JP6568637B1 - プリント基板及びその製造方法 - Google Patents
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Abstract
Description
プリント基板の製造方法であって、
表面が平坦な板状の導電体に上面側コア層間回路となる部分及びコア平面回路となる部分を覆う上面側第一エッチングレジストが設けられる第一工程と、
前記導電体に、下面側コア層間回路となる部分及び前記コア平面回路となる部分を覆う下面側第一エッチングレジストが設けられる第二工程と、
前記上面側第一エッチングレジストに従い前記導電体に対してエッチング処理が行われ、前記導電体の上面から内部に凹む上面側凹み部が設けられる第三工程と、
前記下面側第一エッチングレジストに従い前記導電体に対してエッチング処理が行われ、前記導電体の下面から内部に凹む下面側凹み部が設けられる第四工程と、
前記上面側第一エッチングレジストを除去する第五工程と、
前記下面側第一エッチングレジストを除去する第六工程と、
前記導電体の上面に前記上面側コア層間回路となる部分を覆う上面側第二エッチングレジストと、前記導電体の下面側全体を覆う下面側第二エッチングレジストと、が設けられる第七工程と、
前記上面側第二エッチングレジストに従い前記導電体に対してエッチング処理が行われ、前記第三工程で設けられた前記上面側凹み部がさらにエッチングされて形成された上面側凹み部と、前記上面側凹み部よりも浅い上面側凹み部と、前記上面側コア層間回路と、コア平面回路中間体と、が形成される第八工程と、
前記導電体から前記上面側第二エッチングレジストと、前記下面側第二エッチングレジストと、が除去される第九工程と、
前記第八工程で設けられた前記上面側凹み部と、前記浅い上面側凹み部と、に絶縁体が充填され、上面側コア絶縁層が設けられ、前記上面側コア絶縁層の上面と前記上面側コア層間回路の上面とに渡って全面が整面処理される第十工程と、
前記導電体の下面に前記下面側コア層間回路となる部分を覆う下面側第二エッチングレジストと、前記導電体の上面側全体を覆う上面側第二エッチングレジストと、を設ける第十一工程と、
前記下面側第二エッチングレジストに従い前記導電体に対してエッチング処理が行われ、前記下面側凹み部がさらにエッチングされて形成された下面側凹み部と、前記下面側凹み部よりも浅い下面側凹み部と、前記下面側コア層間回路と、前記コア平面回路と、が形成される第十二工程と、
前記下面側第二エッチングレジストと、前記上面側第二エッチングレジストと、が除去される第十三工程と、
第十二工程で設けられた前記下面側凹み部と、第十二工程で設けられた前記浅い下面側凹み部と、に前記絶縁体が充填され、下面側コア絶縁層が設けられ、前記下面側コア絶縁層の下面と下面側コア層間回路の下面とに渡って全面が整面処理される第十四工程と、が行われ、
平面方向に延びる前記コア平面回路と、前記コア平面回路の一端部側に設けられた前記上面側コア層間回路と、前記コア平面回路の他端部側に設けられた前記下面側コア層間回路と、前記上面側コア絶縁層と、前記下面側コア絶縁層と、からなり、平面方向に延びる前記コア平面回路と、前記コア平面回路の一端部側に設けられた前記上面側コア層間回路と、前記コア平面回路の他端部側に設けられた前記下面側コア層間回路と、が接続面のない一体の導電体から形成されたコア部が製造され、
前記コア部の上面全体を覆う上面側導電体がメッキ処理により設けられる第十五工程と、
上面側表層エッチングレジストが設けられる第十七工程と、
前記上面側表層エッチングレジストに従いエッチング処理がされて、前記上面側コア層間回路と前記上面側コア絶縁層とに渡って上面側表層回路が形成される第十九工程と、
前記上面側表層エッチングレジストを除去する第二十一工程と、
前記コア部の下面全体を覆う下面側導電体がメッキ処理により設けられる第十六工程と、
下面側表層エッチングレジストが設けられる第十八工程と、
前記下面側表層エッチングレジストに従いエッチング処理がされて、前記下面側コア層間回路と前記下面側コア絶縁層とに渡って下面側表層回路が形成される第二十工程と、
前記下面側表層エッチングレジストを除去する第二十二工程と、
からなることを特徴とするか、
又は、
プリント基板の製造方法であって、
表面が平坦な板状の導電体に上面側コア層間回路となる部分及びコア平面回路となる部分を覆う上面側第一エッチングレジストと、前記導電体の下面側全体を覆う下面側第一エッチングレジストと、が設けられる第百一工程と、
前記上面側第一エッチングレジストに従い導電体に対してエッチング処理が行われ、導電体の上面から内部に凹む上面側凹み部が設けられる第百三工程と、
前記上面側第一エッチングレジストと、前記下面側第一エッチングレジストと、を除去する第百五工程と、
前記導電体の上面に前記上面側コア層間回路となる部分を覆う上面側第二エッチングレジストと、前記導電体の下面側全体を覆う下面側第二エッチングレジストと、を設ける第百七工程と、
