回路28を設けたり、第四十一工程乃至第四十八工程を行うことにより下面側第一内層部54を設けた後、上面側表層回路27及び下面側表層回路28を設けたりしてもよい。
又、本実施の形態ではコア部2と表層部3との間に、第一内層部52を設けたが、第三十一工程乃至第三十八工程を繰り返すことにより、第二内層部、第三内層部を設けて複数の内層を有するプリント基板51にすることも可能である。又、第四十一工程乃至第四十八工程を繰り返すことにより、第二内層部、第三内層部を設けて複数の内層を有するプリント基板51にすることも可能である。尚、複数の内層部を設ける場合、コア部2の上面側と下面側とが同じ層数であってもよく、異なる層数であってもよい。又、コア部2の上面側と下面側のどちらか一方の面に内層部が設けられない場合もある。尚、図示はしないが、段落0044の図14の説明が本実施の形態にも適用可能である。上面側表層回路27と上面側内層層間回路55と上面側内層平面回路56とコア平面回路23と上面側コア層間回路21とがプリント基板1の同一平面(X−Y軸)上に配置されかつ板厚(Z軸)方向に一直線上に繋がった回路として設けられる場合もあり、さらに、前記回路に下面側コア層間回路22と下面側内層平面回路59も一直線上に繋がった回路として設けられる場合もある。又、上面側と下面側を入れ替えて適用することも可能である。尚、上面側表層回路27と下面側表層回路28と上面側内層層間回路55と上面側内層平面回路56と下面側内層層間回路58と下面側内層平面回路59コア平面回路23と上面側コア層間回路21と下面側コア層間回路22とがプリント基板1の同一平面(X−Y軸)上に配置されかつ板厚(Z軸)方向に一直線上に繋がった回路として設けられる場合もある。さらに、第二内層部、第三内層部のように、内層部を複数有する多層のプリント基板であっても同様である。
図9を参照し、発明を実施するための形態3に係るプリント基板51の製造方法について説明する。尚、発明を実施するための形態3に係るプリント基板51の構造は、発明を実施するための形態2のプリント基板51の構造と同じである。発明を実施するための形態3の製造方法は、発明を実施するための形態2の第一内層部52の製造方法が異なる。
プリント基板51のコア部2の製造方法は、発明を実施するための形態1の第一工程乃至第十六工程と同じ工程により作成される。第十六工程において、メッキ処理により、コア部2の上面全体を覆う第一内層部52の上面側導電体65及び下面全体を覆う第一内層部52の下面側導電体66が作成される。
その後、図9(1)に示すように、上面側内層層間回路55と上面側内層平面回路56となる部分を覆う上面側内層第一エッチングレジスト67が設けられる。この工程は、第五十一工程に該当する。又、下面側内層層間回路58と下面側内層平面回路59となる部分を覆う下面側内層第一エッチングレジスト68が設けられる。この工程は、第六十一工程に該当する。
その後、上面側導電体65に対するエッチング処理が行われる。図9(2)に示すように、上面側内層第一エッチングレジスト67に従いエッチング処理がされる。本工程は第五十二工程に該当する。エッチング処理がされることにより、上面側凹み部82が形成される。上面側凹み部82はコア部2の側の絶縁体39が露出しない状態である。
又、下面側内層第一エッチングレジスト68に従いエッチング処理がされる。本工程は第六十二工程に該当する。エッチング処理がされることにより、下面側凹み部83が形成される。下面側凹み部83はコア部2の側の絶縁体39が露出しない状態である。
次に、上面側内層第一エッチングレジスト67が除去される。この工程は、第五十三工程に該当する。又、下面側内層第一エッチングレジスト68が除去される。この工程は、第六十三工程に該当する。
図9(3)に示すように、上面側導電体65の上面側内層層間回路55となる部分を覆う上面側内層第二エッチングレジスト71が設けられる。この工程は第五十四工程に該当する。又、下面側導電体66の下面側内層層間回路58となる部分を覆う下面側内層第二エッチングレジスト72が設けられる。この工程は第六十四工程に該当する。
その後、上面側導電体65に対するエッチング処理が行われる。図9(4)に示すように、上面側内層第二エッチングレジスト71に従いエッチング処理がされる。本工程は第五十五工程に該当する。エッチング処理がされることにより、上面側凹み部84及び上面側凹み部85が形成される。上面側凹み部84は、上面側凹み部82よりも深く、絶縁体39が露出する状態である。上面側凹み部85は上面側凹み部84よりも深さが浅い凹みであり、絶縁体39が露出しない状態である。本工程により、上面側内層層間回路55と上面側内層平面回路56とが形成される。