前記上面側第二エッチングレジストに従い前記導電体に対してエッチング処理が行われ、前記第百三工程で設けられた前記上面側凹み部がさらにエッチングされて形成された上面側凹み部と、前記上面側凹み部よりも浅い上面側凹み部と、前記上面側コア層間回路と、コア平面回路中間体と、が形成される第百八工程と、
前記上面側第二エッチングレジストと、前記下面側第二エッチングレジストと、が除去される第百九工程と、
前記第百八工程で設けられた前記上面側凹み部と、前記浅い上面側凹み部とに絶縁体が充填され、上面側コア絶縁層が設けられ、前記上面側コア絶縁層の上面と前記上面側コア層間回路の上面とに渡って全面が整面処理される第百十工程と、
前記導電体の下面に前記下面側コア層間回路となる部分を覆う下面側第二エッチングレジストと、前記導電体の上面側全体を覆う上面側第二エッチングレジストと、を設ける第百十一工程と、
前記下面側第二エッチングレジストに従い前記導電体に対してエッチング処理が行われ、前記絶縁体が露出する下面側凹み部と、前記下面側コア層間回路と、前記コア平面回路と、が形成される第百十二工程と、
前記下面側第二エッチングレジストと前記上面側第二エッチングレジストとが除去される第百十三工程と、
第百十二工程で設けられた前記下面側凹み部に前記絶縁体が充填され、下面側コア絶縁層が設けられ、前記下面側コア絶縁層の下面と下面側コア層間回路の下面とに渡って全面が整面処理される第百十四工程と、が行われ、
平面方向に延びる前記コア平面回路と、前記コア平面回路の一端部側に設けられた前記上面側コア層間回路と、前記コア平面回路の他端部側に設けられた前記下面側コア層間回路と、前記上面側コア絶縁層と、前記下面側コア絶縁層と、からなり、平面方向に延びる前記コア平面回路と、前記コア平面回路の一端部側に設けられた前記上面側コア層間回路と、前記コア平面回路の他端部側に設けられた前記下面側コア層間回路と、が接続面のない一体の導電体から形成されたコア部が製造され、
前記コア部の上面全体を覆う上面側導電体がメッキ処理により設けられる第十五工程と、
上面側表層エッチングレジストが設けられる第十七工程と、
前記上面側表層エッチングレジストに従いエッチング処理がされて、前記上面側コア層間回路と前記上面側コア絶縁層とに渡って上面側表層回路が形成される第十九工程と、
前記上面側表層エッチングレジストを除去する第二十一工程と、
前記コア部の下面全体を覆う下面側導電体がメッキ処理により設けられる第十六工程と、
下面側表層エッチングレジストが設けられる第十八工程と、
前記下面側表層エッチングレジストに従いエッチング処理がされて、前記下面側コア層間回路と前記下面側コア絶縁層とに渡って下面側表層回路が形成される第二十工程と、
前記下面側表層エッチングレジストを除去する第二十二工程と、
からなることを特徴とする。
プリント基板の製造方法であって、
請求項1記載の前記第一工程乃至前記第十四工程又は請求項2記載の前記第百一工程乃至第百十四工程と、
前記コア部の上面全体を覆う上面側導電体がメッキ処理により設けられる第十五工程と、
前記上面側導電体に対し、上面側内層層間回路となる部分及び上面側内層平面回路となる部分を覆う上面側内層第一エッチングレジストが設けられる第三十一工程と、
前記上面側内層第一エッチングレジストに従いエッチング処理がされ、前記コア部の前記絶縁体が露出する上面側凹み部が設けられる第三十二工程と、
前記上面側内層第一エッチングレジストが除去される第三十三工程と、
前記上面側導電体の前記上面側内層層間回路となる部分を覆う上面側内層第二エッチングレジストが設けられる第三十四工程と、
前記上面側内層第二エッチングレジストに従いエッチング処理がされ、前記絶縁体が露出しない凹み部と、前記絶縁体が露出する前記上面側凹み部と、前記上面側内層層間回路と、前記上面側内層平面回路と、が形成される第三十五工程と、
前記上面側内層第二エッチングレジストが除去される第三十六工程と、
前記絶縁体が露出する前記上面側凹み部と、前記絶縁体が露出しない前記凹み部とに絶縁体が充填され、上面側内層絶縁層が設けられ、前記上面側内層絶縁層の上面と前記上面側内層層間回路の上面とに渡って全面が整面処理される第三十七工程と、が行われ、
前記上面側内層層間回路と、前記上面側内層平面回路と、前記上面側内層絶縁層と、からなり、前記上面側内層層間回路と、前記上面側内層平面回路と、が接続面のない一体の導電体から形成された上面側内層部が形成され、
メッキ処理により、前記上面側内層部の上面全体を覆う上面側導電体が設けられる第三十八工程と、
前記上面側導電体に対し、エッチング処理が行われ、前記上面側内層部とは異なる他の上面側内層部が設けられる工程又は上面側表層回路が形成される工程と、
前記コア部の下面側全体を覆う下面側導電体がメッキ処理により設けられる第十六工程と、
前記下面側導電体に対し、エッチング処理が行われ、下面側内層層間回路と、下面側内層平面回路と、下面側内層絶縁層と、からなり、前記下面側内層層間回路と、前記下面側内層平面回路と、が接続面のない一体の導電体から形成された下面側内層部が形成される工程又は下面側表層回路が形成される工程と、を含むことを特徴とする。