又、下面側導電体66に対するエッチング処理が行われる。図9(4)に示すように、下面側内層第二エッチングレジスト72に従いエッチング処理がされる。本工程は第六十五工程に該当する。エッチング処理がされることにより、下面側凹み部86及び下面側凹み部87が形成される。下面側凹み部86は、下面側凹み部83よりも深く、絶縁体39が露出する状態である。下面側凹み部87は下面側凹み部86よりも深さが浅い凹みであり、絶縁体39が露出しない状態である。本工程により、下面側内層層間回路58と下面側内層平面回路59とが形成される。
次に、上面側内層第二エッチングレジスト71が除去される。この工程は、第五十六工程に該当する。又、下面側内層第二エッチングレジスト72が除去される。この工程は、第六十六工程に該当する。
その後、発明を実施するための形態2の第三十七工程、第三十八工程、第四十七工程及び第四十八工程が行われ、さらに、発明を実施するための形態1の第一七工程乃至第二十二工程が行われることにより、上面側表層回路27及び下面側表層回路28が設けられる。そして、図6に示すプリント基板51が作成される。
本実施の形態では、コア部2に対し、上面側第一内層部53と下面側第一内層部54とを設けたが、上面側第一内層部53又は下面側第一内層部54のどちらか一方のみを設けて表層部3を設けても良い。つまり、第五十一工程乃至第五十六工程と第三十七工程と第三十八工程を行うことにより上面側第一内層部53を設けた後、上面側表層回路27及び下面側表層回路28を設けたり、第六十一工程乃至第六十六工程と第四十七工程と第四十八工程を行うことにより下面側第一内層部54を設けた後、上面側表層回路27及び下面側表層回路28を設けたりしてもよい。又、本実施の形態ではコア部2と表層部3との間に、第一内層部52を設けたが、第五十一工程乃至第五十六工程と第三十七工程と第三十八工程を繰り返すことにより、第二内層部、第三内層部を設けて複数の内層を有するプリント基板51にすることも可能である。又、第六十一工程乃至第六十六工程と第四十七工程と第四十八工程を繰り返すことにより、第二内層部、第三内層部を設けて複数の内層を有するプリント基板51にすることも可能である。尚、複数の内層部を設ける場合、コア部2の上面側と下面側とが同じ層数であってもよく、異なる層数であってもよい。又、コア部2の上面側と下面側のどちらか一方の面に内層部が設けられない場合もある。
図10乃至を参照し、発明を実施するための形態4に係るプリント基板51の製造方法について説明する。尚、発明を実施するための形態4に係るプリント基板51の構造は、発明を実施するための形態2のプリント基板51の構造と同じである。発明を実施するための形態4の製造方法は、発明を実施するための形態2の第一内層部52の製造方法が異なる。
プリント基板51のコア部2の製造方法は、発明を実施するための形態1の第一工程乃至第十六工程と同じ工程により作成される。第十六工程において、メッキ処理により、コア部2の上面全体を覆う第一内層部52の上面側導電体65及び下面全体を覆う第一内層部52の下面側導電体66が作成される。
その後、図10(1)に示すように、上面側内層層間回路55となる部分を覆う上面側内層第一エッチングレジスト91が設けられる。この工程は、第七十一工程に該当する。又、下面側内層層間回路58となる部分を覆う下面側内層第一エッチングレジスト92が設けられる。この工程は、第八十一工程に該当する。
その後、上面側導電体65に対するエッチング処理が行われる。図10(2)に示すように、上面側内層第一エッチングレジスト91に従いエッチング処理がされる。本工程は第七十二工程に該当する。エッチング処理がされることにより、上面側凹み部93が形成される。上面側凹み部93はコア部2の側の絶縁体39が露出しない状態である。
又、下面側内層第一エッチングレジスト92に従いエッチング処理がされる。本工程は第八十二工程に該当する。エッチング処理がされることにより、下面側凹み部94が形成される。下面側凹み部94はコア部2の側の絶縁体39が露出しない状態である。
次に、上面側内層第一エッチングレジスト91が除去される。この工程は、第七十三工程に該当する。又、下面側内層第一エッチングレジスト92が除去される。この工程は、第八十三工程に該当する。
10(3)に示すように、上面側導電体65の上面側内層層間回路55となる部分と、上面側内層平面回路56となる部分を覆う上面側内層第二エッチングレジスト95が設けられる。この工程は第七十四工程に該当する。又、下面側導電体66の下面側内層層間回路58と下面側内層平面回路59となる部分を覆う下面側内層第二エッチングレジスト96が設けられる。この工程は第八十四工程に該当する。
その後、上面側導電体65に対するエッチング処理が行われる。図10(4)に示すように、上面側内層第二エッチングレジスト95に従いエッチング処理がされる。本工程は第七十五工程に該当する。エッチング処理がされることにより、上面側凹み部97が形成される。上面側凹み部97は、上面側凹み部93よりも深く、絶縁体39が露出する状態である。本工程により、上面側内層層間回路55と上面側内層平面回路56とが形成される。