プリント基板の製造方法であって、
請求項1記載の前記第一工程乃至前記第十四工程又は請求項2記載の前記第百一工程乃至第百十四工程と、
前記コア部の上面全体を覆う上面側導電体がメッキ処理により設けられる第十五工程と、
前記上面側導電体に対し、上面側内層層間回路となる部分及び上面側内層平面回路となる部分を覆う上面側内層第一エッチングレジストが設けられる第五十一工程と、
前記上面側内層第一エッチングレジストに従いエッチング処理がされ、前記コア部の前記絶縁体が露出しない上面側凹み部が設けられる第五十二工程と、
前記上面側内層第一エッチングレジストが除去される第五十三工程と、
前記上面側導電体の前記上面側内層層間回路となる部分を覆う上面側内層第二エッチングレジストが設けられる第五十四工程と、
前記上面側内層第二エッチングレジストに従いエッチング処理がされ、前記第五十二工程で設けられた前記上面側凹み部よりも深く前記コア部の前記絶縁体が露出する上面側凹み部と、前記コア部の前記絶縁体が露出する前記上面側凹み部よりも浅く前記絶縁体が露出しない上面側凹み部と、前記上面側内層層間回路と、前記上面側内層平面回路と、が形成される第五十五工程と、
前記上面側内層第二エッチングレジストが除去される第五十六工程と、
前記絶縁体が露出する前記上面側凹み部と、前記絶縁体が露出しない前記上面側凹み部とに絶縁体が充填され、上面側内層絶縁層が設けられ、前記上面側内層絶縁層の上面と前記上面側内層層間回路の上面とに渡って全面が整面処理される第三十七工程と、が行われ、
前記上面側内層層間回路と、前記上面側内層平面回路と、前記上面側内層絶縁層と、からなり、前記上面側内層層間回路と、前記上面側内層平面回路と、が接続面のない一体の導電体から形成された上面側内層部が形成され、
メッキ処理により、前記上面側内層部の上面全体を覆う上面側導電体が設けられる第三十八工程と、
前記上面側導電体に対し、エッチング処理が行われ、前記上面側内層部とは異なる他の上面側内層部が設けられる工程又は上面側表層回路が形成される工程と、
前記コア部の下面側全体を覆う下面側導電体がメッキ処理により設けられる第十六工程と、
前記下面側導電体に対し、エッチング処理が行われ、下面側内層層間回路と、下面側内層平面回路と、下面側内層絶縁層と、からなり、前記下面側内層層間回路と、前記下面側内層平面回路と、が接続面のない一体の導電体から形成された下面側内層部が形成される工程又は下面側表層回路が形成される工程と、を含むことを特徴とする。
プリント基板の製造方法であって、
請求項1記載の前記第一工程乃至前記第十四工程又は請求項2記載の前記第百一工程乃至第百十四工程と、
前記コア部の上面全体を覆う上面側導電体がメッキ処理により設けられる第十五工程と、
前記上面側導電体に対し、上面側内層層間回路となる部分を覆う上面側内層第一エッチングレジストが設けられる第七十一工程と、
前記上面側内層第一エッチングレジストに従いエッチング処理がされ、前記コア部の前記絶縁体が露出しない上面側凹み部が設けられる第七十二工程と、
前記上面側内層第一エッチングレジストが除去される第七十三工程と、
前記上面側導電体の前記上面側内層層間回路となる部分及び前記上面側内層平面回路となる部分を覆う上面側内層第二エッチングレジストが設けられる第七十四工程と、
前記上面側内層第二エッチングレジストに従いエッチング処理がされ、前記第七十二工程で設けられた前記絶縁体が露出しない前記上面側凹み部よりも深く前記絶縁体が露出する上面側凹み部と、前記絶縁体が露出しない前記上面側凹み部と、前記上面側内層層間回路と、前記上面側内層平面回路と、が形成される第七十五工程と、
前記上面側内層第二エッチングレジストが除去される第七十六工程と、
前記絶縁体が露出する前記上面側凹み部と、前記絶縁体が露出しない前記上面側凹み部とに絶縁体が充填され、上面側内層絶縁層が設けられ、前記上面側内層絶縁層の上面と前記上面側内層層間回路の上面とに渡って全面が整面処理される第三十七工程と、が行われ、
前記上面側内層層間回路と、前記上面側内層平面回路と、前記上面側内層絶縁層と、からなり、前記上面側内層層間回路と、前記上面側内層平面回路と、が接続面のない一体の導電体から形成された上面側内層部が形成され、
メッキ処理により、前記上面側内層部の上面全体を覆う上面側導電体が設けられる第三十八工程と、
前記上面側導電体に対し、エッチング処理が行われ、前記上面側内層部とは異なる他の上面側内層部が設けられる工程又は上面側表層回路が形成される工程と、
前記コア部の下面側全体を覆う下面側導電体がメッキ処理により設けられる第十六工程と、
前記下面側導電体に対し、エッチング処理が行われ、下面側内層層間回路と、下面側内層平面回路と、下面側内層絶縁層と、からなり、前記下面側内層層間回路と、前記下面側内層平面回路と、が接続面のない一体の導電体から形成された下面側内層部が形成される工程又は下面側表層回路が形成される工程と、を含むことを特徴とする。
プリント基板の製造方法であって、
表面が平坦な板状の導電体に上面側コア層間回路となる部分及びコア平面回路となる部分を覆う上面側第一エッチングレジストが設けられる第一工程と、
前記導電体に、下面側コア層間回路となる部分及び前記コア平面回路となる部分を覆う下面側第一エッチングレジストが設けられる第二工程と、
前記上面側第一エッチングレジストに従い前記導電体に対してエッチング処理が行われ、前記導電体の上面から内部に凹む上面側凹み部が設けられる第三工程と、
前記下面側第一エッチングレジストに従い前記導電体に対してエッチング処理が行われ、前記導電体の下面から内部に凹む下面側凹み部が設けられる第四工程と、
前記上面側第一エッチングレジストを除去する第五工程と、
前記下面側第一エッチングレジストを除去する第六工程と、
前記導電体の上面に前記上面側コア層間回路となる部分を覆う上面側第二エッチングレジストと、前記導電体の下面側全体を覆う下面側第二エッチングレジストと、が設けられる第七工程と、
前記上面側第二エッチングレジストに従い前記導電体に対してエッチング処理が行われ、前記第三工程で設けられた前記上面側凹み部がさらにエッチングされて形成された上面側凹み部と、前記上面側凹み部よりも浅い上面側凹み部と、前記上面側コア層間回路と、コア平面回路中間体と、が形成される第八工程と、
前記導電体から前記上面側第二エッチングレジストと、前記下面側第二エッチングレジストと、が除去される第九工程と、
前記第八工程で設けられた前記上面側凹み部と、前記浅い上面側凹み部と、に絶縁体が充填され、上面側コア絶縁層が設けられ、前記上面側コア絶縁層の上面と前記上面側コア層間回路の上面とに渡って全面が整面処理される第十工程と、
前記導電体の下面に前記下面側コア層間回路となる部分を覆う下面側第二エッチングレジストと、前記導電体の上面側全体を覆う上面側第二エッチングレジストと、を設ける第十一工程と、
前記下面側第二エッチングレジストに従い前記導電体に対してエッチング処理が行われ、前記下面側凹み部がさらにエッチングされて形成された下面側凹み部と、前記下面側凹み部よりも浅い下面側凹み部と、前記下面側コア層間回路と、前記コア平面回路と、が形成される第十二工程と、
前記下面側第二エッチングレジストと、前記上面側第二エッチングレジストと、が除去される第十三工程と、
第十二工程で設けられた前記下面側凹み部と、第十二工程で設けられた前記浅い下面側凹み部と、に前記絶縁体が充填され、下面側コア絶縁層が設けられ、前記下面側コア絶縁層の下面と下面側コア層間回路の下面とに渡って全面が整面処理される第十四工程と、が行われ、
平面方向に延びる前記コア平面回路と、前記コア平面回路の一端部側に設けられた前記上面側コア層間回路と、前記コア平面回路の他端部側に設けられた前記下面側コア層間回路と、前記上面側コア絶縁層と、前記下面側コア絶縁層と、からなり、平面方向に延びる前記コア平面回路と、前記コア平面回路の一端部側に設けられた前記上面側コア層間回路と、前記コア平面回路の他端部側に設けられた前記下面側コア層間回路と、が接続面のない一体の導電体から形成されたコア部が製造され、
前記コア部の上面全体を覆う上面側導電体がメッキ処理により設けられる第十五工程と、
上面側表層エッチングレジストが設けられる第十七工程と、
前記上面側表層エッチングレジストに従いエッチング処理がされて、前記上面側コア層間回路と前記上面側コア絶縁層とに渡って上面側表層回路が形成される第十九工程と、
前記上面側表層エッチングレジストを除去する第二十一工程と、
前記コア部の下面全体を覆う下面側導電体がメッキ処理により設けられる第十六工程と、
下面側表層エッチングレジストが設けられる第十八工程と、
前記下面側表層エッチングレジストに従いエッチング処理がされて、前記下面側コア層間回路と前記下面側コア絶縁層とに渡って下面側表層回路が形成される第二十工程と、
前記下面側表層エッチングレジストを除去する第二十二工程と、
からなることを特徴とするか、
又は、
プリント基板の製造方法であって、
表面が平坦な板状の導電体に上面側コア層間回路となる部分及びコア平面回路となる部分を覆う上面側第一エッチングレジストと、前記導電体の下面側全体を覆う下面側第一エッチングレジストと、が設けられる第百一工程と、
前記上面側第一エッチングレジストに従い導電体に対してエッチング処理が行われ、導電体の上面から内部に凹む上面側凹み部が設けられる第百三工程と、
前記上面側第一エッチングレジストと、前記下面側第一エッチングレジストと、を除去する第百五工程と、
前記導電体の上面に前記上面側コア層間回路となる部分を覆う上面側第二エッチングレジストと、前記導電体の下面側全体を覆う下面側第二エッチングレジストと、を設ける第百七工程と、
前記上面側第二エッチングレジストに従い前記導電体に対してエッチング処理が行われ、前記第百三工程で設けられた前記上面側凹み部がさらにエッチングされて形成された上面側凹み部と、前記上面側凹み部よりも浅い上面側凹み部と、前記上面側コア層間回路と、コア平面回路中間体と、が形成される第百八工程と、
前記上面側第二エッチングレジストと、前記下面側第二エッチングレジストと、が除去される第百九工程と、