又、下面側導電体66に対するエッチング処理が行われる。図10(4)に示すように、下面側内層第二エッチングレジスト96に従いエッチング処理がされる。本工程は第八十五工程に該当する。エッチング処理がされることにより、下面側凹み部98が形成される。下面側凹み部98は、下面側凹み部94よりも深く、絶縁体39が露出する状態である。本工程により、下面側内層層間回路58と下面側内層平面回路59とが形成される。
次に、上面側内層第二エッチングレジスト91が除去される。この工程は、第七十六工程に該当する。又、下面側内層第二エッチングレジスト92が除去される。この工程は、第八十六工程に該当する。
その後、発明を実施するための形態2の第三十七工程と第三十八工程及び第四十七工程と第四十八工程が行われ、さらに、発明を実施するための形態1の第一七工程乃至第二十二工程が行われることにより、上面側表層回路27及び下面側表層回路28が設けられる。そして、図6に示すプリント基板51が作成される。
本実施の形態では、コア部2に対し、上面側第一内層部53と下面側第一内層部54とを設けたが、上面側第一内層部53又は下面側第一内層部54のどちらか一方のみを設けて表層部3を設けても良い。つまり、第七十一工程乃至第七十六と第三十七工程と第三十八工程を行うことにより上面側第一内層部53を設けた後、上面側表層回路27及び下面側表層回路28を設けたり、第八十一工程乃至第八十六工程と第四十七工程と第四十八工程を行うことにより下面側第一内層部54を設けた後、上面側表層回路27及び下面側表層回路28を設けたりしてもよい。又、本実施の形態ではコア部2と表層部3との間に、第一内層部52を設けたが、第七十一工程乃至第七十六と第三十七工程と第三十八工程を繰り返すことにより、第二内層部、第三内層部を設けて複数の内層を有するプリント基板51にすることも可能である。又、第八十一工程乃至第八十六工程と第四十七工程と第四十八工程を繰り返すことにより、第二内層部、第三内層部を設けて複数の内層を有するプリント基板51にすることも可能である。尚、複数の内層部を設ける場合、コア部2の上面側と下面側とが同じ層数であってもよく、異なる層数であってもよい。又、コア部2の上面側と下面側のどちらか一方の面に内層部が設けられない場合もある。
発明を実施するための形態5について説明する。本実施の形態では、コア部102の構造及び製造方法が発明を実施するための形態1と異なる。本実施の形態では、コア部102の上面側コア絶縁層124の下面と下面側コア絶縁層125の上面とが互いに接触する接続面126がコア平面回路123の下面の側に作成される点が発明を実施するための形態1と異なる。
図11乃至図13を参照し、発明を実施するための形態5に係るコア部102の製造方法について説明する。
図11(1)に示すように、コア部102を作成するために、発明を実施するための実施の形態1と同じ金属体5が準備される。
図11(2)に示すように、金属体5に上面側コア層間回路121とコア平面回路123となる部分を覆う上面側第一エッチングレジスト131と、金属体5の下面側全体を覆う下面側第一エッチングレジスト331を設ける第百一工程が行われる。
次に、金属体5に対するエッチング処理が行われる。図11(3)に示すように、第百一工程の後に、上面側第一エッチングレジスト131に従い金属体5に対してエッチング処理を行う。金属体5の上面から内部に凹む上面側凹み部133が設けられる。この工程は第百三工程に該当する。
図11(4)に示すように、第百三工程の後に金属体5から上面側第一エッチングレジスト131と下面側第一エッチングレジスト331とを除去する第百五工程が行われる。
図12(1)に示すように、第百五工程の後に、金属体5の上面に上面側コア層間回路121となる部分を覆う上面側第二エッチングレジスト135と、金属体5の下面側全体を覆う下面側第二エッチングレジスト335が設けられる。この工程は第百七工程に該当する。
次に、第百七工程の後に、金属体5の上面側に対するエッチング処理が行われる。図12(2)に示すように、上面側第二エッチングレジスト135に従い金属体5に対してエッチング処理を行う。この工程は第百八工程に該当し、上面側凹み部136と上面側凹み部137とが設けられる。上面側凹み部133がさらにエッチングされて上面側凹み部136となり、上面側第一エッチングレジスト131で覆われていた箇所がエッチングされることにより、上面側凹み部136よりも浅い上面側凹み部137が設けられる。この工程により、上面側コア層間回路121と、コア平面回路中間体138が形成される。
第百八工程の後、図12(3)に示すように、上面側第二エッチングレジスト35と下面側第二エッチングレジスト335とが除去される。この工程は第百九工程に該当する。
その後、第百九工程の後に、金属体5の上面側表面と絶縁体39との密着性を上げるため、金属体5の上面側表面の粗化が行われる。そして、図12(4)に示すように、第百八工程で設けられた上面側凹み部136と上面側凹み部137とに絶縁体139が充填されて硬化させられることにより、上面側コア絶縁層124が設けられる。上面側コア絶縁層124の上面と上面側コア層間回路121の上面とに渡って全面が整面処理され、上面全体が面一となる。この工程は、第百十工程に該当する。