前記第百八工程で設けられた前記上面側凹み部と、前記浅い上面側凹み部とに絶縁体が充填され、上面側コア絶縁層が設けられ、前記上面側コア絶縁層の上面と前記上面側コア層間回路の上面とに渡って全面が整面処理される第百十工程と、
前記導電体の下面に前記下面側コア層間回路となる部分を覆う下面側第二エッチングレジストと、前記導電体の上面側全体を覆う上面側第二エッチングレジストと、を設ける第百十一工程と、
前記下面側第二エッチングレジストに従い前記導電体に対してエッチング処理が行われ、前記絶縁体が露出する下面側凹み部と、前記下面側コア層間回路と、前記コア平面回路と、が形成される第百十二工程と、
前記下面側第二エッチングレジストと前記上面側第二エッチングレジストとが除去される第百十三工程と、
第百十二工程で設けられた前記下面側凹み部に前記絶縁体が充填され、下面側コア絶縁層が設けられ、前記下面側コア絶縁層の下面と下面側コア層間回路の下面とに渡って全面が整面処理される第百十四工程と、が行われ、
平面方向に延びる前記コア平面回路と、前記コア平面回路の一端部側に設けられた前記上面側コア層間回路と、前記コア平面回路の他端部側に設けられた前記下面側コア層間回路と、前記上面側コア絶縁層と、前記下面側コア絶縁層と、からなり、平面方向に延びる前記コア平面回路と、前記コア平面回路の一端部側に設けられた前記上面側コア層間回路と、前記コア平面回路の他端部側に設けられた前記下面側コア層間回路と、が接続面のない一体の導電体から形成されたコア部が製造され、
前記コア部の上面全体を覆う上面側導電体がメッキ処理により設けられる第十五工程と、
上面側表層エッチングレジストが設けられる第十七工程と、
前記上面側表層エッチングレジストに従いエッチング処理がされて、前記上面側コア層間回路と前記上面側コア絶縁層とに渡って上面側表層回路が形成される第十九工程と、
前記上面側表層エッチングレジストを除去する第二十一工程と、
前記コア部の下面全体を覆う下面側導電体がメッキ処理により設けられる第十六工程と、
下面側表層エッチングレジストが設けられる第十八工程と、
前記下面側表層エッチングレジストに従いエッチング処理がされて、前記下面側コア層間回路と前記下面側コア絶縁層とに渡って下面側表層回路が形成される第二十工程と、
前記下面側表層エッチングレジストを除去する第二十二工程と、からなることから、平面方向に延びるコア平面回路と、コア平面回路の一端部側に設けられた上面側コア層間回路と、コア平面回路の他端部側に設けられた下面側コア層間回路とが接続面のない同じ金属から一体に製造できるため、上面側コア層間回路と下面側コア層間回路とコア平面回路との間で接続不良のおこりにくい効果がある。
2 コア部
3 表層部
5 金属体
12 コア回路部
13 コア絶縁層
21 上面側コア層間回路
22 下面側コア層間回路
23 コア平面回路
24 上面側コア絶縁層
25 下面側コア絶縁層
26 接続面
27 上面側表層回路
28 下面側表層回路
31 上面側第一エッチングレジスト
32 下面側第一エッチングレジスト
33 上面側凹み部
34 下面側凹み部
35 上面側第二エッチングレジスト
36 上面側凹み部
37 上面側凹み部
38 コア平面回路中間体
39 絶縁体
40 下面側第二エッチングレジスト
41 下面側凹み部
42 下面側凹み部
45 上面側導電体
46 下面側導電体
47 上面側表層エッチングレジスト
48 下面側表層エッチングレジスト
51 プリント基板
52 第一内層部
53 上面側第一内層部
54 下面側第一内層部
55 上面側内層層間回路
56 上面側内層平面回路
57 上面側内層絶縁層
58 下面側内層層間回路
59 下面側内層平面回路
60 下面側内層絶縁層
61 接続面
62 接続面
63 絶縁体
65 上面側導電体
66 下面側導電体
67 上面側内層第一エッチングレジスト
68 下面側内層第一エッチングレジスト
69 上面側凹み部
70 下面側凹み部
71 上面側内層第二エッチングレジスト
72 下面側内層第二エッチングレジスト
73 上面側凹み部
74 下面側凹み部
82 上面側凹み部
83 下面側凹み部
84 上面側凹み部
85 上面側凹み部
86 下面側凹み部
87 下面側凹み部
91 上面側内層第一エッチングレジスト
92 下面側内層第一エッチングレジスト
93 上面側凹み部
94 下面側凹み部
95 上面側内層第二エッチングレジスト
96 下面側内層第二エッチングレジスト
97 上面側凹み部
98 下面側凹み部
102 コア部
121 上面側コア層間回路
122 下面側コア層間回路
123 コア平面回路
124 上面側コア絶縁層
125 下面側コア絶縁層
126 接続面
131 上面側第一エッチングレジスト
133 上面側凹み部
135 上面側第二エッチングレジスト
136 上面側凹み部
137 上面側凹み部
138 コア平面回路中間体
139 絶縁体
140 下面側第二エッチングレジスト
141 下面側凹み部
235 下面側第二エッチングレジスト
240 上面側第二エッチングレジスト
331 下面側第一エッチングレジスト
335 下面側第二エッチングレジスト
340 上面側第二エッチングレジスト
Claims (5)
- プリント基板の製造方法であって、
表面が平坦な板状の導電体に上面側コア層間回路となる部分及びコア平面回路となる部分を覆う上面側第一エッチングレジストが設けられる第一工程と、
前記導電体に、下面側コア層間回路となる部分及び前記コア平面回路となる部分を覆う下面側第一エッチングレジストが設けられる第二工程と、
前記上面側第一エッチングレジストに従い前記導電体に対してエッチング処理が行われ、前記導電体の上面から内部に凹む上面側凹み部が設けられる第三工程と、
前記下面側第一エッチングレジストに従い前記導電体に対してエッチング処理が行われ、前記導電体の下面から内部に凹む下面側凹み部が設けられる第四工程と、
前記上面側第一エッチングレジストを除去する第五工程と、
前記下面側第一エッチングレジストを除去する第六工程と、
前記導電体の上面に前記上面側コア層間回路となる部分を覆う上面側第二エッチングレジストと、前記導電体の下面側全体を覆う下面側第二エッチングレジストと、が設けられる第七工程と、
前記上面側第二エッチングレジストに従い前記導電体に対してエッチング処理が行われ、前記第三工程で設けられた前記上面側凹み部がさらにエッチングされて形成された上面側凹み部と、前記上面側凹み部よりも浅い上面側凹み部と、前記上面側コア層間回路と、コア平面回路中間体と、が形成される第八工程と、
前記導電体から前記上面側第二エッチングレジストと、前記下面側第二エッチングレジストと、が除去される第九工程と、
前記第八工程で設けられた前記上面側凹み部と、前記浅い上面側凹み部と、に絶縁体が充填され、上面側コア絶縁層が設けられ、前記上面側コア絶縁層の上面と前記上面側コア層間回路の上面とに渡って全面が整面処理される第十工程と、
前記導電体の下面に前記下面側コア層間回路となる部分を覆う下面側第二エッチングレジストと、前記導電体の上面側全体を覆う上面側第二エッチングレジストと、を設ける第十一工程と、
前記下面側第二エッチングレジストに従い前記導電体に対してエッチング処理が行われ、前記下面側凹み部がさらにエッチングされて形成された下面側凹み部と、前記下面側凹み部よりも浅い下面側凹み部と、前記下面側コア層間回路と、前記コア平面回路と、が形成される第十二工程と、
前記下面側第二エッチングレジストと、前記上面側第二エッチングレジストと、が除去される第十三工程と、
第十二工程で設けられた前記下面側凹み部と、第十二工程で設けられた前記浅い下面側凹み部と、に前記絶縁体が充填され、下面側コア絶縁層が設けられ、前記下面側コア絶縁層の下面と下面側コア層間回路の下面とに渡って全面が整面処理される第十四工程と、が行われ、
平面方向に延びる前記コア平面回路と、前記コア平面回路の一端部側に設けられた前記上面側コア層間回路と、前記コア平面回路の他端部側に設けられた前記下面側コア層間回路と、前記上面側コア絶縁層と、前記下面側コア絶縁層と、からなり、平面方向に延びる前記コア平面回路と、前記コア平面回路の一端部側に設けられた前記上面側コア層間回路と、前記コア平面回路の他端部側に設けられた前記下面側コア層間回路と、が接続面のない一体の導電体から形成されたコア部が製造され、
前記コア部の上面全体を覆う上面側導電体がメッキ処理により設けられる第十五工程と、
上面側表層エッチングレジストが設けられる第十七工程と、
前記上面側表層エッチングレジストに従いエッチング処理がされて、前記上面側コア層間回路と前記上面側コア絶縁層とに渡って上面側表層回路が形成される第十九工程と、
前記上面側表層エッチングレジストを除去する第二十一工程と、
前記コア部の下面全体を覆う下面側導電体がメッキ処理により設けられる第十六工程と、
下面側表層エッチングレジストが設けられる第十八工程と、
前記下面側表層エッチングレジストに従いエッチング処理がされて、前記下面側コア層間回路と前記下面側コア絶縁層とに渡って下面側表層回路が形成される第二十工程と、
前記下面側表層エッチングレジストを除去する第二十二工程と、
からなることを特徴とするプリント基板の製造方法。 - プリント基板の製造方法であって、
表面が平坦な板状の導電体に上面側コア層間回路となる部分及びコア平面回路となる部分を覆う上面側第一エッチングレジストと、前記導電体の下面側全体を覆う下面側第一エッチングレジストと、が設けられる第百一工程と、
前記上面側第一エッチングレジストに従い導電体に対してエッチング処理が行われ、導電体の上面から内部に凹む上面側凹み部が設けられる第百三工程と、
前記上面側第一エッチングレジストと、前記下面側第一エッチングレジストと、を除去する第百五工程と、
前記導電体の上面に前記上面側コア層間回路となる部分を覆う上面側第二エッチングレジストと、前記導電体の下面側全体を覆う下面側第二エッチングレジストと、を設ける第百七工程と、
前記上面側第二エッチングレジストに従い前記導電体に対してエッチング処理が行われ、前記第百三工程で設けられた前記上面側凹み部がさらにエッチングされて形成された上面側凹み部と、前記上面側凹み部よりも浅い上面側凹み部と、前記上面側コア層間回路と、コア平面回路中間体と、が形成される第百八工程と、