図13(1)に示すように、第百十工程の後に、金属体5の下面に下面側コア層間回路122となる部分を覆う下面側第二エッチングレジスト140と、金属体5の上面側全体を覆う上面側第二エッチングレジスト340が設けられる。この工程は第百十一工程に該当する。
次に、第百十一工程の後に、金属体5の下面側に対するエッチング処理が行われる。図13(2)に示すように、下面側第二エッチングレジスト140に従い金属体5に対してエッチング処理を行う。この工程は第百十二工程に該当する。この工程により、下面側凹み部141が形成され、下面側コア層間回路122とコア平面回路123が形成される。この工程は、第百十二工程に該当する。この工程ではエッチング処理により、絶縁体139が露出する一方、コア平面回路中間体138の全てが除去されていない状態となる。
第百十二工程の後、図13(3)に示すように、下面側第二エッチングレジスト140と上面側第二エッチングレジスト340とが除去される。この工程は第百十三工程に該当する。
その後、第百十三工程の後に、金属体5の下面側表面と絶縁体39との密着性を上げるため、金属体5の下面側表面の粗化が行われる。そして、図13(4)に示すように、第百十二工程で設けられた下面側凹み部141に絶縁体139が充填されて硬化させられることにより、下面側コア絶縁層125が設けられる。この工程により、上面側コア絶縁層124の下面と下面側コア絶縁層125上面とに互いに接触する接続面126が構成される。下面側コア絶縁層125の下面と下面側コア層間回路122の下面とに渡って全面が整面処理され、下面全体が面一となる。この整面処理は第百十四工程に該当し、コア部2が製造される。
その後、発明を実施するための形態1に記載の第十五工程乃至第二十二工程が行われて、表層部3が設けられたり、発明を実施するための形態2乃至4に記載の工程が行われて、内層部及び表層部3が設けられたりしてプリント基板が作成される。
尚、本実施の形態では、第百十一工程乃至百十四工程を行った後、第百一工程、第百三工程、第百五工程、第百七工程乃至第百十工程を行っても良い。
実施の形態1乃至に係る発明を使用したプリント基板であっても、回路設計上、プリント基板にスルーホールが設けられる場合もある。かかる場合であっても、本発明の技術的範囲に属する。本発明が一部に適用されたプリント基板であれば、層間接続をスルーホールのみで行うプリント基板よりも接続不良が起こりにくいことに変わりはない。
発明を実施するための形態2乃至4に係る発明について、第一内層部52のような内層部を複数層設けた場合、各層の平面回路どうしが層間に設けられた板厚(Z軸)方向の回路で接続が可能となる。従来のスルーホールのように、全ての層をZ軸方向に貫通する必要がないことから、本発明を適用したプリント基板では、層間接続の回路設計に自由度ができるので、プリント基板の全体の回路設計に自由度が増す効果がある。
発明を実施するための形態2乃至4において、第二内層部、第三内層部のように複数の内層部を設ける場合、発明を実施するための形態2乃至4の内層部の製造方法が組み合わされてもよい。例えば、第一内層部52の上面側第一内層部53が発明を実施するための形態2(第三十一工程乃至第三十七工程)で作成され、第一内層部52の下面側第一内層部54が発明を実施するための形態3(第六十一工程乃至第六十七工程)で作成することも可能である。又、発明を実施するための形態2を上下面共に適用して第一内層部を設け、発明を実施するための形態4を上下面共に適用して第二内層部を設けることも可能である。
発明を実施するための形態1乃至4使用される絶縁体39;63;139は、インク状の熱硬化性樹脂を用いることができ、メタルマスク又はシルクスクリーン印刷法にて上面側コア層間回路21;121、下面側コア層間回路22;122、上面側内層層間回路55又は下面側内層層間回路58の表層部3の側の面を保護し、或いは、ディスペンサー又はインクジェット吹き付け法にて、上面側凹み部36;37;69;73;84;85;97;136;137及び下面側凹み部41;42;70;74;86;87;98;141に絶縁体39;63;139が充填され、その後に熱硬化されることにより絶縁体39;63;139が設けられる。尚、インク状の熱硬化性樹脂は無機フィラーの入ったものが好ましい。又、ガラス繊維製の織布に絶縁樹脂を含浸させたプリプレグを用いた熱積層プレスで積層して絶縁体39;63;139を設けても良い。かかる場合、上面側コア層間回路21;121、下面側コア層間回路22;122、上面側内層層間回路55又は下面側内層層間回路58の位置するプリプレグの箇所を打ち抜き、上面側コア層間回路21;121、下面側コア層間回路22;122、上面側内層層間回路55又は下面側内層層間回路58の表層部3の側の面を覆わないようにプリプレグが配置されてから熱積層プレスが行われる。又、その他の方法として、粉状の熱硬化性樹脂を上面側凹み部36;37;69;73;84;85;97;136;137及び下面側凹み部41;42;70;74;86;87;98;141に充填させ、その後に熱積層プレスを行い、熱硬化させて絶縁体39;63;139を設けても良い。このように、上面側コア層間回路21;121、下面側コア層間回路22;122、上面側内層層間回路55又は下面側内層層間回路58の表層部3の側の面を絶縁体39;63;139で覆わなければ、整面処理の研磨の際、上面側コア層間回路21;121、下面側コア層間回路22;122、上面側内層層間回路55又は下面側内層層間回路58に対する物理的な衝撃を少なくすることができる。
下面側第二エッチングレジスト235;335、下面側第一エッチングレジスト331及び上面側第二エッチングレジスト240;340は、下面側全体又は上面側全体がエッチングされないように保護するために設けられている。しかしながら、エッチングの際に、これらが覆っている面の側の金属体5が除去されないエッチング方法を用いる場合は、設けられていなくてもよい。
プリント基板は板状であるため、上下面を入れ替えて発明を適用することが可能である。つまり、発明を実施するための形態1乃至5において、上の記載を下と読み替えかつ下の記載を上と読み替えることができる。
1 プリント基板
2 コア部
3 表層部
5 金属体
12 コア回路部
13 コア絶縁層
21 上面側コア層間回路
22 下面側コア層間回路
23 コア平面回路
24 上面側コア絶縁層
25 下面側コア絶縁層
26 接続面
27 上面側表層回路
28 下面側表層回路
31 上面側第一エッチングレジスト
32 下面側第一エッチングレジスト
33 上面側凹み部
34 下面側凹み部
35 上面側第二エッチングレジスト
36 上面側凹み部
37 上面側凹み部
38 コア平面回路中間体
39 絶縁体
40 下面側第二エッチングレジスト
41 下面側凹み部
42 下面側凹み部
45 上面側導電体
46 下面側導電体
47 上面側表層エッチングレジスト
48 下面側表層エッチングレジスト
51 プリント基板
52 第一内層部
53 上面側第一内層部
54 下面側第一内層部
55 上面側内層層間回路
56 上面側内層平面回路
57 上面側内層絶縁層
58 下面側内層層間回路
59 下面側内層平面回路
60 下面側内層絶縁層
61 接続面
62 接続面
63 絶縁体
65 上面側導電体
66 下面側導電体
67 上面側内層第一エッチングレジスト
68 下面側内層第一エッチングレジスト
69 上面側凹み部
70 下面側凹み部
71 上面側内層第二エッチングレジスト
72 下面側内層第二エッチングレジスト
73 上面側凹み部
74 下面側凹み部
82 上面側凹み部
83 下面側凹み部
84 上面側凹み部
85 上面側凹み部
86 下面側凹み部
87 下面側凹み部
91 上面側内層第一エッチングレジスト
92 下面側内層第一エッチングレジスト
93 上面側凹み部
94 下面側凹み部
95 上面側内層第二エッチングレジスト
96 下面側内層第二エッチングレジスト
97 上面側凹み部
98 下面側凹み部
102 コア部
121 上面側コア層間回路
122 下面側コア層間回路
123 コア平面回路
124 上面側コア絶縁層
125 下面側コア絶縁層
126 接続面
131 上面側第一エッチングレジスト
133 上面側凹み部
135 上面側第二エッチングレジスト
136 上面側凹み部
137 上面側凹み部
138 コア平面回路中間体
139 絶縁体
140 下面側第二エッチングレジスト
141 下面側凹み部
235 下面側第二エッチングレジスト
240 上面側第二エッチングレジスト
331 下面側第一エッチングレジスト
335 下面側第二エッチングレジスト
340 上面側第二エッチングレジスト

Claims (5)

  1. プリント基板の製造方法であって、
    表面が平坦な板状の導電体に上面側コア層間回路となる部分及びコア平面回路となる部分を覆う上面側第一エッチングレジストが設けられる第一工程と、
    前記導電体に、下面側コア層間回路となる部分及び前記コア平面回路となる部分を覆う下面側第一エッチングレジストが設けられる第二工程と、
    前記上面側第一エッチングレジストに従い前記導電体に対してエッチング処理が行われ、前記導電体の上面から内部に凹む上面側凹み部が設けられる第三工程と、
    前記下面側第一エッチングレジストに従い前記導電体に対してエッチング処理が行われ、前記導電体の下面から内部に凹む下面側凹み部が設けられる第四工程と、
    前記上面側第一エッチングレジストを除去する第五工程と、
    前記下面側第一エッチングレジストを除去する第六工程と、
    前記導電体の上面に前記上面側コア層間回路となる部分を覆う上面側第二エッチングレジストと、前記導電体の下面側全体を覆う下面側第二エッチングレジストと、が設けられる第七工程と、