前記上面側第二エッチングレジストと、前記下面側第二エッチングレジストと、が除去される第百九工程と、
前記第百八工程で設けられた前記上面側凹み部と、前記浅い上面側凹み部とに絶縁体が充填され、上面側コア絶縁層が設けられ、前記上面側コア絶縁層の上面と前記上面側コア層間回路の上面とに渡って全面が整面処理される第百十工程と、
前記導電体の下面に前記下面側コア層間回路となる部分を覆う下面側第二エッチングレジストと、前記導電体の上面側全体を覆う上面側第二エッチングレジストと、を設ける第百十一工程と、
前記下面側第二エッチングレジストに従い前記導電体に対してエッチング処理が行われ、前記絶縁体が露出する下面側凹み部と、前記下面側コア層間回路と、前記コア平面回路と、が形成される第百十二工程と、
前記下面側第二エッチングレジストと前記上面側第二エッチングレジストとが除去される第百十三工程と、
第百十二工程で設けられた前記下面側凹み部に前記絶縁体が充填され、下面側コア絶縁層が設けられ、前記下面側コア絶縁層の下面と下面側コア層間回路の下面とに渡って全面が整面処理される第百十四工程と、が行われ、
平面方向に延びる前記コア平面回路と、前記コア平面回路の一端部側に設けられた前記上面側コア層間回路と、前記コア平面回路の他端部側に設けられた前記下面側コア層間回路と、前記上面側コア絶縁層と、前記下面側コア絶縁層と、からなり、平面方向に延びる前記コア平面回路と、前記コア平面回路の一端部側に設けられた前記上面側コア層間回路と、前記コア平面回路の他端部側に設けられた前記下面側コア層間回路と、が接続面のない一体の導電体から形成されたコア部が製造され、
前記コア部の上面全体を覆う上面側導電体がメッキ処理により設けられる第十五工程と、
上面側表層エッチングレジストが設けられる第十七工程と、
前記上面側表層エッチングレジストに従いエッチング処理がされて、前記上面側コア層間回路と前記上面側コア絶縁層とに渡って上面側表層回路が形成される第十九工程と、
前記上面側表層エッチングレジストを除去する第二十一工程と、
前記コア部の下面全体を覆う下面側導電体がメッキ処理により設けられる第十六工程と、
下面側表層エッチングレジストが設けられる第十八工程と、
前記下面側表層エッチングレジストに従いエッチング処理がされて、前記下面側コア層間回路と前記下面側コア絶縁層とに渡って下面側表層回路が形成される第二十工程と、
前記下面側表層エッチングレジストを除去する第二十二工程と、
からなることを特徴とするプリント基板の製造方法。 - プリント基板の製造方法であって、
請求項1記載の前記第一工程乃至前記第十四工程又は請求項2記載の前記第百一工程乃至第百十四工程と、
前記コア部の上面全体を覆う上面側導電体がメッキ処理により設けられる第十五工程と、
前記上面側導電体に対し、上面側内層層間回路となる部分及び上面側内層平面回路となる部分を覆う上面側内層第一エッチングレジストが設けられる第三十一工程と、
前記上面側内層第一エッチングレジストに従いエッチング処理がされ、前記コア部の前記絶縁体が露出する上面側凹み部が設けられる第三十二工程と、
前記上面側内層第一エッチングレジストが除去される第三十三工程と、
前記上面側導電体の前記上面側内層層間回路となる部分を覆う上面側内層第二エッチングレジストが設けられる第三十四工程と、
前記上面側内層第二エッチングレジストに従いエッチング処理がされ、前記絶縁体が露出しない凹み部と、前記絶縁体が露出する前記上面側凹み部と、前記上面側内層層間回路と、前記上面側内層平面回路と、が形成される第三十五工程と、
前記上面側内層第二エッチングレジストが除去される第三十六工程と、
前記絶縁体が露出する前記上面側凹み部と、前記絶縁体が露出しない前記凹み部とに絶縁体が充填され、上面側内層絶縁層が設けられ、前記上面側内層絶縁層の上面と前記上面側内層層間回路の上面とに渡って全面が整面処理される第三十七工程と、が行われ、
前記上面側内層層間回路と、前記上面側内層平面回路と、前記上面側内層絶縁層と、からなり、前記上面側内層層間回路と、前記上面側内層平面回路と、が接続面のない一体の導電体から形成された上面側内層部が形成され、
メッキ処理により、前記上面側内層部の上面全体を覆う上面側導電体が設けられる第三十八工程と、
前記上面側導電体に対し、エッチング処理が行われ、前記上面側内層部とは異なる他の上面側内層部が設けられる工程又は上面側表層回路が形成される工程と、
前記コア部の下面側全体を覆う下面側導電体がメッキ処理により設けられる第十六工程と、
前記下面側導電体に対し、エッチング処理が行われ、下面側内層層間回路と、下面側内層平面回路と、下面側内層絶縁層と、からなり、前記下面側内層層間回路と、前記下面側内層平面回路と、が接続面のない一体の導電体から形成された下面側内層部が形成される工程又は下面側表層回路が形成される工程と、を含むことを特徴とするプリント基板の製造方法。 - プリント基板の製造方法であって、