    前記上面側第二エッチングレジストに従い前記導電体に対してエッチング処理が行われ、前記第三工程で設けられた前記上面側凹み部がさらにエッチングされて形成された上面側凹み部と、前記上面側凹み部よりも浅い上面側凹み部と、前記上面側コア層間回路と、コア平面回路中間体と、が形成される第八工程と、
    前記導電体から前記上面側第二エッチングレジストと、前記下面側第二エッチングレジストと、が除去される第九工程と、
    前記第八工程で設けられた前記上面側凹み部と、前記浅い上面側凹み部と、に絶縁体が充填され、上面側コア絶縁層が設けられ、前記上面側コア絶縁層の上面と前記上面側コア層間回路の上面とに渡って全面が整面処理される第十工程と、
    前記導電体の下面に前記下面側コア層間回路となる部分を覆う下面側第二エッチングレジストと、前記導電体の上面側全体を覆う上面側第二エッチングレジストと、を設ける第十一工程と、
    前記下面側第二エッチングレジストに従い前記導電体に対してエッチング処理が行われ、前記下面側凹み部がさらにエッチングされて形成された下面側凹み部と、前記下面側凹み部よりも浅い下面側凹み部と、前記下面側コア層間回路と、前記コア平面回路と、が形成される第十二工程と、
    前記下面側第二エッチングレジストと、前記上面側第二エッチングレジストと、が除去される第十三工程と、
    第十二工程で設けられた前記下面側凹み部と、第十二工程で設けられた前記浅い下面側凹み部と、に前記絶縁体が充填され、下面側コア絶縁層が設けられ、前記下面側コア絶縁層の下面と下面側コア層間回路の下面とに渡って全面が整面処理される第十四工程と、が行われ、
    平面方向に延びる前記コア平面回路と、前記コア平面回路の一端部側に設けられた前記上面側コア層間回路と、前記コア平面回路の他端部側に設けられた前記下面側コア層間回路と、前記上面側コア絶縁層と、前記下面側コア絶縁層と、からなり、平面方向に延びる前記コア平面回路と、前記コア平面回路の一端部側に設けられた前記上面側コア層間回路と、前記コア平面回路の他端部側に設けられた前記下面側コア層間回路と、が接続面のない一体の導電体から形成されたコア部が製造され、
    前記コア部の上面全体を覆う上面側導電体がメッキ処理により設けられる第十五工程と、
    上面側表層エッチングレジストが設けられる第十七工程と、
    前記上面側表層エッチングレジストに従いエッチング処理がされて、前記上面側コア層間回路と前記上面側コア絶縁層とに渡って上面側表層回路が形成される第十九工程と、
    前記上面側表層エッチングレジストを除去する第二十一工程と、
    前記コア部の下面全体を覆う下面側導電体がメッキ処理により設けられる第十六工程と、
    下面側表層エッチングレジストが設けられる第十八工程と、
    前記下面側表層エッチングレジストに従いエッチング処理がされて、前記下面側コア層間回路と前記下面側コア絶縁層とに渡って下面側表層回路が形成される第二十工程と、
    前記下面側表層エッチングレジストを除去する第二十二工程と、
    からなることを特徴とするプリント基板の製造方法。
  2. プリント基板の製造方法であって、
    表面が平坦な板状の導電体に上面側コア層間回路となる部分及びコア平面回路となる部分を覆う上面側第一エッチングレジストと、前記導電体の下面側全体を覆う下面側第一エッチングレジストと、が設けられる第百一工程と、
    前記上面側第一エッチングレジストに従い導電体に対してエッチング処理が行われ、導電体の上面から内部に凹む上面側凹み部が設けられる第百三工程と、
    前記上面側第一エッチングレジストと、前記下面側第一エッチングレジストと、を除去する第百五工程と、
    前記導電体の上面に前記上面側コア層間回路となる部分を覆う上面側第二エッチングレジストと、前記導電体の下面側全体を覆う下面側第二エッチングレジストと、を設ける第百七工程と、
    前記上面側第二エッチングレジストに従い前記導電体に対してエッチング処理が行われ、前記第百三工程で設けられた前記上面側凹み部がさらにエッチングされて形成された上面側凹み部と、前記上面側凹み部よりも浅い上面側凹み部と、前記上面側コア層間回路と、コア平面回路中間体と、が形成される第百八工程と、
    前記上面側第二エッチングレジストと、前記下面側第二エッチングレジストと、が除去される第百九工程と、
    前記第百八工程で設けられた前記上面側凹み部と、前記浅い上面側凹み部とに絶縁体が充填され、上面側コア絶縁層が設けられ、前記上面側コア絶縁層の上面と前記上面側コア層間回路の上面とに渡って全面が整面処理される第百十工程と、
    前記導電体の下面に前記下面側コア層間回路となる部分を覆う下面側第二エッチングレジストと、前記導電体の上面側全体を覆う上面側第二エッチングレジストと、を設ける第百十一工程と、
    前記下面側第二エッチングレジストに従い前記導電体に対してエッチング処理が行われ、前記絶縁体が露出する下面側凹み部と、前記下面側コア層間回路と、前記コア平面回路と、が形成される第百十二工程と、
    前記下面側第二エッチングレジストと前記上面側第二エッチングレジストとが除去される第百十三工程と、
    第百十二工程で設けられた前記下面側凹み部に前記絶縁体が充填され、下面側コア絶縁層が設けられ、前記下面側コア絶縁層の下面と下面側コア層間回路の下面とに渡って全面が整面処理される第百十四工程と、が行われ、
    平面方向に延びる前記コア平面回路と、前記コア平面回路の一端部側に設けられた前記上面側コア層間回路と、前記コア平面回路の他端部側に設けられた前記下面側コア層間回路と、前記上面側コア絶縁層と、前記下面側コア絶縁層と、からなり、平面方向に延びる前記コア平面回路と、前記コア平面回路の一端部側に設けられた前記上面側コア層間回路と、前記コア平面回路の他端部側に設けられた前記下面側コア層間回路と、が接続面のない一体の導電体から形成されたコア部が製造され、
    前記コア部の上面全体を覆う上面側導電体がメッキ処理により設けられる第十五工程と、
    上面側表層エッチングレジストが設けられる第十七工程と、
    前記上面側表層エッチングレジストに従いエッチング処理がされて、前記上面側コア層間回路と前記上面側コア絶縁層とに渡って上面側表層回路が形成される第十九工程と、
    前記上面側表層エッチングレジストを除去する第二十一工程と、
    前記コア部の下面全体を覆う下面側導電体がメッキ処理により設けられる第十六工程と、
    下面側表層エッチングレジストが設けられる第十八工程と、
    前記下面側表層エッチングレジストに従いエッチング処理がされて、前記下面側コア層間回路と前記下面側コア絶縁層とに渡って下面側表層回路が形成される第二十工程と、
    前記下面側表層エッチングレジストを除去する第二十二工程と、
    からなることを特徴とするプリント基板の製造方法。
  3. プリント基板の製造方法であって、
    請求項1記載の前記第一工程乃至前記第十四工程又は請求項2記載の前記第百一工程乃至第百十四工程と、
    前記コア部の上面全体を覆う上面側導電体がメッキ処理により設けられる第十五工程と、
    前記上面側導電体に対し、上面側内層層間回路となる部分及び上面側内層平面回路となる部分を覆う上面側内層第一エッチングレジストが設けられる第三十一工程と、
    前記上面側内層第一エッチングレジストに従いエッチング処理がされ、前記コア部の前記絶縁体が露出する上面側凹み部が設けられる第三十二工程と、
    前記上面側内層第一エッチングレジストが除去される第三十三工程と、
    前記上面側導電体の前記上面側内層層間回路となる部分を覆う上面側内層第二エッチングレジストが設けられる第三十四工程と、
    前記上面側内層第二エッチングレジストに従いエッチング処理がされ、前記絶縁体が露出しない凹み部と、前記絶縁体が露出する前記上面側凹み部と、前記上面側内層層間回路と、前記上面側内層平面回路と、が形成される第三十五工程と、
    前記上面側内層第二エッチングレジストが除去される第三十六工程と、
    前記絶縁体が露出する前記上面側凹み部と、前記絶縁体が露出しない前記凹み部とに絶縁体が充填され、上面側内層絶縁層が設けられ、前記上面側内層絶縁層の上面と前記上面側内層層間回路の上面とに渡って全面が整面処理される第三十七工程と、が行われ、
    前記上面側内層層間回路と、前記上面側内層平面回路と、前記上面側内層絶縁層と、からなり、前記上面側内層層間回路と、前記上面側内層平面回路と、が接続面のない一体の導電体から形成された上面側内層部が形成され、
    メッキ処理により、前記上面側内層部の上面全体を覆う上面側導電体が設けられる第三十八工程と、
    前記上面側導電体に対し、エッチング処理が行われ、前記上面側内層部とは異なる他の上面側内層部が設けられる工程又は上面側表層回路が形成される工程と、
    前記コア部の下面側全体を覆う下面側導電体がメッキ処理により設けられる第十六工程と、
    前記下面側導電体に対し、エッチング処理が行われ、下面側内層層間回路と、下面側内層平面回路と、下面側内層絶縁層と、からなり、前記下面側内層層間回路と、前記下面側内層平面回路と、が接続面のない一体の導電体から形成された下面側内層部が形成される工程又は下面側表層回路が形成される工程と、を含むことを特徴とするプリント基板の製造方法。
  4. プリント基板の製造方法であって、
    請求項1記載の前記第一工程乃至前記第十四工程又は請求項2記載の前記第百一工程乃至第百十四工程と、
    前記コア部の上面全体を覆う上面側導電体がメッキ処理により設けられる第十五工程と、
    前記上面側導電体に対し、上面側内層層間回路となる部分及び上面側内層平面回路となる部分を覆う上面側内層第一エッチングレジストが設けられる第五十一工程と、