請求項1記載の前記第一工程乃至前記第十四工程又は請求項2記載の前記第百一工程乃至第百十四工程と、
前記コア部の上面全体を覆う上面側導電体がメッキ処理により設けられる第十五工程と、
前記上面側導電体に対し、上面側内層層間回路となる部分及び上面側内層平面回路となる部分を覆う上面側内層第一エッチングレジストが設けられる第五十一工程と、
前記上面側内層第一エッチングレジストに従いエッチング処理がされ、前記コア部の前記絶縁体が露出しない上面側凹み部が設けられる第五十二工程と、
前記上面側内層第一エッチングレジストが除去される第五十三工程と、
前記上面側導電体の前記上面側内層層間回路となる部分を覆う上面側内層第二エッチングレジストが設けられる第五十四工程と、
前記上面側内層第二エッチングレジストに従いエッチング処理がされ、前記第五十二工程で設けられた前記上面側凹み部よりも深く前記コア部の前記絶縁体が露出する上面側凹み部と、前記コア部の前記絶縁体が露出する前記上面側凹み部よりも浅く前記絶縁体が露出しない上面側凹み部と、前記上面側内層層間回路と、前記上面側内層平面回路と、が形成される第五十五工程と、
前記上面側内層第二エッチングレジストが除去される第五十六工程と、
前記絶縁体が露出する前記上面側凹み部と、前記絶縁体が露出しない前記上面側凹み部とに絶縁体が充填され、上面側内層絶縁層が設けられ、前記上面側内層絶縁層の上面と前記上面側内層層間回路の上面とに渡って全面が整面処理される第三十七工程と、が行われ、
前記上面側内層層間回路と、前記上面側内層平面回路と、前記上面側内層絶縁層と、からなり、前記上面側内層層間回路と、前記上面側内層平面回路と、が接続面のない一体の導電体から形成された上面側内層部が形成され、
メッキ処理により、前記上面側内層部の上面全体を覆う上面側導電体が設けられる第三十八工程と、
前記上面側導電体に対し、エッチング処理が行われ、前記上面側内層部とは異なる他の上面側内層部が設けられる工程又は上面側表層回路が形成される工程と、
前記コア部の下面側全体を覆う下面側導電体がメッキ処理により設けられる第十六工程と、
前記下面側導電体に対し、エッチング処理が行われ、下面側内層層間回路と、下面側内層平面回路と、下面側内層絶縁層と、からなり、前記下面側内層層間回路と、前記下面側内層平面回路と、が接続面のない一体の導電体から形成された下面側内層部が形成される工程又は下面側表層回路が形成される工程と、を含むことを特徴とするプリント基板の製造方法。 - プリント基板の製造方法であって、
請求項1記載の前記第一工程乃至前記第十四工程又は請求項2記載の前記第百一工程乃至第百十四工程と、
前記コア部の上面全体を覆う上面側導電体がメッキ処理により設けられる第十五工程と、
前記上面側導電体に対し、上面側内層層間回路となる部分を覆う上面側内層第一エッチングレジストが設けられる第七十一工程と、
前記上面側内層第一エッチングレジストに従いエッチング処理がされ、前記コア部の前記絶縁体が露出しない上面側凹み部が設けられる第七十二工程と、
前記上面側内層第一エッチングレジストが除去される第七十三工程と、
前記上面側導電体の前記上面側内層層間回路となる部分及び前記上面側内層平面回路となる部分を覆う上面側内層第二エッチングレジストが設けられる第七十四工程と、
前記上面側内層第二エッチングレジストに従いエッチング処理がされ、前記第七十二工程で設けられた前記絶縁体が露出しない前記上面側凹み部よりも深く前記絶縁体が露出する上面側凹み部と、前記絶縁体が露出しない前記上面側凹み部と、前記上面側内層層間回路と、前記上面側内層平面回路と、が形成される第七十五工程と、
前記上面側内層第二エッチングレジストが除去される第七十六工程と、
前記絶縁体が露出する前記上面側凹み部と、前記絶縁体が露出しない前記上面側凹み部とに絶縁体が充填され、上面側内層絶縁層が設けられ、前記上面側内層絶縁層の上面と前記上面側内層層間回路の上面とに渡って全面が整面処理される第三十七工程と、が行われ、
前記上面側内層層間回路と、前記上面側内層平面回路と、前記上面側内層絶縁層と、からなり、前記上面側内層層間回路と、前記上面側内層平面回路と、が接続面のない一体の導電体から形成された上面側内層部が形成され、
メッキ処理により、前記上面側内層部の上面全体を覆う上面側導電体が設けられる第三十八工程と、
前記上面側導電体に対し、エッチング処理が行われ、前記上面側内層部とは異なる他の上面側内層部が設けられる工程又は上面側表層回路が形成される工程と、
前記コア部の下面側全体を覆う下面側導電体がメッキ処理により設けられる第十六工程と、
前記下面側導電体に対し、エッチング処理が行われ、下面側内層層間回路と、下面側内層平面回路と、下面側内層絶縁層と、からなり、前記下面側内層層間回路と、前記下面側内層平面回路と、が接続面のない一体の導電体から形成された下面側内層部が形成される工程又は下面側表層回路が形成される工程と、
を含むことを特徴とするプリント基板の製造方法。
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