    前記上面側内層第一エッチングレジストに従いエッチング処理がされ、前記コア部の前記絶縁体が露出しない上面側凹み部が設けられる第五十二工程と、
    前記上面側内層第一エッチングレジストが除去される第五十三工程と、
    前記上面側導電体の前記上面側内層層間回路となる部分を覆う上面側内層第二エッチングレジストが設けられる第五十四工程と、
    前記上面側内層第二エッチングレジストに従いエッチング処理がされ、前記第五十二工程で設けられた前記上面側凹み部よりも深く前記コア部の前記絶縁体が露出する上面側凹み部と、前記コア部の前記絶縁体が露出する前記上面側凹み部よりも浅く前記絶縁体が露出しない上面側凹み部と、前記上面側内層層間回路と、前記上面側内層平面回路と、が形成される第五十五工程と、
    前記上面側内層第二エッチングレジストが除去される第五十六工程と、
    前記絶縁体が露出する前記上面側凹み部と、前記絶縁体が露出しない前記上面側凹み部とに絶縁体が充填され、上面側内層絶縁層が設けられ、前記上面側内層絶縁層の上面と前記上面側内層層間回路の上面とに渡って全面が整面処理される第三十七工程と、が行われ、
    前記上面側内層層間回路と、前記上面側内層平面回路と、前記上面側内層絶縁層と、からなり、前記上面側内層層間回路と、前記上面側内層平面回路と、が接続面のない一体の導電体から形成された上面側内層部が形成され、
    メッキ処理により、前記上面側内層部の上面全体を覆う上面側導電体が設けられる第三十八工程と、
    前記上面側導電体に対し、エッチング処理が行われ、前記上面側内層部とは異なる他の上面側内層部が設けられる工程又は上面側表層回路が形成される工程と、
    前記コア部の下面側全体を覆う下面側導電体がメッキ処理により設けられる第十六工程と、
    前記下面側導電体に対し、エッチング処理が行われ、下面側内層層間回路と、下面側内層平面回路と、下面側内層絶縁層と、からなり、前記下面側内層層間回路と、前記下面側内層平面回路と、が接続面のない一体の導電体から形成された下面側内層部が形成される工程又は下面側表層回路が形成される工程と、を含むことを特徴とするプリント基板の製造方法。
  5. プリント基板の製造方法であって、
    請求項1記載の前記第一工程乃至前記第十四工程又は請求項2記載の前記第百一工程乃至第百十四工程と、
    前記コア部の上面全体を覆う上面側導電体がメッキ処理により設けられる第十五工程と、
    前記上面側導電体に対し、上面側内層層間回路となる部分を覆う上面側内層第一エッチングレジストが設けられる第七十一工程と、
    前記上面側内層第一エッチングレジストに従いエッチング処理がされ、前記コア部の前記絶縁体が露出しない上面側凹み部が設けられる第七十二工程と、
    前記上面側内層第一エッチングレジストが除去される第七十三工程と、
    前記上面側導電体の前記上面側内層層間回路となる部分及び前記上面側内層平面回路となる部分を覆う上面側内層第二エッチングレジストが設けられる第七十四工程と、
    前記上面側内層第二エッチングレジストに従いエッチング処理がされ、前記第七十二工程で設けられた前記絶縁体が露出しない前記上面側凹み部よりも深く前記絶縁体が露出する上面側凹み部と、前記絶縁体が露出しない前記上面側凹み部と、前記上面側内層層間回路と、前記上面側内層平面回路と、が形成される第七十五工程と、
    前記上面側内層第二エッチングレジストが除去される第七十六工程と、
    前記絶縁体が露出する前記上面側凹み部と、前記絶縁体が露出しない前記上面側凹み部とに絶縁体が充填され、上面側内層絶縁層が設けられ、前記上面側内層絶縁層の上面と前記上面側内層層間回路の上面とに渡って全面が整面処理される第三十七工程と、が行われ、
    前記上面側内層層間回路と、前記上面側内層平面回路と、前記上面側内層絶縁層と、からなり、前記上面側内層層間回路と、前記上面側内層平面回路と、が接続面のない一体の導電体から形成された上面側内層部が形成され、
    メッキ処理により、前記上面側内層部の上面全体を覆う上面側導電体が設けられる第三十八工程と、
    前記上面側導電体に対し、エッチング処理が行われ、前記上面側内層部とは異なる他の上面側内層部が設けられる工程又は上面側表層回路が形成される工程と、
    前記コア部の下面側全体を覆う下面側導電体がメッキ処理により設けられる第十六工程と、
    前記下面側導電体に対し、エッチング処理が行われ、下面側内層層間回路と、下面側内層平面回路と、下面側内層絶縁層と、からなり、前記下面側内層層間回路と、前記下面側内層平面回路と、が接続面のない一体の導電体から形成された下面側内層部が形成される工程又は下面側表層回路が形成される工程と、
    を含むことを特徴とするプリント基板の製造方法。
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